JPS63263504A - 撮像式の位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、天井側に設置される格子状の枠に対する移動
車の位置を検出する撮像式の位置検出装置に関する。

〔従来の技術〕

上記この種の撮像式の位置検出装置は、例えば、クリー
ンルームにおける空気浄化用のフィルターが、一般に所
定面積の大きさに形成され、そのフィルターの多数個が
、天井側に設置した格子状の取り付は枠に組み付けられ
ていることを利用して、その取り付は枠を撮像した画像
情報に基づいて取り付は枠に対する移動車の位置を検出
するようにしたものである。

従来では、その天井側に設置される格子状の取り付は枠
を撮像した画像情報より明るさの差に基づいて、背景と
なるフィルター面と取り付は枠とを分離識別、させ、識
別した取り付は枠の情報より移動車の位置を検出させる
ようにしていた。

そして、撮像視野内の明るさが一定となるように所定の
明るさで天井側を照明しなから撮像するようにしていた
（特願昭６１−２３０８０３号参照）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記従来構成では、単に、撮像情報より
明るさの差に基づいて、取り付は枠を識別させるように
していたので、取り付は枠とフィルター面との光反射率
の差が小さい場合には、背景となるフィルター面（天井
面）と取り付は枠とを適確に分離識別することが困難と
なる場合もあり、移動車の位置検出を誤る虞れがあった
。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、そ
の目的は、天井面と枠との光反射率の差が無い場合にも
、枠に対する移動車の位置を正確に検出できるようにす
ることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明による撮像式の位置検出装置の特徴構成は、直交
する二本のスリット光を、その交点１、　　　　　　　
が前記枠の交差箇所から離れた箇所に向かう状態で投射
するスリット光投射手段、前記両スリット光夫々の投射
方向とは異なる方向から前記枠のスリット光投射箇所を
撮像する撮像手段、その撮像手段の撮像画像情報に基づ
いて、前記両スリット光夫々における途切れた部分を抽
出して、その抽出された部分に対する前記移動車の位置
を求める位置検出手段の夫々を、前記移動車に備えさせ
てある点にあり、その作用並びに効果は以下の通りであ
る。

〔作　用〕

すなわち、直交する二本のスリット光をその交点が枠の
交差箇所から離れた箇所に向かう状態で天井側に向けて
投射して、両スリット光夫々の投射方向とは異なる方向
から枠のスリット光投射箇所を撮像すると、枠が天井面
よりも下方側に突出していることから、両スリット光が
枠を横切る箇所の夫々において、スリット光が途切れて
見える状態となる（第５図参照）。

そして、移動車の枠に対する位置の変化に応じて、上記
両スリット光の夫々が途切れて見える位置が変化するこ
とになる（第６図参照）。

従って、撮像手段の撮像情報から両スリット光夫々にお
ける途切れた部分を抽出すれば、その抽出された部分の
位置情報から枠に対する移動車の位置を求めることがで
きるのである。

〔発明の効果〕

従って、枠と天井面との間に明るさの差が無いような場
合にも、移動車の位置を的確に検出できるに至った。

〔実施例〕

以下、本発明をクリーンルームにおける空気浄化用フィ
ルターのリークテストを自動的に行うためのリークテス
ト用移動車に適用した場合の実施例を、図面に基づいて
説明する。

第２図〜第４図に示すように、移動車（Ａ）は、左右各
別に駆動並びに停止自在に構成された左右一対の推進車
輪（ＩＬ）　、　（ＩＲ）を、車体前後方向の中心に位
置する状態で備えると共に、車体の前後両端部に左右一
対のキャスタ式の遊転輪（２）を備え、前記両推進車輪
（ＬＬ）　、　（ＩＲ）の回転速度に差を付けるように
前記推進車輪（ＩＬ）　、　（ＩＲ）を駆動することに
より、操向並びにスピンターン自在に構成されている。

そして、ダウンフロ一式のクリーンルームの天井全面に
亘って設けられた空気浄化用フィルターとしてのＨＥＰ
Ａフィルター（３）の設置箇所に対するリークテストを
行うためのリークテスター（１２）　（第１図参照）が
搭載されている。

車体に対して前後左右の水平方向に移動自在に載置され
たＸＹテーブル（５）に対して上下動自在に且つ着脱自
在に取り付けたられたポール（６）の先端部に、前記リ
ークテスター（１２）に接続されて測定用の空気を吸引
するプローブ（４）が、測定用の空気吸引口が天井側を
向く状態で取り付けられている。

又、前記ボール（６）には、直交する二本のスリット光
（ｎｉ）　、　（ｔｔｚ）を天井に向けて投射するスリ
ット光投射手段としてのスリット光投射器（８）と、前
記両スリット光（Ｂｌ）、（ｆｈ）夫々の投射方向とは
異なる方向から前記取り付は枠（９）のスリット光投射
箇所を撮像する撮像手段としてのイメージセンサ（７）
の夫々が取り付けられている。

前記スリット光投射器（８）について説明すれば、レー
ザ光を、互いに直交する方向の夫々に向けて設定角度範
囲内を走査することにより、前記直交する二本のスリッ
ト光（１，（ｎｉ）を形成するように構成されている。

そして、移動車（Ａ）を取付は枠（９）に対する適正位
置の近くに位置させ、且つ、ＸＹテーブル（５）を設定
位置に位置させた状態において、両スリット光（ａｔ）
。

（Ｂ２）は、その交点が前記取り付は枠（９）の交差箇
所から離れた箇所に向かい、且つ、天井に対して鉛直な
状態で投射されるようになっている。

前記イメージセンサ（７）について説明を加えれば、第
２図〜第４図に示すように、移動車（Ａ）が前記取り付
は枠（９）に対して適正位置に位置し、且つ、ＸＹテー
ブル（５）が設定位置に位置する状態において、前記取
り付は枠（９）の交差箇所が、前記イメージセンサ（７
）の撮像視野中心に位置する状態となるように、且つ、
その撮像視野方向が、天井に対して左右前後の夫々の方
向に設定角度傾いた状態となるようにしである。

つまり、前記フィルター（３）よりも前記取り付は枠（
９）が下方に突出する状態となっていることから、前記
両スリット光（Ｂｌ）、　（Ｂｘ）の投射面を斜め方向
からみると、第５図に示すように、前記両スリット光（
ｎ１）、（Ｂ２）の夫々が、前記取り付は枠（９）を横
切る箇所において、途切れて見えるのである。

そして、詳しくは後述するが、前記両スリット光（ｎ１
）、（Ｂ２）の夫々が途切れた部分（Ｂａ）　、　（Ｂ
ｂ）の位置から前記取り付は枠（９）の交差箇所に対す
る移動車（＾）の位置を求め、リークテストにおけるプ
ローブ（４）の走査や移動車（Ａ）を次の測定箇所に移
動させるときの制御情報として用いるようにしである。

但し、前記ＸＹテーブル（５）の移動範囲は、前記天井
側に設けられた格子状の取り付は枠（９）にて囲まれた
一個のＨＥＰＡフィルター（３）に対して、車体がその
中央直下の位置、つまり、前記設定位置に停止した状態
において、前記プローブ（４）が−個のＨＥＰＡフィル
ター（３）の全面を走査できる範囲以上となるように、
且つ、前記イメージセンサ（７）が、車体進行方向に対
して前後２箇所に位置する取り付は枠（９）の交差箇所
の夫々を撮像できる範囲以上となるように設定されてい
る。

尚、図中、（１０）は、前記移動車（Ａ）並びに前記リ
ークテスター（１２）に対して作動用の電力を供給する
ための電源ケーブルである。゛そして、上述した構成に
なる移動車（Ａ）を、後述の如く、前記取り付は枠（９
）を用いて所定間隔で折目状に配置された前記ＨＥＰＡ
フィルター（３）夫々の直下方位置に順次移動させると
共に、前記ＸＹテーブル（５）を、車体に対して前後左
右に水平移動させることにより、前記プローブ（４）を
、前記取り付は枠（９）にて区画された各ＨＥＰＡフィ
ルター（３）の全面に亘って自動的に走査させて、リー
クテストを自動的に行えるようになっている。

次に、前記移動車（Ａ）の走行を制御する走行制御手段
（１０１）、並びに、前記プローブ（４）を前記取り付
は枠（９）にて区画された各ＨＥＰＡフィルター（３）
夫々の全面を自動的に走査させる走査手段の構成につい
て説明する。

第１図に示すように、移動車全体の動作を制御するマス
ターコントローラ（１１）、前記プロー゛ブ（４）にて
吸引された空気内に含まれる微粒子濃度を計測して、そ
の計測位置や濃度を表示すると共に記録し、設定濃度以
上の微粒子濃度が検出されるに伴って、警報を発するよ
うに構成されたリークテスター（１２）、前記イメージ
センサ（７）の撮像情報を処理して前記取り付は枠（９
）に対する車体の位置を検出する位置検出手段（１００
）としての画像処理装置（１３）、前記イメージセンサ
（７）による撮像情報並びに画像処理装置（１３）にて
処理された画像情報を表示するモニタテレビ（１４）、
移動車（Ａ）に対する各種動作情報を設定するための設
定装置（１５）、及び、前記走行用モータ（Ｍ４）　、
（Ｍｓ）の作動を制御する走行コントローラ（１６）の
夫々が設けられている。

そして、前記マスターコントローラ（１１）が、前記Ｘ
Ｙテーブル（４）の水平移動用モータ（Ｍ１）、（Ｍり
及びボール昇降用モータ（Ｍりに取り付けたエンコーダ
（ＰＨυ、（ＰＥｔ）　、（ＰＥ３）の検出情報、前記
画像処理装置（１３）にて検出される取り付は枠（９）
に対する車体の位置情報、及び、前記設定装置（１５）
にて設定された各種情報に基づいて、前記走行コントロ
ーラ（１６）に対する制御指令並びに前記ＸＹテーブル
（５）の水平移動用モータ（Ｍｌ）、　（ｑｚ）及びボ
ール昇降用モータ（ｈ、）に対する作動指令の夫々を出
力するように構成しである。

尚、図中、（ＰＲ，）　、　（ＰＥＳ）は、前記走行用
モータ（Ｍ４）　、　（ＭＳ）に取り付けたエンコーダ
であり、前記走行用モータ（Ｍ４）　、　（ＭＳ）の回
転数を検出することにより、走行速度や走行距離を検出
して、）　　　　　　　前記走行コントローラ（１６）
を介して前記マスターコントローラ（１１）にフィード
バックするようにしである。つまり、前記マスターコン
トローラ（１１）及び走行コントローラ（１６）にて、
前記位置検出手段（１００）の検出情報に基づいて、車
体の走行を制御する走行制御手段（１０１）が構成され
ていることになる。

次に、前記走行制御手段（１０１）及び走査手段につい
て、その制御動作を詳述しながら説明を加える。

先ず、前記ＨＥＰＡフィルター（３）のリークテストの
概略について説明すれば、第８図及び第９図に示すよう
に、車体を、クリーンルームの端に位置するＨＥＰＡフ
ィルター（３）の中央（第８図中、（ａ）で示す位置）
に位置させて、前記設定装置（１５）にて、−列当たり
のＨＥＰＡフィルター（３）の個数、測定対象ＨＥＰＡ
フィルター（３）の全個数、並びに、互いに隣接したＨ
ＥＰＡフィルター（３）の左右前後の間隔等やリークテ
ストの合否判定基準値等を設定する。

尚、車体を測定開始位置（ａ）に位置させる場合、前記
スリット光投射器（８）から投射される二本のスリット
光（ａｔ）、（Ｂｔ）を車体の位置決めの参照にしたり
、前記イメージセンサ（７）の撮像画像を表示するモニ
タテレビ（１４）の画面を見ながら行うようにすればよ
い。但し、この車体の位置決め操作は、測定開始位置（
ａ）のみにおいて行うだけでよく、以後は車体を自動走
行させるので行う必要はな・い。　′ 次に、前記ＸＹテーブル（５）を左右前後に移動させる
ことにより、前記プローブ（４）を、−個のＨＥＰＡフ
ィルター（３）の全面に亘って走査させて、−個のＨＥ
ＰＡフィルター（３）に対するリークテストを行い、そ
のリークテストを終了した個数と、前記設定された個数
とを比較することにより、設定個数分のリークテストが
終了したか否かを判別し、設定個数分のテストが終了し
ている場合は、全処理を終了する。

設定個数分のテストが終了していない場合は、−列分の
テストが終了したか否かを判別し、−列分のテストが終
了していない場合は、隣接する次のＨＥＰＡフィルター
（第８図中、（ｂ）で示す位置）に車体を移動させると
共に、−列分のテストが終了している場合は、隣の列の
端に位置するＨＥＰＡフィルター（第８図中、（ｅ）で
示す位置）に車体を移動させる。尚、この隣の列の端に
位置するＨＥＰＡフィルターに車体を移動させる場合に
は、位置ずれが少なくなるように移動させるために、現
在位置（第８図中、（ｄ）で示す位置）において、先ず
、９０度スピンターンして車体の向きを隣の列方向に向
けた後、−列間の距離分を直進し、更に９０度スピンタ
ーンして車体の向きを隣の列における進行方向に向ける
ように車体の走行が制御されるようにしである。

そして、上述した処理を、設定個数分繰り返すことによ
り、互いに隣接したＨＥＰＡフィルター（３）間を自動
走行しながら、順次リークテストを自動的に行うのであ
る。

但し、前記−個のＨＥＰＡフィルター（３）に対するリ
ークテストは、車体が一個のＨＥＰＡフィルター（３）
の中央に位置する状態において、前記ＸＹテーブル（５
）を水平移動させて、先ず、前記取り付は枠（９）に隣
接するＨＥＰＡフィルター（３）の外周部に沿って前記
プローブ（４）を走査した後、その内部を一端側から他
端側に向かって順次左右に方向に往復走査することによ
り、−個のＨＥＰＡフィルター（３）全面に対するリー
クテストを行うようにしである。

尚、前記取り付は枠（９）に隣接するＨＥＰＡフィルタ
ー（３）の外周部に沿って前記プローブ（４）を走査す
る場合は、前記プローブ（４）が取り付は枠（９）に衝
突しないように、前記ボール（６）を所定量下げるよう
にしである。

以上の如く、移動車（Ａ）を自動的に走行させ、且つ、
プローブ（４）を自動的に走査させながら、リークテス
トを行うものであり、そして、移動車（Ａ）の走行制御
精度及び前記プローブ（４）の走査制御精度を高めるた
めに、次に述べるように、位置検出手段（１００）の検
出情報が用いられることになる。

すなわち、第６図及び第１０図に示すように、前記−個
のＨＥＰＡフィルター（３）に対するリークテストを行
う際に、前記イメージセンサ（７）にて、天井に向けて
投射される前記二本のスリット光（ａｔ）、（ａｔ）の
投射像を撮像し、そして、その撮像画像情報に基づいて
、前記取り付は枠（９）の交差箇所（取り付は枠コーナ
一部分）に対する移動車（Ａ）の現在位置（Ｔｌ“）を
検出して、前記プローブ（４）がＨＥＰＡフィルター（
３）の全面に対して適正通り走査されるように、前記Ｘ
Ｙテーブル（５）を水平移動させる際の移動方向や移動
量を補正すると共に、次のＨＥＰＡフィルター（３）に
移動する際の車体の走行方向や走行距離を補正して、車
体が次のＨＥＰＡフィルター（３）の中央真下（ｉｔ）
に停止するようにするのである。

以下、取り付は枠（９）の撮像処理作動を詳述しながら
、説明を加える。

すなわち、第６図に示すように、移動車（Ａ）の中心に
対して左側に位置する２つの取り付は枠夫々の交差部分
を撮像視野中心として、前記スリット光投射器（８）か
ら投射されるスリット光（Ｂｔ）、（Ｂｔ）の投射像を
、前記イメージセンサ（７）にて順次撮像する。

そして、前記イメージセンサ（７）の撮像情報から前記
両スリット光（Ｂｔ）、（Ｂｔ）夫々の途切れた部分（
Ｂａ）　、　（Ｂｂ）を抽出して、その画面上の位置か
ら、移動車（Ａ）に対して前後に位置する前記取り付は
枠（９）の各交差箇所の位置を求め、それに基づいて、
前記プローブ（４）の走査座標系の原点（０）に対する
位置ずれ（ｘｏ＋ｙｏ）及び傾き（θ）を求めるように
しである。

前記イメージセンサ（７）による撮像画像情報から、前
記両スリット光（Ｂｌ）　、　（Ｂり夫々の途切れた部
分（Ｂａ）　、　（Ｂｂ）を抽出する処理について説明
すれば、第５図及び第６図に示すように、前述の如く、
前記両スリット光（１，（ｏｘ）夫々が前記取り付は枠
（９）を横切る箇所において、前記途切れた部分（Ｂａ
）　、　（Ｂｂ）が生じることになる。

そして、画面上を上方から下方に向かって画像情報を走
査して、Ｘ軸に平行な直線のうちの最も下側に位置する
直線を、車体前後方向に向かう直線として見える一方の
スリット光（Ｂｌ）の途切れた部分（Ｈａ）として抽出
する。同様にして、画面上を、左方から右方に向かって
画像情報を走査して、ｙ軸に平行な直線のうちの最も右
側に位置する直線を、車体横幅方向に向かう直線として
見える他方のスリット光（Ｂ２）の途切れた部分（Ｂｂ
）として抽出するのである。

但し、前述の如く、前記イメージセンサ（７）は、前記
両スリット光（１，（ａｔ）の投射像を斜め方向から撮
像しているために、画像上で抽出された各途切れた部分
（Ｂａ）　、　（Ｂｂ）の位置が、前記イメージセンサ
（７）の撮像視野の遠方側はど手前側よりも距離変化が
小さくなるように歪んだ状態となることから、画像処理
する際に、前記取り付は枠（９）に対する前記イメージ
センサ（７）の取り付は高さ及び傾きや光学系の焦点距
離等に基づいて、抽出された位置に応じてその座標位置
を補正するようにしである。又、図示を省略するが、前
記イメージセンサ（７）は、外光の影響を除去するため
に、前記両スリット光（８１）、（ｌの波長に対応した
光のみを通過させる光学フィルターが取り付けられてい
る。

ところで、前記両スリット光（ａｔ）、（Ｈｚ）は、前
記取り付は枠（９）にて囲まれるフィルター（３）の中
心に対して位置ずれがなく、且つ、傾きもない状態にお
いて、前記取り付は枠（９）に対して直交する方向に横
切るようになっていることから、前記途切れた部分（Ｂ
ａ）　、　（Ｂｂ）夫々の長さ方向における中点位ＩＥ
　（Ｘｐ）　、　（Ｙｐ）に直交する方向に伸ばした直
線の交点は、移動車（Ａ）が前記取り付は枠（９）に対
して傾き（θ）が零の状態にある場合における前記取り
付は枠（９）の交差箇所の座標に一致することになる。

つまり、交差する取り付は枠（９）夫々の幅方向におけ
る中心の位Ｉｆ（Ｘｐ、Ｙｐ）を、前記途切れた部分（
Ｂａ）　ｒ　（Ｂｂ）の補正された画像上の位置座標か
ら求め、後述の如く、移動車（＾）に対して□ 前後２箇所において撮像した各撮像画像（Ｐυ。

（Ｐ２）夫々における前記途切れた部分（’Ｂａ）　、
（Ｂｂ）の中点位置の差から、前記取り付は枠（９）に
対する傾き（θ）を求めて、これらの位置情報から、移
動車（Ａ）に対して前後２箇所において撮像した各撮像
画像（Ｐ＋）、（ｈ）夫々における取り付は枠（９）の
交差箇所の位置ずれ（×、ｙυ＋　（Ｘｇ＋Ｖｚ）を求
めるのである。

すなわち、第６図に示すように、車体が一つのＨＥＰＡ
フィルター（３）の略中央真下に停止した状態において
、先ず、前記イメージセンサ（７）を、現在の車体中心
（Ｔｌ’）に対して前記取り付は枠（９）における交差
箇所間の距離（Ｐｘ）　、　（Ｐｙ）の半分に相当する
位！（−％Ｐｘ、−！４Ｐｙ）に平行移動させて、前記
イメージセンサ（７）が一つのＨＥＰＡフィルター（３
）の測定開始位置側の取り付は枠（９）の交差位置の略
真下に位置するようにして、前記イメージセンサ（７）
にて前記取り付は枠（９）の交点を含む範囲（第６図中
、（Ｐυで示す）を撮像する。

次に、前記イメージセンサ（７）を、車体中心に対して
前記取り付は枠（９）における交点位置間の距！　（Ｐ
Ｍ）　、　（Ｐｙ）の半分に相当する位置（＋　％Ｐｘ
、　−％Ｐｙ）に平行移動させて、前記イメージセンサ
（７）が測定終了側つまり次のＨＥＰＡフィルター（３
）の測定開始側に位置する取り付は枠（９）の交点位置
の略真下に位置するようにした後、取り付は枠（９）の
交点を含む範囲（第６図中、（Ｐりで示す）を撮像する
。

そして、前記取り付は枠（９）における交点位置間の距
離（ＰＸ）に相当する距離を隔てて撮像された二つの画
像情報（ｐ＋）、（ｐｇ）夫々における前記両スリット
光（ａｔ）、　（ａｘ）が途切れた部分（Ｂａ）　。

（Ｂｂ）（７）座標（Ｘｐ＋＋Ｙｐ＋）＋　（Ｘｐｔ、
Ｙｐｇ）の差から、下記式（ｉ）に基づいて、前記傾き
（θ）を求め、その傾き（θ）から下記（ｉｉ）式に基
づいて、前記二つの画像情報（ｐ＋）、　（ｈ）夫々に
おける前記プローブ（４）の走査座標系（Ｘ、Ｙ）の原
点（０）に対する取り付は枠（９）の交差箇所の位置ず
れ（Ｘ＋＋ＬＬ（Ｘｇ、ｙｘ）を求めるのである。

ｘ、＝Ｘｐ＊−ｃｏｇθ＊　　ｙａ＝Ｙｐ１％−５ｔｎ
θ　　・・・・・・（ｉｉ　）（但し、ｎ−１，２であ
る。） 次に、下記式（ｉｔｉ　）に基づいて、前記取り付は枠
（９）の前後２つの交点位置夫々に対する位置ずれ（Ｘ
＋＋３’ｔ）＋　（ｘｘ＋ｙｔ）から、前記プローブ（
４）の走査座標系の原点（０）（第６図参照）に対する
位置ずれ（ｘｏ＋ｙ、）を求め、さらに、前記プローブ
（４）を走査するための前記ＸＹテーブル（５）の実際
の走査位置（Ｘ、Ｙ）を、下記式（：Ｖ）に基づいて自
動補正することにより、車体中心（Ｔ１）がＨＥＰＡフ
ィルター（３）の中心（ＴＩ）に対して位置ずれがあり
、且つ、傾いた状態となっていても、そのずれや傾きに
拘らず、前記プローブ（４）が、予め設定されたＨＥＰ
Ａフィルター（３）に対する絶対位置がずれない状態で
走査されるようにするのである。

Ｘｇ−Ｘ＋＋　ｙｏ−Ｖ＋　　　　　　　　　”””（
ｆｉｉ）・・・・・・（ｉｖ） 但し、上記式（ｉｖ　）において、（ｘ、ｙ）は、前記
ＨＥＰＡフィルター（３）の中心（Ｔ、）と車体中心（
Ｔ＋’）が一致し、且つ、傾き（θ）が零である場合に
おいて、前記プローブ（４）を走査するために、前記Ｘ
Ｙテーブル（５）の目標移動位置として代入される値で
ある。

又、車体を次のＨＥＰＡフィルター（３）の中央真下に
移動させる際にも、上述した２箇所の取り付は枠（９）
の各交点位置に対する位置ずれ（Ｘ＋＋Ｖ＋）＋　（ｘ
ｔ＋ｙｘ）の情報に基づいて、前記左右の走行用モータ
（Ｌ）　、　（Ｍｓ）の作動を制御することにより、車
体の中心が、次のＨＥＰＡフィルター（３）の中央真下
に位置する状態で自動的に停止するようにしである。

すなわち、第６図に示すように、ＨＥＰＡフィルター（
３）の中心（Ｔｌ）に対して、実際の車体中心が、前記
２箇所の取り付は枠（９）の各交点位置に対して前記位
置ずれ（Ｘ＋＋３’＋Ｌ　（Ｘｔ＋３’ｔ）及びその傾
き（θ）に対応してずれた位置（１＋”）にあり、且つ
、取り付は枠（９）の延長方向に対して所定角度（θ）
傾いた状態にある場合、車体の現在位置（Ｔｌ’）と次
のＨＥＰＡフィルター（３）の中心Ｃｒｔ＞とを結ぶ方
向は、第７図に示すように、前記取り付は枠（９）の前
後に位置する各交点位置の延長方向に対して所定角度（
θ、）傾いた状態となる。

ところで、実際の軍法中心位置（Ｔ、□）は、前記プロ
ーブ（４）の走査座標系の原点（０）を、取り付は枠（
９）の交点位置間の距離（Ｐｘ）　、　（Ｐｙ）の半分
を平行移動させた位置に等しいことから、現在のＨＥＰ
Ａフィルター（３）の中心（Ｔｏに対する位置ずれ（Ｘ
ａ、Ｙａ）は、上記式（ｉｖ）において、前記プローブ
（４）を走査するためのＸＹテーブル（５）の目標駆動
位置の値（ｘ、ｙ）、ｇして、前記取り付は枠（９）の
交点位置間の距離（Ｐｘ）　、　（Ｐｙ）の半分に相当
する値（！４Ｐｘ、−Ｐｙ）を代入することにより求め
ることができる。

又、実際の車体中心（Ｔ＋’）における取り付は枠（９
）に対する車体の傾き（θｌ）は、上記式（ｉ）により
求められた傾き（θ）と同じである。

従って、車体を次のＨＥＰＡフィルター（３）の中心（
Ｔｚ）において前記取り付は枠（９）の延長方向に対し
て平行となる方向に向けて停止させるためには、前記各
角度（θ、）、（θ２）と２個のＨＥＰＡフィルター（
３）の中心（ＴＩ）、（Ｔｔ）間の距離すなわち取り付
は枠（９）の交点位置間の距離（Ｐｘ）から、下記式（
ｖ）、（ｖｉ）に基づいて、車体の実際の移動距離（’
ｓ’）並びに移動方向を求めて補正するのである。

車体を現在位置（Ｔｌ’）から次のＨＥＰＡフィルター
（３）の中心（ｒｇ）に向けて移動させるための手順に
ついて説明すれば、第７図に示すように、車体が現在位
置（Ｔ＋’）に位置する状態において、現在のＨＥＰＡ
フィルター（３）の中心（ＴＩ）に対してずれた角度（
θｌ）と次のＨＥＰＡフィルターの中心（Ｔ２）に対し
てずれた角度（θ２）とを加算した角度（θ１＋０２）
分を、前記左右の走行用モータ（Ｍｌ）　、　（Ｍｌ）
夫々のエンコーダ（ＰＥＡ）　。

ＣＰＥ％＞による検出回転数に基づいて、前記左右画定
行用モータ（Ｍｌ）　、　（ＭＳ）を逆転させることに
よりスピンターンさせて、車体の向きを、前記次のＨＥ
ＰＡフィルターの中心（Ｔり方向に向ける０次に、上記
式（ｉｖ　＞にて求めた距離（ｓ）分を前記エンコーダ
（Ｐｔ！＋）　、（Ｐｕｓ）による検出回転数に基づい
て直進させた後、前記ｈｉ）式にて求めた角度（θ２）
分をスピンターンさせることにより、次のＨＥＰＡフィ
ルターの中心（Ｔｘ）に対して傾き零の状態で、車体を
停止させるようにするのである。

但し、前記直交するスリット光（Ｂ１）　ｌ（Ｂｇ）が
前記取り付は枠（９）上をその長さ方向に向けて重なる
状態で投射される状態となるようなずれが生じた場合に
は、前記スリット光（Ｂｌ）、（Ｂりが前記取り付は枠
（９）を横切らないために、その途切れた部分（Ｂａ）
　、　（Ｂｂ）が生じない状態となって、移動車（Ａ）
の位置を検出できなくなる虞れがあるが、その場合には
、前記ＸＹテーブル（５）を設定量移動させたり、前記
ポール（６）を設定量回転させて、前記途切れた部分（
Ｂａ）　、　（Ｂｂ）の夫々が画面上に現れるようにし
た後、画面上の検出位置に対して、前記ＸＹテーブル（
５）の移動量や前記ボール（６）の回転量を補正するよ
うにすればよい。

又、クリーンルームの外周部に位置する取り付は枠（９
）の外側には、クリーンルームの壁が隣接しているため
に、前記イメージセンサ（７）をクリーンルームの外周
部に位置する取り付は枠（９）の交点位置下に移動させ
るべく、前記ＸＹテーブル（５）を平行移動させると、
このＸＹテーブル（５）の端部や前記スリット光投射器
（８）が壁に衝突する虞れがあることから、クリーン１
　　　　　ルームの外周部に位置する取り付は枠（９）
を撮像する際には、前記イメージセンサ（７）及びスリ
ット光投射器（８）を９０度回転させて、壁に衝突しな
いようにすると共に、撮像視野の座標を９０度回転させ
て画像処理することにより、同一処理で、位置ずれ（Ｘ
ｏ、ｙｏ）並びに傾き（θ）を検出することができる。

〔別実施例〕

上記実施例では、取り付は枠（９）に対する移動車（Ａ
）の傾き（θ）を求めるに、車体進行方向に対して前後
２箇所の取り付は枠（９）の交差箇所を撮像した画像情
報における両スリット光（ａｔ）、　（ａｘ）の途切れ
た部分（Ｂａ）　、　（Ｂｂ）夫々の位置の差から求め
るようにした場合を例示したが、一方の途切れた部分（
Ｂａ）　、　（Ｂｂ）のみの位置から求めることもでき
る。

すなわち、前記両スリット光（Ｂａ、　（Ｂｔ）が前記
取り付は枠（９）をその幅方向に向けて横切るように投
射されていることから、前記両スリット光（Ｂ＋）　、
　（Ｂｚ）の途切れた部分（Ｂａ）　、　（Ｂｂ）は、
前記取り付は枠（９）の交差箇所に対する位置ずれ量に
対応して、その位置が画像上を左右及び上下に移動する
ことになり、且つ、傾き（θ）に応じてそれらの長さが
異雇って見えることになる（第５図及び第６図参照）。

従って、前記傾き（θ）が零の状態（第５図参照）にお
ける前記途切れた部分（Ｂａ）　、　（Ｂｂ）の長さに
対する長さ変化量から前記傾き（θ）を求めることがで
きると共に、その求めた傾き（θ）と途切れた部分（Ｂ
ａ）　、　（Ｂｂ）の画像上の位置とから、前記取り付
は枠（９）の交差箇所の位置に対するずれを求めること
ができる。

又、上記実施例では、移動車を、クリーンルームの空気
浄化用フィルターのリークテストを行うための測定用の
移動車に構成した場合を例示したが、例えば、クリーン
ルーム内において、各種物品を搬送するための移動車に
構成してもよい。

ちなみに、本発明をクリーンルーム内において物品搬送
用の移動車を自動走行させる誘導設備に適用する場合、
例えば、搬送経路上に位置するフィルター（３）の取り
付は枠（９）の各交点位置の個数とその方向等を順次カ
ウントさせることにより、移動車（Ａ）を走行させるス
テーションに対する走行経路を形成することができる。

又、上記位置検出手段（１００）を、その検出情報に基
づいてステーションに対する移動車（Ａ）の停止位置等
を自動補正するための手段として用いることもできる。

又、移動車（Ａ）の各部の具体構成は、本発明を適用す
る移動車の構成に応じて各種変更できる。

尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にするた
めに符号を記すが、該記入により本発明は添付図面の構
造に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係る撮像式の位置検出装置の実施例を示
し、第１図は制御システムの全体構成を示すブロック図
、第２図は移動車の全体斜視図、第３図は同側面図、第
４図は同正面図、第５図は撮像画像の説明図、第６図は
車体と取り付は枠の位置関係を示す説明図、第７図は車
体の位置ずれ補正の説明図、第８図は移動車の移動経路
並びにプローブの走査経路を示す説明図、第９図は移動
車の全体的な動作を示すフローチャート、第１０図はリ
ークテスト時における取り付は枠に対するずれ検出作動
を示すフローチャートである。 （Ａ）・・・・・・移動車、（３）・・・・・・空気浄
化用フィルター、（７）・・・・・・描像手段、（８）
・・・・・・スリット光投射手段、（９）・・・・・・
格子状の枠、（Ｂｚ）　、　（Ｉｈ）・・・・・・直交
する二本のスリット光、（Ｉｌａ）　、　（Ｂｂ）・・
・・・・スリット光の途切れた部分、（１００）・・・
・・・位置検出手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 天井側に設置される格子状の枠（９）に対する移動車（
   Ａ）の位置を検出する撮像式の位置検出装置であって、
   直交する二本のスリット光（Ｂ＿１）、（Ｂ＿２）を、
   その交点が前記枠（９）の交差箇所から離れた箇所に向
   かう状態で投射するスリット光投射手段（８）、前記両
   スリット光（Ｂ＿１）、（Ｂ＿２）夫々の投射方向とは
   異なる方向から前記枠（９）のスリット光投射箇所を撮
   像する撮像手段（７）、その撮像手段（７）の撮像画像
   情報に基づいて、前記両スリット光（Ｂ＿１）、（Ｂ＿
   ２）夫々における途切れた部分（Ｂａ）、（Ｂｂ）を抽
   出して、その抽出された部分（Ｂａ）、（Ｂｂ）に対す
   る前記移動車（Ａ）の位置を求める位置検出手段（１０
   ０）の夫々を、前記移動車（Ａ）に備えさせてある撮像
   式の位置検出装置。