JPS632637A - Ｘｙステ−ジ - Google Patents
Ｘｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS632637A JPS632637A JP61144082A JP14408286A JPS632637A JP S632637 A JPS632637 A JP S632637A JP 61144082 A JP61144082 A JP 61144082A JP 14408286 A JP14408286 A JP 14408286A JP S632637 A JPS632637 A JP S632637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- stage
- guide
- axis
- guides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は精密工作機、ロボット、精密測定機、半導体
製造装置等に適用し、精密な位置決めを行う移動テーブ
ル装置、所謂ＸＹステージに関する。
製造装置等に適用し、精密な位置決めを行う移動テーブ
ル装置、所謂ＸＹステージに関する。
〈従来の技術〉
従来この種ＸＹステージは、第３図に示す如く、定盤６
上にＸ軸方向、Ｙ軸方向にに往復動するＸ軸可動ガイド
７ａ、Ｙ軸可動ガイド７ｂを立体交叉して配備し、その
交叉部に自在ステージ８を移動自在に支持している。こ
の自在ステージ８には、上下に位置をずらせて直交する
案内溝８４．８５を形成し、これにＸ軸可動ガイド７ａ
、Ｙ軸可動ガイド７ｂを軸受機構を介して摺動自在に軸
承し、斯るステージ８のテーブル上にＬ形ミラー、ウェ
ハステージ９等を搭載している。
上にＸ軸方向、Ｙ軸方向にに往復動するＸ軸可動ガイド
７ａ、Ｙ軸可動ガイド７ｂを立体交叉して配備し、その
交叉部に自在ステージ８を移動自在に支持している。こ
の自在ステージ８には、上下に位置をずらせて直交する
案内溝８４．８５を形成し、これにＸ軸可動ガイド７ａ
、Ｙ軸可動ガイド７ｂを軸受機構を介して摺動自在に軸
承し、斯るステージ８のテーブル上にＬ形ミラー、ウェ
ハステージ９等を搭載している。
ところが、前記自在ステージ８は、第４図に示す如くス
テージベース８１の上下隅部に、可動ガイド幅に適合す
る間隔を設けて軸受パッド８２．８２ａを配設し、上部
軸受パッド８２の上面にステージプレート８３を取付け
て組立てられ、ステージベース８１と下部軸受パッド８
２ａ、およびステージベース８１と上部軸受パッド８２
とステージプレート８３によって、ＸＹ可動ガイドの案
内溝８４．８５を構成している。
テージベース８１の上下隅部に、可動ガイド幅に適合す
る間隔を設けて軸受パッド８２．８２ａを配設し、上部
軸受パッド８２の上面にステージプレート８３を取付け
て組立てられ、ステージベース８１と下部軸受パッド８
２ａ、およびステージベース８１と上部軸受パッド８２
とステージプレート８３によって、ＸＹ可動ガイドの案
内溝８４．８５を構成している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
斯る従来のＸＹステージは、自在ステージ８の構成部品
が多り、組立作業および調整作業に手数を要す、特に、
ＸＹ可動ガイド７ａ、７ｂとステージ８間に構成する空
気軸受＆２．８２ａの相対位置関係を高精度に組立てる
ことは困難で、これがステージ８の走り特性を悪化させ
る大きな原因をなしている。
が多り、組立作業および調整作業に手数を要す、特に、
ＸＹ可動ガイド７ａ、７ｂとステージ８間に構成する空
気軸受＆２．８２ａの相対位置関係を高精度に組立てる
ことは困難で、これがステージ８の走り特性を悪化させ
る大きな原因をなしている。
また、かかる構造の自在ステージａは、締結部分が多い
ため、緩み等の問題があり、従って、長期に亘り精度を
維持することが困難である。
ため、緩み等の問題があり、従って、長期に亘り精度を
維持することが困難である。
そこで、この発明は、自在ステージを角筒体となして各
側面に軸受面を一体構成することにより、ステージの組
立作業、調整作業の簡略化および自在ステージの走り特
性の向上を実現した新規なＸＹステージを提供すること
を目的とする。
側面に軸受面を一体構成することにより、ステージの組
立作業、調整作業の簡略化および自在ステージの走り特
性の向上を実現した新規なＸＹステージを提供すること
を目的とする。
く問題点を解決するだめの手段〉
上記目的を達成するための本発明の手段を、第１図〜第
２図に示す実施例を用いて説明する。
２図に示す実施例を用いて説明する。
この発明の実施例では、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に往復
動する可動ガイド２．３の交叉部に自在ステージ４を軸
承配備したｘＹステージにおいて、自在ステージ４は、
角筒体４１の各側面に互いに平行な軸承面４２．４３を
形成し、Ｘ軸可動ガイド２、およびＹ軸可動ガイド３は
、それぞれ一対の真直ガイド部材２１．３１を角筒体４
１に合わせて平行配備し、内側面に自在ステージ４の軸
受面４２．４３を軸承する軸受案内面２３．３３を形成
してなるものである。
動する可動ガイド２．３の交叉部に自在ステージ４を軸
承配備したｘＹステージにおいて、自在ステージ４は、
角筒体４１の各側面に互いに平行な軸承面４２．４３を
形成し、Ｘ軸可動ガイド２、およびＹ軸可動ガイド３は
、それぞれ一対の真直ガイド部材２１．３１を角筒体４
１に合わせて平行配備し、内側面に自在ステージ４の軸
受面４２．４３を軸承する軸受案内面２３．３３を形成
してなるものである。
く作用〉
上記の構成によると、この発明では、自在ステージ４を
なす角筒体４１の４側面に軸受面４２．４２．４３，４
３、ＸＹ可動ガイド２゜３をなす平行な真直ガイド部材
２１．３１の内側面に、角筒体４１の軸受面４２．４３
を軸承する軸受案内面２３．３３を形成したため、自在
ステージ４に複数の軸受パッドを取付ける取立て作業、
調整作業が不要となり、生産性および保守性を向上し得
ると共に、経時変化による組立て精度の悪化問題を解消
できる。
なす角筒体４１の４側面に軸受面４２．４２．４３，４
３、ＸＹ可動ガイド２゜３をなす平行な真直ガイド部材
２１．３１の内側面に、角筒体４１の軸受面４２．４３
を軸承する軸受案内面２３．３３を形成したため、自在
ステージ４に複数の軸受パッドを取付ける取立て作業、
調整作業が不要となり、生産性および保守性を向上し得
ると共に、経時変化による組立て精度の悪化問題を解消
できる。
また、自在ステージをなす角筒体４１の内部に、ウェハ
ステージ機構等を収めることにより、装置全体の高さが
低くなり且つ重心位置が下がってステージ４の走り特性
が大幅に向上する等、性能上の効果をも奏する。
ステージ機構等を収めることにより、装置全体の高さが
低くなり且つ重心位置が下がってステージ４の走り特性
が大幅に向上する等、性能上の効果をも奏する。
〈実施例〉
第１図はこの発明の一実施例にがかるＸＹステージの平
面図を示す。
面図を示す。
該実施例のＸＹステージは、上面に平坦な摺動面１１を
形成した定盤１の周辺に、互いに平行したＸ軸ガイド１
２．１２ａおよびＹ軸ガイド１３．１３ａが配設され、
対向するガイド間にＸ軸可動ガイド２、Ｙ軸可動ガイド
３を往復動可能に支持し、ＸＹ可動ガイド２，３の交叉
部に自在ステージ４を軸承配備している。
形成した定盤１の周辺に、互いに平行したＸ軸ガイド１
２．１２ａおよびＹ軸ガイド１３．１３ａが配設され、
対向するガイド間にＸ軸可動ガイド２、Ｙ軸可動ガイド
３を往復動可能に支持し、ＸＹ可動ガイド２，３の交叉
部に自在ステージ４を軸承配備している。
ＸＹ可動ガイド２，３は、各々対向面に軸受案内面２３
．３３を形成した一対の真直ガイド部材２１．３１をス
テージ４に応じて適当間隔に平行させ、両端を連結部材
２２．３２にて一体結合して構成する。
．３３を形成した一対の真直ガイド部材２１．３１をス
テージ４に応じて適当間隔に平行させ、両端を連結部材
２２．３２にて一体結合して構成する。
ＸＹ可動ガイド２．３の両端部は、それぞれ軸受１４を
介して対応するＸ軸ガイド１２゜Ｌ２ａ、Ｙ軸ガイド１
３．１３ａに摺動可能に支持すると共に、各ガイドに配
設した往復駆動装置５の移動子５１に連結して、Ｘ軸方
向およびＹ軸方向に往復動する。
介して対応するＸ軸ガイド１２゜Ｌ２ａ、Ｙ軸ガイド１
３．１３ａに摺動可能に支持すると共に、各ガイドに配
設した往復駆動装置５の移動子５１に連結して、Ｘ軸方
向およびＹ軸方向に往復動する。
自在ステージ４は本発明の特徴をなすもので、軸受材料
を以てなす角筒体４１の終横両側面に平坦な軸受面４２
．４３を形成し、各軸受面４２．４３をＸＹ可動ガイド
２．３をなす真直ガイド部材２Ｌ３Ｌの軸受案内面２３
．３３に直接軸承してなるものである。実施に際しては
、角筒体４１を任意の材料にて構成し、各軸受面４２．
’４３および真直ガイド部材２１．３１の軸受案内面２
３．３３の両方、または、何れか一方に摺動性のよい軸
受材料からなる軸受板を貼設し、或いは又、軸受面４２
．４３を軸受案内面２３．３３との間に空気軸受を構成
するも可い。この場合、角筒体４１の各軸受面４２゜４
３に対し、軸受案内面２３．３３に対応して複数の空気
噴出孔を穿設し、各噴出孔を通気導孔を介して圧力空気
源に接続することにより達成できる。
を以てなす角筒体４１の終横両側面に平坦な軸受面４２
．４３を形成し、各軸受面４２．４３をＸＹ可動ガイド
２．３をなす真直ガイド部材２Ｌ３Ｌの軸受案内面２３
．３３に直接軸承してなるものである。実施に際しては
、角筒体４１を任意の材料にて構成し、各軸受面４２．
’４３および真直ガイド部材２１．３１の軸受案内面２
３．３３の両方、または、何れか一方に摺動性のよい軸
受材料からなる軸受板を貼設し、或いは又、軸受面４２
．４３を軸受案内面２３．３３との間に空気軸受を構成
するも可い。この場合、角筒体４１の各軸受面４２゜４
３に対し、軸受案内面２３．３３に対応して複数の空気
噴出孔を穿設し、各噴出孔を通気導孔を介して圧力空気
源に接続することにより達成できる。
尚、自在ステージをなす角筒体４１には、内部にウェハ
駆動機構４４が組込まれ、上部にＬ形ミラー５を配備し
て、自在ステージ４の高さを下げ、重心位置を低下させ
ている。
駆動機構４４が組込まれ、上部にＬ形ミラー５を配備し
て、自在ステージ４の高さを下げ、重心位置を低下させ
ている。
〈発明の効果〉
本発明は上記の如く、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に往復動
する可動ガイド２．３の交叉部ニ自在ステージ４を配備
したＸＹステージにおいて、自在ステージ４は角筒体４
１の各側面に軸受面４２．４３を形成し、ＸＹ可動ガイ
ド２．３は、それぞれ一対の真直ガイド部材２１．３１
を角筒体４１に合わせて平行配備し、内側面に軸受案内
面２３．３３を形成して角筒体４１の軸受面４２．４３
を直接軸承したから、自在ステージ４の組立て調整が不
要となり、生産性および保守性を向上できると共に、経
時変化による組立て精度の悪化問題を解消し得る。しか
も、角筒体４１の内部にウェハステージ機構４４を収め
て装置高さを低下させ、低重心化を達成でき、これによ
り、自在ステージ４の走り特性が大幅に向上する等、構
成簡易にして所期の目的を達成した効果を有す。
する可動ガイド２．３の交叉部ニ自在ステージ４を配備
したＸＹステージにおいて、自在ステージ４は角筒体４
１の各側面に軸受面４２．４３を形成し、ＸＹ可動ガイ
ド２．３は、それぞれ一対の真直ガイド部材２１．３１
を角筒体４１に合わせて平行配備し、内側面に軸受案内
面２３．３３を形成して角筒体４１の軸受面４２．４３
を直接軸承したから、自在ステージ４の組立て調整が不
要となり、生産性および保守性を向上できると共に、経
時変化による組立て精度の悪化問題を解消し得る。しか
も、角筒体４１の内部にウェハステージ機構４４を収め
て装置高さを低下させ、低重心化を達成でき、これによ
り、自在ステージ４の走り特性が大幅に向上する等、構
成簡易にして所期の目的を達成した効果を有す。
第１図はこの発明にがかるＸＹステージの一実施例を示
す平面図、第２図は自在ステージ部分の拡大斜視図、第
３図は従来例の平面図、第４図は従来例の自在ステージ
部分の拡大斜視図である。 ２・・・・Ｘ軸可動ガイド ２１・・・・真直ガイド部材 ２３・・・・軸受案内面 ３・・・・Ｙ軸可動ガイド ３１・・・・真直ガイド部材 ３３・・・・軸受案内面 ４・・・・自在ステージ ４１・・・・角筒体 ４２、４３・・・・軸受面
す平面図、第２図は自在ステージ部分の拡大斜視図、第
３図は従来例の平面図、第４図は従来例の自在ステージ
部分の拡大斜視図である。 ２・・・・Ｘ軸可動ガイド ２１・・・・真直ガイド部材 ２３・・・・軸受案内面 ３・・・・Ｙ軸可動ガイド ３１・・・・真直ガイド部材 ３３・・・・軸受案内面 ４・・・・自在ステージ ４１・・・・角筒体 ４２、４３・・・・軸受面
Claims (4)
- （１）Ｘ軸方向およびＹ軸方向に往復動する可動ガイド
の交叉部に自在ステージを軸承配備したＸＹステージに
おいて、自在ステージは角筒体の４側面に軸受面を形成
し、Ｘ軸可動ガイドおよびＹ軸可動ガイドは、それぞれ
一対の真直ガイド部材を角筒体に合わせて平行配備し、
各ガイド部材の内側面に角筒体の軸受面を軸承する軸受
案内面を形成して成るＸＹステージ。 - （２）角筒体が軸受材料である特許請求の範囲第１項記
載のＸＹステージ。 - （３）角筒体の軸受面および真直ガイド部材の軸受案内
面の少なくとも一方に、軸受材料からなる軸受板が貼設
されている特許請求の範囲第１項記載のＸＹステージ。 - （４）角筒体の軸受面には、空気軸受を構成する空気噴
出孔が穿設され、空気噴出孔は圧力空気源に連通されて
いる特許請求の範囲第１項記載のＸＹステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61144082A JPS632637A (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | Ｘｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61144082A JPS632637A (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | Ｘｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS632637A true JPS632637A (ja) | 1988-01-07 |
Family
ID=15353829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61144082A Pending JPS632637A (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | Ｘｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS632637A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2661346A1 (fr) * | 1990-04-27 | 1991-10-31 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Table mobile a blocs et platine, en particulier pour machine outil. |
| JP2011235971A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-24 | Hirata Corp | 移動装置および移動方法 |
-
1986
- 1986-06-19 JP JP61144082A patent/JPS632637A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2661346A1 (fr) * | 1990-04-27 | 1991-10-31 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Table mobile a blocs et platine, en particulier pour machine outil. |
| US5309847A (en) * | 1990-04-27 | 1994-05-10 | Ntn Corporation | Adjustably movable work table |
| JP2011235971A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-24 | Hirata Corp | 移動装置および移動方法 |
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