JPS6326403A - 静圧非接触形シリンダ装置 - Google Patents
静圧非接触形シリンダ装置Info
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- JPS6326403A JPS6326403A JP16960086A JP16960086A JPS6326403A JP S6326403 A JPS6326403 A JP S6326403A JP 16960086 A JP16960086 A JP 16960086A JP 16960086 A JP16960086 A JP 16960086A JP S6326403 A JPS6326403 A JP S6326403A
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Landscapes
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、例えば平面研削盤等の低速テーブル送り用油
圧駆動装置に用いられるシリンダ装置、４９′／Ｃ静圧
流体膜によってピストンとシリンダを非接触状態で作動
せしめるようにした静圧非接触形シリンダ装置に関する
。
圧駆動装置に用いられるシリンダ装置、４９′／Ｃ静圧
流体膜によってピストンとシリンダを非接触状態で作動
せしめるようにした静圧非接触形シリンダ装置に関する
。
（従来技術）
工作機械のテーブル送り用シリンダ装置は、通常シリン
ダをテーブル裏側に固着し、ピストンロッドをベッドて
固定し、シリンダ内に導入された作動油によってピスト
ンて対しシリンダをテーブルと共に往復移動させるよう
構成されている。従来のこの種の油圧シリンダ装置では
、作動油をシリンダ室内に封止するためにピストンヘッ
ドの外周面とシリンダ内壁との間、およびピストンロッ
ドとシリンダ端部のピストンロッド挿入穴部との間に０
１Ｊング、パツキンその他のシール装置ヲ設けている。
ダをテーブル裏側に固着し、ピストンロッドをベッドて
固定し、シリンダ内に導入された作動油によってピスト
ンて対しシリンダをテーブルと共に往復移動させるよう
構成されている。従来のこの種の油圧シリンダ装置では
、作動油をシリンダ室内に封止するためにピストンヘッ
ドの外周面とシリンダ内壁との間、およびピストンロッ
ドとシリンダ端部のピストンロッド挿入穴部との間に０
１Ｊング、パツキンその他のシール装置ヲ設けている。
この場合、ピストンヘッドとシリンダ内壁は密着して相
対的に摺動する。
対的に摺動する。
（発明が解決しようとする問題点）
上述した従来のシリンダ装置ではシリンダとピストンと
が直接あるいはパツキン等のシールＲｆを介して摺動接
触するので、送り動作がスムーズにいかない場合があり
、％て低速送りの場合にはスティックスリップと称する
詰り送り現象が生ずる。ｉた高速送りの場合は、摺動部
とシール装置間の摺動摩擦抵抗による発熱が生じ、シー
ル装置を劣化させるとともに本体の熱変位によって精度
が阻害される。摺動部の摩耗があるため補修が必要とな
る等の欠点があった。またシールレスシリンダのように
シール装ｆを不要としたものもあるが、この場合は、高
速で送り方向を反転したときサージ正によりピストンと
シリンダが衝突する念め、高速反転動作をするものＶＣ
は適さず、またストロークの長いものには不向きである
などの欠点があった。
が直接あるいはパツキン等のシールＲｆを介して摺動接
触するので、送り動作がスムーズにいかない場合があり
、％て低速送りの場合にはスティックスリップと称する
詰り送り現象が生ずる。ｉた高速送りの場合は、摺動部
とシール装置間の摺動摩擦抵抗による発熱が生じ、シー
ル装置を劣化させるとともに本体の熱変位によって精度
が阻害される。摺動部の摩耗があるため補修が必要とな
る等の欠点があった。またシールレスシリンダのように
シール装ｆを不要としたものもあるが、この場合は、高
速で送り方向を反転したときサージ正によりピストンと
シリンダが衝突する念め、高速反転動作をするものＶＣ
は適さず、またストロークの長いものには不向きである
などの欠点があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明による静圧非接触形シリンダ装置は、ピストンヘ
ッドとシリンダ内壁の間およびピストンロッドとシリン
ダ端部のピストンロッド挿通穴の間に極少の隙間および
絞り部をもっ静圧ポケット部を形成し、前記ピストンヘ
ッド内に前記静圧ポケット部に連通ずる静圧油供給管路
を設け、さらに前記静圧ポケット部に導入される静圧油
をシリンダ装置作動油の圧力より高くして前記隙間がら
流出せしめ、これによって前記隙間て静圧油膜を形成す
るようにしたものである。
ッドとシリンダ内壁の間およびピストンロッドとシリン
ダ端部のピストンロッド挿通穴の間に極少の隙間および
絞り部をもっ静圧ポケット部を形成し、前記ピストンヘ
ッド内に前記静圧ポケット部に連通ずる静圧油供給管路
を設け、さらに前記静圧ポケット部に導入される静圧油
をシリンダ装置作動油の圧力より高くして前記隙間がら
流出せしめ、これによって前記隙間て静圧油膜を形成す
るようにしたものである。
（実施例５
次に１本発明を図面を参照しながら実施例について説明
する。
する。
第１図は本発明の実施例に係る静圧非接触形シリンダ装
置の部分的な縦断面図であり、第２図は第１図の■−■
線に沿う横断面図、第３図は同じく第１図のＩ−■線に
沿った横断面図である。また第４図は本発明に係るシリ
ンダ装置を平面研削盤のテーブル送り駆動部に用いた場
合の全体側面図である。第４図を参照すれば、平面研削
盤の本体（ベッド）２上を往復摺動する加工テーブル１
の裏側にブラケット４を介して不発明に係るシリンダ３
が１両端および中央部の３個所で固着されている。先端
にピストンヘッドを有する一対のピストンロッド６．６
′がシリンダ両端から挿入され、かつ各ピストンロッド
６．６′の後端が作動油供給路９ａ（第１図）をもつフ
ート部材９．９′に固着されている。フート部材９，９
′はベッド２ＹＣ固定されかつ図示しない作動油供給源
に連絡されている。後述する如くピストンロッド６．６
′は中空に形成され、この中空部に静圧油供給パイプ７
．７′が挿入されている。第４図で作動油の圧油が一方
（入側）のフート部材９から中空のピストンロッド６を
通してシリンダ室内で導入されるときは、他方（Ｂ側）
のフート部材９′から背圧の作動油が排出され、これに
よってシリンダ３、したがってテーブル１は同図の矢印
方向へ送られる。圧油の作動油と背圧油の流れ方向を逆
にすればシリンダ３の移動方向は逆になる。
置の部分的な縦断面図であり、第２図は第１図の■−■
線に沿う横断面図、第３図は同じく第１図のＩ−■線に
沿った横断面図である。また第４図は本発明に係るシリ
ンダ装置を平面研削盤のテーブル送り駆動部に用いた場
合の全体側面図である。第４図を参照すれば、平面研削
盤の本体（ベッド）２上を往復摺動する加工テーブル１
の裏側にブラケット４を介して不発明に係るシリンダ３
が１両端および中央部の３個所で固着されている。先端
にピストンヘッドを有する一対のピストンロッド６．６
′がシリンダ両端から挿入され、かつ各ピストンロッド
６．６′の後端が作動油供給路９ａ（第１図）をもつフ
ート部材９．９′に固着されている。フート部材９，９
′はベッド２ＹＣ固定されかつ図示しない作動油供給源
に連絡されている。後述する如くピストンロッド６．６
′は中空に形成され、この中空部に静圧油供給パイプ７
．７′が挿入されている。第４図で作動油の圧油が一方
（入側）のフート部材９から中空のピストンロッド６を
通してシリンダ室内で導入されるときは、他方（Ｂ側）
のフート部材９′から背圧の作動油が排出され、これに
よってシリンダ３、したがってテーブル１は同図の矢印
方向へ送られる。圧油の作動油と背圧油の流れ方向を逆
にすればシリンダ３の移動方向は逆になる。
第１図および第２図、第３図を参照してシリンダの内部
構造を詳細に説明する。中空のピストンロッド６の先端
に固着されたピストンヘッド５には、流体通路１７およ
び該通路１７からヘッド外周部まで放射方向にのびる複
数本の１図示実施例でＶｉ４Ｘの絞り通路１２が形成さ
れ、またヘッド外周部に前記絞り通路１２が開口する静
圧ポケット１１が周方向に４個形成されている。静圧ポ
ケット１１以外のピストンヘッド外周部はシリンダ内壁
に対してわずかな隙間（ピストンヘッド隙間）１８を有
する。
構造を詳細に説明する。中空のピストンロッド６の先端
に固着されたピストンヘッド５には、流体通路１７およ
び該通路１７からヘッド外周部まで放射方向にのびる複
数本の１図示実施例でＶｉ４Ｘの絞り通路１２が形成さ
れ、またヘッド外周部に前記絞り通路１２が開口する静
圧ポケット１１が周方向に４個形成されている。静圧ポ
ケット１１以外のピストンヘッド外周部はシリンダ内壁
に対してわずかな隙間（ピストンヘッド隙間）１８を有
する。
−ｙ−ｔ一部材９ｙｃ保持されかつピストンロッド６の
中空部にのびる静圧油供給バイブ７はピストンヘッド５
の流体通路１７に連結される。ピストンロッド６の先端
近くの外周部には該ロッドの中空部とシリンダ室１６と
ｔ連通する連通穴１０が周方向に複数個設けられている
。
中空部にのびる静圧油供給バイブ７はピストンヘッド５
の流体通路１７に連結される。ピストンロッド６の先端
近くの外周部には該ロッドの中空部とシリンダ室１６と
ｔ連通する連通穴１０が周方向に複数個設けられている
。
シリンダ３の各端部′／ｃはシリンダエンドブツシュ８
が固着され、該ブツシュによりピストンロッド挿通穴が
構成される。シリンダエンドブツシュ８の内周部はピス
トンロッド６に対してわずかな隙間（ブツシュ隙間）２
１を有するように内径が定められ、また該内周部のほぼ
中間位置で複数個の、図示実施例では第３図に示すよっ
て周方向に４個の静圧ポケット１４が形成されている。
が固着され、該ブツシュによりピストンロッド挿通穴が
構成される。シリンダエンドブツシュ８の内周部はピス
トンロッド６に対してわずかな隙間（ブツシュ隙間）２
１を有するように内径が定められ、また該内周部のほぼ
中間位置で複数個の、図示実施例では第３図に示すよっ
て周方向に４個の静圧ポケット１４が形成されている。
さらに前記ブツシュ８ＹＣは各静圧ポケット１４とシリ
ンダ室１６とを連通ずる放射方向にのびた絞り通路１５
が形成されている。シリンダ３の軸方向中央位置にはピ
ストンヘッド５の靜圧ポケット１１から前記ピストンヘ
ッド隙間１８を経て排出された静圧油の排出口１３が設
けられている。
ンダ室１６とを連通ずる放射方向にのびた絞り通路１５
が形成されている。シリンダ３の軸方向中央位置にはピ
ストンヘッド５の靜圧ポケット１１から前記ピストンヘ
ッド隙間１８を経て排出された静圧油の排出口１３が設
けられている。
以上はシリンダ３の中央から片側の構造について説明し
たが、他方の片側についても同様である。
たが、他方の片側についても同様である。
このような構成で、一方のフート部材９の作動油供給路
９ａから圧油をピストンロッド６の中空部へ、さらに連
通穴１０から一万のシリンダ室１６内へ、矢印Ａの如く
供給し、他方のシリンダ室１６′の背圧油を他方のピス
トンロッド６′の連通穴１０′からピストンロッド中空
部を通して矢印Ｂの如く送出し、他方の７ツト部材（第
１図には図示省略）から排出すると、第４図でも述べた
ようにシリンダ３ ｉｊ ？ｎｌ記一方のフート部材９
側へ移動する。このとき同時に両側の静圧油供給パイプ
７゜７′から前記作動油の油圧よりも高圧の静圧油を矢
印Ｃの如く供給する。静圧油はピストンヘッド５゜５′
の絞り通路１２ 、１２’で負荷能力を有して静圧ポケ
ット１１．１１’ｌＣ圧入され、ピストンヘッド外周の
極少隙間１８ 、１８’で油膜剛性をもたらし、さらに
両側のシリンダ室１６ 、１６’へ流れ込む。
９ａから圧油をピストンロッド６の中空部へ、さらに連
通穴１０から一万のシリンダ室１６内へ、矢印Ａの如く
供給し、他方のシリンダ室１６′の背圧油を他方のピス
トンロッド６′の連通穴１０′からピストンロッド中空
部を通して矢印Ｂの如く送出し、他方の７ツト部材（第
１図には図示省略）から排出すると、第４図でも述べた
ようにシリンダ３ ｉｊ ？ｎｌ記一方のフート部材９
側へ移動する。このとき同時に両側の静圧油供給パイプ
７゜７′から前記作動油の油圧よりも高圧の静圧油を矢
印Ｃの如く供給する。静圧油はピストンヘッド５゜５′
の絞り通路１２ 、１２’で負荷能力を有して静圧ポケ
ット１１．１１’ｌＣ圧入され、ピストンヘッド外周の
極少隙間１８ 、１８’で油膜剛性をもたらし、さらに
両側のシリンダ室１６ 、１６’へ流れ込む。
シリンダ端部ておいては作動油およびピストンヘッドの
前記隙間から流入した静圧油がシリンダエンドブツシュ
８の絞り通路１５ｆ！：通ってブツシュ側の静圧ポケッ
ト１４に圧入され、ピストンロッド６とブツシュ８の極
少隙間２１で油膜剛性をもたらす。シリンダの背圧油側
のブツシュ部分でも同様である。シリンダ内の静圧油お
よび作動油（圧油）、背圧油は最後にシリンダエンドブ
ツシュの前記隙間から外部へ漏れ出るが、前記隙間が任
意の半径方向にかたよると、隙間の大きい側のポケット
圧力が低下し、隙間の小さい側のポケット圧力が増大し
、こｆｌｌｃよって自己補正作用を発揮してピストンヘ
ッドおよびピストンロッドをシリンダおよびシリンダエ
ンドブツシュと同芯位置にもたらし、ピストンヘッドお
よびロッドはシリンダおよびブツシュとの金属接触を起
すことなく非接触支持がなされる。なお、排出口１３お
よびシリンダ両端から流れ出た油はシリンダ下側の油受
で回収される。
前記隙間から流入した静圧油がシリンダエンドブツシュ
８の絞り通路１５ｆ！：通ってブツシュ側の静圧ポケッ
ト１４に圧入され、ピストンロッド６とブツシュ８の極
少隙間２１で油膜剛性をもたらす。シリンダの背圧油側
のブツシュ部分でも同様である。シリンダ内の静圧油お
よび作動油（圧油）、背圧油は最後にシリンダエンドブ
ツシュの前記隙間から外部へ漏れ出るが、前記隙間が任
意の半径方向にかたよると、隙間の大きい側のポケット
圧力が低下し、隙間の小さい側のポケット圧力が増大し
、こｆｌｌｃよって自己補正作用を発揮してピストンヘ
ッドおよびピストンロッドをシリンダおよびシリンダエ
ンドブツシュと同芯位置にもたらし、ピストンヘッドお
よびロッドはシリンダおよびブツシュとの金属接触を起
すことなく非接触支持がなされる。なお、排出口１３お
よびシリンダ両端から流れ出た油はシリンダ下側の油受
で回収される。
上述の実施例ではピストンが固定され、シリンダ側か移
動する場合九ついて述べたが、これを逆にしてシリンダ
をペッドて固定し、ピストンを移動テーブルに連結する
ように構成することもできる。
動する場合九ついて述べたが、これを逆にしてシリンダ
をペッドて固定し、ピストンを移動テーブルに連結する
ように構成することもできる。
（発明の効果）
以上説明したように本発明によれば、ピストンヘッドと
シリンダ内壁間およびピストンロッドとシリンダ端部の
ロンド挿通穴の間に静圧ポケットおよび絞り部を設けて
ピストンを非接触で支持するよってしたので、低速作動
でもスティックスリップ現象が起らず、低速可能範囲が
拡大し、高速作動においても摩擦接触による発熱、摩耗
の問題が発生せず、保守上も有利で高精度が維持できる
等の効果がある。
シリンダ内壁間およびピストンロッドとシリンダ端部の
ロンド挿通穴の間に静圧ポケットおよび絞り部を設けて
ピストンを非接触で支持するよってしたので、低速作動
でもスティックスリップ現象が起らず、低速可能範囲が
拡大し、高速作動においても摩擦接触による発熱、摩耗
の問題が発生せず、保守上も有利で高精度が維持できる
等の効果がある。
第１図は本発明の実施例に係る静圧非接触形シリンダ装
置の部分的な縦断面図、第２図は第１図の［［−１１線
に沿った横断面図、第３図は第１図のＩ−１線′Ｆ−沿
った横断面図、第４図は本発明を平面研削盤のテーブル
駆＠機構に適用した実施例の全体側面図である。 ３・・・シリンダ％ ５，５′・・−ピストンヘッ
ド、６．６′・・・ピストンロッド、 ７．７′・・・静圧油供給パイプ、 ８・・・シリンダエンドブツシュ、 ９．９′・・・７一ト部材、 １０ 、１０’・・・連
通穴、１１ 、１１’・・・ピストンヘッド側静圧ポケ
ット、１２．１２’、１５・・・絞り通路、 １３・・・排出穴。 １４・・・シリンダ端部側静圧ポケット。 １６ 、 ｌ ６’・・・シリンダ室、１８ 、１８’
、 ２１・・・隙間。 復代理人 弁理士 染川利吉 第２図
置の部分的な縦断面図、第２図は第１図の［［−１１線
に沿った横断面図、第３図は第１図のＩ−１線′Ｆ−沿
った横断面図、第４図は本発明を平面研削盤のテーブル
駆＠機構に適用した実施例の全体側面図である。 ３・・・シリンダ％ ５，５′・・−ピストンヘッ
ド、６．６′・・・ピストンロッド、 ７．７′・・・静圧油供給パイプ、 ８・・・シリンダエンドブツシュ、 ９．９′・・・７一ト部材、 １０ 、１０’・・・連
通穴、１１ 、１１’・・・ピストンヘッド側静圧ポケ
ット、１２．１２’、１５・・・絞り通路、 １３・・・排出穴。 １４・・・シリンダ端部側静圧ポケット。 １６ 、 ｌ ６’・・・シリンダ室、１８ 、１８’
、 ２１・・・隙間。 復代理人 弁理士 染川利吉 第２図
Claims (1)
- ピストンヘッドとシリンダ内壁の間およびピストンロッ
ドとシリンダ端部のピストンロッド挿通穴の間に極少の
隙間および絞り部をもつ静圧ポケット部を形成し、前記
ピストンロッド内に前記静圧ポケット部に連通する静圧
油供給管路を設け、さらに前記静圧ポケット部に導入さ
れる静圧油をシリンダ装置作動油の圧力より高くして前
記隙間から流出せしめ、これによつて前記隙間に静圧油
膜を形成することを特徴とする静圧非接触形シリンダ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16960086A JPS6326403A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 静圧非接触形シリンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16960086A JPS6326403A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 静圧非接触形シリンダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326403A true JPS6326403A (ja) | 1988-02-04 |
Family
ID=15889497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16960086A Pending JPS6326403A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 静圧非接触形シリンダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6326403A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH025602U (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-16 | ||
| JPH05138469A (ja) * | 1991-09-23 | 1993-06-01 | Takeshi Yanagisawa | ２次元運動機構 |
| JPH061808U (ja) * | 1992-06-17 | 1994-01-14 | 三立精機株式会社 | 低摩擦型シリンダ |
| WO2005011942A3 (en) * | 2003-07-29 | 2005-04-21 | Haberman Machine | Concrete block mold with moveable liner |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4951468A (ja) * | 1972-09-25 | 1974-05-18 |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP16960086A patent/JPS6326403A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4951468A (ja) * | 1972-09-25 | 1974-05-18 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH025602U (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-16 | ||
| JPH05138469A (ja) * | 1991-09-23 | 1993-06-01 | Takeshi Yanagisawa | ２次元運動機構 |
| JPH061808U (ja) * | 1992-06-17 | 1994-01-14 | 三立精機株式会社 | 低摩擦型シリンダ |
| WO2005011942A3 (en) * | 2003-07-29 | 2005-04-21 | Haberman Machine | Concrete block mold with moveable liner |
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