JPS63264726A - 液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、映像やアルファニエーメリソクな表示を行う
液晶表示パネルに関する中で、特に大面積で表示容量の
大きい液晶表示パネルの製造法を提供するものである。

従来の技術 近年、液晶表示パネルは、時計・電卓等の比較的小型で
表示容量の小さいものから、ポータプルコンピューター
やワードプロセッサなどのＯＡ機器端末あるいはカラー
テレビなどの表示容量の大きいもの、さらには画面サイ
ズの大きなものへと発展している。

従来、これらの液晶表示パネルにおいて、配向膜を形成
する手段として、スピンコードによる方法や、印刷法な
どが知られている。以下この２つの方法について説明す
る。

スピンコード法は、円盤状の回転体の上に基板を置き、
真空ポンプにより基板を回転体に吸引して固定させ、配
向剤を基板上−面に滴下させた後、数千ｒｐｍで数分基
板を回転し、配向膜を形成する方法である。この方法は
、配向膜が比較的薄く（数百オングストローム程度）、
表面平滑性に優れているので、液晶表示パネルとしての
電気的特性の配向膜による低下が少な（てすむという利
点がある。

次に印刷法は、所定の形状の樹脂凸版蛛どをもちいて、
配向剤をガラス基板に転写して、配向膜を形成する方法
である。この方法は、スピンコード法に比べ配向膜が厚
く　（千オングストローム程度）、表面平滑性にもやや
劣るが、量産に適しており、製造コストが低くて済むの
で、実際に液晶表示パネルの生産において広く利用され
ている。

たとえば、ナショナルテクニカルレポート（Ｎａｔｉ−
ｏｎａｌ　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｒｅｐｏｒｔ）、　Ｖ
ｏｌ、２Ｂ＋　ｍｌ（１９８２Ｌ発明が解決しようとす
る問題点 久ビンコート法や印刷法による製造法では、大型液晶表
示パネル用基板に配向膜を形成する際、以下のような問
題点が生じる。

スピンコード法では、大きくとも画面サイズが１２イン
チ程度が限界であり、これ以上の画面サイズの基板にな
ると、配向膜が基板中央部では厚く、端部では薄くなり
一様に形成されなくなる。

また、大面積の基板を、高速回転中でも回転体から離れ
ないようにするためには、スピンコード装置を大型にし
、かつ吸引力の強い真空ポンプが必要となり、コストが
高くなる。さらに量産工程においては、基板１枚へ配向
膜を形成するのに要する時間が数分かかるので、スピン
コード装置の台数を増やさねばならず、コストの上から
不利になる。

一方、印刷法においては、スピンコード法よりは大きい
画面サイズの基板に配向膜を形成することはできるが、
この場合、巨大な装置を必要とし、製造コストは高くな
り、工程管理も複雑となる。

以上のように、従来の技術では、画面サイズの大きな基
板に配向膜を形成する際、高価な複雑で大型の装置を要
し、配向膜の均一性においても信顧性に欠けるという問
題をかかえている。このような問題点を本発明は解決し
ようとするものである。

問題点を解決するための手段 本発明は、上記問題点を解決するために、基板に配向剤
を塗布する工程と、前記基板に気体を噴きつける工程を
相ついで行うことにより、前記基板に配向膜を均一にか
つ簡易に形成するものである。

作用 本発明は、次のようにして上記問題点を解決するもので
ある。まず、本発明になる配向膜形成法においては、従
来の簡易な配向膜塗布法と、気体噴出装置による噴きつ
け工程を要するのみであり、至って簡単であり、装置の
製作コストは非常に安い、さらに、本発明になる液晶表
示パネルの製造法においては、配向剤の塗布された基板
上のいかなる位置にも、気体を均一に噴きつけるもので
あるので、表面平滑性に優れた膜を形成することができ
る。

実施例 以下本発明の一実施例として、第２図のような配向膜形
成装置を用いて配向膜の形成を行った。

配向膜形成装置は、水平に対して傾斜している基板保持
部１１と、気体噴出部１２とを具備しており、気体噴出
部１２は基板保持部１１との相対位置が変るように移動
可能な構造をしている。また、気体噴出部１２は、第３
図のように線状あるいは点状の噴出口１７．１８を有し
ている。

次に第１図の工程図を用いて、本発明になる液晶表示パ
ネルの製造法にかかる一実施例を説明する。

まず、第１図ｔａ＋のようにポリイミドをジメチルアセ
トアミドで２％に希釈した配向剤で満たされた浴中に、
対角１００ｃｎ程度の液晶表示パネル用ガラス基板１４
を浸して、基板上を配向剤で覆った後、配向剤が乾く前
に、ステンレス製で、かつ基板保持部１１と気体噴出部
１２との間隔が１゜ｌである配向膜形成装置に、このガ
ラス基板１４を装着し、真空装置１３で吸引して固定し
た。配向剤の濃度は、１０％以上では粘度が高すぎ、基
板上を配向剤が厚く覆い、かつ凹凸が著しくなるので、
１％〜８％の間にあることが望ましい。特に２％の濃度
の配向剤のときに、適度の厚さに基板が覆われて好まし
かった。基板保持部１１と気体噴出部１２との間隔は、
近すぎると気体が基板に強くあたりすぎ、配向剤が飛散
してしまい、遠すぎると配向膜１５上の凹凸を平滑にす
ることができないので、１０ｃｍ程度が望ましかった。

次に第３図１８１に示したような線状の噴出口１７をも
った気体噴出部１２から、第１図Ｑ）ｌのように窒素ガ
ス１６を２　ｋｇ　／　ｃｉの圧力で、基板１４に噴き
つけながら、秒速１ｃＩｌの速度で気体噴出部１２を上
方から下方へ移動した。窒素ガス１６の噴出圧力は、強
ずぎると配向膜１５が飛散してしまい、弱すぎると配向
膜１５上の凹凸を平滑にすることができないので、１ｋ
ｇ／ｃｄ〜３　ｋｇ　／　ｏｌＯ間にあることが望まし
い。特に’ｌ　ｋｇ　／　ｃｄの圧力のときには、基板
全面に平滑に膜が形成され、最適であった。

また、気体噴出部１２の移動速度は、速すぎると基板上
の単位面積あたりに、気体の噴きつけられる時間が短く
なり、配向膜１５上の凹凸を平滑にすることができず、
遅くなると基板１４全面を窒素ガス１６が噴きつける前
に、配向剤が乾いてしまい、表面の凹凸は緩和されない
ので、秒速０．６ｃｍ〜２ＣＩｍの間であることが望ま
しい。特に秒速１１のときには、基板１４全面に平滑に
配向膜１５が形成され最適であった。

気体噴出部１２の噴出口は、基板全面に気体が均等に噴
きつけられることが必要であり、線状が望ましいが、第
３図山）のような、−直線上に１ｃｓｉ間隔で配列され
た点状の噴出口１日をもった気体噴出部１２を用いても
、線状の噴出口１７を用いたときと同じ条件下で、同様
に平滑性の優れた配向膜１５を形成することができた０
点状噴出口１８の間隔は、大きすぎると噴出口のない部
分の直下のガラス基板にガスが噴きつけられず１．基板
全面に均一な膜の形成はされないので、できるだけ小さ
い方が良い０間隔が３１以内であればさほど凹凸の著し
い膜は形成されず好ましかった。

この配向１１１１１５で覆われた基板を、配向膜形成装
置からはずし、乾燥機で３００℃、１時間加熱後徐冷し
たところ、一様で表面平滑性に優れた配向膜を形成する
ことができた。

以上のようにして配向膜を形成した後に、ラビング処理
を行い、一定の間隙を有するように２枚の基板を対向し
て貼り合わせ、液晶を注入したところ、非常に表示品質
の優れた大型の液晶表示パネルを、安価に製造すること
ができた。

発明の効果 以上に示した結果かられかるように、本発明の液晶表示
パネルの製造法は、大面積の画面サイズを有する液晶表
示パネル用基板に、配向膜を簡易にかつ安価に形成する
ことのできる工程を有することで、液晶表示パネルを簡
易にかつ安価に製造することができる。

の作成工程を示す断面図、第２図は本発明にがかる配向
膜形成装置の斜視図、第３図（ａｌ、　（ｂｌは配向膜
形成装置のなかの気体噴出部の斜視図である。

１１・・・・・・基板保持部、１２・・・・・・気体噴
出部、１３・・・・・・真空装置、１４・・・・・・基
板、１５・・・・・・配向膜、１６・・・・・・窒素ガ
ス、１７・・・・・・線状噴出口、１日・・・・・・点
状噴出口。

代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　ほか１名第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板に配向剤を塗布する工程と、前記基板に気体を噴き
   つける工程を相ついで行うことにより、前記基板に配向
   膜を均一に形成することを特徴とする液晶表示パネルの
   製造法。