JPS632765U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS632765U JPS632765U JP9591586U JP9591586U JPS632765U JP S632765 U JPS632765 U JP S632765U JP 9591586 U JP9591586 U JP 9591586U JP 9591586 U JP9591586 U JP 9591586U JP S632765 U JPS632765 U JP S632765U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- view
- lid
- main parts
- evaporation
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ないし第４図ａ〜ｃは、第１実施例に係
り、第１図は真空蒸着装置の断面図であり、第２
図は本考案の要部を示す平面図であり、第３図は
要部を示す一部断面図であり、第４図ａ〜ｃは要
部を示し、ａは蓋を閉じた状態の斜視図、ｂは蓋
を半開きにした状態の斜視図、ｃは蓋を全開にし
た状態の斜視図である。第５図ないし第７図ａ〜
ｃは、第２実施例に係り、第５図は本考案の要部
を示す平面図であり、第６図は要部を示す一部断
面図であり、第７図ａ〜ｃは要部を示し、ａはル
ツボに蓋をした状態の斜視図、ｂはルツボ上にシ
ヤツタをかざした状態の斜視図、ｃは蒸着状態の
斜視図である。 ６ａ，２３……蓋、７……ルツボ、１１……イ
ンゴツト。
り、第１図は真空蒸着装置の断面図であり、第２
図は本考案の要部を示す平面図であり、第３図は
要部を示す一部断面図であり、第４図ａ〜ｃは要
部を示し、ａは蓋を閉じた状態の斜視図、ｂは蓋
を半開きにした状態の斜視図、ｃは蓋を全開にし
た状態の斜視図である。第５図ないし第７図ａ〜
ｃは、第２実施例に係り、第５図は本考案の要部
を示す平面図であり、第６図は要部を示す一部断
面図であり、第７図ａ〜ｃは要部を示し、ａはル
ツボに蓋をした状態の斜視図、ｂはルツボ上にシ
ヤツタをかざした状態の斜視図、ｃは蒸着状態の
斜視図である。 ６ａ，２３……蓋、７……ルツボ、１１……イ
ンゴツト。
Claims (1)
- 蒸着材料を溶融するルツボと、このルツボを密
閉する開閉自在な蓋体とを備えて成る真空蒸着装
置の蒸発源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9591586U JPS632765U (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9591586U JPS632765U (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS632765U true JPS632765U (ja) | 1988-01-09 |
Family
ID=30961078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9591586U Pending JPS632765U (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS632765U (ja) |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP9591586U patent/JPS632765U/ja active Pending