JPS63277933A

JPS63277933A - 容器内の液量測定方法

Info

Publication number: JPS63277933A
Application number: JP11295187A
Authority: JP
Inventors: Koji Okamura; 浩司岡村; Makoto Tsukamoto; 誠塚本; Masaji Miki; 三木　正司
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1987-05-09
Filing date: 1987-05-09
Publication date: 1988-11-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要ｙ内容積が既知の密閉された容器に、光ファイバ、　　。

半導体等の液体原料を貯蔵し、この液体原料の残量を検
出するにあたり、大気圧以上の所望の圧力に達する−で
容器内にガスを封入し、その後、容器内が大気圧なるま
でガスを放出し、放出したガスの全容量を測定し、所定
の計算をして、容器内に存在する液体の容量を算出する
。

上述のようにして、容易に、測定精度の高い容器内の液
量測定方法を提供する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、密閉した容器内に貯蔵された液体の容量の測
定方法にかかわり、特に、測定方法が容易で、且つ測定
精度の高い容器内の液量測定方法に関する。

第２図は、光ファイバ、半導体等の液体原料を貯蔵、供
給する装置の構成図である。

第２図において、５Ａは、光ファイバ等を製造する液体
状原料であって、四塩化珪素、四塩化ゲルマニュム等の
液体塩化物である。

ｌは、液体状原料５Ａを多量に貯蔵する、例えば容積が
２０１のボンベである。

２は、はぼ密閉構造の容器で、ボンベ１より原料補充管
８を経て、液体状原料５＾が補給されるバブラーである
。バブラー２は、少量の液体状原料５Ａを貯蔵するよう
になっており、その容積は、例えば２１である。

キャリアガス送風管９を、バブラー２内に挿し込み、取
付けである。このキャリアガス送風管９の端末は、バブ
ラー２の底近傍で開口している。

したがって、原料補充管８に設けたバルブ８＾を閉じ、
原料供給管１１に設けたバルブＩＩＡを開いた状態で、
キャリアガス送風管９に設けたバルブ９Ａを開いて、キ
ャリアガス（例えば酸素ガス）１０を、バブラー２に送
り込むと、キャリアガス１０が液体状原料５＾内を気泡
となって上昇する。このことにより、液体状原料５Ａの
一部が気化して、ガス状となりキャリアガス１０と所定
の割合に混合して、原料・キャリア混合ガスエ５となる
。バブラー２内で発生した原料・キャリア混合ガス１５
は、原料供給管１１を経て、例えば光フアイバ母材を製
造する原料反応装置１６に供給される。

なお、バブラー２は、恒温浴槽３の液体内に設置され、
常時、はぼ３０℃の温度に保持されるようになっている
。

一方、原料・キャリア混合ガス１５を原料反応装置１６
に供給すると、バブラー２内に貯蔵した液体状原料５Ａ
は減少する。

バブラー２内の液体状原料５Ａが、十分に消費した場合
は、下記のようにして、ボンベ１より液体状原料５Ａを
バブラー２に補給している。

キャリアガス送風管９に装着したバルブ９Ａと、原料供
給管１１に装着したバルブＩＩＡとを閉じ、ボンベ１と
バブラー２とを連通ずる原料補充管８に装着したバルブ
８Ａを開く。

そして、送風管７に装゛着したバルブを開いて、不活性
ガス（例えば窒素ガス）６を、ボンベｌ内に送り込む。

このことにより不活性ガス６の圧力により、液体状原料
５＾の液面に圧力が付与される。

したがって、液体状原料５Ａが原料補充管８内に流れ込
み、原料補充管８を経て、バブラー２に送られる。

上述のような、液体状原料５Ａを貯蔵するボンベ１、バ
ブラー２のような容器は、いずれも耐圧構造であって、
外部から、残存する液体状原料の量を、目視することが
できない、したがって、うっかりしていると、製造作業
中に、容器内の液体状原料５Ａが非常に少なくなうたり
、或いは全（無くなって、適量の原料・キャリア混合ガ
スの供給が断たれる。このため、製造する製品の品質が
低下する。

上述の理由により、ボンベ１．バブラー２のような容器
に、残存している液体の量を測定することが、要求され
ている。

〔従来の技術〕

従来は、予めボンベ１の風袋を測定しておく。

そして、所望の時期にボンベｌを台秤等に載せて１全重
量を測定する。

そして測定値より風袋を差し引いて、液体状原料５Ａの
残存重量を算出している。なお、残存する液体状原料５
Ａの容量は、上述の重量値を比重で割って、知ることは
勿論である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら上記従来の液量測定方法では、ボンベ１に
フレキシブル構造の送風管７．原料補充管８が配管され
ている。このために、ボンベ１の重量を測定する際に、
送風管７．原料補充管８を取り外さなければならず、測
定作業が煩雑であるという、問題点があった。

また、送風管７．原料補充管８を取り外すことなく、測
定作業を行うと、送風管７．原料補充管８の重量が附加
され、液体状原料５Ａが実際より重く測定されたり、或
いはボンベ１が上記の管に支えられ、実際より軽く測定
され、正確な残量を測定することができないという問題
点がある。

なお、バブラー２が恒温浴槽３内に設置されているため
に、バブラー２を持ち上げ、台秤等に載せることができ
ない。したがって、従来方法では、バブラー２内に残っ
ている液体状原料５＾を、測定できない。

本発明はこのような点にかんがみて創作されたもので、
密閉された容器内の残存する液体の液量を、容易に測定
する方法を、提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記従来の問題点を解決するため本発明は、第１図（ａ
）に例示したように、全内容積Ｖ０が既知の密閉された
容器２ｏに、貯蔵した液体５の容量を測定するにあたり
、大気圧以上の所望の圧力Ｐ、に達するまで、例えば窒
素ガスのようなガス３０を、送入管２５を経て、容器２
０に封入する。

そして、積算流量計２８を装着した排出管２６を用いて
、容器２０内が大気圧になるまで、ガス３０を放出する
。この放出する際に、積算流量計２８でガス３０の放出
容量を測定し、その測定値を用いて、容器２０内に貯蔵
されている液体５の容ｆｆｉ　ｖ　ｌを、算出するとい
う、液量測定方法である。

また他の発明として、第１図（ｂ）に例示したように、
全内容積ｖ０が既知の密閉された容器２０に、貯蔵した
液体５の容量を測定するにあたり、積算流量計２８を装
着した送入管２５を介して、容器２０内にガス３０を、
大気圧より僅かに大きい所望の圧力Ｐ、に達するまで封
入する。そして積算流量計２８により、封入したガス３
０の全容量を測定し、その測定値を用いて、容器２０内
に貯蔵された液体５の容量ＶＩを算出するという、液量
測定方法である。

〔作用〕

上記本発明の手段によれば、下記の０式を用いて、容器
２０の室容積Ｖ！を計算することができる。

したがって、０式に示すように、既知である容器２０の
全容積ｖ０がら室容積ｖ２を差し引くことにより、容器
２０内に残存する液体５の容１ｖ、を測定できる。

Ｐ　ＩＸ　Ｖｚ　＝　Ｐ　ａ　　（Ｖｚ　＋　Ｌ）した
がって、Ｖ、＝Ｖ。−ｖ２　　　　・・〜・−・・　■ここで、Ｐｏ・−大気圧Ｐ、・−ガスを容器内に封入した時の圧力ｖ０・・−容
器の全容積Ｖ、−・・容器内に残存している液体の容量■２−容器
の室容積（Ｖｚ　＋ｖ、＝Ｖ。）■、・・−・ガスの放
出容量また、第２図に示したように、ガスを容器内に封入した
時の圧力Ｐ１が、大気圧入よりも、僅かに大きい場合に
は、ガス３０を容器２０に封入する際に、その封入容量
を積算して測定する。そして、この積算容ｔＬを、容器
の室容積ｖ８と見做して、前述の０式を用いて、容器２
０内に残存する液体５の容Ｎｖ、を測定することができ
る。

〔実施例〕

以下図を参照しながら、本発明を具体的に説明する。な
お、全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。

第１図の（ａｌ、　（ｂ）は、それぞれ本発明方法の実
施例の構成図である。

第１図（ａ）において、２０は全内容積Ｖ、が既知の密
閉された容器であって、例えば液体状原料である液体５
を貯蔵し、所望の要求時に、液体５を液化して原料ガス
に変え、原料ガスを原料供給管１１を経て、原料反応装
置１６に供給するバブラーである。

容器２０には、圧力調整器２１．流量計２２及びパルプ
２３を装着した送入管２５を配管しである。

また、容器２０には積算流量計２８．パルプ２７を装着
した排出管２６を配管しである。

このような構成にして、容器２０内に貯蔵した液体５の
残容量を測定するには、まず原料反応装置１６に連通ず
る原料供給管１１のパルプＩＩＡと、排出管２６に装着
したパルプ２７を閉じる。

次にバルブ２３を開いて、例えば窒素ガスであるガス３
０を、圧力調整器２１．流量計２２を経由して容器２０
内に封入する。この際圧力調整器２１を、例えば１．２
ｋｇ／ｃｏ１の所定の圧力Ｐｌに調整しておく。

そして、圧力調整器２１に装着した圧力計２１Ａの支持
が圧力Ｐｌに達し、且つ流量計２２の動きが停止した状
態で、バルブ２３を閉じる。

次にバルブ２７を開き、容器２０内が大気圧Ｐ０に（Ｐ
６　＝１．０　ｋｇ／ｃ＋ａ）になるまで、ガス３０を
放出する。そして積算流量計２８でガス３０の放出容ｉ
１Ｌを測定する。

その後は、前述の計算式を用いて、容器２０内に残存し
ている液体５の容ＮｖＩを算出する。

なお、第２図に示した装置の原料補充管８を、利用して
送入管２５とし、圧力調整器２１．積算流量計２８等を
装着すれば、設備費が少ない。

また、本発明方法による測定誤差は、±５％以内である
ことが確認されている。

第１図（ｂ）において、容器２０には、圧力調整器２１
゜積算流量計２８．及びバルブ２３を装着した送入管２
５（第２図の原料補充管８を利用してもよい）を配管し
である。

このような構成にして、容器２０内に貯蔵した液体５の
残容量を測定するには、まず原料反応装置１６に連通ず
る管のバルブ２４を閉じる。

次にバルブ２３を開いて、例えば窒素ガスであるガス３
０を、圧力調整器２１．積算流量計２８を経由して容器
２０内に封入する。

この際圧力調整器２１を、例えば１．１ｋｇ／ａＩａの
所定の圧力ＰＩに調整しておく。そして、圧力調整器２
１に装着した圧力計２１Ａの支持が圧力Ｐ、に達し、積
算流量計２８の動きが止まった状態で、バルブ２３を閉
じる。

そして、積算流量計２８で封入したガス３０の全容ＩＬ
を測定する。

この際、圧力Ｐ、が小さいので、この積算容量りを、容
器の空容積Ｖ２と見做しても、その誤差は小さい。よっ
て、前述の０式を用いて、容器２０内に残存する液体５
の容１ｖｒを測定することができる。

第１図（ｂ）に示すような測定方法は、既設の装置の間
に、圧力調整器２１．積算流量計２８等を装着するだけ
で、構成素子が少なく、設備費が低コストであるという
、メリットがある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、内容積が既知の密閉され
た容器に、貯蔵した液体の残存容量を測定する方法であ
って、測定装置の構成素子が簡単で、また測定方法が容
易であり、且つ測定値の精度が高い等、実用上で優れた
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、　（ｂ）は、それぞれ本発明方法の実施
例の構成図、第２図は液体を貯蔵する装置の構成図である。図において、ｌはボンベ、　　　　　　　２はバブラー、５は液体、
　　　　　　　５＾は液体状原料、９はキャリアガス送
風管、８は原料補充管、１０はキャリアガス、１１は原料供給管、１５は原料・キャリア混合ガス、２０は容器、２１は圧力調整器、２５は送入管、２８は積算流量計、３０はガスをそれぞれ示す。（しり本心ｅＰＪｉ広の実絶４Ｊ’Ｊの藷威図液体Σ１Ｔる茨
！のＲ１＋戒図２ｉ

Claims

【特許請求の範囲】１、内容積が既知の密閉された容器（２０）に、貯蔵し
た液体（５）の容量を測定するにあたり、大気圧以上の
所望の圧力に達するまで、該容器（２０）にガス（３０
）を封入した後に、該容器（２０）内が大気圧になるまで該ガス（３０）を
放出し、該ガス（３０）の放出容量を測定して、該容器
（２０）内に貯蔵された該液体（５）の容量を、算出す
ることを特徴とする容器内の液量測定方法。２、内容積が既知の密閉された容器（２０）に、貯蔵し
た液体（５）の容量を測定するにあたり、該容器（２０
）内にガス（３０）を、大気圧より僅かに大きい所望の
圧力に達するまで封入し、封入した該ガス（３０）の容
量を測定して、該容器（２０）内に貯蔵された該液体（
５）の容量を、算出することを特徴とする容器内の液量
測定方法。