JPS63282973A - ヘッド・媒体接触検出装置 - Google Patents
ヘッド・媒体接触検出装置Info
- Publication number
- JPS63282973A JPS63282973A JP11817687A JP11817687A JPS63282973A JP S63282973 A JPS63282973 A JP S63282973A JP 11817687 A JP11817687 A JP 11817687A JP 11817687 A JP11817687 A JP 11817687A JP S63282973 A JPS63282973 A JP S63282973A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- divided
- slider
- head
- difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ディスク状の磁気記録媒体上を浮上走行する
浮動形ヘッドスライダを有する磁気記録従来の技術 浮動形ヘッドスライダでは磁気ディスク媒体上を空気膜
潤滑によりサブミクロンオーダの微少隙間で浮上走行し
ており、走行中のヘッドの挙動が不安定になると、媒体
上に存在する微少な突起や塵埃等とへノドが接触して、
磁気ディスク媒体とヘッドが損傷され、情報が破損され
て記録再生機能の消失等を招くことになる。
浮動形ヘッドスライダを有する磁気記録従来の技術 浮動形ヘッドスライダでは磁気ディスク媒体上を空気膜
潤滑によりサブミクロンオーダの微少隙間で浮上走行し
ており、走行中のヘッドの挙動が不安定になると、媒体
上に存在する微少な突起や塵埃等とへノドが接触して、
磁気ディスク媒体とヘッドが損傷され、情報が破損され
て記録再生機能の消失等を招くことになる。
従って、磁気ディスク媒体上の微細な突起や塵埃とスラ
イダが接触した際の、浮動形ヘッドスライダの挙動を調
べる事は、高信頼を要求される磁気ディスク装置用の浮
動形ヘッドスライダの設計において重要である。
イダが接触した際の、浮動形ヘッドスライダの挙動を調
べる事は、高信頼を要求される磁気ディスク装置用の浮
動形ヘッドスライダの設計において重要である。
浮動形ヘッドスライダの挙動を調べる方法としては、従
来、光干渉縞によってスライダと媒体との間の隙間を測
定する方法が用いられている。この方法では媒体とスラ
イダの隙間変動の絶対量が測定可能であるが、透光性の
スライダを必要とする等の制約を受ける欠点がある。
来、光干渉縞によってスライダと媒体との間の隙間を測
定する方法が用いられている。この方法では媒体とスラ
イダの隙間変動の絶対量が測定可能であるが、透光性の
スライダを必要とする等の制約を受ける欠点がある。
発明が解決しようとする問題点
そこで、近年、浮動形ヘッドスライダに直接小型の圧電
素子をはりつけ加速度を検出する方法が提案されている
（米国特許第４．５３２．８０２号、１９８５年ｌＯ月
６日）。
素子をはりつけ加速度を検出する方法が提案されている
（米国特許第４．５３２．８０２号、１９８５年ｌＯ月
６日）。
この方法は第２図に示す様に、アーム５に取り付けたジ
ンバル４に支持された浮動形ヘントスライダ２に、厚み
方向に最大の機械−電気変換係数を持つ複数（第２図に
示す例では２つ）の圧電素子３を搭載し、各々の圧電素
子３からの出力電圧を別々の検出回路ｌに送って浮動形
ヘントスライダ２の挙動を検出するようになっている。
ンバル４に支持された浮動形ヘントスライダ２に、厚み
方向に最大の機械−電気変換係数を持つ複数（第２図に
示す例では２つ）の圧電素子３を搭載し、各々の圧電素
子３からの出力電圧を別々の検出回路ｌに送って浮動形
ヘントスライダ２の挙動を検出するようになっている。
なお、第２図において、参照番号６は、記録媒体表面の
微細な突起を示し、参照番号７は、塵埃を示し、参照番
号８は、空気流れを示す。
微細な突起を示し、参照番号７は、塵埃を示し、参照番
号８は、空気流れを示す。
しかしながら、この方法では、圧電素子３を構成する材
料のバラツキとその接着強度のバラツキに起因する誤差
が大きいため、浮動形ヘッドスライダ２の挙動を高い精
度で検出することが困難であった。
料のバラツキとその接着強度のバラツキに起因する誤差
が大きいため、浮動形ヘッドスライダ２の挙動を高い精
度で検出することが困難であった。
そこで、本発明の目的は、浮動形ヘッドスライダ上に単
一の小型圧電素子を搭載して、浮動形ヘッドスライダの
挙動を高い精度で検出できるようにしたヘッド・媒体接
触検出装置を提供することにある。
一の小型圧電素子を搭載して、浮動形ヘッドスライダの
挙動を高い精度で検出できるようにしたヘッド・媒体接
触検出装置を提供することにある。
問題点を解決するた必の手段
本発明のヘッド・媒体接触検出装置は、磁気ディスク媒
体上を浮上走行する浮動形ヘッドスライダを有する磁気
記録装置において用いられる上記浮動形ヘッドスライダ
上に搭載した圧電素子により浮動形ヘントスライダの挙
動を測定する装置において、厚み方向に最大の機械・電
気変換係数を有する圧電素子の、スライダ接着面と対抗
する面の電極を複数に分割し、その分割した電極に電圧
検出用のリード線を設けた事を特徴とする。
体上を浮上走行する浮動形ヘッドスライダを有する磁気
記録装置において用いられる上記浮動形ヘッドスライダ
上に搭載した圧電素子により浮動形ヘントスライダの挙
動を測定する装置において、厚み方向に最大の機械・電
気変換係数を有する圧電素子の、スライダ接着面と対抗
する面の電極を複数に分割し、その分割した電極に電圧
検出用のリード線を設けた事を特徴とする。
さらに、本発明の実施例では、圧電素子のスライダが接
着される接着面と対抗する反対側の面の電極を複数に分
割し、こうして分割された電極に結合された圧電素子の
部分に適当な深さの溝を設けることによって、上記圧電
素子の部分を複数の素子片に分割している。すなわち、
第２図に示した従来技術とは、同一圧電素子の一部分を
溝加工で分割し、分割した素子片の各電極に電極用リー
ドを取り付けた点が異なっている。
着される接着面と対抗する反対側の面の電極を複数に分
割し、こうして分割された電極に結合された圧電素子の
部分に適当な深さの溝を設けることによって、上記圧電
素子の部分を複数の素子片に分割している。すなわち、
第２図に示した従来技術とは、同一圧電素子の一部分を
溝加工で分割し、分割した素子片の各電極に電極用リー
ドを取り付けた点が異なっている。
上記の溝加工の深さは圧電素子の厚みの０．１倍から１
倍にするのが好ましい。
倍にするのが好ましい。
作用
上記した構成の本発明によるヘッド・媒体接触検出装置
においては、複数に分割された上記各電極の出力電圧の
差分と、これらの出力電圧との和を同時にとることによ
り、浮動形ヘッドスライダに加わる加速度の大きさと方
向を検出することができる。
においては、複数に分割された上記各電極の出力電圧の
差分と、これらの出力電圧との和を同時にとることによ
り、浮動形ヘッドスライダに加わる加速度の大きさと方
向を検出することができる。
実施例
以下、添付図面を用いて本発明の詳細な説明するが、本
発明はこれにのみ限定されるものではない。
発明はこれにのみ限定されるものではない。
実施例１
第１図は本発明の第１の実施例を説明する浮動形ヘッド
スライダの斜視図で、第２図と同じ部材には同一符号を
付けである。
スライダの斜視図で、第２図と同じ部材には同一符号を
付けである。
本発明の特徴はジンバル４に支持された浮動形ヘッドス
ライダ２上に、厚み方向に最大の機械−電気変換係数を
持つ単一の圧電素子１０を搭載した点にある。
ライダ２上に、厚み方向に最大の機械−電気変換係数を
持つ単一の圧電素子１０を搭載した点にある。
圧電素子１０は、第３図の拡大図に詳細に示しである。
第３図において、参照番号１１．１２は、浮動形ヘッド
スライダ２に接着される側の電極１５と対向する、即ち
、それと反対側の２つに分割された電極を示している。
スライダ２に接着される側の電極１５と対向する、即ち
、それと反対側の２つに分割された電極を示している。
そして、それら電極１１．１２には、電極用リード１６
．１７が設けられている。また、２つに分割された電極
１１．１２に結合した圧電素子１０の部分は、溝１３に
よって２つの素子片１８．１９に分離される。
．１７が設けられている。また、２つに分割された電極
１１．１２に結合した圧電素子１０の部分は、溝１３に
よって２つの素子片１８．１９に分離される。
この様な構造になっているので、浮動形ヘッドスライダ
２の動きは、２つに分割された圧電素子１０のそれぞれ
の素子片１８．１９で機械−電気変換されて２つに分割
された電極１１．１２に電圧の変化として現われる。
２の動きは、２つに分割された圧電素子１０のそれぞれ
の素子片１８．１９で機械−電気変換されて２つに分割
された電極１１．１２に電圧の変化として現われる。
第４図は、圧電素子１０から得られる信号を検出する増
幅器回路の一構成例を示している。なお、図示の増幅器
回路は、５つの差動増幅器２０が図示のように接続され
て構成されており、Ａ、Ｂ、Ｅは、各電極１１．１２．
１５に接続されている。
幅器回路の一構成例を示している。なお、図示の増幅器
回路は、５つの差動増幅器２０が図示のように接続され
て構成されており、Ａ、Ｂ、Ｅは、各電極１１．１２．
１５に接続されている。
この増幅器回路の出力電圧、即ち、分割された電極１１
．１２の出力電圧の差分Ａ−Ｂは素子片１８と１９とに
加わる厚み方向の加速度の差分、つまり圧電素子３の回
転モーメントに相当する力であり、電極１１．１２の出
力電圧の和Ａ十Ｂ−２Ｅは素子片１８．１９に加わる厚
み方向の加速度の平均値を表している。
．１２の出力電圧の差分Ａ−Ｂは素子片１８と１９とに
加わる厚み方向の加速度の差分、つまり圧電素子３の回
転モーメントに相当する力であり、電極１１．１２の出
力電圧の和Ａ十Ｂ−２Ｅは素子片１８．１９に加わる厚
み方向の加速度の平均値を表している。
この実施例においては、２つの出力Ａ−ＢおよびＡ＋Ｂ
−２Ｅから、空気流８によって磁気ディスク上を浮上走
行する浮動形ヘッドスライダ２が磁気ディスク上の微細
な突起６や塵埃７と接触して運動した際の浮動形ヘッド
スライダ２の２次元の動きを算出することが出来る。
−２Ｅから、空気流８によって磁気ディスク上を浮上走
行する浮動形ヘッドスライダ２が磁気ディスク上の微細
な突起６や塵埃７と接触して運動した際の浮動形ヘッド
スライダ２の２次元の動きを算出することが出来る。
実施例２
第５図は、本発明による圧電素子１０の第２の実施例を
示す斜視図であって、参照番号２１．２２．２３及び２
４は四分割された電極を示し、参照番号２５、２６は、
四分割するための溝を示し、参照番号３２は、電極につ
けられたリード線を示し、参照番号３１は、接着面側の
電極を示している。この実施例の場合にも圧電素子１０
の一部は溝２５．２６によってそれぞれの素子片２７．
２８．２９．３０に分割されている。
示す斜視図であって、参照番号２１．２２．２３及び２
４は四分割された電極を示し、参照番号２５、２６は、
四分割するための溝を示し、参照番号３２は、電極につ
けられたリード線を示し、参照番号３１は、接着面側の
電極を示している。この実施例の場合にも圧電素子１０
の一部は溝２５．２６によってそれぞれの素子片２７．
２８．２９．３０に分割されている。
第６図は、第５図の実施例で用いられる検出回路の構成
例を示しおり、図示のように複数の差動増幅器２０が接
続されて構成されている。Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅは各電極
２１．２２．２３．２４．３１の出力信号を示す。
例を示しおり、図示のように複数の差動増幅器２０が接
続されて構成されている。Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅは各電極
２１．２２．２３．２４．３１の出力信号を示す。
この様な構造になっているから、分割された圧電素子の
それぞれの素子片２７．２８．２９．３０の電極２１．
２２．２３．２４に浮動形ヘッドスライダ２の動きに対
応した出力電圧が発生する。
それぞれの素子片２７．２８．２９．３０の電極２１．
２２．２３．２４に浮動形ヘッドスライダ２の動きに対
応した出力電圧が発生する。
第６図に示す本発明の第２の実施例の検出回路では、出
力の和Ａ十Ｂ十Ｃ＋Ｄ−４Ｅが各素子片２７．２８．２
９．３０にかかる厚み方向の加速度の平均値となる。ま
た、出力電圧の差Ａ−Ｂ、Ａ−Ｃ１Ａ−Ｄは、各素子片
２７−２８．２７−２９．２７−３０にかかる厚み方向
の加速度の差分を表す。
力の和Ａ十Ｂ十Ｃ＋Ｄ−４Ｅが各素子片２７．２８．２
９．３０にかかる厚み方向の加速度の平均値となる。ま
た、出力電圧の差Ａ−Ｂ、Ａ−Ｃ１Ａ−Ｄは、各素子片
２７−２８．２７−２９．２７−３０にかかる厚み方向
の加速度の差分を表す。
この様に、この第２の実施例では圧電素子１０が４分割
されているので、圧電素子１０にかかる厚み方向の力お
よび四分割するための溝２５．２６のほぼ中心のまわり
のモーメントに相当する力を測定することができ、従っ
て浮動形ヘッドスライダ２の３次元の動きを算出する事
が出来る。
されているので、圧電素子１０にかかる厚み方向の力お
よび四分割するための溝２５．２６のほぼ中心のまわり
のモーメントに相当する力を測定することができ、従っ
て浮動形ヘッドスライダ２の３次元の動きを算出する事
が出来る。
本発明は上記実施例にのみ限定されるものではなく、種
々の変形が可能である。例えば、圧電素子１０に形成す
る溝はＸ形でもよく、また、圧電素子１０の取り付は方
向および位置は任意に選択することができる。
々の変形が可能である。例えば、圧電素子１０に形成す
る溝はＸ形でもよく、また、圧電素子１０の取り付は方
向および位置は任意に選択することができる。
発明の詳細
な説明した様に、本発明の圧電素子と検出回路を使用す
ることにより、−個の圧電素子で浮動形ヘッドスライダ
に加わる加速度を高精度に検出することができる。
ることにより、−個の圧電素子で浮動形ヘッドスライダ
に加わる加速度を高精度に検出することができる。
第１図は、本発明の第１の実施例による圧電素子を搭載
した２次元加速度検出スライダの斜視図、第２図は、従
来の複数の圧電素子を搭載した２次元加速度検出スライ
ダの斜視図、 第３図は、第１図の圧電素子を拡大して示したその構造
図、 第４図は、本発明の第１の実施例で用いられる検出回路
の構成図、 第５図は、本発明の第２の実施例で用いられる圧電素子
の構造を示す拡大図、 第６図は、本発明の第２の実施例で用いられる検出回路
の構成図である。 〔主な参照番号〕 １・・・検出回路、 ２・・・浮動形ヘッドスラ
イダ３・・・圧電素子、 ４・・・ジンバル５・・
・アーム、 ６・・・微細な突起７・・・塵埃
、 訃・・空気流９・・・検出回路、 １
０・・・圧電素子１１．１２・・・分割された電極 １３・・・分割のための溝 １５・・・接着側電極、 １６．１７・・・リード線
１８．１９・・・分割された素子片 ２０・・・差動増幅器
した２次元加速度検出スライダの斜視図、第２図は、従
来の複数の圧電素子を搭載した２次元加速度検出スライ
ダの斜視図、 第３図は、第１図の圧電素子を拡大して示したその構造
図、 第４図は、本発明の第１の実施例で用いられる検出回路
の構成図、 第５図は、本発明の第２の実施例で用いられる圧電素子
の構造を示す拡大図、 第６図は、本発明の第２の実施例で用いられる検出回路
の構成図である。 〔主な参照番号〕 １・・・検出回路、 ２・・・浮動形ヘッドスラ
イダ３・・・圧電素子、 ４・・・ジンバル５・・
・アーム、 ６・・・微細な突起７・・・塵埃
、 訃・・空気流９・・・検出回路、 １
０・・・圧電素子１１．１２・・・分割された電極 １３・・・分割のための溝 １５・・・接着側電極、 １６．１７・・・リード線
１８．１９・・・分割された素子片 ２０・・・差動増幅器
Claims (3)
- （１）磁気記録装置の磁気ディスク媒体上を浮上走行す
る浮動形ヘッドスライダ上に搭載した圧電素子により浮
動形ヘッドスライダの挙動を測定するヘッド・媒体接触
検出装置において、厚み方向に最大の機械・電気変換係
数を有する圧電素子の、スライダ接着面と対抗する面の
電極を複数に分割し、その分割した電極に電圧検出用の
リード線を設けたことを特徴とするヘッド・媒体接触検
出装置。 - （２）上記圧電素子のスライダ接着面と対抗する面に、
圧電素子の厚みｔの０．１倍〜１倍の深さの溝を設け、
この溝により圧電素子を複数の素子片に分割することを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のヘッド・媒体接
触検出装置。 - （３）上記の複数の分割された電極の出力電圧の差と、
出力電圧の和を同時にとることにより、上記溝で分割さ
れたそれぞれの圧電素子片に働く加速度の差分と、加速
度の平均値とを同時に検出できることを特徴とする特許
請求の範囲第１項または第２項記載のヘッド・媒体接触
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11817687A JPS63282973A (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | ヘッド・媒体接触検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11817687A JPS63282973A (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | ヘッド・媒体接触検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63282973A true JPS63282973A (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=14730011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11817687A Pending JPS63282973A (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | ヘッド・媒体接触検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63282973A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6031317A (en) * | 1997-09-17 | 2000-02-29 | Aeptec Microsystems, Inc. | Piezoelecric shock sensor |
| US6166874A (en) * | 1997-07-31 | 2000-12-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of controlling flying of magnetic head and device therefor in hard disk drive |
| US6291926B1 (en) * | 1998-02-12 | 2001-09-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Piezoelectric resonator, method of manufacturing the piezoelectric resonator and method of adjusting resonance frequency of the piezoelectric resonator |
-
1987
- 1987-05-15 JP JP11817687A patent/JPS63282973A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6166874A (en) * | 1997-07-31 | 2000-12-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of controlling flying of magnetic head and device therefor in hard disk drive |
| US6031317A (en) * | 1997-09-17 | 2000-02-29 | Aeptec Microsystems, Inc. | Piezoelecric shock sensor |
| US6291926B1 (en) * | 1998-02-12 | 2001-09-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Piezoelectric resonator, method of manufacturing the piezoelectric resonator and method of adjusting resonance frequency of the piezoelectric resonator |
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