JPS632874A - セラミックスのメタライズ方法 - Google Patents
セラミックスのメタライズ方法Info
- Publication number
- JPS632874A JPS632874A JP16076887A JP16076887A JPS632874A JP S632874 A JPS632874 A JP S632874A JP 16076887 A JP16076887 A JP 16076887A JP 16076887 A JP16076887 A JP 16076887A JP S632874 A JPS632874 A JP S632874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- ceramics
- ceramic
- metallic
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 30
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 title claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 13
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 11
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims description 10
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- OMZSGWSJDCOLKM-UHFFFAOYSA-N copper(II) sulfide Chemical compound [S-2].[Cu+2] OMZSGWSJDCOLKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 21
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 13
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 235000007173 Abies balsamea Nutrition 0.000 description 3
- 239000004857 Balsam Substances 0.000 description 3
- 244000018716 Impatiens biflora Species 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N Beryllium oxide Chemical compound O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- ZXSQEZNORDWBGZ-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydropyrrolo[2,3-b]pyridin-2-one Chemical compound C1=CN=C2NC(=O)CC2=C1 ZXSQEZNORDWBGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCEXQRKSUSSDFT-UHFFFAOYSA-N [Mn].[Mo] Chemical compound [Mn].[Mo] PCEXQRKSUSSDFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 229910002090 carbon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- BDTUSRNSKHCUSO-UHFFFAOYSA-N oxocopper oxosilver Chemical compound O=[Cu].O=[Ag] BDTUSRNSKHCUSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- -1 sialon Chemical compound 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LKZMBDSASOBTPN-UHFFFAOYSA-L silver carbonate Substances [Ag].[O-]C([O-])=O LKZMBDSASOBTPN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001958 silver carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、セラミックスの簡便なメタライズ方法に関す
る。
る。
従来の技術とその問題点
一般に、セラミックスは、耐熱性、耐磨耗性、絶縁性等
に優れている反面、脆く衝撃に弱いため、構造材料とし
て用いる場合には、金属との接合体にして使用されるこ
とが多く、この場合には金属とセラミックスを接合する
前に、まずセラミックス表面をメタライズする必要があ
る。また、セラミックスを導電材料として用いる場合に
は、セラミックス表面にメタライズを行って使用されて
いる。
に優れている反面、脆く衝撃に弱いため、構造材料とし
て用いる場合には、金属との接合体にして使用されるこ
とが多く、この場合には金属とセラミックスを接合する
前に、まずセラミックス表面をメタライズする必要があ
る。また、セラミックスを導電材料として用いる場合に
は、セラミックス表面にメタライズを行って使用されて
いる。
セラミックスのメタライズ方法としては、テレフンケン
法、活性金属法、水素化合物法、酸化物ソルダー法、炭
酸銀法等が知られている。これらの内、テレフンケン法
以外の方法には、工程が複雑であるのに加えて、メタラ
イズ層の接着強度、耐熱衝撃性、耐化学薬品性等が充分
でない場合があるため、現在のところテレフンケン法に
よるのが一般的である。テレフンケン法は、セラミック
ス表面にモリブデン−マンガンを被覆し、非酸化性雰囲
気中1400〜1700°Cという高温で焼付け、その
上に金属メツキを行い、更に被膜の安定化のために再度
非酸化性雰囲気中で加熱することによりメタライズし、
次いで必要に応じて金属をロウ接するものであり、作業
工程が長く且つ煩雑であるという大きな欠点があるのに
加えて、加熱温度が高いという欠点もある。
法、活性金属法、水素化合物法、酸化物ソルダー法、炭
酸銀法等が知られている。これらの内、テレフンケン法
以外の方法には、工程が複雑であるのに加えて、メタラ
イズ層の接着強度、耐熱衝撃性、耐化学薬品性等が充分
でない場合があるため、現在のところテレフンケン法に
よるのが一般的である。テレフンケン法は、セラミック
ス表面にモリブデン−マンガンを被覆し、非酸化性雰囲
気中1400〜1700°Cという高温で焼付け、その
上に金属メツキを行い、更に被膜の安定化のために再度
非酸化性雰囲気中で加熱することによりメタライズし、
次いで必要に応じて金属をロウ接するものであり、作業
工程が長く且つ煩雑であるという大きな欠点があるのに
加えて、加熱温度が高いという欠点もある。
問題点を解決するための手段
本発明者は、上記欠点が解消されたセラミックスのメタ
ライズ方法を開発するため鋭意研究した結果、酸化銅又
は(及び)硫化銅を被覆層として用いるときには空気等
の酸化雰囲気中にて比較的低温で焼付けができ、次いで
焼付は層を還元処理すれば極めて簡便にメタライズでき
ること(尚、被覆層として硫化銅を単独で用いる方法に
ついては、別途出願した。)、この際被覆層として金属
銀又は(及び)金属銅を併用するとメタライズ層表面の
平滑性が向上すること、得られたメタライズ層は導電性
に優れ且つ接着強度が高いこと等を見出し、本発明を完
成するに至った。
ライズ方法を開発するため鋭意研究した結果、酸化銅又
は(及び)硫化銅を被覆層として用いるときには空気等
の酸化雰囲気中にて比較的低温で焼付けができ、次いで
焼付は層を還元処理すれば極めて簡便にメタライズでき
ること(尚、被覆層として硫化銅を単独で用いる方法に
ついては、別途出願した。)、この際被覆層として金属
銀又は(及び)金属銅を併用するとメタライズ層表面の
平滑性が向上すること、得られたメタライズ層は導電性
に優れ且つ接着強度が高いこと等を見出し、本発明を完
成するに至った。
即ち本発明は、酸化銅又は(及び)硫化銅と金属銀又は
(及び)金属銅との混合物を、セラミックス表面に被覆
し、酸化性雰囲気中900〜1300℃で加熱して焼付
けた後、焼付は層を還元処理することを特徴とするセラ
ミックスのメタライズ方法に係る。
(及び)金属銅との混合物を、セラミックス表面に被覆
し、酸化性雰囲気中900〜1300℃で加熱して焼付
けた後、焼付は層を還元処理することを特徴とするセラ
ミックスのメタライズ方法に係る。
本発明において被覆層として用いる酸化銅及び/又は硫
化銅と金属銀及び/又は金属銅との混合物は、通常粉末
状のものを使用する。酸化銅と硫化銅とを用いるときの
両者の使用割合は、任意で良い。
化銅と金属銀及び/又は金属銅との混合物は、通常粉末
状のものを使用する。酸化銅と硫化銅とを用いるときの
両者の使用割合は、任意で良い。
本発明においては、被覆層として酸化銅又は(及び)硫
化鋼(以下、単に銅化合物という)に金属銀又は(及び
)金属銅を併用することによりメタライズ層表面の平滑
性を向上させることができる。金属銀又は(及び)金属
銅としても、通常粉末状のものを使用し、使用割合は、
銅化合物との合計重量の80%程度を上限とするのが適
当である。80重量%を越える場合には、メタライズ層
の接着強度が低下する傾向があるので、好ましくない。
化鋼(以下、単に銅化合物という)に金属銀又は(及び
)金属銅を併用することによりメタライズ層表面の平滑
性を向上させることができる。金属銀又は(及び)金属
銅としても、通常粉末状のものを使用し、使用割合は、
銅化合物との合計重量の80%程度を上限とするのが適
当である。80重量%を越える場合には、メタライズ層
の接着強度が低下する傾向があるので、好ましくない。
本発明における被覆層形成材料としては、銅化合物と金
属銀及び/又は金属銅との混合物を粉末状のまま使用し
ても良いし、適当なバインダー及びその溶剤、例えばス
クリーンオイル等の印刷用インキ、バルサム等を適宜の
出用いてペースト状にして使用しても良い。
属銀及び/又は金属銅との混合物を粉末状のまま使用し
ても良いし、適当なバインダー及びその溶剤、例えばス
クリーンオイル等の印刷用インキ、バルサム等を適宜の
出用いてペースト状にして使用しても良い。
粉末状又はペースト状の銅化合物と金属銀及び/又は金
属銅との混合物をメタライズが必要なセラミックス表面
に撒布又は塗付して被覆する。被覆する曾は、特に限定
されず、所望のメタライズ層の厚さに応じて、適宜決定
される。次に、上記で被覆されたセラミックスを酸化性
雰囲気中にて加熱して被覆層を焼付ける。酸化性雰囲気
としては、特殊なものを使用する必要はなく、空気、空
気と窒素との混合気等を使用すれば充分である。
属銅との混合物をメタライズが必要なセラミックス表面
に撒布又は塗付して被覆する。被覆する曾は、特に限定
されず、所望のメタライズ層の厚さに応じて、適宜決定
される。次に、上記で被覆されたセラミックスを酸化性
雰囲気中にて加熱して被覆層を焼付ける。酸化性雰囲気
としては、特殊なものを使用する必要はなく、空気、空
気と窒素との混合気等を使用すれば充分である。
また、加熱条件としては、セラミックスの形状、大きさ
や用いた被覆層の種類、被覆量等により変化するが、通
常900〜1300℃の温度で5〜60分間程度加熱す
る。この加熱によりは酸化銅−酸化銀(硫化銅、金属銅
は酸化されて酸化銅となり、金属銀は酸化されて酸化銀
となる)を含有してなる被覆がセラミックスに密着する
。この際、酸化銅の融液がセラミックス内に一部浸透す
る(硫化銅を用いたときには、酸化銅に酸化される際に
発生する硫黄が、この浸透を更に助長する)ことにより
接着強度が高められる。加熱温度が900℃より低い場
合は上記のような浸透が起こらず接着強度が不充分にな
り、又1300 ℃より高い場合は被覆層の粘性が低下
して流出することがあるので好ましくない。
や用いた被覆層の種類、被覆量等により変化するが、通
常900〜1300℃の温度で5〜60分間程度加熱す
る。この加熱によりは酸化銅−酸化銀(硫化銅、金属銅
は酸化されて酸化銅となり、金属銀は酸化されて酸化銀
となる)を含有してなる被覆がセラミックスに密着する
。この際、酸化銅の融液がセラミックス内に一部浸透す
る(硫化銅を用いたときには、酸化銅に酸化される際に
発生する硫黄が、この浸透を更に助長する)ことにより
接着強度が高められる。加熱温度が900℃より低い場
合は上記のような浸透が起こらず接着強度が不充分にな
り、又1300 ℃より高い場合は被覆層の粘性が低下
して流出することがあるので好ましくない。
次に、上記により焼付は層が施されたセラミックスを還
元処理する。還元方法としては、特に限定されず、酸化
銅、酸化銀がこれらの金属に還元されるならばどんな方
法でもよく、例えば水素雰囲気、−酸化炭素雰囲気等の
還元性雰囲気中での加熱、エタノール、メタノール、プ
ロパツール等のアルコール、ベンジン、ホルマリン等の
還元性溶媒への浸漬等を挙げることができる。還元性雰
囲気中で加熱する場合の温度は、焼付は層の分解、変質
等を防ぐために前記焼付は温度よりも低いことが好まし
く、通常200〜900℃程度とし、時間は通常5〜6
0分間程度とする。また還元性溶媒への浸漬による場合
は、セラミックスを通常200〜500°C程度好まし
くは300℃前後に加熱後、上記還元性溶媒に10〜6
0秒間程度浸漬すれば良い。
元処理する。還元方法としては、特に限定されず、酸化
銅、酸化銀がこれらの金属に還元されるならばどんな方
法でもよく、例えば水素雰囲気、−酸化炭素雰囲気等の
還元性雰囲気中での加熱、エタノール、メタノール、プ
ロパツール等のアルコール、ベンジン、ホルマリン等の
還元性溶媒への浸漬等を挙げることができる。還元性雰
囲気中で加熱する場合の温度は、焼付は層の分解、変質
等を防ぐために前記焼付は温度よりも低いことが好まし
く、通常200〜900℃程度とし、時間は通常5〜6
0分間程度とする。また還元性溶媒への浸漬による場合
は、セラミックスを通常200〜500°C程度好まし
くは300℃前後に加熱後、上記還元性溶媒に10〜6
0秒間程度浸漬すれば良い。
上記還元処理により、極めて優れた導電性を有する銅−
銀メタライズ層がセラミックス表面に形成される。
銀メタライズ層がセラミックス表面に形成される。
かくしてメタライズされたセラミックスには、必要に応
じて、常法例えばロウ接等により、各種金属を容易に接
合することができる。
じて、常法例えばロウ接等により、各種金属を容易に接
合することができる。
本発明によりメタライズできるセラミックスとしては、
特に限定されず、例えば窒化珪素、サイアロン、炭化珪
素、窒化アルミニウム等の非酸化物セラミックス、アル
ミナ、ジルコニア、ムライト、ベリリア、マグネシア、
コージーライト等の酸化物系セラミックスを挙げること
ができる。
特に限定されず、例えば窒化珪素、サイアロン、炭化珪
素、窒化アルミニウム等の非酸化物セラミックス、アル
ミナ、ジルコニア、ムライト、ベリリア、マグネシア、
コージーライト等の酸化物系セラミックスを挙げること
ができる。
本発明によれば、従来法に比べて低温で焼付は後、還元
処理するという極めて簡便な操作で、セラミックス表面
にメタライズ層が形成できる。得られたメタライズ層は
、導電性に優れ且つ接着強度が高く、メタライズ層の平
滑性が向上するという効果が得られる。
処理するという極めて簡便な操作で、セラミックス表面
にメタライズ層が形成できる。得られたメタライズ層は
、導電性に優れ且つ接着強度が高く、メタライズ層の平
滑性が向上するという効果が得られる。
本発明によりメタライズされたセラミックスは、上記の
如き性能を有するので、セラミックスパッケージ等の電
子部品、セラミックスを用いた耐磨耗性部品、耐熱性部
品等に好適に使用できる。
如き性能を有するので、セラミックスパッケージ等の電
子部品、セラミックスを用いた耐磨耗性部品、耐熱性部
品等に好適に使用できる。
尚、本発明の方法は、ニッケル板、銅板等の金属板にも
応用でき、被覆層を還元すれば強固な保護膜を得ること
ができる。
応用でき、被覆層を還元すれば強固な保護膜を得ること
ができる。
以下、実施例を挙げて、本発明を更に具体的に説明する
。
。
実施例1
酸化銅粉末90重量%と金属銀粉末10重量%とを混合
したちの100重量部に対してバルサムイアロン、炭化
珪素(SiC)、アルミナ又はジルコニアの焼結体の表
面に0. 1g/cm2塗付した。次に、電気炉を用い
空気中にて1100℃で30分間焼成して、焼付は被覆
層を形成した。引続き焼成したものを乾燥器中で300
℃に加熱した後、市販のエタノール中に浸漬した。これ
によって焼付は被覆層が還元され、金属銅と金属銀から
なるメタライズ層が形成された。下記第1表に還元前後
における、100OVの電圧で測定した電気抵抗値を示
した。還元後のメタライズ層は、極めて優れた導電性を
有していることが判る。
したちの100重量部に対してバルサムイアロン、炭化
珪素(SiC)、アルミナ又はジルコニアの焼結体の表
面に0. 1g/cm2塗付した。次に、電気炉を用い
空気中にて1100℃で30分間焼成して、焼付は被覆
層を形成した。引続き焼成したものを乾燥器中で300
℃に加熱した後、市販のエタノール中に浸漬した。これ
によって焼付は被覆層が還元され、金属銅と金属銀から
なるメタライズ層が形成された。下記第1表に還元前後
における、100OVの電圧で測定した電気抵抗値を示
した。還元後のメタライズ層は、極めて優れた導電性を
有していることが判る。
かくして得たメタライズ層を有する各セラミックスと銅
片とを銀ロウを用いてロウ接し、秤全2ton及び荷重
速度5mm/minの引張試験機を用いて、メタライズ
層の接着強度を測定したところ、いずれも極めて強く接
着されていることが判った。
片とを銀ロウを用いてロウ接し、秤全2ton及び荷重
速度5mm/minの引張試験機を用いて、メタライズ
層の接着強度を測定したところ、いずれも極めて強く接
着されていることが判った。
結果を下記第1表に併記した。
第 1 表
また、メタライズ層表面は凹凸が殆んどなく、平滑性に
優れていた。
優れていた。
実施例2
硫化銅粉末90重量%と金属銀粉末10重量%とを混合
したちの100重量部に対してバルサム10重量部を混
合して、ペースト状の混合物を得た。これを用いて、実
施例1と同様にして各セラミックスにメタライズ層を形
成した。実施例1と同様にして測定した電気抵抗値及び
接着強度を下記第2表に示した。
したちの100重量部に対してバルサム10重量部を混
合して、ペースト状の混合物を得た。これを用いて、実
施例1と同様にして各セラミックスにメタライズ層を形
成した。実施例1と同様にして測定した電気抵抗値及び
接着強度を下記第2表に示した。
第 2 表
また、メタライズ層表面は凹凸が殆んどなく、平滑性に
優れていた。
優れていた。
(以 上)
Claims (1)
- (1)酸化銅又は(及び)硫化銅と金属銀又は(及び)
金属銅との混合物を、セラミックス表面に被覆し、酸化
性雰囲気中900〜1300℃で加熱して焼付けた後、
焼付け層を還元処理することを特徴とするセラミックス
のメタライズ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16076887A JPS632874A (ja) | 1987-06-27 | 1987-06-27 | セラミックスのメタライズ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16076887A JPS632874A (ja) | 1987-06-27 | 1987-06-27 | セラミックスのメタライズ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS632874A true JPS632874A (ja) | 1988-01-07 |
| JPS6410471B2 JPS6410471B2 (ja) | 1989-02-21 |
Family
ID=15722038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16076887A Granted JPS632874A (ja) | 1987-06-27 | 1987-06-27 | セラミックスのメタライズ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS632874A (ja) |
-
1987
- 1987-06-27 JP JP16076887A patent/JPS632874A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6410471B2 (ja) | 1989-02-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6365635B2 (ja) | ||
| JPS6077186A (ja) | 金属化表面を有するセラミツクス焼結体 | |
| US4525387A (en) | Process for metallizing the surface of a ceramic | |
| JPS632874A (ja) | セラミックスのメタライズ方法 | |
| JPS631279B2 (ja) | ||
| JPS632875A (ja) | セラミックスのメタライズ方法 | |
| JPS59207887A (ja) | セラミツクスのメタライズ法 | |
| JPS632877A (ja) | セラミックスのメタライズ方法 | |
| JPS632878A (ja) | セラミックスのメタライズ方法 | |
| JPS632876A (ja) | セラミックスのメタライズ方法 | |
| JPH0122237B2 (ja) | ||
| JPS61146778A (ja) | セラミツクスのメタライズ法 | |
| JPH0532358B2 (ja) | ||
| JPS6236091A (ja) | セラミツクスのメタライズ法 | |
| JPS6369786A (ja) | メタライズ層をもつた窒化アルミニウム基板の製法 | |
| JPH0336793B2 (ja) | ||
| JPS6228067A (ja) | セラミツクスの接合方法 | |
| JPS61215280A (ja) | セラミクスのメタライズ法 | |
| JPS61291481A (ja) | セラミツクスの処理方法 | |
| JPS6230684A (ja) | セラミツクスのメタライズ法 | |
| JPS6270284A (ja) | メタライズド炭化珪素系セラミツクス体とその製造方法 | |
| JPH0313198B2 (ja) | ||
| JPS6330379A (ja) | セラミックスと金属との接合方法 | |
| JPS5992979A (ja) | セラミツクのメタライズ方法 | |
| JPS59203780A (ja) | 非酸化物系セラミックス焼結体と金属部材との接合方法 |