JPS63288077A - 電歪セラミック材料体およびその分極操作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ この発明は、電歪セラミック材料体およびその分極操作
方法に関するもので、特に、１個の一体的な電歪セラミ
ック材料体自身によって、横効果による撮動によって屈
曲モードの変形を行なわせるための改良、およびそのよ
うな電歪セラミック材料体を得るための分極操作方法に
関するものである。

［従来の技術］ 従来、リレー、ファン、ポンプ、Ｖ　’Ｔ’　Ｒのトラ
ッキング、等の分野において、電歪効果を利用したアク
チュエータが用いられている。弗型的には、このような
アクチュエータとしては、横効果電歪材料板を金属板と
貼り合わせたユニモルフ構造をもって構成されたものや
、２枚の電歪材料板を、金属板を介して貼り合わせたバ
イモルフ構造をもって構成されたものが知られている。

ところで、特定のセラミック材料が電歪効果を示すこと
が発見されてから久しいが、このような電歪セラミック
材料は、単に焼成されただけの段階では、全体、とじて
電歪効果を示さない。なぜなら、第１１図に矢印で示す
ように、単に焼成されただけの段階にあるセラミック材
料中の自発分極は、グレイン・スケールでみたとき、グ
レインやドメインの構造によって、あらゆる方向を向い
ており、これら自発分極の方向が互いに相殺されるため
である。

そこで、電歪セラミック材料体を、前述したようなアク
チュエータとして用いる場合には、たとえば第１２図に
示すように、その上下面に電極１゜２を取付け、これら
、１神１，２を介して高電界を印加し、分極方向を一方
向に揃えるための分極処理を施さな番プればならない。

［発明が解決しようとする問題点１ しかしながら、第１２図かられかるように、電歪セラミ
ック材料体に与えられる全体としての分極の態様は、対
をなす電極１．２の間では実質的に一様である。したが
って、このような電歪セラミック材料体に、たとえば電
極１．２を介して開動電圧を印加しても、電界の印加方
向に対し【、縦効果の振動しか与えられない。また、こ
のような電界の印加方向に対して直角方向にみれば、横
効果の振動しか与えられない。要は単板のみでは屈曲し
ない。そのため、前述したような屈曲モードの変形を行
なうアクチュエータを構成する場合には、必ず、電歪セ
ラミック材料体に対して、金属板または別の電歪セラミ
ック材料体および金属板を組合わせたユニモルフ構造ま
たはバイモルフ構造としなければならない。

このように、従来のユニモルフ構造またはバイモルフ構
造のアクチュエータは、必ず、セラミッり材料と金属と
の接着を伴なう。そして、この接着が起因して、次のよ
うな問題点を引き起こしている。

まず、金属とセラミック材料との熱膨張率の差のため、
温瓜変化のみによって、変形を生じさせることがある。

このような変形は、駆動用の電界の印加とは無関係に生
じるものであるので、変形ｍに対する精度の低下を招く
ことになる。

また、屈曲モードの変形を生じさせている間、接！！層
付近に応力が集中し、これによって、電歪セラミック材
料体に割れを発生させたり、金属板と電歪ヒラミック材
料体との間で剥離を生じさせたりすることがある。

また、１個の７クチユエータについての接＠部分におけ
る接！１１２ａ度ばかりでなく、複数個のアクヂュエー
タ相ｒｉ閘における全体としての接着強度も均一にする
ことは比較的困難である。そのため、機械的強度が極端
に小さい７クチユエータが得られたり、変位置が極端に
小さいアクチュエータが得られたりすることがあり、こ
のように、特性のばらつきが大きく現われると、実際に
７クチユエータを使用する場面において、予め特性を個
々に把握しなければならず、その使用にあたっての予備
的操作に対して煩雑さを招いている。

また、接着に用いる接着剤の有する温度特性により、ア
クチュエータの特性も変化する。特に、アクチュエータ
の使用上限温度が接着剤の特性によって決まってしまい
、アクチュエータの使用範囲を限定する結果も招いてい
る。

なお、前述したバイモルフ構碧のアクチュエータと大質
的に同様の原理で作動するアクチュエータとして、内部
電極を形成した上で一体焼結されたセラミック材料から
なるものも提案されている。

しかしながら、この場合には、内部？ｆｔ極として、ヒ
ラミックの焼成温度に耐え得る負金属を用いなければな
らず、このことが、コスト上昇を招くことになる。

（こで、この発明は、コスト上昇を１０　＜ことがない
ばかりでなく、機械的にも熱的にも信頼性が高い、横効
果アクチュエータどしての使用に適した、電歪セラミッ
ク材料体を提供しようとするものである。

また、この発明は、上述したような要望を満たし得る電
歪セラミック材料体を有利に得るための分極操作方法を
提供しようとするものである。

Ｅ問題点を解決するための手段１ この発明に係る電歪セラミック材料体は、厚み方向寸法
を有し、かつ電歪効果を示す一体焼結されたセラミック
材料からなるものであり、そこには内部電極を形成する
必要はない。そして、上述した技術的課題を解決するた
め、当該電歪セラミック材料体は、その少なくとも一部
において前記厚み方向に見たとき、全体としての分極配
向の度合および全体としての分極の方向の少なくとも一
方が、前記厚み方向を分割する第１および第２の領域に
おいて互いに異ならされていることを特徴とするもので
ある。

上述したような一体焼結されたセラミック材料からなる
電歪セラミック材料体において、その厚み方向に見たと
きの分極の態様を、厚み方向を分割する第１および第２
のｆＡ域において互いに異ならせるための分極操作方法
としては、電歪セラミック材料体に対して与えられる温
度条件によって分極容易性が異なる性質を利用する第１
の方法と、一旦分極処理された電歪セラミック材料体に
対して、キュリ一点以上の高温を与えれば脱分極される
性質を利用する第２の方法とがある。

第１および第２の方法のいずれにおいても、まず、厚み
方向寸法を有し、かつ分極操作により電歪効果を示す一
体焼結された廿ラミック材料からなる電歪セラミック材
料体が用意される。

次に、第１の方法では、前記電歪セラミック材料体の少
なくとも一部において、前記厚み方向を分割する第１８
３よび第２の領域に対して、前古が後者より高温となる
′ａ度差を与えながら、第１の電界を前記厚み方向に印
加し、それによって、前記第１の領域の全体としての分
極配向の度合および全体としての分極の方向の少なくと
も一方を前記第２の領域より大きく変化させることが行
なわれる。

第１の方法において、前記第１の電界を印加するステッ
プにおいて用いられる電歪セラミック材料体としては、
次の２種類を含む可能性がある。

その第１は、前記少なくとも一部において、前記第１の
電界と逆の方向に向く第２の電界が前もって印加されて
おり、それによって、前記第２の電界が印加された部分
全体としての分極の方向が前記厚み方向における一方向
に既に向けられているものである。他方、その第２ｉ、
一体焼結された段階後において、何らの分極処理も施さ
れておらないものであり、この場合には、前記第１の電
界の印加により、前記第１の領域の全体としての分極の
方向が前記厚み方向における一方向に向けられる。

他方、第２の方法では、前述した電歪セラミック材料体
を用意した侵において、 （１）　前記電歪セラミック材料体の少なくとも一部に
、前記厚み方向に向く電界を印加し、それによって、前
記電界が印加された部分全体としての分極の方向を前記
厚み方向における一方向に向けるステップと、 （２）　前記全体としての分極の方向が前記−厚み方向
に向けられた部分を有する前記電界セラミック材料体の
、前記厚み方向を分割する第１および第２の領域のうち
、前記第１の領域にのみキュリ一点以上の高温を与え、
それによって、前記第１の領域の全体としての分極配向
の度合を変化させるステップと、 を備えることが特徴である。

［発明の作用および効！ｉ！］ この発明に係る電歪セラミック材料体によれば、その厚
み方向に見たとき、当該厚み方向を分割する第１および
第２の領域において、全体としての分極配向の度合およ
び全体としての分極の方向、といった全体としての分極
の８様が互いに異ならされているので、このような電歪
セラミック材料体の厚み方向に所定の駆動用の電界を加
えたとき、横効果により伸縮の度合または方向が第１の
領域と第２の領域とにおいて互いに異ならせることがで
きる。そのため、当該電歪セラミック材料体をｍ独で用
いるだけで屈曲モードの変形を行なうアクチュエータを
＃４成することができる。

このように７クヂユエータを単独で構成できる電歪セラ
ミック材料体は、Ｐａ着部分を有しないため、接着剤の
使用または接ｔ＊の存在に起因する従来の問題点をすべ
て解消することができる。すなわち、電界を印加しない
ときにも温度変化により変形を起こすという不都合が解
消される。また、変形を生じさせるときに接ａｌｌ付近
に応力が集中し、それによって、電歪セラミック材料体
に割れを発生させたり、金属板と電歪セラミック材料体
との間で剥離を生じたりする、といった問題点も解消さ
れる。さらに、電歪セラミック材料体は、一体焼結され
るため、機械的強度が高められ、また、そのような機械
的強度のばらつきも低減させることができる。また、変
形または変位特性においても、製品間におけるばらつき
を抑えることができるとともに、変形または変位特性の
経時的変化あるいは変形または変位の繰返しによるこの
ような特性の劣化も小さくすることができる。また、使
用温度範囲が、接着剤等によって限定されることがなく
なるので、より広い範囲、すなわちより高温にまで使用
温度範囲を拡げることができる。

したがって、この発明に係る電歪セラミック材料体を、
アクチュエータとして用いた場合、高い信頼性を得るこ
とができる。

また、この発明に係る電歪セラミック材料体の分極操作
方法によれば、内部電極を用いることなく、一体焼結さ
れたセラミック材料からなる電歪セラミック材料体にお
いて、その厚み方向を分割する第１および第２の領域に
おいて、各々の全体としての分極態様を互いに異ならせ
ることができる。したがって、内部電極の形成に起因す
るコス日」がなく、また、このように特殊な分極態様を
持つ電歪セラミック材料体を能率的に得ることができる
。

特に、この発明に係る分極操作方法において、２段階の
分極操作、すなわち、電歪セラミック材料体に、厚み方
向に向く電界を印加し、それによって、全体としての分
極の方向をこの厚み方向における一方向に向けた後、厚
み方向を分割する第１および第２の領域に対して、前者
が後者より高温となる温度差を与えながら、上述の電界
と逆の方向に向く電界を厚み方向に印加し、それによっ
て、第１の領域の全体としての分極の方向を前の分極の
方向と逆向きにさせ、第１および第２の領域のそれぞれ
の全体としての分極の方向がともに厚み方向に向くが互
いに逆向きとされた電歪セラミック材料体を、アクチュ
エータとして用いた場合、その駆動用電界の大きざに対
する変形または変位量を大きく得ることができる。

［実施例１ 第１図ないし第３図を参照して、この発明の一実施例と
しての電歪セラミック材料体およびその分極操作方法に
ついて説明する。

まず、第２図に示すように、厚み方向寸法を有し、かつ
分極操作により電歪効果を示す一体焼結されたセラミッ
ク材料からなる電歪セラミック材料体１０が用意される
。この電歪セラミック材料体１０が用意された段階では
、前述した第１１図に示すように、自発分極の方向は全
くランダムである。

次に、電歪セラミック材料体１０の厚み方向に電界を印
加するため、電歪セラミツク４４料体１゜の上下面には
、電極１１．１２が形成される。これら電極１１．１２
を介して電圧が印加されたどき、第１２図に示すように
、分極方向が一方向に揃えられる。このようイ１第１２
図におけるような分極態様を、第２図に示されたような
矢印１３をもって簡略化して表わすことにする。すなわ
ら、第２図においては、電歪セラミック材料体１０は、
全体としての分極の方向が厚み方向における一方向に向
けられている。

次に、第３図に示すように、電歪セラミック材料体１０
は、加熱ヘッド１４と冷却ヘッド１５とによって挾まれ
た状態とされる。図示しないが、加熱ヘッド１４には、
ヒータまたは加熱媒体を通すパイプ、等が内蔵され、冷
却ヘッド１５には、液体窒素のような冷却媒体を通すバ
・イブが内蔵され、さらに放熱板が付加されてもよい。

第３図の状態において、電歪ヒラミック材料体１ｏを厚
み方向に見たとき、当該厚み方向を分割する第１および
第２の領域１６および１７に対して、前者が後者より高
温となる温度差が与えられる。そして、この状態を保持
しながら、分極用電源１８から電１１１．１２を介して
電歪セラミック材料体１０の厚み方向に電界が印加され
る。この電界は、第２図に矢印１３で示した分極方向と
は反対方向に分極を生じさせる方向に与えられる。この
ように電界が印加されたとき、それにより分極態様に影
響が及ぼされやすいのは、よりａ湯側にある第１の領１
１１６である。したがって、第１の領域１６においては
、点線で表わした矢印１つで示すように１分極の方向が
逆転する。低温側である第２の領域１７においては、第
２図の矢印１３と同様の方向に向く矢印２０で示された
分極方向を維持している。

なお、第３図に示すように、第１の領域１６においての
み分極の方向を反転させるための条件としては、電極１
１．１２間に印加される電界側り第１の領域１６と第２
の領域１７との間の温Ｉｆ差、分極操作時間、等がパラ
メータとなり、また、電歪セラミック材料体１０を構成
するセラミック材料によっても左右される。

第３図に示したステップを経て得られた電歪セラミック
材料体１０が、第１図に示されている。

第１図に示した矢印１９および２０かられかるように、
当該電歪セラミック材料体１０の第１および第２の領域
１６および１７は、それぞれの全体としての分極の方向
がともに厚み方向に向くが互いに逆向きとされている。

したがって、たとえば電極１１．１２を介して駆動用電
圧を印加したとき、第１および第２のｆｌＡ域１６Ｊ５
よび１７のそれぞれの横効宋により、湾曲モードの変形
が生じる。

なお、第３図のステップにおいて、分極用電源１８を電
歪セラミック材料体１０に与えるとき、加熱ヘッド１４
および冷却ヘッド１５が導電性材料から構成されている
とき、これらヘッド１４および１５を介して分極用の電
界を印加するようにしてもよい。この場合には、たとえ
ば電極１１および１２は形成されていなくてもよい。

以上のようにして得られた電歪セラミック材料体を用い
て構成されたアクチュエータの変位特性を、従来の貼り
合わせバイモルフ構造の７クチユエータと比較してみる
。

まず、厚さ０．５ｍｓ、有効長２５＋ｕの片持ち構造の
７タブユエータに関して、印加電圧に対する変位量を測
定したところ、第４図に示すような結果を得た。第４図
において、実線はこの発明の実施例を示し、点線は従来
例を示している。第４図かられかるように、この発明に
係るアクチュエータは、従来のアクチュエータとほぼ同
等かやや大きな変位量を示し、また、ばらつきの点にお
いては、１／２〜１／３と改善されている。

また、交８１電圧駆動による変位特性の変化を比較し、
その結果を第５図に示した。第５図において、実線はこ
の発明の実施例によるアクチュエータの特性を示し、点
線は従来例の特性を示している。第５図かられかるよう
に、この発明に係るアクチュエータは、従来例に比べて
、変位特性の劣化が小さく、また、ばらつきの点におい
ても、小さくなっている。

第６図および第７図は、それぞれ、この発明の他の実施
例を示した第１図に相当の図である。

これらの実施例は、電歪セラミック材料体１０の第１お
よび第２の領域１６および１７における全体としての分
極配向の度合が互いに異ならされでいる。第６図に示し
た実施例では、第１の領域１６は全体として圧電性を示
さず、他方、第２の領１４１７は矢印２１で示すように
分極されており、したがって全体として圧電性を示して
いる。また、第７図に示す実施例では、第１のＷ４域１
６には小さな矢印２２が示され、第２の領域１７には太
い矢印２３が示されている。これら矢印２２６よび２３
によって模式的に示１ように、この実施例では、第１お
よび第２の領域１６および１７における分極の方向は同
じであるものの、全体としての分極配向の度合は、太い
矢印２３で示した第２の領域１７における方がより大き
くされている。

第６図および第７図に示した各実施例の電歪セラミック
材料体１０を得るには、第８図に示すような分極操作方
法が実施される。すなわち、電歪セラミック材料体１０
は、加熱ヘッド２４と冷却ヘッド２５との間に挟まれた
状態とされる。なお、このようなヘッド２４および２５
の間にもたらす前の段階では、電歪セラミック材料体１
０は、第２図に示すような分極態様を有している。そし
て、第８図において、第１の領域１６にのみキュリ一点
以上の高温を与えるべく加熱ヘッド２４を適用し、他方
、第２の領域１７においては、昇温を避けるべく、冷却
ヘッド２５が作用している。このような条件に電歪セラ
ミック材料体１０をさらしたとき、第１の領１４１６に
おいて、脱分極が生じ、たとえば第６図に示したような
電歪セラミック材料体１０が得られる。

なお、第８図に示した脱分極操作における、加熱温度ま
たは時間等を＠御することにより、第１のｆｆｉ域１６
における脱分極を部分的に生じさせることができ、この
場合には、第７図に示したような分極態様を持つ電歪セ
ラミック材料体１０を得ることができる。

また、最初に述べた実施例において、第３図に示した分
極操作を実施する前に、第８図に示したような部分的な
脱分極操作ステップを実施しておいてもよい。

また、第６図に示した分極態様を持つ電歪セラミック材
料体１０は、第３図に示した加熱ヘッド１４、冷却ヘッ
ド１５および分極用電源１８を用いて作り出すことも可
能である。すなわら、第３図において、加熱ヘッド１４
および冷却ヘッド１５によって挾む電歪セラミック材料
体１０どして、たとえば第１１図に示したような自発分
極があらゆる方向を向いている、単なる焼成侵のもので
何ら分極処理が施されていないものを用いればよい。

これによって、第３図に示した分極操作を実施したとき
、この図面では第１の領域１６においてのみ矢印１９で
示すような分極方向が与えられ、第２の領域１７におい
ては、低温のため、分極されないままの状態を保つ。し
たがって、結果として、第６図に示した電歪セラミック
材料体１０と実質的に同量の分極態様を実現することが
できる。

また、加熱および冷却条件、分極用電界の強度、等を適
当に選ぶことにより、第７図に示したような分極態様を
持つ電歪セラミック材料体１０も、また、第３図に示し
た方法によって得ることができる。

この発明に係る電歪セラミック材料体は、その少なくと
も一部において厚み方向に見たとき、全体としての分極
配向の度合および全体としての分極の方向の少なくとも
一方が、厚み方向を分割する第１および第２の領域にお
いて互いに異ならされていることが条件であり、厚み方
向と直交する方向に関しては、分極態様が同一であって
もどのように変化していても、この発明の範囲を定める
上では無関係である。この意味で、第９図および第１０
図に示した各実施例も、この発明の範囲内に入るもので
ある。

第９図においては、第１および第２の領域１６および１
７のそれぞれにＪ３いて、厚み方向と直交する方向に見
たとき、分極配向の度合が、太さの異なる矢印２６．・
・・、２７および２８．・・・、２９で模式的に示すよ
うに、変化している。

また、第１０図に示した実施例では、厚み方向に直交す
る方向に見たとき、全体として圧電性を示さない領域３
０．３１．３２が存在し、一部においてのみ、その厚み
方向に見たとぎ、分極配向の度合および分極の方向の少
なくとも一方が、厚み方向を分割する第１８よび第２の
領域１６および１７において互いに異ならされている。

なお、厚み方向に直交する方向における分極態様の分布
状態は、この発明の要旨とは直接関連が＜７．いが、第
９図および第１０図に示した実施例以外に、さらに変更
を加えることができるであろう。

また、この発明で用いられる電歪効果を示す電歪セラミ
ック材料として、特に具体例を挙げなかったが、従来か
ら周知の電歪セラミック材料をこの発明に適用できるこ
とはもちろんである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例となる電歪セラミック材
料体１０を模式的に示す図である。第２図は、全体とし
ての分極の方向を厚み方向における一方向に向けた状態
にある電歪セラミック材料体１０を模式的に示す図であ
る。第３図は、第２図に示した電歪セラミック材料体１
０から第１図に示した電歪セラミック材料体１０を得る
ための方法の一スデップを説明するための図である。 第４図は、従来例との比較で、この発明の実施例の電や
セラミック材料体を用いたアクチュエータにおける印加
電圧に対する変位置の特性を示すグラフである。第５図
は、従来例との比較の上で、この発明の実施例に係る電
歪セラミック材料体を用いたアクチュエータの変位特性
の変化を示すグラフである。 第６図は、この発明の他の実施例としての電歪セラミッ
ク材料体１０を模式的に示す図である。 第７図は、この発明のさらに他の実施例としての１！歪
セラミック材料体１０を模式的に示す図である。 第８図は、この発明の分極操作方法の他の実施例を説明
するための図である。 第９図および第１０図は、それぞれ、この発明のさらに
他の実施例を模式的に示す図である。 第１１図は、焼成後の電歪セラミック材料における自発
分極の状態をグレイン・スケールで示す模式図である。 第１２図は、第１１図に示した電歪セラミック材料に対
して分極処理を施した状態の模式図である。 図において、１０は電歪セラミック材料体、１１．１２
は電極、１３．１９〜２３．２６〜２９は、分極配向の
度合および／または分極の方向を示す矢印、１４．２４
は加熱ヘッド、１５．２５は冷却ヘッド、１６は第１の
領域、１７は第２の領域、１８は分極用電源である。 特許出願人　株式会社村田製作所 代　　理　　人　　弁理士　　深　　免　　久　　部（
ほか２名）　−・′ 印加電圧［Ｖコ 第５図 時間

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）厚み方向寸法を有し、かつ電歪効果を示す一体焼
   結されたセラミック材料からなる電歪セラミックス材料
   体であって、 その少なくとも一部において前記厚み方向に見たとき、
   全体としての分極配向の度合および全体としての分極の
   方向の少なくとも一方が、前記厚み方向を分割する第１
   および第２の領域において互いに異ならされていること
   を特徴とする、電歪セラミック材料体。
2. （２）前記第１および第２の領域は、それぞれの全体と
   しての分極の方向がともに前記厚み方向に向くが互いに
   逆向きとされている、特許請求の範囲第１項記載の電歪
   セラミック材料体。
3. （３）前記第１および第２の領域は、それぞれの全体と
   しての分極配向の度合が互いに異ならされている、特許
   請求の範囲第１項記載の電歪セラミック材料体。
4. （４）前記第１の領域は全体として圧電性を示さず、他
   方、前記第２の領域は全体として圧電性を示す、特許請
   求の範囲第３項記載の電歪セラミック材料体。
5. （５）厚み方向寸法を有し、かつ分極操作により電歪効
   果を示す一体焼結されたセラミック材料からなる電歪セ
   ラミック材料体を用意し、前記電歪セラミック材料体の
   少なくとも一部において、前記厚み方向を分割する第１
   および第２の領域に対して、前者が後者より高温となる
   温度差を与えながら、第１の電界を前記厚み方向に印加
   し、それによつて、前記第１の領域の全体としての分極
   配向の度合および全体としての分極の方向の少なくとも
   一方を前記第２の領域より大きく変化させる、 各ステップを備える、電歪セラミック材料体の分極操作
   方法。
6. （６）前記第１の電界を印加すべき前記電歪セラミック
   材料体には、前記少なくとも一部において、前記第１の
   電界と逆の方向に向く第２の電界が前もつて印加されて
   おり、それによって、前記第２の電界が印加された部分
   全体としての分極の方向が前記厚み方向における一方向
   に既に向けられている、特許請求の範囲第５項記載の電
   歪セラミック材料体の分極操作方法。
7. （７）前記第１の電界を印加すべき前記電歪セラミック
   材料体には、前記一体焼結された段階後において、何ら
   の分極処理も施されておらず、前記第１の電界の印加に
   より、前記第１の領域の全体としての分極の方向が前記
   厚み方向における一方向に向けられる、特許請求の範囲
   第５項記載の電歪セラミック材料体の分極操作方法。
8. （８）厚み方向寸法を有し、かつ分極操作により電歪効
   果を示す一体焼結されたセラミック材料からなる電歪セ
   ラミック材料体を用意し、前記電歪セラミック材料体の
   少なくとも一部に、前記厚み方向に向く電界を印加し、
   それによって、前記電界が印加された部分全体としての
   分極の方向を前記厚み方向における一方向に向け、 前記全体としての分極の方向が前記一厚み方向に向けら
   れた部分を有する前記電歪セラミック材料体の、前記厚
   み方向を分割する第１および第２の領域のうち、前記第
   １の領域にのみキュリー点以上の高温を与え、それによ
   って、前記第１の領域の全体としての分極配向の度合を
   変化させる、各ステップを備える、電歪セラミック材料
   体の分極操作方法。