JPS6328856A - スパッタリングによって蒸着された少なくとも１つの平滑層を有する複合材料及びその製造方法 - Google Patents
スパッタリングによって蒸着された少なくとも１つの平滑層を有する複合材料及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔腫業上の利用分野〕
本発明は、陰極吹付け（スノンツタリング）によりて蒸
着される少なくとも１つの平滑層を有し、該平滑層が緊
密に結合した母材を形成する少なくとも１つの金属材料
と固体状態に於いて母材材料中で実際に不溶の少なくと
も更にもう１つの金属材料から成る統計的に配分されて
吹付けられる粒子の混合物から構成されている複合材料
に関する。 本発明は、更に、前記の類の複合材料の製造方法に関す
る。 〔従来の技術及びその問題点〕 複合材料の表面膚としての平滑層は、例えば、内燃機関
の軸受に利用され、その他の特性と並び次の特性を有し
ていなければならないニシャフトの材料よプ低い硬度、
動的交番荷重に対する高度な強度、高度なせん断抵抗、
熱安定的な機械的特性ならびに高度な耐腐食性。こうし
た要件を満たすものは、相関した母材の形成により層に
機械的強度を付与すると共に腐食耐性を具え且つ錫ある
いは鉛に対して溶解性を持たない例えばアルミニウム、
クロムもしくはニッケル等の金属と鉛もしくは錫との混
合物である。鉛もしくは錫を含有した平滑層を備えた複
合材料ならびに陰極吹付け（ス・ぐツタリング）による
該材料の製造方法はＤＥ−ＰＳ［ドイツ特許公報］第２
８５３７２４号及び第２９１４６１８号ならびにＤＥ−
Ｏ８〔西ドイツ特許公開公報〕第３４０４８８０号に記
述されている。しかしながら該方法の利用にあたり、下
地とその上に蒸着される平滑層との間の高度な粘着力と
結合力の達成に関し相当な困難が存することが判明した
。更に該方法によれば、数μｍの偶然的に分布した直径
を有する錫もしくは鉛の塊が埋封された比較的粗い構造
を有する平滑層が結果する。この種の層構造は腐食耐性
を損なうこととなる。 前記技術水準に於いて、更て、在来のスチール−ＣｕＰ
ｂ −３層配置に於いてＡｔＳ ｎ ２０の合金組成を
ベースとし陰極吹付けによって蒸着される平滑層が少な
くとも、従来の方法で巻き付けられた層よりも精細に分
布したＳｎ含有粒子を有していることが強調されている
とは云え、この鴇の層も一義的に定義しにくい。アルミ
ニウムと錫との不均質な混合物を結果させることを否定
することはできない。この種の平滑層における平均粒子
サイズと該平滑層を製造するための再現性ある反応条件
とに関する精密な記述は今日までのところなんら知られ
るく至っていない〔以下参照：Ｕ、エンダル。 最近のエンジンベアリング用の新多層材料の開発及びテ
スト（Ｕ、Ｅｎｇ＠ｌ、 Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ａ
ｎｄＴｅｓｔｉｎｇ ｏｆ Ｎｅｗ Ｍｕｌｔｉ−Ｌａ
ｙｅｒ Ｍａｔｅｒｉａｌｓｆｏｒ Ｍｏｄ＠ｒ
Ｅｎｇｉｎｅ Ｂｅａｒｉｎｇｓ）： Ｐａｒ
ｔ２− スＡツタ表面層を具えた銅−鉛−３層ベアリン
グ（Ｃｏｐｐφｒ−Ｌｅａｄ−Ｔｈｒｅｅ−Ｌａｙｅｒ
Ｂ＠ａｒｉｎｇｓ ｗｉｔｈ ５ｐｕｔｔｅｒｅｄＯ
ｖｅｒｌａｙ）、 ＳＡＥ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｐ
ａｐｅｒ Ｓ＠ｒｉｅｓ 。 Ｉｎｔ、Ｃｏｎｇｒｅｓｓ ａｎｄ Ｅｘｐｏｓｌｔｉ
ｏｎ、アトロイト２１９８６年２月２４日〜２８日、７
６及び７７４−ジ）。 前記技術水準に於いて提案されている酸化物の意図的埋
封による母材の強化（分散強化）も実際には著しい困難
をもたらした。例えばアルミニウム製の母材につき０．
１〜０．５重量係の酸化物粒子濃度が規定された（ＤＩ
−ＰＳ第２９１４６１８号、第５段）が、この種の濃度
は、例えば滑）軸受の大量生産に際し、その順守が極め
て困難であるか、もしくはそもそも順守が不可能であり
、こうしたことが再び結果として層特性の激しい変動を
もたらすと共に該層製造方法の総じて不十分な再現性金
もたらすこととなる。 したがって本発明の目的は、本説明の冒頭に述べた類の
複合材料を改良し、その粘着力と腐食耐性と全大幅に向
上させ、従来その製造方法に欠如していた再現性を達成
することである・〔問題点を解決するための手段〕 前記目的は本発明による以下の特徴を以って解決が図ら
れる。（、）母材中で不溶の材料が母材材料よりも低い
融点を有すること、及び、（ｂ）母材中で不溶の材料製
の粒子の直径がＸ （０，８μｍの平均値を有した統計
的正規分布を示すこと。したがって前記目的は陰極吹付
は法で形成される平滑層により単純に解決され得るので
はなく、本発明による平滑層に意図的な方法で固有の特
性が付与されることによって解決され得る。その際驚異
的な形で判明した事実は、本発明による平滑層が前記技
術水準に於いて公知となれる層に比較して、酸化物粒子
の関与がなくとも、不溶性材料を含んだ粒子の約１０倍
に達する精細な分布により平滑層に必要とされる機械的
特性を保持することである。 例えば連続鋳造されたＡｔ５ｎ２０Ｃｕはビッカース硬
度３５を有し、酸化物粒子による分散強化後にビッカー
ス硬度１３０に達する（ＤＥ−ＰＳ第２８５３７２４号
、第６段）が、本発明による層は酸化物の関与なしに最
低１８０のビッカース硬度（ＨＶ、、）を達成する。更
にこの硬度はｍａｘ、０．２重量係の酸化物の意図的な
添加により約２００にまで高めることができる。また本
発明による膚は前記技術水準に於いて公知となれる膚に
比較して大幅に高い焼戻し耐性を示す。従来の平滑層を
１７０℃で３００時間に亘って熱処理する場合には相当
な硬度低下が生ずる（ＤＥ−ＰＳ第２８５３７２４号参
照）が、本発明による層の硬度はこの種の熱処理後にも
１７０ビツカース以下に低下することはない。 本発明による層は、更に、酸化物により分散強化された
層よりも大幅に高い腐食耐性を示すが、これは母材と不
溶性粒子との間の空隙の大きさが僅かであることば帰着
される。また更に、平滑層に於いて母材中で不溶の粒子
の精細で均質な分布が達成されることにより該層中に該
不溶性材料をほぼ任意の・−一センテージで封入するこ
とが可能となり、またその結果、粒子が機械的荷重つま
り動的交番荷重により母材から引き離されたり、その際
、内部切欠き効果により平清層中にひび割れが生じたり
する危険もない。本発明による平滑層が従来の平滑層に
比較して動的交番荷重圧対して有する大幅に高い強度な
らびに該層の機械的特性の高度な熱的安定性は前記の事
情に由来している。 個々の点について論ずれば、母材中で不溶な成分として
、少なくとも、比較的融点の低い元素−錫（融点２３１
．８９℃）、鉛（融点３２７．４℃）あるいはインジウ
ム（融点１５６．４℃）−のいずｎかを使用するように
本発明を構成することができる。 但し特別な利用のためＫその他の低温融解金属とそれら
の合金を使用することも排除されているわけではない（
カドミウム、融点３２０．９℃；ビスマス、融点２７１
．３℃；タリウム、融点３０２℃；亜鉛、融点４１９．
５℃；カリウム、融点２９．８℃）。 本発明は母材形成材料が少なくとも以下の元素−アルミ
ニウム、クロム、ニッケル、マクネシウムもしくは銅−
のいずれかを主たる構成要素とした在来の滑り軸受合金
を含んだ複合材料ないし複合加工部材にとって特別な長
所を有している。実際Ｋ、平滑層が以下の組合せ−Ａｔ
ＣｕＳｎ ＡｔＣｕＰｂ 。 ＡｔＣｕ５ｎＰｂ、 Ａｔ５ｉＳｎ、Ａｔ５ＩＰｂ、Ａ
ｔ５ｉＳｎＰｂ、 Ｃｕ５ｎ。 ＣｕＰｂ、 Ｃｕ５ｎＰｂ−のいずれかを有した組成を
全体として有している場合には、特に有利であることが
判明した。本発明による平滑層の厚さは１０〜３０μｍ
であるのが好ましいが、大半の利用事例にとっては該範
囲の下側半分の厚さく１２〜１６μｍ）で十分である。 この限シで前記技術水準に於いて提案されている１８μ
ｍという在来の２成分平滑層の最適厚さは確証し得なか
った〔エンｒＡ／ （Ｅｎｇｅｌ ） 、前記文献ｐ７
６、参照〕。 本発明の構成に於いて、母材中で不溶の材料製の粒子の
直径は平均値Ｘが０，０５〜０．４μｍの範囲にある統
計的正規分布を示すのが好ましいが、実験は例えばＸ
＜ ０．８μｍの値までなお本発明による効果を見込み
得ることを明らかＫした。 技術水準（ＤＥ−Ｐ（西ドイツ特許）第２９１４６１８
、第５段： Ｄ Ｅ −Ｐ Ｓ ２８５３７２４゜第５
段〕より０．１〜１．５７．（体積）の酸化物含有量が
いわゆる分数強化を結果させることが公知である。驚く
べきことに、これに対し、製造にあたって特別な対策（
不活性ガス雰囲気中で製造されたターダクトの使用）に
より０２含有量が０．２重量係以下に低下された本発明
による層が前記の類の分散強化された平滑層と同じ機械
的特性のみならず、該層に比し大幅に改善された機械的
特性２有することが明らかとなった。したがって分散さ
せられた酸化物粒子による強化を埋封される粒子の直径
の低下による強化に代えることができる。 本発明による平滑層は、優れた非常滑シ特性を具えた材
料製の支持層が基材（軸受の背）と平滑層との間に設け
られる３要滑シ軸受の表面層として特に適している。中
間挿入される該層については極めて多様な物質組成が考
えられるが、その際には該層の硬度が平滑層の硬度より
低い点に注意しさえすればよい。個々に云えば該層は錫
、鉛。 アンチモン、鋼等の元素あるいは公知の合金、例えば錫
青銅、錫鉛青銅（ＤＩＮ１７０５．１７１６゜１７１８
及び１７６６２．参照）もしくはホワイトメタル（ＤＩ
Ｎ１７０３．参照）を含むことができる（Ｍ、Ｊ、ニー
ル（Ｍ、Ｊ、 吊ＡＩＪ）（編集）。 潤滑工学ハンドブック（Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ Ｈａｎｄ
ｂｏｏｋ）。 ロンドン１９７５．表Ｃ−１．参照のこと）。その際、
中間挿入される該支持層のプリネル硬度は３０〜１００
ｋｐ／ｍであるべきであろう。 更に、平滑層と基材との間に、同じく陰極吹付けにより
蒸着され、平滑層から基材中ないし中間挿入された支持
層中への金属の拡散を防止する薄い遮断層を設けるのが
有利であると判明した。核拡散防止層の厚さは約２μｍ
であるのが有利であり、主たる構成要素として平滑層の
母材形成材料のいず汎かを含むことができる。この場合
、クロムとニッケルから構成される組成が特に適切であ
ることが判明した。該拡散防止層は平滑層とその下に設
けられる支持層との間に置かｎるのが有利である。但し
特別な利用のため、該遮断層を前記支持層と基材（軸受
の背）との間に設けることも排除さｎているわけではな
い。同じく、特別な利用のため、複数の平滑層を互いに
重ねて配置することもできる。 本発明は、更に、平滑層が陰極吹付け（ス・９ツタリン
グ）Ｋよって蒸着される前記提案の複合材料の製造方法
に関する。この場合、該方法に関する本発明の目的は、
従来の技術水準に於いて公知となれる製造方法の再現性
の欠如を取シ除き、そｎによりコンスタントな機械的特
性及び防腐特性を具えた製品の確保を達成することであ
った。前記目的は前記方法に関する本発明により、コー
ティングされる支持体の温度をコーティング処理のあい
だ１５０℃以下に保つことによってその解決が図られる
。驚くべき形で判明したように、陰極吹付は処理に際す
るこの種の支持体温度の低下は母材中で不溶の粒子の平
均直径が数μｍから０．０５〜０．８μｍへと予想外に
低下する結果をもたらし、それと共に、蒸着された平滑
層の高い両振シ疲れ限度及び腐食耐性等の本発明による
特性を結果する。 前記のコーティング温度の低下の他に、従来の技術水準
に比して高いコーティング速度（１分あたり０．２μｍ
以上）も本発明による不溶成分の精細分布に貢献する。 こうした関係は本方法の実施のため罠十分な量の冷却水
が得られないような状況下で意図的に活用することがで
きる。 本製造方法の構成に於いて、平滑層の種々の材料、した
がって母材を形成する材料と母材中で不溶な材料とを陰
極吹付は法により同時に下地に蒸着させ、これにより本
発明による不溶成分の精細分布を更に向上させることが
意図されている。これは、好ましくは、本方法に於いて
使用されるターグットの捧以上に母材の主たる構成要素
ならびに母材中で不溶の材料の双方を共に含ませること
によって達成することができる。その際、所望の平滑層
の組成に応じ、特に以下の組成−ＡｔＣｕＳｎ。 ＡｔＣｕＰｂ、ＡｔＳ ｉｓｎ、Ａｔ５ｉＰｂ、ＡｔＳ
１ＳｎＰｂ、Ｃｕ５ｎ。 ＣｕＰｂ、Ｃｕ５ｎＰｂ−を有した合金を使用すること
ができる。この場合、平滑層の酸素ないし酸化物含有：
！！：を０．２重量％以下に保つため、問題となるター
ｖ”ットを真空中もしくは不活性ガス雰囲気中で酸素を
締め出して鋳込むことが必要である。 本方法の別な構成に於いて、平滑層の種々の成分を時間
的に順次に下地に蒸着させることも行なわれる。このた
めには、平滑層の主文る成分−し念がって例えば純アル
ミニウム及び純錫−製のターグットを使用し、当該コー
ティング装置の種々相異したポジションでス・々ツタす
るのが有利である。 その際、拡散防止層と平滑層とを形成するため同じター
グットを使用し、相異した両層を直接に重ねて被コーテ
イング加工材上に付するのが特に有利である。本発明に
よる方法の更に別な構成に於いて、母材形成成分が母材
中で不溶な成分より高い温度で蒸着されるように支持体
温度が変化させられる。これは、前記の別な構成に於い
て、平滑層の母材形成成分を高い支持体温度で時間的に
不溶成分に先行して蒸着させ、温度を該コーティング処
理中に低下させることによって行なうことができる。更
にまた、コーティングさるべき支持体にかけられる電圧
を具体的な利用事例の所与条件に応じて変化させること
によっても本発明による方法の別な構成が結果する。こ
れは、高い融点を有した成分、したがって例えば母材形
成成分ないし拡散防止層の主たる成分を母材中で不溶な
低層融点を有した成分よりも高い電圧で蒸着させること
によりて有利に行なうことができる。 本発明による平滑層はあらゆる種類の滑り軸受に有利に
使用することができる。軸受荷重が８ＯＮ゛／■〜１２
ＯＮ／ｍ 、軸受の背の温度が１５０℃〜２００℃に
おけるいわゆる３成分軸受ないし３層軸受に於いて本平
滑層を使用するのが特に合理的であると判明した０本発
明による膚は該条件下洗於いて７２０時間に亘る連続荷
重試験後にもなんら測定し得るほどの摩耗を示さない。 〔実施例〕 以下に図面に基き本発明の２種の実施例を詳しく説明す
る。 第１図の実施例に於いて、スチールの背（基材）１上に
非常滑り特性を具えた材料製の厚さ２００μｍ〜７００
μｍの支持層２が付されている。該支持層用に鉛青銅な
いし鉛錫青銅が使用さｎる場合には、該層は５０〜１０
０ｋｐ／１ｍ２のブリネル硬度を達成する。 前記支持層上に陰極吹付は法により通例数μｍ（２〜４
μ？Ｆりの厚さの薄い拡散防止層３が蒸着さｎている。 該拡散防止層３Ｆｉ平滑層の母材形成材料の１つもしく
は複数の元素−例えばニッケル、クロムないしこれら両
者の合金−から構成さｎているのが有利である。該遮断
層３全覆って本発明
着される少なくとも１つの平滑層を有し、該平滑層が緊
密に結合した母材を形成する少なくとも１つの金属材料
と固体状態に於いて母材材料中で実際に不溶の少なくと
も更にもう１つの金属材料から成る統計的に配分されて
吹付けられる粒子の混合物から構成されている複合材料
に関する。 本発明は、更に、前記の類の複合材料の製造方法に関す
る。 〔従来の技術及びその問題点〕 複合材料の表面膚としての平滑層は、例えば、内燃機関
の軸受に利用され、その他の特性と並び次の特性を有し
ていなければならないニシャフトの材料よプ低い硬度、
動的交番荷重に対する高度な強度、高度なせん断抵抗、
熱安定的な機械的特性ならびに高度な耐腐食性。こうし
た要件を満たすものは、相関した母材の形成により層に
機械的強度を付与すると共に腐食耐性を具え且つ錫ある
いは鉛に対して溶解性を持たない例えばアルミニウム、
クロムもしくはニッケル等の金属と鉛もしくは錫との混
合物である。鉛もしくは錫を含有した平滑層を備えた複
合材料ならびに陰極吹付け（ス・ぐツタリング）による
該材料の製造方法はＤＥ−ＰＳ［ドイツ特許公報］第２
８５３７２４号及び第２９１４６１８号ならびにＤＥ−
Ｏ８〔西ドイツ特許公開公報〕第３４０４８８０号に記
述されている。しかしながら該方法の利用にあたり、下
地とその上に蒸着される平滑層との間の高度な粘着力と
結合力の達成に関し相当な困難が存することが判明した
。更に該方法によれば、数μｍの偶然的に分布した直径
を有する錫もしくは鉛の塊が埋封された比較的粗い構造
を有する平滑層が結果する。この種の層構造は腐食耐性
を損なうこととなる。 前記技術水準に於いて、更て、在来のスチール−ＣｕＰ
ｂ −３層配置に於いてＡｔＳ ｎ ２０の合金組成を
ベースとし陰極吹付けによって蒸着される平滑層が少な
くとも、従来の方法で巻き付けられた層よりも精細に分
布したＳｎ含有粒子を有していることが強調されている
とは云え、この鴇の層も一義的に定義しにくい。アルミ
ニウムと錫との不均質な混合物を結果させることを否定
することはできない。この種の平滑層における平均粒子
サイズと該平滑層を製造するための再現性ある反応条件
とに関する精密な記述は今日までのところなんら知られ
るく至っていない〔以下参照：Ｕ、エンダル。 最近のエンジンベアリング用の新多層材料の開発及びテ
スト（Ｕ、Ｅｎｇ＠ｌ、 Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ａ
ｎｄＴｅｓｔｉｎｇ ｏｆ Ｎｅｗ Ｍｕｌｔｉ−Ｌａ
ｙｅｒ Ｍａｔｅｒｉａｌｓｆｏｒ Ｍｏｄ＠ｒ
Ｅｎｇｉｎｅ Ｂｅａｒｉｎｇｓ）： Ｐａｒ
ｔ２− スＡツタ表面層を具えた銅−鉛−３層ベアリン
グ（Ｃｏｐｐφｒ−Ｌｅａｄ−Ｔｈｒｅｅ−Ｌａｙｅｒ
Ｂ＠ａｒｉｎｇｓ ｗｉｔｈ ５ｐｕｔｔｅｒｅｄＯ
ｖｅｒｌａｙ）、 ＳＡＥ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｐ
ａｐｅｒ Ｓ＠ｒｉｅｓ 。 Ｉｎｔ、Ｃｏｎｇｒｅｓｓ ａｎｄ Ｅｘｐｏｓｌｔｉ
ｏｎ、アトロイト２１９８６年２月２４日〜２８日、７
６及び７７４−ジ）。 前記技術水準に於いて提案されている酸化物の意図的埋
封による母材の強化（分散強化）も実際には著しい困難
をもたらした。例えばアルミニウム製の母材につき０．
１〜０．５重量係の酸化物粒子濃度が規定された（ＤＩ
−ＰＳ第２９１４６１８号、第５段）が、この種の濃度
は、例えば滑）軸受の大量生産に際し、その順守が極め
て困難であるか、もしくはそもそも順守が不可能であり
、こうしたことが再び結果として層特性の激しい変動を
もたらすと共に該層製造方法の総じて不十分な再現性金
もたらすこととなる。 したがって本発明の目的は、本説明の冒頭に述べた類の
複合材料を改良し、その粘着力と腐食耐性と全大幅に向
上させ、従来その製造方法に欠如していた再現性を達成
することである・〔問題点を解決するための手段〕 前記目的は本発明による以下の特徴を以って解決が図ら
れる。（、）母材中で不溶の材料が母材材料よりも低い
融点を有すること、及び、（ｂ）母材中で不溶の材料製
の粒子の直径がＸ （０，８μｍの平均値を有した統計
的正規分布を示すこと。したがって前記目的は陰極吹付
は法で形成される平滑層により単純に解決され得るので
はなく、本発明による平滑層に意図的な方法で固有の特
性が付与されることによって解決され得る。その際驚異
的な形で判明した事実は、本発明による平滑層が前記技
術水準に於いて公知となれる層に比較して、酸化物粒子
の関与がなくとも、不溶性材料を含んだ粒子の約１０倍
に達する精細な分布により平滑層に必要とされる機械的
特性を保持することである。 例えば連続鋳造されたＡｔ５ｎ２０Ｃｕはビッカース硬
度３５を有し、酸化物粒子による分散強化後にビッカー
ス硬度１３０に達する（ＤＥ−ＰＳ第２８５３７２４号
、第６段）が、本発明による層は酸化物の関与なしに最
低１８０のビッカース硬度（ＨＶ、、）を達成する。更
にこの硬度はｍａｘ、０．２重量係の酸化物の意図的な
添加により約２００にまで高めることができる。また本
発明による膚は前記技術水準に於いて公知となれる膚に
比較して大幅に高い焼戻し耐性を示す。従来の平滑層を
１７０℃で３００時間に亘って熱処理する場合には相当
な硬度低下が生ずる（ＤＥ−ＰＳ第２８５３７２４号参
照）が、本発明による層の硬度はこの種の熱処理後にも
１７０ビツカース以下に低下することはない。 本発明による層は、更に、酸化物により分散強化された
層よりも大幅に高い腐食耐性を示すが、これは母材と不
溶性粒子との間の空隙の大きさが僅かであることば帰着
される。また更に、平滑層に於いて母材中で不溶の粒子
の精細で均質な分布が達成されることにより該層中に該
不溶性材料をほぼ任意の・−一センテージで封入するこ
とが可能となり、またその結果、粒子が機械的荷重つま
り動的交番荷重により母材から引き離されたり、その際
、内部切欠き効果により平清層中にひび割れが生じたり
する危険もない。本発明による平滑層が従来の平滑層に
比較して動的交番荷重圧対して有する大幅に高い強度な
らびに該層の機械的特性の高度な熱的安定性は前記の事
情に由来している。 個々の点について論ずれば、母材中で不溶な成分として
、少なくとも、比較的融点の低い元素−錫（融点２３１
．８９℃）、鉛（融点３２７．４℃）あるいはインジウ
ム（融点１５６．４℃）−のいずｎかを使用するように
本発明を構成することができる。 但し特別な利用のためＫその他の低温融解金属とそれら
の合金を使用することも排除されているわけではない（
カドミウム、融点３２０．９℃；ビスマス、融点２７１
．３℃；タリウム、融点３０２℃；亜鉛、融点４１９．
５℃；カリウム、融点２９．８℃）。 本発明は母材形成材料が少なくとも以下の元素−アルミ
ニウム、クロム、ニッケル、マクネシウムもしくは銅−
のいずれかを主たる構成要素とした在来の滑り軸受合金
を含んだ複合材料ないし複合加工部材にとって特別な長
所を有している。実際Ｋ、平滑層が以下の組合せ−Ａｔ
ＣｕＳｎ ＡｔＣｕＰｂ 。 ＡｔＣｕ５ｎＰｂ、 Ａｔ５ｉＳｎ、Ａｔ５ＩＰｂ、Ａ
ｔ５ｉＳｎＰｂ、 Ｃｕ５ｎ。 ＣｕＰｂ、 Ｃｕ５ｎＰｂ−のいずれかを有した組成を
全体として有している場合には、特に有利であることが
判明した。本発明による平滑層の厚さは１０〜３０μｍ
であるのが好ましいが、大半の利用事例にとっては該範
囲の下側半分の厚さく１２〜１６μｍ）で十分である。 この限シで前記技術水準に於いて提案されている１８μ
ｍという在来の２成分平滑層の最適厚さは確証し得なか
った〔エンｒＡ／ （Ｅｎｇｅｌ ） 、前記文献ｐ７
６、参照〕。 本発明の構成に於いて、母材中で不溶の材料製の粒子の
直径は平均値Ｘが０，０５〜０．４μｍの範囲にある統
計的正規分布を示すのが好ましいが、実験は例えばＸ
＜ ０．８μｍの値までなお本発明による効果を見込み
得ることを明らかＫした。 技術水準（ＤＥ−Ｐ（西ドイツ特許）第２９１４６１８
、第５段： Ｄ Ｅ −Ｐ Ｓ ２８５３７２４゜第５
段〕より０．１〜１．５７．（体積）の酸化物含有量が
いわゆる分数強化を結果させることが公知である。驚く
べきことに、これに対し、製造にあたって特別な対策（
不活性ガス雰囲気中で製造されたターダクトの使用）に
より０２含有量が０．２重量係以下に低下された本発明
による層が前記の類の分散強化された平滑層と同じ機械
的特性のみならず、該層に比し大幅に改善された機械的
特性２有することが明らかとなった。したがって分散さ
せられた酸化物粒子による強化を埋封される粒子の直径
の低下による強化に代えることができる。 本発明による平滑層は、優れた非常滑シ特性を具えた材
料製の支持層が基材（軸受の背）と平滑層との間に設け
られる３要滑シ軸受の表面層として特に適している。中
間挿入される該層については極めて多様な物質組成が考
えられるが、その際には該層の硬度が平滑層の硬度より
低い点に注意しさえすればよい。個々に云えば該層は錫
、鉛。 アンチモン、鋼等の元素あるいは公知の合金、例えば錫
青銅、錫鉛青銅（ＤＩＮ１７０５．１７１６゜１７１８
及び１７６６２．参照）もしくはホワイトメタル（ＤＩ
Ｎ１７０３．参照）を含むことができる（Ｍ、Ｊ、ニー
ル（Ｍ、Ｊ、 吊ＡＩＪ）（編集）。 潤滑工学ハンドブック（Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ Ｈａｎｄ
ｂｏｏｋ）。 ロンドン１９７５．表Ｃ−１．参照のこと）。その際、
中間挿入される該支持層のプリネル硬度は３０〜１００
ｋｐ／ｍであるべきであろう。 更に、平滑層と基材との間に、同じく陰極吹付けにより
蒸着され、平滑層から基材中ないし中間挿入された支持
層中への金属の拡散を防止する薄い遮断層を設けるのが
有利であると判明した。核拡散防止層の厚さは約２μｍ
であるのが有利であり、主たる構成要素として平滑層の
母材形成材料のいず汎かを含むことができる。この場合
、クロムとニッケルから構成される組成が特に適切であ
ることが判明した。該拡散防止層は平滑層とその下に設
けられる支持層との間に置かｎるのが有利である。但し
特別な利用のため、該遮断層を前記支持層と基材（軸受
の背）との間に設けることも排除さｎているわけではな
い。同じく、特別な利用のため、複数の平滑層を互いに
重ねて配置することもできる。 本発明は、更に、平滑層が陰極吹付け（ス・９ツタリン
グ）Ｋよって蒸着される前記提案の複合材料の製造方法
に関する。この場合、該方法に関する本発明の目的は、
従来の技術水準に於いて公知となれる製造方法の再現性
の欠如を取シ除き、そｎによりコンスタントな機械的特
性及び防腐特性を具えた製品の確保を達成することであ
った。前記目的は前記方法に関する本発明により、コー
ティングされる支持体の温度をコーティング処理のあい
だ１５０℃以下に保つことによってその解決が図られる
。驚くべき形で判明したように、陰極吹付は処理に際す
るこの種の支持体温度の低下は母材中で不溶の粒子の平
均直径が数μｍから０．０５〜０．８μｍへと予想外に
低下する結果をもたらし、それと共に、蒸着された平滑
層の高い両振シ疲れ限度及び腐食耐性等の本発明による
特性を結果する。 前記のコーティング温度の低下の他に、従来の技術水準
に比して高いコーティング速度（１分あたり０．２μｍ
以上）も本発明による不溶成分の精細分布に貢献する。 こうした関係は本方法の実施のため罠十分な量の冷却水
が得られないような状況下で意図的に活用することがで
きる。 本製造方法の構成に於いて、平滑層の種々の材料、した
がって母材を形成する材料と母材中で不溶な材料とを陰
極吹付は法により同時に下地に蒸着させ、これにより本
発明による不溶成分の精細分布を更に向上させることが
意図されている。これは、好ましくは、本方法に於いて
使用されるターグットの捧以上に母材の主たる構成要素
ならびに母材中で不溶の材料の双方を共に含ませること
によって達成することができる。その際、所望の平滑層
の組成に応じ、特に以下の組成−ＡｔＣｕＳｎ。 ＡｔＣｕＰｂ、ＡｔＳ ｉｓｎ、Ａｔ５ｉＰｂ、ＡｔＳ
１ＳｎＰｂ、Ｃｕ５ｎ。 ＣｕＰｂ、Ｃｕ５ｎＰｂ−を有した合金を使用すること
ができる。この場合、平滑層の酸素ないし酸化物含有：
！！：を０．２重量％以下に保つため、問題となるター
ｖ”ットを真空中もしくは不活性ガス雰囲気中で酸素を
締め出して鋳込むことが必要である。 本方法の別な構成に於いて、平滑層の種々の成分を時間
的に順次に下地に蒸着させることも行なわれる。このた
めには、平滑層の主文る成分−し念がって例えば純アル
ミニウム及び純錫−製のターグットを使用し、当該コー
ティング装置の種々相異したポジションでス・々ツタす
るのが有利である。 その際、拡散防止層と平滑層とを形成するため同じター
グットを使用し、相異した両層を直接に重ねて被コーテ
イング加工材上に付するのが特に有利である。本発明に
よる方法の更に別な構成に於いて、母材形成成分が母材
中で不溶な成分より高い温度で蒸着されるように支持体
温度が変化させられる。これは、前記の別な構成に於い
て、平滑層の母材形成成分を高い支持体温度で時間的に
不溶成分に先行して蒸着させ、温度を該コーティング処
理中に低下させることによって行なうことができる。更
にまた、コーティングさるべき支持体にかけられる電圧
を具体的な利用事例の所与条件に応じて変化させること
によっても本発明による方法の別な構成が結果する。こ
れは、高い融点を有した成分、したがって例えば母材形
成成分ないし拡散防止層の主たる成分を母材中で不溶な
低層融点を有した成分よりも高い電圧で蒸着させること
によりて有利に行なうことができる。 本発明による平滑層はあらゆる種類の滑り軸受に有利に
使用することができる。軸受荷重が８ＯＮ゛／■〜１２
ＯＮ／ｍ 、軸受の背の温度が１５０℃〜２００℃に
おけるいわゆる３成分軸受ないし３層軸受に於いて本平
滑層を使用するのが特に合理的であると判明した０本発
明による膚は該条件下洗於いて７２０時間に亘る連続荷
重試験後にもなんら測定し得るほどの摩耗を示さない。 〔実施例〕 以下に図面に基き本発明の２種の実施例を詳しく説明す
る。 第１図の実施例に於いて、スチールの背（基材）１上に
非常滑り特性を具えた材料製の厚さ２００μｍ〜７００
μｍの支持層２が付されている。該支持層用に鉛青銅な
いし鉛錫青銅が使用さｎる場合には、該層は５０〜１０
０ｋｐ／１ｍ２のブリネル硬度を達成する。 前記支持層上に陰極吹付は法により通例数μｍ（２〜４
μ？Ｆりの厚さの薄い拡散防止層３が蒸着さｎている。 該拡散防止層３Ｆｉ平滑層の母材形成材料の１つもしく
は複数の元素−例えばニッケル、クロムないしこれら両
者の合金−から構成さｎているのが有利である。該遮断
層３全覆って本発明
【よる平滑層４が陰極吹付は法疋よ
って蒸着さｎている。数分間重量比が８０：２０：１で
ある平滑層を表わしている第２図の金属走査電子顕微鏡
写真から、従来の平滑層に比較して著しく精細な不溶相
分布が看取される。 本発明による複合材料の製造にあたって順守された反応
条件を下記に事例的に示すこととする：例１ コーティングは、リング状の密なプラズマが磁場によっ
て陰極の直前に集中されるそれ自体公知の陰極吹付は装
置で実施された、該装置は円筒状のプロセスチャンバを
有しておシ、該チャンバの外側に各々３２２．６ｃｍ２
の面積を有したｍａｘ ４個までのソースが垂直に取り
付けられた。コーティングさるべき支持体が回転駆動装
置により回転されるキャリアに同じく垂直に取シ付けら
れた。該駆動装置け１分あたｐｏ、２〜２４．５回転の
範囲で調節可能であった〔例えば、・ぐルファー（ＢＡ
ＬＺＥＲ）製品情報（Ｐｒｏｄｕｋｔｉｎｆｏｒｍａｔ
ｉｏｎ）ＢＢ８００２４６ＰＤ／１９８５年８月、なら
びにＢＢ８０００３９ＲＤ／１９８５年７月、参照〕。 非合金工具鋼（例えば、材料ナンバーＡ１．１６２゜略
称Ｃ８０Ｗ２ ）製の軸受が前記吹付は装置中で、支持
体温度６０℃、アルゴン雰囲気−０，８重量％の酸素が
混和−の圧力１．２Ｐａで、８時間に亘ってコーティン
グされた。該支持体温度を保持するため、コーティング
されるべき各軸受あたり０．０２４ｍ３７時の冷却水が
要された。ターゲットとしては一方で純アルミニウムが
電圧４７０Ｖで、他方で組成５ｎＣｕ ５の錫青銅が電
圧６２０Ｖで使用された。 支持体を１５回転／分の定回転速度で回転させる場合、
処理終了時の層の厚さ１５０μｍに対応して約０．３μ
ｍ／分のコーティング速度が達成された。 前記方法で製造された層はＡｔ：Ｓｎ：Ｃｕ ＝ ８０
：２０：１の重量比（Ａｔ５ｎ２０Ｃｕ １の組成に
対応）と０．２Ｘ！ｊｋ％の酸化物含有量を有していた
。該層のブリネル硬度は８３に達し、１７０℃で２００
時間に亘る熱処理後にも変化は認められなかった。 荷重７０ Ｎ７ｍ” 、軸受の背の温度Ｔ＝１６０℃で
２５０時間に亘る軸受試験機でのテストに際し該層はな
んら測定し得るほどの摩耗を示さなかった。 例２ 浸漬法で付されたＣｕＰｂ ２３ Ｓｎ４ （鉛青銅
）製の厚さ２００μｍの支持層を備えた前記と同じ工具
鋼（材料ナンバーＡ１．１６２５）製の軸受が、支持体
温度３０℃、酸素を全面的に排除し、その他は例】と同
じ条件でコーティングされた。この場合、必要とされた
冷却水の金はコーティングさるべき各軸受あた。９０．
０３５ｍ’／時であった。平滑層を付するため以下のタ
ーケ゛ット及び出力密度が使用された： ２−ＡｔＳｉ
ｌ’ −ｒ ｙト（２０ｋＷ／３２２ｃｍ２） 、
］−錫メタ−ット（１０，３ｋＷ／３２２ｃｒ！Ｌ２）
及び１−鉛ターグット（１］ ｋｗ／３２２ｃｍ２）。 以上からＡｔ５ｉ４５Ｓｎｌ ５ＰｂｌＯの組成を有し
た平？ｆｔｉが結果したが、該層のビッカース硬度は１
７５（Ｈ′ｖｏ、、）であった。 例３ 例２に述べたのと同じ、鉛青銅製の支持層を具えた軸受
に、平滑層を付する前に、薄い拡散防止層が付された。 このためには３０℃にて１２分間に亘ｐＡｔｓｉ−合金
製の２個のターゲットが使用されたにすぎなかった（
２０ ｋＷ／ ３２２ｃＴＬ２）。こうして得られた拡
散防止層の厚さは約２μｍであった。次いで別な２個の
ターゲットが接続され、例２と同じ条件下でコーティン
グが完了された。 例４ 本例に於いては例３の処理条件が変化させられ、Ａｔ５
１−合金製の拡散防止層を付するため支持体は１２時間
に亘り冷却されず、それにより２００℃の支持体温度が
生ずるように調整された。次いで別な２個のターゲット
が接続され、支持体温度が８０℃に降下するように冷却
調節された。その他については例２と同じ条件下でコー
ティングが続行された。 例５ 本例に於いては例１の条件が変化させられ、２０℃の支
持体温度から出発して、該支持体温度が平滑層の蒸着中
、適切な冷却出力調節により１９０℃に引き上げられた
。該処理により、不溶成分の平均粒子サイズが表面に比
して大きくなう、それに応じて硬度が連続的に低下する
平滑層がオ芋５敷た。 例 ６ 本例に於いては例２と例３の処理条件が変化させられ、
拡散防止層が５０℃、支持体電圧−２００Ｖで蒸着され
、他方、平滑層は４個の異なったターゲットを用い、支
持体電圧−４０Ｖで蒸着されるように為された。 該平滑層の組成は例２の平滑層の組成（ＡｔＳｉ４ Ｓ
ｎ １５ Ｐｂ １０ ）と同じであったが、硬度はや
や高くなう約１８０ビツカース（Ｈｖｏ、、）であった
。 例７ 厚き１．５μｍのＮｉＣｕ ３０製の拡散防止層上に。 例１と同じ条件下で、酸素を完全に排除して、おおよそ
ＡｔＳｎ ２０ Ｃｕ １の組成の平滑層が蒸着させら
れた。その際、平滑層の多孔性を回避するため。 １３０℃の支持体温度が維持され、支持体電圧は全体と
して５０分に亘る処理時間中連続的に一４０Ｖから一１
８０ｖに高められた。該処理により得られた層は１例１
の１に比し、高い腐食耐性を示した。
って蒸着さｎている。数分間重量比が８０：２０：１で
ある平滑層を表わしている第２図の金属走査電子顕微鏡
写真から、従来の平滑層に比較して著しく精細な不溶相
分布が看取される。 本発明による複合材料の製造にあたって順守された反応
条件を下記に事例的に示すこととする：例１ コーティングは、リング状の密なプラズマが磁場によっ
て陰極の直前に集中されるそれ自体公知の陰極吹付は装
置で実施された、該装置は円筒状のプロセスチャンバを
有しておシ、該チャンバの外側に各々３２２．６ｃｍ２
の面積を有したｍａｘ ４個までのソースが垂直に取り
付けられた。コーティングさるべき支持体が回転駆動装
置により回転されるキャリアに同じく垂直に取シ付けら
れた。該駆動装置け１分あたｐｏ、２〜２４．５回転の
範囲で調節可能であった〔例えば、・ぐルファー（ＢＡ
ＬＺＥＲ）製品情報（Ｐｒｏｄｕｋｔｉｎｆｏｒｍａｔ
ｉｏｎ）ＢＢ８００２４６ＰＤ／１９８５年８月、なら
びにＢＢ８０００３９ＲＤ／１９８５年７月、参照〕。 非合金工具鋼（例えば、材料ナンバーＡ１．１６２゜略
称Ｃ８０Ｗ２ ）製の軸受が前記吹付は装置中で、支持
体温度６０℃、アルゴン雰囲気−０，８重量％の酸素が
混和−の圧力１．２Ｐａで、８時間に亘ってコーティン
グされた。該支持体温度を保持するため、コーティング
されるべき各軸受あたり０．０２４ｍ３７時の冷却水が
要された。ターゲットとしては一方で純アルミニウムが
電圧４７０Ｖで、他方で組成５ｎＣｕ ５の錫青銅が電
圧６２０Ｖで使用された。 支持体を１５回転／分の定回転速度で回転させる場合、
処理終了時の層の厚さ１５０μｍに対応して約０．３μ
ｍ／分のコーティング速度が達成された。 前記方法で製造された層はＡｔ：Ｓｎ：Ｃｕ ＝ ８０
：２０：１の重量比（Ａｔ５ｎ２０Ｃｕ １の組成に
対応）と０．２Ｘ！ｊｋ％の酸化物含有量を有していた
。該層のブリネル硬度は８３に達し、１７０℃で２００
時間に亘る熱処理後にも変化は認められなかった。 荷重７０ Ｎ７ｍ” 、軸受の背の温度Ｔ＝１６０℃で
２５０時間に亘る軸受試験機でのテストに際し該層はな
んら測定し得るほどの摩耗を示さなかった。 例２ 浸漬法で付されたＣｕＰｂ ２３ Ｓｎ４ （鉛青銅
）製の厚さ２００μｍの支持層を備えた前記と同じ工具
鋼（材料ナンバーＡ１．１６２５）製の軸受が、支持体
温度３０℃、酸素を全面的に排除し、その他は例】と同
じ条件でコーティングされた。この場合、必要とされた
冷却水の金はコーティングさるべき各軸受あた。９０．
０３５ｍ’／時であった。平滑層を付するため以下のタ
ーケ゛ット及び出力密度が使用された： ２−ＡｔＳｉ
ｌ’ −ｒ ｙト（２０ｋＷ／３２２ｃｍ２） 、
］−錫メタ−ット（１０，３ｋＷ／３２２ｃｒ！Ｌ２）
及び１−鉛ターグット（１］ ｋｗ／３２２ｃｍ２）。 以上からＡｔ５ｉ４５Ｓｎｌ ５ＰｂｌＯの組成を有し
た平？ｆｔｉが結果したが、該層のビッカース硬度は１
７５（Ｈ′ｖｏ、、）であった。 例３ 例２に述べたのと同じ、鉛青銅製の支持層を具えた軸受
に、平滑層を付する前に、薄い拡散防止層が付された。 このためには３０℃にて１２分間に亘ｐＡｔｓｉ−合金
製の２個のターゲットが使用されたにすぎなかった（
２０ ｋＷ／ ３２２ｃＴＬ２）。こうして得られた拡
散防止層の厚さは約２μｍであった。次いで別な２個の
ターゲットが接続され、例２と同じ条件下でコーティン
グが完了された。 例４ 本例に於いては例３の処理条件が変化させられ、Ａｔ５
１−合金製の拡散防止層を付するため支持体は１２時間
に亘り冷却されず、それにより２００℃の支持体温度が
生ずるように調整された。次いで別な２個のターゲット
が接続され、支持体温度が８０℃に降下するように冷却
調節された。その他については例２と同じ条件下でコー
ティングが続行された。 例５ 本例に於いては例１の条件が変化させられ、２０℃の支
持体温度から出発して、該支持体温度が平滑層の蒸着中
、適切な冷却出力調節により１９０℃に引き上げられた
。該処理により、不溶成分の平均粒子サイズが表面に比
して大きくなう、それに応じて硬度が連続的に低下する
平滑層がオ芋５敷た。 例 ６ 本例に於いては例２と例３の処理条件が変化させられ、
拡散防止層が５０℃、支持体電圧−２００Ｖで蒸着され
、他方、平滑層は４個の異なったターゲットを用い、支
持体電圧−４０Ｖで蒸着されるように為された。 該平滑層の組成は例２の平滑層の組成（ＡｔＳｉ４ Ｓ
ｎ １５ Ｐｂ １０ ）と同じであったが、硬度はや
や高くなう約１８０ビツカース（Ｈｖｏ、、）であった
。 例７ 厚き１．５μｍのＮｉＣｕ ３０製の拡散防止層上に。 例１と同じ条件下で、酸素を完全に排除して、おおよそ
ＡｔＳｎ ２０ Ｃｕ １の組成の平滑層が蒸着させら
れた。その際、平滑層の多孔性を回避するため。 １３０℃の支持体温度が維持され、支持体電圧は全体と
して５０分に亘る処理時間中連続的に一４０Ｖから一１
８０ｖに高められた。該処理により得られた層は１例１
の１に比し、高い腐食耐性を示した。
第１図は本発明による複合材料の拡大断面図。
第２図は本発明による平滑層（ｂ）ならびに従来の平滑
層（ａ）の各表面の金属走査電子顕微鏡写真を示す。
層（ａ）の各表面の金属走査電子顕微鏡写真を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、スパッタリングによって蒸着される少なくとも１つ
の平滑層を有する複合材料であって、該平滑層が、 −緊密に結合した母材を形成する少なくとも１つの金属
材料と、 −固体状態に於いて母材材料中で実際に不溶の少なくと
も更にもう１つの金属材料と、 から成る統計的に配分されて吹付けられる粒子の混合物
から構成されている、複合材料に於いて、 （ａ）母材中で不溶の材料が母材材料より低い融点を有
し、 （ｂ）母材中で不溶の材料から成る粒子の直径が＠Ｘ＠
＜０．８μｍの平均値を有した統計的正規分布を示す ことを特徴とする複合材料。 ２、母材中で不溶の材料が主たる構成要素として次の元
素−錫、鉛、インジウム、亜鉛−のうちの少なくともい
ずれか１つを含んでいることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の複合材料。 ３、母材を形成する材料が合金を含んでおり、該合金の
主たる構成要素が次の元素−アルミニウム、クロム、ニ
ッケル、マグネシウム、銅−のうちの少なくともいずれ
か１つであることを特徴とする特許請求の範囲第１項又
は第２項に記載の複合材料。 ４、前記平滑層が以下の組成−ＡｌＣｕＳｎ、ＡｌＣｕ
Ｐｂ、ＡｌＣｕＳｎＰｂ、ＡｌＳｉＳｎ、ＡｌＳｉＰｂ
、ＡｌＳｉＳｎＳｂ、ＣｕＳｎ、ＣｕＰｂ、ＣｕＳｎＰ
ｂ−のいずれかを備えた合金を含んでいることを特徴と
する特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれかに記載の
複合材料。 ５、前記平滑層の厚さが１０〜３０μｍ、好ましくは１
２〜１６μｍであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項〜第４項のいずれかに記載の複合材料。 ６、母材中で不溶の材料から成る粒子の直径が好ましく
は０．０５〜０．４μｍの平均値＠Ｘ＠を有した統計的
正規分布を有することを特徴とする特許請求の範囲第１
項〜第５項のいずれかに記載の複合材料。 ７、前記平滑層の酸素含有量が０．２重量％以下である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第６項のいず
れかに記載の複合材料。 ８、基材と平滑層との間に優れた非常滑り特性を備えた
材料製の支持層を有することを特徴とする特許請求の範
囲第１項〜第７項のいずれかに記載の複合材料。 ９、前記支持層が以下の元素もしくは材料−錫、鉛、ア
ンチモン、銅、錫青銅、錫鉛青銅、ホワイトメタル−の
いずれか１つを含んでいることを特徴とする特許請求の
範囲第８項記載の複合材料。 １０、基材と平滑層との間に支持層の他に更に陰極吹付
けによつて蒸着される拡散防止層を有することを特徴と
する特許請求の範囲第８項又は第９項記載の複合材料。 １１、前記拡散防止層がアルミニウム、クロム、ニッケ
ル、マグネシウム、銅の少なくとも１つの母材形成材料
を特徴とする特許請求の範囲第１０項記載の複合材料。 １２、複数の平滑層を有することを特徴とする特許請求
の範囲第１項〜第１１項のいずれかに記載の複合材料。 １３、スパッタリングによつて蒸着される少なくとも１
つの平滑層を有する複合材料であって、該平滑層が −緊密に結合した母材を形成する少なくとも１つの金属
材料と −固体状態に於いて母材材料中で実際に不溶の少なくと
も更にもう１つの金属材料から成る統計的に配分されて
吹付けられる粒子の混合物から構成されている、複合材
料に於いて、 （ａ）母材中で不溶の材料が母材材料より低い融点を有
し、 （ｂ）母材中で不溶の材料から成る粒子の直径が＠Ｘ＠
＜０．８μｍの平均値を有した統計的正規分布を示す複
合材料の製造方法に於いて、コーティング処理中の支持
体の温度が１５０℃以下であることを特徴とする複合材
料の製造方法。 １４、コーティング処理速度が０．２μｍ／分以上であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１３項記載の方法
。 １５、前記平滑層の種々の材料が同時に蒸着されること
を特徴とする特許請求の範囲第１３項又は第１４項記載
の方法。 １６、使用されるターゲットの少なくとも５０％が母材
の主たる構成要素ならびに母材中で不溶の材料の双方を
含んでいることを特徴とする特許請求の範囲第１３項〜
第１５項のいずれかに記載の方法。 １７、使用されるターゲットの少なくとも５０％が以下
のいずれかの組成−ＡｌＣｕＳｎ、ＡｌＣｕＰｂ、Ａｌ
ＣｕＳｎＰｂ、ＡｌＳｉＳｎ、ＡｌＳｉＰｂ、ＡｌＳｉ
ＳｎＰｂ、ＣｕＳｎ、ＣｕＰｂ、ＣｕＳｎＰｂ−を有す
る合金を含んでいることを特徴とする特許請求の範囲第
１６項記載の方法。 １８、前記平滑層の種々の構成要素が時間的に順次に蒸
着されることを特徴とする特許請求の範囲第１３項又は
第１４項記載の方法。 １９、前記拡散防止層が前記平滑層と同じターゲットを
使用して蒸着されることを特徴とする特許請求の範囲第
１８項記載の方法。 ２０、母材形成成分が母材中で不溶の成分よりも高い支
持体温度で蒸着されることを特徴とする特許請求の範囲
第１８項又は第１９項記載の方法。 ２１、母材形成成分が不溶性成分より前に蒸着され、支
持体温度がコーティング処理中に低下させられることを
特徴とする特許請求の範囲第２０項記載の方法。 ２２、高い融点を有した成分が低い融点を有した成分よ
りも高い支持体電圧で蒸着されることを特徴とする特許
請求の範囲第１８項〜第２１項のいずれかに記載の方法
。 ２３、前記拡散防止層が前記平滑層の構成要素より高い
支持体温度で蒸着されることを特徴とする特許請求の範
囲第１３項〜第２２項のいずれかに記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH02806/86-2 | 1986-07-15 | ||
| CH2806/86-2 | 1986-07-15 | ||
| CH2806/86A CH671239A5 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6328856A true JPS6328856A (ja) | 1988-02-06 |
| JP2624693B2 JP2624693B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=4242009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62174018A Expired - Fee Related JP2624693B2 (ja) | 1986-07-15 | 1987-07-14 | スパッタリングによって蒸着された少なくとも１つの平滑層を有する複合材料及びその製造方法 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4916026A (ja) |
| EP (1) | EP0256226B1 (ja) |
| JP (1) | JP2624693B2 (ja) |
| KR (1) | KR940009673B1 (ja) |
| AT (1) | ATE56484T1 (ja) |
| AU (1) | AU594172B2 (ja) |
| BR (1) | BR8703661A (ja) |
| CH (1) | CH671239A5 (ja) |
| DE (2) | DE3629451A1 (ja) |
| ES (1) | ES2017478B3 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102007014411B4 (de) | 2006-03-30 | 2019-05-09 | Daido Metal Co., Ltd. | Gleitmaterial und Verfahren zur Herstellung seiner Überzugsschicht |
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| ATE80671T1 (de) * | 1986-12-23 | 1992-10-15 | Balzers Hochvakuum | Verbundwerkstoff mit einer durch kathodenzerstaeubung aufgebrachten gleitschicht. |
| GB8915254D0 (en) † | 1989-07-03 | 1989-08-23 | T & N Technology Ltd | Bearings |
| EP0481985B1 (en) * | 1989-07-10 | 1994-08-03 | Federal-Mogul Corporation | Engine bearing alloy and method for making same |
| JPH03115560A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-16 | Daido Metal Co Ltd | すべり軸受の製造方法 |
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| DE4122123A1 (de) * | 1991-07-04 | 1993-01-14 | Daimler Benz Ag | Gleitlager |
| JP2532790B2 (ja) * | 1992-01-29 | 1996-09-11 | 大同メタル工業株式会社 | オ―バ―レイを有する銅鉛合金軸受 |
| US6277499B1 (en) * | 1992-04-23 | 2001-08-21 | United Technologies Corporation | Oxidation resistant coatings for copper |
| JPH0826894B2 (ja) * | 1992-08-28 | 1996-03-21 | 大同メタル工業株式会社 | 軽合金ハウジング用すべり軸受 |
| CA2110531C (en) * | 1992-12-03 | 1998-10-13 | Takahiro Gunji | Slide surface construction formed of aggregate of fe crystals having face-centered cubic structure |
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