JPH01279119A - 機械部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上の利用分野］ 本発明は、主としてころがり応力を受ける機械部材であ
って、ころがり応力に耐えると共に表面に少なくとも１
つのすべり軸受材料層を設けた母材から成る機械部材に
関する。 ［従来の技術］ 例えば、駆動歯車又は玉軸受・針軸受部品のような、主
としてころがり応力を受ける作用面を有する機械部材の
構成および材料選択は、現在非常に発達している。数十
年間に亘り、最善の形状、材料選択、熱処理および製作
技術を追求した結果、代替し得る費用で製作できる摩耗
の少ない製品が現われている。従来の機械部材の主たる
問題、すなわち疲労摩耗は解決したと見ることができる
。 ころがり体摩耗はこれとは別の問題で、もちろん解決さ
れていない。ローラベアリングまたはころがり駆動機の
場合はすべて、ころがり運動に加えてすべり運動も生ず
るからである。このすべり運動の結果、部材の成る領域
、たとえば歯車またはランウェイのショルダ一部やボー
ルベアリングの正負のスリップ領域ですべり摩耗が生ず
る。これらの領域およびそこで生ずる応力は、設計者に
とって従来のあらゆる機械部材につき周知の事項である
。さらに、このいわゆる微小摩耗に影響を与える多くの
影響要因も知られている。すなわち、熱処理および機械
加工から生ずる内部応力、表面粗さの種類および範囲、
潤滑状態などがある。主摩耗問題を２つの極めて固いパ
ートナ−（補強部材）の選択により解決する場合には、
ころがり体に関するそれ以上の問題が生ずる。すなわち
この場合、両部材間の相対的運動には、蓄積した２社の
かなりのひずみ力が絶えず伴ない、これは制動が弱い場
合には振動を起こす。これが、ころがり軸受を装備した
機械を利用する全ての人にとって、なじみの騒音である
。多（の用途、たとえば医療技術や自家用車などにおい
て、この騒音は耐えられない程不快になる。しかしなが
ら、従来の技術条件の範囲において解決策を見出すこと
はできなかった。 これらのよく知られた間通を被覆層によって解決するた
めに、既に多くの試みがなされた。種々の理由から、こ
れらの試みは全て失敗している。 しばしば駆動機部品および歯車は、電気メツキまたは無
電流でニッケルメッキ及びクロムメツキされた。しかし
ながら、この場合、母材の水素脆化をもたらし、かつ疲
労摩耗に対する多くの決定的抵抗力が失なわれる。ＰＶ
Ｄ−法により形成された銅、インジウム、鉛および銀か
らなる層についても試験された。残念乍ら鉛、銀、金お
よびインジウムからなるこれらの層は、通常の表面条件
下で摩耗酸化により極めて急速に摩耗した。鉛、銀およ
び金の層は高真空中に設置されるが、もちろん極めて高
度に研磨された表面において、極めてすべり運動の少な
い構成においてのみ用いられる。この場合、極めて薄い
層で充分である。しかしながら、これらの層でも騒音問
題は解決しない。摩耗した銅の触媒作用で油がすべて分
解してしまうので、銅層も注油駆動機には適していない
。 純すべり軸受に対しＰＶＤ−法により種々の材料で被覆
することも既に提案されている（ドイツ特許第２８５３
７２４号および第２９１４６１８号、並びにドイツ公開
第３４０４８８０号公報）。その際、酸化物を介在させ
ることにより軸受層の熱硬度を向上させるためＰＶＤ技
術が用いられた。この種の層は、現在、モーターのずベ
リ軸受に使用されている［Ｕ、エンゲル（Ｕ、Ｅｎｇｅ
ｌ）　、新式エンジン・ベアリング用の新しい多層材料
の開発および試験、第２部ニスバッタで表面被覆した銅
・鉛三層ベアリング、ＳＡＥ・テクニカル・ペーパー・
シリーズ（ＳＡＥＴｅｃｈｎｌ−ｃａｌ　Ｐａｐｅｒ　
５ｅｒ１ｅｓ）　、１９８８年２月２４〜２８日のデト
ロイトにおける国際会議および展示会、第７６および７
７頁参照］。しかしながら従来は、ころがり応力に対す
るこの種のすべり軸受材料の被覆が不適当であることが
常に示されて来た。実際、数十年来業界で用いられてい
る殆んど全てのすべり軸受は被覆層を有しているが、被
覆されたころがり体は全く実用されていない。 ［発明が解決しようとする課題］ したがって、本発明の課題は、主としてころがり応力を
受けるがすべり応力も受ける部材、特に機械部材につき
、ころがり摩耗だけでなくすべり摩耗にも耐えるように
改善することを基本とする。

【課題を解決するための手段】

上記課題は、特許請求の範囲第１項による部材で解決さ
れる。即ち、すべり応力を受けるころがり部材の作用面
に、すべり軸受材料からなる少なくとも１つのＰＶＤ・
被覆層を設け、層の厚さを基体の表面粗さと同寸法程度
にすることにより、同時にころがり応力とすべり応力と
を受ける場合に、初めて摩耗を最小限に保つことができ
る。しかしながら、上記したように、本発明の課題は、
いかなるすべり軸受材料であっても、単一の層で簡単に
解決することは不可能であって、ＰＶＤ法により析出さ
せたすべり軸受材料の独得な特性を必要とする。本明細
書の記載において、すべり軸受材料とは、専ら合金を意
味する。同様に、層厚も表面あらさと同寸法程度でなけ
ればならない。何故なら、さもなければころがり応力に
対する層の負荷能力がもはや充分でなくなるからである
。 ＰＶＤ法により形成されるすべり軸受材料層の適性は、
それ自体驚異的であるだけでなく、層厚を表面粗さと同
寸法程度にするときにのみ生ずることも意外である。こ
れに対し、上記した周知のすベリ軸受被覆の場合には、
少なくとも表面粗さ以上の層厚が常に用いられた。 すべり応力には常にかなりの熱発生を伴なうことが、こ
れ迄ころがり休作用面の急速な摩耗の主原因の一つとさ
れてきた。その為に生ずる温度上昇により多分、たとえ
ば焼戻し温度を越えるなど、機械的特性が局部的に失わ
れたであろう。しかしながら、すべり軸受材料の介在成
分の融点が成る臨界温度すなわち、たとえばこの温度の
外に部材又は部材の表面硬化した接触領域があるような
、材料の焼き戻し温度より低い場合には、上記の機械的
特性の劣化を回避することができる。たとえば、介在す
るすべり材料として、鉛（融点３２７．４℃）、錫（融
点２３１．８９℃）もしくはインジウム（融点１５８．
４℃）成るいはその合金を使用することができる。この
ためのマトリックスとして、アルミニウムおよび銅合金
が有効であった。 多相のすべり軸受材料層の場合、分布の細かさが層の機
械的性質、特に硬度に重要な影響を及ぼすことが知られ
ている。従って、本発明の独得な実則態様においては、
特別に高い負荷能力が要求される所定の応力に対し、介
在する材料の粒子直径が平均値Ｘ≦　０，８μｍの統計
的正規分布を示すような層を選択している。たとえば接
触領域硬化がないころがり体におけるように、弱い応力
については、柔軟な層がより有効であった。この分散の
具体例は当業者に周知されており、接触層に関する最適
な硬度の推移が多くのころがり体につき開示されている
。すべり軸受材料層に硬度勾配を設けることが経費的に
引き合う場合もある。このための方法は、とにかく当業
者に原理的に知られている。当業者は構成を変化させた
り、硬質材料を介在させたり（ドイツ特許第２８５３７
２４号による）、成るいは、たとえば被覆温度に関して
は、介在粒子の平均寸法を変化させたり（スイス特許出
願第０２１１０８／８Ｂ−２号）することができる。硬
度勾配の代りに、種々の機械的特性を有する層の配列順
序も、選択することができる。しかしながら、これらの
層の一つとして、ＰＶＤ−法により施されたすべり軸受
材料層を含めるべきである。 適切な層の厚さを選択する意義については既に指摘され
ている。最適な層厚と表面あらさとの間の関係は、勿論
、表面あらさの種類に依存する。 周知のように、表面の微小配列を摩擦掌上適切に特性化
するには多数のパラメータが必要とされる。 従って業者は、たとえばフライス加工、平削り加工およ
び研磨加工の歯車フランクを区別するために、最新の加
工方法に通じているであろう。業者は層厚と最高あらさ
Ｒｚとの比を適切に選択するであろう。０．２〜４倍の
範囲のＲｚ値が有効であった。 すべり軸受材料層を設けるためには、ＰＶＤ法において
は熱気化、陰極スパッタおよびアーク気化が特に有効で
あった。個々の場合の選択は、層の組合せ、基体の形態
および経済的に代替し得る経費に依存する。これについ
ては、充分に文献が存在する［たとえばＥ、ベルクマン
および」、フォーゲル（Ｅ、ＢｅｒｇｍａｎｎＳＪ、Ｖ
ｏｇｅｌ）、ｒ　ＰＶＤ−法による部材披ｍＪ　、ＶＤ
Ｉ−ベリヒテ（ＶＤＩ−Ｂｅｒｉｃｈｔｃ）６２４（１
９８Ｂ）参照］。本発明は、主としてころがり応力を受
ける全ての機械部材に利用することができる。特に歯車
、ボールベアリングのレース、ニードルベアリングのこ
ろがり面、圧縮ねじ並びにローラピストンおよび回転ピ
ストンが挙げられる。 ［実施例］ 以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。 第１図の実施例においては、歯車（第１ａ図）を表面硬
化した鋼材で作り、次いで１０分の数ミリの深さまで炭
化させ、その後さらに輪郭研磨した。 これは、第１ｂ図に略示するような、歯車のフランクに
特徴的な表面あらさを与える。施した層（６）の厚さは
、炭化された母材（２）の最大標高（４）と同程度の寸
法となるよう選択した。第１ｃ図の断面は、堅い母材（
２）と、−火災化物（５）を介在させたころがり摩耗接
触領域（３）と、その上に位置するアルミニウム合金マ
トリックス（８）中に錫小滴（７）を微分散させたＡｅ
Ｓｎ２０Ｃｕ層（６）とからなる結合体をさらに拡大し
て示している。この層の製作は、それ自体周知の陰極ス
パッタ装置で、リング上の濃密なプラズマを磁場により
陰極から直接に集中させて行う。例として使用した装置
は円筒状の処理室を備え、その内側にはそれぞれ８２２
．８ｃｄの面積を有する最高４個までの吹出し口を縦方
向に設定できる。被覆すべき基層も同様に担体上に垂直
に設置し、この担体を毎分０．２〜２４．５回転の範囲
で調整しうる回転機で回転させることができる［たとえ
ばバルツァース製品インホメーション（ＢＡＬＺＥＲ３
Ｐｒｏｄｕｋｉ１ｎｆ’ｏｒｍａｔＪｏｎｅｎ）　ＢＢ
８００２４８ＰＤ／１９８５年８月およびＢＢ８０００
３９ＲＤ／　１９８５年７月参照］。 第１図に示した歯車の処理面は、アルゴン圧力１．２Ｐ
ａのスパッタ装置内で完全に酸素の無いところで１０分
間被覆した。 スパッタの標的としては、組成Ａｌ５ｎ２０Ｃｕのアル
ミニウム・錫青銅からなる３個の標的を、電圧８００ボ
ルト、電流２０Ａで用いた。この場合、毎分１５５回転
一定回転速度による歯車の回転は、毎分約０．６μｍの
被覆速度に対応し、約６μｍの層厚が処理終了時に得ら
れた。 このようにして得られた層は、組成ＭＳｎ２０Ｃｕｌに
対応するＡＬ　Ｓｎ、　Ｃｕの重量比８０対２０対１を
示すと共に含量酸化物の重量％として０．２未満を示し
た。この層は約０．３μｍの平均粒径を示し、硬度は１
１３１１Ｖ０．００２テあった。 他の例として、第２図は本発明により層を施したボール
ベアリングの内側リング（１１）の実施例を示している
。この場合、リングをダイヤモンドペーストを用いて無
センターで微細研磨することにより、第２ｂ図に示した
特徴的な規則的あらさ（１４）を有する表面組織を与え
た。より詳細な点は第２Ｃ図から判る。鋼母材（１２）
にはころがり摩耗耐性をさらに高めた硬質材料層（１５
）を施し、さらにその上にＭＳｎｌＯＰｂｌ（ｌｃｕの
層（１３）を設けた。この層（１３）では偏析によりア
ルミニウムマトリックス（１８）中に析出した錫及び鉛
粒子（１Ｂ、　１７）の粒径が増大することによって、
表面に向かって硬度が低下する。 第４の例として、ボールベアリングの場合即ち、特にラ
イウェイ直径ＢＯ龍を有する前軸受に対する摩耗問題の
解決策が挙げられる。これは直径９．４鰭の１２個のボ
ールとニッケル・ベリリウム合金からなる保持器とで構
成され、次の条件下で使用した：毎分７００回転、軸方
向負荷２０ｋｇ　、油の再注入なし。 このボールベアリングのレースは１００ｃｒ６で製作し
、硬化させかつ１９８℃で焼き戻した。最後の処理とし
て、レース表面を平均あらさ　０．２μｍに研磨した。 次いで、レースを例１におけると同様な手順に従って被
覆した。勿論、標的用の合金としてはＡｅＳｎｌＯＰｂ
ｌＯを使用し、かつ被覆時間は１分間だけとした。これ
は、ボールベアリングレース面に０．３μｍの層を形成
させるのに充分であった。 この部材を被覆の間にさらに加熱して、被覆の際の温度
を８℃から　１７０℃まで上昇させた。走査型電子顕微
鏡では、鋼材表面の領域に介在する鉛と錫との粒子寸法
は０．０５μｍ未満であったが、−刃表面近傍の領域に
は明らかに偏析が確認された。 検体に対する比較測定から判るように、層の硬度を鋼材
表面近傍の領域で３０　ＩＩ　Ｖまで低下させるために
は、鋼材表面近傍における層の硬度を１４０ｈｖの範囲
にせねばならなかった。試験においては、被覆してない
ボールベアリングは２０分間後に既に強度の摩耗を示し
、・騒音および強度の振動として現われた。一方被覆し
たボールベアリングは騒音レベルが増大することなく２
４時間運転された。 第５の例は、高回転数におけるＰＫｗ−駆動機の耐え難
い騒音発生を緩和しうるよう゛な問題に該当する。所定
の駆動機において、第４段階での強負荷の場合、音の放
射は１８デシベルであった。駆動部は表面硬化した１６
ＭｎＣｒ５で作成した。歯部はフライス加工し、かつフ
ランクに１０μｍのＲｚを有する表面あらさを設けた。 陰極スパッタによる被覆は、経済上の理由から問題外と
なった。したがって、たとえばスイス特許第６４５１３
７号公報に記載されているようなイオンプレート法を選
択したが、ただし２個の陰極線気化器を用いた。歯車の
フランクには１８μｍの層を施した。錫を含んだ坩堝の
気化器能力を、アルミニウムを含んだ坩堝と対比して選
択し、回転台上に存在する部材に対し約４＝１のアルミ
ニウム対錫の重量比を有する被覆を施した。 その他のものについては、層の特性は例１と対応させだ
が、ただプラズマ密度を高くして温度を１２０℃にする
ことができた。駆動歯車の第４段階のみを被覆した当該
駆動機の場合、１０デシベルまでの騒音レベルの低下を
達成することができた。 第６の例は再び、飛行体の制御回路で用いる高速ボール
ベアリングで生ずるボールベアリング摩耗問題に関する
。摩耗を避けるため、このボールベアリングには硬質合
金、即ち、炭化タングステン・コバルト合金からなるボ
ールを用いた。このボールは一般に摩耗に耐えられる。 ころがり面の摩耗も一般に許容範囲内にある。確かに使
用中欠陥が生じるのが早過ぎるベアリングが１％程あっ
た。 損傷分析によると、これは烈しい加速度によるすべり摩
耗に帰することが明らかであった。このベアリングのボ
ールは０．０２μｍの表面あらさＲｚを示した。ボール
には例１と同様な層を設けた。゛ただし装置には２個の
銅と１個の鉛と１個の錫標的を装備した。ボールは冷却
しなかった。３分間後に形成された０、０６μｍの層は
、ＣｕＺｎ２０ＰｂｌＯの組成に相当するものであった
。透過型電子顕微鏡での検査では、層が蓄積した微細な
鉛・錫粒子と真鍮マトリックスとから成ることを示した
。このように層を設けたボールを装備したボールベアリ
ングは、決して欠陥を示さなかった。 次の第７の例は、純ガスを送り出せるようにするために
注油なしで駆動せねばならないころがりピストンポンプ
の問題を、本発明に適した固溶体によりどのように解決
しうるかを示す。このポンプにおいては、ピストンのロ
ール面には極めて急速な摩耗が生じ、浸食した。この問
題を克服するため、以下の解決策を選択した。 ピストンのころがり面を慣用法に従って化学的にニッケ
ルメッキし、層の厚さを１６μｍにした。 僅かに改善をされたのみで、問題は同等解決しなかった
が、このニッケルメッキの後、ころがり面は化学的ニッ
ケルに固有のバックル組織を持ったＲｚ”２μｍの表面
あらさを示した。ここでも被覆法として陰極スパッタを
選択し、例１におけると同様に行なった。ただし、この
用途の場合はアルミニウム製の２個の標的と錫製の２個
の標的とを選択した。被覆中標的に対する放電電流を次
の通り連続変化させた。 時　　間　全　放　電　電　流　全放電電流アルミニウ
ム標的　錫　標　的 ０〜５分　　　４０ＡＯ その後厚さ６μｍの層が見出された。当該部分を冷却し
て温度を５０℃以下に保つことによって、アルミニウム
マトリックス中の錫粒滴の微分散を再び認めることがで
きた。ただ表面に向かって錫粒子の密度が増大した。平
均直径も若干増大した。 即ち、０，４μｍから約０．９μｍまで増大した。この
ように処理した作用面を有するころがりピストンポンプ
は、より長時間にわたり浸食の問題なしに運転すること
ができた。 第８の例は、自転車の軸の摩耗問題に関する。 この場合、前輪の吊りは、フォークで固定された軸上を
ボールが走るように造られている。このボールベアリン
グの外レースは自転車のノ１ブを形成する。この吊りは
しばしば急勾配の下で重圧を受けて中心回転軌道からボ
ールが逸れ、かつ高ヘルツ圧下でグリースの負荷能力を
越えるような重ね合わさったすべり運動が生じる。これ
が混合摩擦力となると共に後で軸の粘着性摩耗につなが
ることは明白である。被覆層により問題を解決したモデ
ルの場合、旋削した１ｏＯｃｒ６から成るシャフトを硬
化させ、かつ　１８０℃にて焼き戻した。この回転加工
により得られたシリンダに対し約ＲｚＪμｍの表面あら
さに相当する僅かなぎざぎざを残す一方、外周において
は０．６μｍ　（Ｒａ）を失なう。このシャフトは、全
面に対し陰極スパッタ法に従い次の組成を有する厚さ　
１．２μｍの層で被覆された：銅７３％、鉛２３％、錫
４％。 肝要なのは重量比率である。これらの被覆においては、
下層温度は制御しなかった。温度は８０〜１２０℃の範
囲に設定することができた。層を光学顕微鏡で２００倍
の拡大にて検査したが、鉛の析出は全く認められなかっ
た。さもなければこれらの層は焼結又は鋳造形態の材料
特性を示すからである。使用に際し、このように被覆し
たシャフトの場合には、ころがり摩擦係数は２０００ｋ
ｍ以降でもやはり増大しないことが明らかとなった。 最後に第９の例はスクリュー圧縮機（いわゆる圧縮スク
リュー）におけるロータの摩耗問題の解決策を示す。こ
の圧縮機には２つの異なる型式、すなわち同期型および
従動型がある。完全同期スクリューの場合、はぼ純粋な
回転運動が生ずる。 従動型の場合は、対応する摩擦を伴う滑動により駆動機
に必要な動力伝達を生ぜしめねばならないというすべり
運動が考えられる。このシステムの利点は低コストであ
る。欠点は、フランクのすべり領域に摩擦に関連した摩
耗が生ずることである。 この種の圧縮機の両ロータを１ｏＯｃｒ８で作った。圧
縮に純ガスを必要とする乾式運転において、被覆してい
ない場合１６時間の寿命が得られた。これらロータの表
面を、Ｒｚ−０，８μｍの表面粗さが得られるよう輪郭
研磨した。被覆法としては、陰極スパッタを選択した。 装置の構造物、取付は具については既に記載されている
［Ｅ、ヘルツマン博士、」、フォーゲル博士、ジャーナ
ル・バキューム・すイエンス・テクノロジー（Ｊ　、Ｖ
ａｅ、Ｓｃ、Ｔｅｃｈｎ）、第Ａ５巻（１９８７）、第
７０頁］。 陰極材料としては、重量比率で次のＸ■成を有するアル
ミニウム青銅を使用した。アルミニウム７８．８％、錫
２０％、珪素１．２％。 被覆条件は次の通りとした：装置圧力１．２Ｐａ　ｓス
パッタ能力４　Ｘ　１８ＫＶ、酸素分圧０．０８Ｐａ。 酸素の添加によりＩＩＶｏ、。１−３００まで硬度が２
倍となった。このように被覆された圧縮スクリューは、
被覆していない場合と同じ条件下で４０時間の寿命を示
した。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるすべり軸受材料層を有する作用面
を備えた歯車の断面図、 第２図は同様に本発明によるＰＶＤ−法で施されたすべ
り材料層を有するボールベアリング内レースの断面図で
ある。 １・・・部材　　　　　２・・・基体 ３・・・被覆層　　　　５・・・硬質材料層８・・・マ
トリックス 一一−ｌ 可−わ°ｉ　　ン市　　τＥ　　古　（方式）昭和６３
年　８月９日

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. （１）ころがり応力を受ける表面部分に、少なくとも１
   つのすべり軸受材料層を設けた基体から成る、すべり応
   力も受けるが主としてころがり応力を受ける部材であっ
   て、ＰＶＤ法により製造する前記層が、前記基体の表面
   あらさと同寸法程度の厚さを有することを特徴とする部
   材。
2. （２）前記層が少なくとも２つの相からなり、一方の相
   が組合せマトリックスを形成すると共に他の相が介在す
   る材料から成り、前記介在材料の融点を、前記基体の機
   械的性質が実質的に変化する温度よりも低くしたことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の部材。
3. （３）前記基体が鋼材からなり、かつ前記介在材料の融
   点が該基体の鋼材の焼き戻し温度より低いことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項または第２項に記載の部材。
4. （４）前記基体が鋼材からなると共に表面硬化した接触
   領域を備え、且つ前記介在材料の融点が、該基体におけ
   る表面硬化した接触領域の焼き戻し温度より低いことを
   特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の部材。
5. （５）（ａ）前記マトリックスが合金を含有し、前記合
   金がアルミニウム、クロム、ニッケル、マグネシウム、
   銅元素のいずれか一つを主成分とし、（ｂ）前記介在材
   料の主成分が少なくとも錫、鉛、インジウム、亜鉛元素
   のいずれか１つを含有することを特徴とする特許請求の
   範囲第２項に記載の部材。
6. （６）前記すべり軸受材料層が、ＡｌＣｕＳｎ、ＡｌＣ
   ｕＰｂ、ＡｌＣｕＳｎＰｂ、ＡｌＳｉＳｎ、ＡｌＳｉＰ
   ｂ、ＡｌＳｉＳｎＰｂ、ＣｕＳｎ、ＣｕＰｂ、ＣｕＳｎ
   Ｐｂ合金のいずれか一つを含有することを特徴とする特
   許請求の範囲第５項に記載の部材。
7. （７）前記介在材料の粒子の直径Ｘが、Ｘ≦０．８μｍ
   の平均値を有する統計的正規分布を示すことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項に記載の部材。
8. （８）前記介在材料の粒子の直径の平均値を、前記すべ
   り軸受材料層の硬度が前記基体材料の硬度に最もよく適
   合するよう選択することを特徴とする特許請求の範囲第
   ７項に記載の部材。
9. （９）前記すべり軸受材料層が表面に対し垂直な硬度過
   程を示す勾配を有し、 （ａ）合金元素の割合を変化させるか、 （ｂ）介在する材料の平均粒子直径を変化させるか、又
   は （ｃ）異なった濃度を有するマトリックス材料の酸化物
   、炭化物、硼化物または珪化物を介在させるか、 のいずれか一つの方法により前記勾配を得ることを特徴
   とする特許請求の範囲第８項に記載の部材。
10. （１０）前記すべり軸受材料層が複数であることを特徴
    とする特許請求の範囲第１項に記載の部材。
11. （１１）前記すべり軸受材料層が、前記基体の最大粗さ
    値Ｒｚの０．２〜４倍の厚さを有することを特徴とする
    特許請求の範囲第１項に記載の部材。
12. （１２）前記すべり軸受材料層が０．５〜１５μｍの厚
    さを有することを特徴とする特許請求の範囲第１項ない
    し第１０項のいずれか一つに記載の部材。
13. （１３）歯車として形成したことを特徴とする特許請求
    の範囲第１項に記載の部材。
14. （１４）ローラベアリングとして形成したことを特徴と
    する特許請求の範囲第１項に記載の部材。
15. （１５）軸として形成したことを特徴とする特許請求の
    範囲第１項に記載の部材。
16. （１６）圧縮スクリューとして形成したことを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項に記載の部材。
17. （１７）ローラピストンとして形成したことを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項ないし第１２項のいずれか一つ
    に記載の部材。
18. （１８）回転ピストンとして形成したことを特徴とする
    特許請求の範囲第１項ないし第１２項のいずれか一つに
    記載の部材。