JPS63291347A - 電子顕微鏡等における試料装置 - Google Patents
電子顕微鏡等における試料装置Info
- Publication number
- JPS63291347A JPS63291347A JP62125540A JP12554087A JPS63291347A JP S63291347 A JPS63291347 A JP S63291347A JP 62125540 A JP62125540 A JP 62125540A JP 12554087 A JP12554087 A JP 12554087A JP S63291347 A JPS63291347 A JP S63291347A
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- Japan
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- sample holder
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は電子顕微鏡等において、試料を光軸と直交する
方向から挿入するタイプの試料′３ｉ！を置に関し、特
に同一観察位置の平面内に２組の移ＷＪ機構を備えた試
料装置を提供するものである。
方向から挿入するタイプの試料′３ｉ！を置に関し、特
に同一観察位置の平面内に２組の移ＷＪ機構を備えた試
料装置を提供するものである。
［従来技術］
上述したタイプの試料装置において、高分解能観察を行
なう際には、試料ホルダ及びその移動機構（傾斜機構も
含む）をできるだけ小形化してその固有振動数を高める
ことにより、顕微鏡の外からの振動及び顕微鏡の冷却水
等の振動が試料に伝わらないようにした専用の高分解能
用試料装置を使用する。
なう際には、試料ホルダ及びその移動機構（傾斜機構も
含む）をできるだけ小形化してその固有振動数を高める
ことにより、顕微鏡の外からの振動及び顕微鏡の冷却水
等の振動が試料に伝わらないようにした専用の高分解能
用試料装置を使用する。
一方、特殊観察、例えば種々のガス雰囲気中での観察や
湿った試料の観察を行なう際には、試料ホルダの試料保
持部分に上下に電子線透過可能な薄膜を張付けた電子線
通過用穴を夫々形成しかつ密封された部屋（以下大気圧
試料￥と称す）を形成すると共に、この大気圧試料室内
に任意のガスや水分を供給するようにした専用の特殊観
察用試料装置を使用している。
湿った試料の観察を行なう際には、試料ホルダの試料保
持部分に上下に電子線透過可能な薄膜を張付けた電子線
通過用穴を夫々形成しかつ密封された部屋（以下大気圧
試料￥と称す）を形成すると共に、この大気圧試料室内
に任意のガスや水分を供給するようにした専用の特殊観
察用試料装置を使用している。
［発明が解決しようとする問題点］
そのため、高分解能観察から特殊観察あるいはその逆の
特殊観察から高分解能観察へ切換えて蜆察したい場合に
は、その都度鏡体内の真空を破壊して鏡体を分解し、所
望の試料装置をセットしなければならないため、取扱い
が非常に面倒である。
特殊観察から高分解能観察へ切換えて蜆察したい場合に
は、その都度鏡体内の真空を破壊して鏡体を分解し、所
望の試料装置をセットしなければならないため、取扱い
が非常に面倒である。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、装置を分解することなく高分解能観察と特殊観察とを
任意に切換えて行なうことのできる電子顕微鏡等におけ
る試料装■を提供づることを目的とするものである。
、装置を分解することなく高分解能観察と特殊観察とを
任意に切換えて行なうことのできる電子顕微鏡等におけ
る試料装■を提供づることを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明の試料装置は対物レ
ンズの上下磁極間の観察位置に光軸と直交づる平面に沿
って試料ホルダを挿入するようにした試料装置において
、前記試料ホルダとして高分解能用の小型ホルダと特殊
観察用の大型ホルダが備えられており、前記小型ホルダ
を前記平面に沿って移動させるための第１の移動機構と
、前記大型ホルダを前記平面に沿って移動させるための
第２の移動機構が備えられており、前記小型ホルダと大
型ホルダの挿入方向は前記面内で交差していることを特
徴とするものである。
ンズの上下磁極間の観察位置に光軸と直交づる平面に沿
って試料ホルダを挿入するようにした試料装置において
、前記試料ホルダとして高分解能用の小型ホルダと特殊
観察用の大型ホルダが備えられており、前記小型ホルダ
を前記平面に沿って移動させるための第１の移動機構と
、前記大型ホルダを前記平面に沿って移動させるための
第２の移動機構が備えられており、前記小型ホルダと大
型ホルダの挿入方向は前記面内で交差していることを特
徴とするものである。
以下１本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］
添附図面は本発明の一実施例を示す平面断面図である。
図において、１は電子顕微鏡の鏡体で、この鏡体は対物
レンズのヨーク外壁を兼ねている。２は対物レンズの磁
極片で、上磁極（図示せず）と下！ｆ１極３とを非磁性
体製のスペーサー４で一体化することによって形成され
ている。
レンズのヨーク外壁を兼ねている。２は対物レンズの磁
極片で、上磁極（図示せず）と下！ｆ１極３とを非磁性
体製のスペーサー４で一体化することによって形成され
ている。
５は高分解能用試料ホルダ６を電子線の光軸Ｚと直交し
、しかも観察位置を含む平面内で移動させるための第１
の移動機構である。この移＃Ｊ機構は鏡体１に回転可能
に装着された傾斜体７ａと連結棒８ａと駆動棒９ａとテ
コ体１０ａ及び押しネジ１１ａと゛から構成されている
。また、この移動機構５及び試料ホルダ６はできるだけ
小さく形成し、外乱の予想される振動数より固有撮動数
を高くして試料１２ａの外乱より受ける影響を少なくす
るようにしである。１３ａは試料ホルダ６の先端（真空
側）を矢印六方向、つまり光軸Ｚを中心にして試料ホル
ダ６の挿入方向であるＸ軸と直交するＹ軸方向に動かづ
ための押しネジである。一方の航記押しネジ１１ａを回
せば、テコ体１０ａが回動し、それによって駆動棒９ａ
が往復動するため、試料ホルダ６がＸ軸方向に移動する
。従って、押しネジ１１ａ及び１３ａを任意に回すこと
により試料１２ａを任意位置に移動させることができる
。次に傾斜体７ａを回せば、試料ホルダ６が一体に回る
ため、試料１２ａを傾斜させることができる。
、しかも観察位置を含む平面内で移動させるための第１
の移動機構である。この移＃Ｊ機構は鏡体１に回転可能
に装着された傾斜体７ａと連結棒８ａと駆動棒９ａとテ
コ体１０ａ及び押しネジ１１ａと゛から構成されている
。また、この移動機構５及び試料ホルダ６はできるだけ
小さく形成し、外乱の予想される振動数より固有撮動数
を高くして試料１２ａの外乱より受ける影響を少なくす
るようにしである。１３ａは試料ホルダ６の先端（真空
側）を矢印六方向、つまり光軸Ｚを中心にして試料ホル
ダ６の挿入方向であるＸ軸と直交するＹ軸方向に動かづ
ための押しネジである。一方の航記押しネジ１１ａを回
せば、テコ体１０ａが回動し、それによって駆動棒９ａ
が往復動するため、試料ホルダ６がＸ軸方向に移動する
。従って、押しネジ１１ａ及び１３ａを任意に回すこと
により試料１２ａを任意位置に移動させることができる
。次に傾斜体７ａを回せば、試料ホルダ６が一体に回る
ため、試料１２ａを傾斜させることができる。
１４は特殊観察用試料ホルダ１５を前記平面内で移動さ
せるための第２の移動機構である。この移動機構は前記
第１の移動機構５と全く同一構成となしてあり、各対応
する構成要素には添字すを付して表わしである。また、
この第２の移動機構は第１の移ｅ）ＪＲＲｂ２対して光
軸Ｚ上で直交する方向、つまりＹ軸上に設けである。さ
らに、この移ｖＪ機構においては傾斜体７ｂを大きくし
、それによって磁極片２内で広いスペースを有する試料
ホルダ１５を装着できるようにしである。尚、前記磁極
片２には各試料ホルダ６．１５及び連結棒８ａ、８ｂを
夫々挿入するための穴が設けである。
せるための第２の移動機構である。この移動機構は前記
第１の移動機構５と全く同一構成となしてあり、各対応
する構成要素には添字すを付して表わしである。また、
この第２の移動機構は第１の移ｅ）ＪＲＲｂ２対して光
軸Ｚ上で直交する方向、つまりＹ軸上に設けである。さ
らに、この移ｖＪ機構においては傾斜体７ｂを大きくし
、それによって磁極片２内で広いスペースを有する試料
ホルダ１５を装着できるようにしである。尚、前記磁極
片２には各試料ホルダ６．１５及び連結棒８ａ、８ｂを
夫々挿入するための穴が設けである。
かかる構成において、試料を高分解能で観察したい場合
には、図の状態で示すように試料ホルダ６を第１の移動
機構５に装着すれば良い。次に、湿った試料を観察する
等の特殊観察を行なう場合には、第１の移動機構５に装
着された試料ホルダ６を磁極片２内から引き出した状態
（このとき、傾斜体７ａ内に組込んだエアーロック弁を
閉じて試料ホルダ６を大気中に取り出しても良い。）に
おいて、第２の移ｍ１ｌｌｉ構１４に装着されている試
料ホルダ１５を磁極片２内に押し込み、その先端を連結
棒８ｂに係合させることによりこの試料ホルダに形成さ
れた大気圧試料室を観察位置にセットすれば良い。
には、図の状態で示すように試料ホルダ６を第１の移動
機構５に装着すれば良い。次に、湿った試料を観察する
等の特殊観察を行なう場合には、第１の移動機構５に装
着された試料ホルダ６を磁極片２内から引き出した状態
（このとき、傾斜体７ａ内に組込んだエアーロック弁を
閉じて試料ホルダ６を大気中に取り出しても良い。）に
おいて、第２の移ｍ１ｌｌｉ構１４に装着されている試
料ホルダ１５を磁極片２内に押し込み、その先端を連結
棒８ｂに係合させることによりこの試料ホルダに形成さ
れた大気圧試料室を観察位置にセットすれば良い。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば、第１と第２の移動
機構における各試料ホルダの挿入方向は光軸Ｚ上で直交
するようにしたが、これに限定されることなく任意角度
で交差するように配置しても良い。ここで、各試料ホル
ダの挿入方向を直交させた場合には、電子線照射に基づ
いて試料から発生する特性ＸＩｉ！ｉＩを対物レンズの
上磁極の上方に設けた検出器で検出する際において、検
出器の設置が容易となる。
は幾多の変形が考えられる。例えば、第１と第２の移動
機構における各試料ホルダの挿入方向は光軸Ｚ上で直交
するようにしたが、これに限定されることなく任意角度
で交差するように配置しても良い。ここで、各試料ホル
ダの挿入方向を直交させた場合には、電子線照射に基づ
いて試料から発生する特性ＸＩｉ！ｉＩを対物レンズの
上磁極の上方に設けた検出器で検出する際において、検
出器の設置が容易となる。
また、上記実施例では試料ホルダを軸心方向に移動させ
る機構は光軸Ｚを中心にして傾斜体と反対側に設けたが
、傾斜体側に設けることができることは言うまでもない
。
る機構は光軸Ｚを中心にして傾斜体と反対側に設けたが
、傾斜体側に設けることができることは言うまでもない
。
［効果］
以上詳述した如く本発明によれば、鏡体を分解すること
なく、＾分解能観察と特殊観察とを任意に切換え行なう
ことができるため、取扱いが非常に容易となる。
なく、＾分解能観察と特殊観察とを任意に切換え行なう
ことができるため、取扱いが非常に容易となる。
添附図面は本発明の一実施例を示す平面断面図である。
１：鏡体 ２：磁極片
３：上磁極 ４ニスペーサ−５：第１の移動
機構 ６，１５：試料ホルダ７ａ、７ｂ：傾斜体
８ａ、８ｂ：連結棒９ａ、９ｂ：駆動棒 １０ａ、１０ｂ：７コ体 １１ａ、１１ｂ：押しネジ １２ａ、１２ｂ：試料 １４：第２の移動機構
機構 ６，１５：試料ホルダ７ａ、７ｂ：傾斜体
８ａ、８ｂ：連結棒９ａ、９ｂ：駆動棒 １０ａ、１０ｂ：７コ体 １１ａ、１１ｂ：押しネジ １２ａ、１２ｂ：試料 １４：第２の移動機構
Claims (1)
- 対物レンズの上下磁極間の観察位置に光軸と直交する平
面に沿つて試料ホルダを挿入するようにした試料装置に
おいて、前記試料ホルダとして高分解能用の小型ホルダ
と特殊観察用の大型ホルダが備えられており、前記小型
ホルダを前記平面に沿って移動させるための第１の移動
機構と、前記大型ホルダを前記平面に沿って移動させる
ための第２の移動機構が備えられており、前記小型ホル
ダと大型ホルダの挿入方向は前記面内で交差しているこ
とを特徴とする電子顕微鏡等における試料装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125540A JPH0614460B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 電子顕微鏡等における試料装置 |
| US07/194,983 US4837444A (en) | 1987-05-22 | 1988-05-17 | Electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125540A JPH0614460B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 電子顕微鏡等における試料装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63291347A true JPS63291347A (ja) | 1988-11-29 |
| JPH0614460B2 JPH0614460B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=14912724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62125540A Expired - Lifetime JPH0614460B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 電子顕微鏡等における試料装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4837444A (ja) |
| JP (1) | JPH0614460B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0582065A (ja) * | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
| JP2014089936A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子ビーム顕微装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5033834A (en) * | 1989-01-30 | 1991-07-23 | Micron Technology, Inc. | Microscope specimen mount converter |
| JPH07335165A (ja) * | 1994-06-10 | 1995-12-22 | Hitachi Ltd | 格子欠陥観察用電子顕微鏡 |
| JP4185062B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2008-11-19 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 加工用ステージ及び集束ビーム加工装置並びに集束ビーム加工方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4735711B1 (ja) * | 1968-11-29 | 1972-09-07 | ||
| US3896314A (en) * | 1972-12-14 | 1975-07-22 | Jeol Ltd | Specimen heating and positioning device for an electron microscope |
| JPS58169762A (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-06 | Internatl Precision Inc | 電子線装置 |
| JPS6097537A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-31 | Internatl Precision Inc | 電子線装置の試料装置 |
-
1987
- 1987-05-22 JP JP62125540A patent/JPH0614460B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-05-17 US US07/194,983 patent/US4837444A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0582065A (ja) * | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
| JP2014089936A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子ビーム顕微装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0614460B2 (ja) | 1994-02-23 |
| US4837444A (en) | 1989-06-06 |
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