JPS6097537A - 電子線装置の試料装置 - Google Patents
電子線装置の試料装置Info
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- JPS6097537A JPS6097537A JP58203614A JP20361483A JPS6097537A JP S6097537 A JPS6097537 A JP S6097537A JP 58203614 A JP58203614 A JP 58203614A JP 20361483 A JP20361483 A JP 20361483A JP S6097537 A JPS6097537 A JP S6097537A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holding rod
- stage
- axis
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線装置の試料装置、特に複数の試料を簡単
な操作で観察位置へ入換え移動することのでさる試料装
置に関するものである。
な操作で観察位置へ入換え移動することのでさる試料装
置に関するものである。
従来、この種の試料装置として例えば電子顕微鏡をとっ
てみると、第１図に承り”Ｊ：うなものがある。この図
において１は電子顕微鏡の鏡筒、２はこのＶ１筒内に電
子線軸（以下光軸と言う）と直交する方向から挿入され
た筒体で、ビス（図示Ｉ！ｙ＞等を介して鏡筒１に固定
されている。この筒体２の内部には球体部３を介して保
持体４が回動且つ回動可能に保持されている。該保持体
４の真空側には試料台５を介して多数の試料６ａ及び６
ｂが保持されてＪ５す、また人気側はこの保持体が光軸
と直交した平面内において球体部３を中心にして回動で
きるように前記筒体２に保持されＣいる。
てみると、第１図に承り”Ｊ：うなものがある。この図
において１は電子顕微鏡の鏡筒、２はこのＶ１筒内に電
子線軸（以下光軸と言う）と直交する方向から挿入され
た筒体で、ビス（図示Ｉ！ｙ＞等を介して鏡筒１に固定
されている。この筒体２の内部には球体部３を介して保
持体４が回動且つ回動可能に保持されている。該保持体
４の真空側には試料台５を介して多数の試料６ａ及び６
ｂが保持されてＪ５す、また人気側はこの保持体が光軸
と直交した平面内において球体部３を中心にして回動で
きるように前記筒体２に保持されＣいる。
７は保持体４を回動させるための押しねじで、前記筒体
２に螺合している。また押しねじ７の反対方向にはこの
押しねじと保持体との係合を常に維持させるためのスプ
リング８が設けである。９は前記筒体２の軸心の延長線
上に配置され、４１つ前記鏡筒１に摺動自在に挿入され
た移動杆で、この移動杆の真空側は連結棒１０を介して
前記試料台５の先端に連結されている。鏡筒１に対し−
Ｃ筒体２と反対側の位置には試料をＸ軸方向に移動操作
Ｊる作動機構１５が設けられこの作動機構１５の中には
試料台５をＸ軸方向におおまかな移ｅｍでもって移動さ
ける試料粗動ねＵや、試ｒ１台をＸ軸方向に僅かな移動
量でもって移動さける試料微動ねじ等が組込まれている
。また押しねじ７を回転させて、この押しねじ７を前後
移動さけると保持体４が球体軸受３を中心にして回動す
るため、先端に保持した試料台５が同図中矢印Ｃ方向に
移動し光軸上を通る試料６ａの移動は前記筒体２の軸心
（Ｘ軸）ど直交した方向、即ちＹ軸方向に移動する。ま
た試別６ａの観察の後試料６ｂを観察したい時は、上記
作動機構１５内に組込まれた粗動ねじを作動さゼること
により試別台をＪ３おまかなｍでＸ軸方向へ移動させ、
試別を６８から６ｂへと素早く交換層ることができる。
２に螺合している。また押しねじ７の反対方向にはこの
押しねじと保持体との係合を常に維持させるためのスプ
リング８が設けである。９は前記筒体２の軸心の延長線
上に配置され、４１つ前記鏡筒１に摺動自在に挿入され
た移動杆で、この移動杆の真空側は連結棒１０を介して
前記試料台５の先端に連結されている。鏡筒１に対し−
Ｃ筒体２と反対側の位置には試料をＸ軸方向に移動操作
Ｊる作動機構１５が設けられこの作動機構１５の中には
試料台５をＸ軸方向におおまかな移ｅｍでもって移動さ
ける試料粗動ねＵや、試ｒ１台をＸ軸方向に僅かな移動
量でもって移動さける試料微動ねじ等が組込まれている
。また押しねじ７を回転させて、この押しねじ７を前後
移動さけると保持体４が球体軸受３を中心にして回動す
るため、先端に保持した試料台５が同図中矢印Ｃ方向に
移動し光軸上を通る試料６ａの移動は前記筒体２の軸心
（Ｘ軸）ど直交した方向、即ちＹ軸方向に移動する。ま
た試別６ａの観察の後試料６ｂを観察したい時は、上記
作動機構１５内に組込まれた粗動ねじを作動さゼること
により試別台をＪ３おまかなｍでＸ軸方向へ移動させ、
試別を６８から６ｂへと素早く交換層ることができる。
ところで、電子顕微鏡の試料の大きさは一般的に直径が
約３ミリメー１〜ル（ｍ…）程あり、上記従来例では、
隣接づる試料６ａ、（３ｂ間において試別交換をＪる１
１、旨よ、２つの試料６ａ、６．ｂの間隔を含め、少な
くとも４ｍｎ＋程度移動させる必要がある。試料粗動ね
しにおいて、４１＋１１１１程麿の移動をさせることは
ねじを数回転せねばならず煩雑である。
約３ミリメー１〜ル（ｍ…）程あり、上記従来例では、
隣接づる試料６ａ、（３ｂ間において試別交換をＪる１
１、旨よ、２つの試料６ａ、６．ｂの間隔を含め、少な
くとも４ｍｎ＋程度移動させる必要がある。試料粗動ね
しにおいて、４１＋１１１１程麿の移動をさせることは
ねじを数回転せねばならず煩雑である。
まして、試料数が３つの場合、２つ隣りの試オ′１の交
換の際の煩雑さは増大する。更に、試１′３１粗仙ねじ
は鏡筒１にヌリして試別挿入位置の反対側にありその煩
雑さは極めて大となる。
換の際の煩雑さは増大する。更に、試１′３１粗仙ねじ
は鏡筒１にヌリして試別挿入位置の反対側にありその煩
雑さは極めて大となる。
本発明は」ニ記従来の欠点を解決り一ベくなされたもの
であり、その目的は、観察試料の選択、変更が容易且つ
迅速に行なえるようにした電子線装；６の試別装置を提
供りることである。
であり、その目的は、観察試料の選択、変更が容易且つ
迅速に行なえるようにした電子線装；６の試別装置を提
供りることである。
この発明は、上記目的を達成するために、電子線経路を
形成したＶｌ筒内に、電子線軸と直交する方向に試わ１
保持捧を挿入Ｊるようにした試料装置にＪ３いて、試料
保持棒の先端部分に回転可能な試料台を設置し、この試
料台上において回転軸に対して同心円上に所定の間隔を
おいて複数の試料保持部を設（〕、試料台を回転さぜ゛
ることにより観察位置に任意の試わ１を選択的に位置合
μできるようにしたことを要旨とするものである。試わ
１台の回転操作はギ１７ＩＮ構成いはブエーンｍ ｎｒ
ｉ等の各４．！Ｊｉ動力機構によって行なうことができ
、しかしこれらの動力機構を試料保持棒に中に組込むこ
とにょって、試料保持４４の手Ｗ［部分から先端部分に
設置プた試別台を回転操作づることが可能である。この
ため試別の変更操作は極めて楽に行なうことができる上
、ある試別から他の試料への変更は極めて迅速にできる
。
形成したＶｌ筒内に、電子線軸と直交する方向に試わ１
保持捧を挿入Ｊるようにした試料装置にＪ３いて、試料
保持棒の先端部分に回転可能な試料台を設置し、この試
料台上において回転軸に対して同心円上に所定の間隔を
おいて複数の試料保持部を設（〕、試料台を回転さぜ゛
ることにより観察位置に任意の試わ１を選択的に位置合
μできるようにしたことを要旨とするものである。試わ
１台の回転操作はギ１７ＩＮ構成いはブエーンｍ ｎｒ
ｉ等の各４．！Ｊｉ動力機構によって行なうことができ
、しかしこれらの動力機構を試料保持棒に中に組込むこ
とにょって、試料保持４４の手Ｗ［部分から先端部分に
設置プた試別台を回転操作づることが可能である。この
ため試別の変更操作は極めて楽に行なうことができる上
、ある試別から他の試料への変更は極めて迅速にできる
。
以下本発明の実施例を添付の図面に基づいて説明す゛る
。
。
第２図乃至第４図は本発明のｆｆ１ｌの実施例を示づ“
図である。これらの図のうち第２図は試わ１保持棒１Ｇ
の全体を側方から見た図であり、第３図は試オ′３１保
持捧１６の先端部分を拡大して示す拡大平面図であり、
第４図は第３図ＩＶ −ＩＶ線にＪハブる側方断面図で
ある。この実施例において試料保持棒１６は、当該試料
保持棒１６を鏡筒１内に出し入れＪるための基部となり
、且つ試料保持棒の傾斜操作成い（ま試別変換操作等の
操作を司どる操作部１６ａと、操作部＋６ａの先方向位
置に接続して設けられ操作部ＩＧａにＪハブる動力を伝
達りる動力伝達部１ＧＩＩと、動力伝達部ＩＧｂの先端
部分に設けられた作動部１６ｃどからなる。操作部１６
ａには試別切換えの操う丁を行なうつまみ２０と試料保
持棒１６を鏡筒１に結合させた時の位置決めを行なう位
置決めスピンドル３７とが取（＝Ｊ【プられ−Ｃいる。
図である。これらの図のうち第２図は試わ１保持棒１Ｇ
の全体を側方から見た図であり、第３図は試オ′３１保
持捧１６の先端部分を拡大して示す拡大平面図であり、
第４図は第３図ＩＶ −ＩＶ線にＪハブる側方断面図で
ある。この実施例において試料保持棒１６は、当該試料
保持棒１６を鏡筒１内に出し入れＪるための基部となり
、且つ試料保持棒の傾斜操作成い（ま試別変換操作等の
操作を司どる操作部１６ａと、操作部＋６ａの先方向位
置に接続して設けられ操作部ＩＧａにＪハブる動力を伝
達りる動力伝達部１ＧＩＩと、動力伝達部ＩＧｂの先端
部分に設けられた作動部１６ｃどからなる。操作部１６
ａには試別切換えの操う丁を行なうつまみ２０と試料保
持棒１６を鏡筒１に結合させた時の位置決めを行なう位
置決めスピンドル３７とが取（＝Ｊ【プられ−Ｃいる。
動力伝達部１（ｉＬ＋部分に当ｌこる保持棒本体１９の
長手方向軸線に沿っては貫通孔３８が形成されてＪ３す
、この貫通孔３８内には操作部１６ａから作動部１６ｃ
へ動力を伝達するための駆ｆ！Ｉ軸２１が装填されてい
る。また、作動部１６ｃに当たる保持棒本体１９には礪
構収容部１８が形成されてＪ３す、このｆｆｊ構収構部
容部１８内試料変換機構１７が設置されている。すＪ力
伝達部１０１１に設りられた駆動軸２１の先端は上記試
料変換機構１７に連結され、この試料変換機構１７に動
力を伝達する。試お１変換機４に１１は駆動軸２１の先
端に固定結合された第１の傘歯車２２と、第１の傘歯車
２２に駒合い、駆動軸２１による動力伝達方向を９０°
変換゛する第２の傘歯車２３と、ホイール部分とシＡ・
７１〜部分とが一体に形成され、シＩシフト部分にて固
定部月２５．２６によって第２の傘歯車２３及び保持棒
本体１９に回転可能に取（Ｊ ｔノられ、第２の傘歯車
２３と共に回転づる第１の平歯車２４と、第１の平歯車
２４と同様の４Ｍ ３告を持ち、固定部ｖＪ２８によっ
て保持棒本体１９に回転可能に取付１ノられ且つ第１の
平歯１ｐ２４に噛合って回転Ｊ−る第２の平歯車２７と
、固定部材３０によって保持棒本体１９に回転可口しに
取付けられ第２の平歯車に噛合って回転する第３の平歯
車２９と、固定部材３２によって保持棒本体１９に回転
可能に取（＝Ｊ ＩＪられ第３の平歯車に噛合って回転
する試料台３１とからなる。試料台３１は第１乃至第３
の平歯車２４．２７゜２９と同様の基本構成を有する歯
車からなり、この試１’３１台３１は、第３図及び第４
図から明らかなように回転中心＠０ ＋に対して同心円
上に所定の間隔をおいて４個の試料保持部即ち試料収容
孔３３ａ。
長手方向軸線に沿っては貫通孔３８が形成されてＪ３す
、この貫通孔３８内には操作部１６ａから作動部１６ｃ
へ動力を伝達するための駆ｆ！Ｉ軸２１が装填されてい
る。また、作動部１６ｃに当たる保持棒本体１９には礪
構収容部１８が形成されてＪ３す、このｆｆｊ構収構部
容部１８内試料変換機構１７が設置されている。すＪ力
伝達部１０１１に設りられた駆動軸２１の先端は上記試
料変換機構１７に連結され、この試料変換機構１７に動
力を伝達する。試お１変換機４に１１は駆動軸２１の先
端に固定結合された第１の傘歯車２２と、第１の傘歯車
２２に駒合い、駆動軸２１による動力伝達方向を９０°
変換゛する第２の傘歯車２３と、ホイール部分とシＡ・
７１〜部分とが一体に形成され、シＩシフト部分にて固
定部月２５．２６によって第２の傘歯車２３及び保持棒
本体１９に回転可能に取（Ｊ ｔノられ、第２の傘歯車
２３と共に回転づる第１の平歯車２４と、第１の平歯車
２４と同様の４Ｍ ３告を持ち、固定部ｖＪ２８によっ
て保持棒本体１９に回転可能に取付１ノられ且つ第１の
平歯１ｐ２４に噛合って回転Ｊ−る第２の平歯車２７と
、固定部材３０によって保持棒本体１９に回転可口しに
取付けられ第２の平歯車に噛合って回転する第３の平歯
車２９と、固定部材３２によって保持棒本体１９に回転
可能に取（＝Ｊ ＩＪられ第３の平歯車に噛合って回転
する試料台３１とからなる。試料台３１は第１乃至第３
の平歯車２４．２７゜２９と同様の基本構成を有する歯
車からなり、この試１’３１台３１は、第３図及び第４
図から明らかなように回転中心＠０ ＋に対して同心円
上に所定の間隔をおいて４個の試料保持部即ち試料収容
孔３３ａ。
３３ｂ 、 ３３ｃ 、 ３３ｄが貫通して形成されて
いる。試料収容孔３３ａ 、 ３３ｂ 、 ３３ｃ 、
３３ｄは、試料台３１の上半分はほぼ矩形状の断面形
状に形成され、下半分は下方に向けて次第に拡開゛りる
テーパが（＝Ｊけられに段（＝Ｊ形状の貫通孔となって
いる。そして各試料収容孔の段部には試料メツシュ及び
試料３４ａ。
いる。試料収容孔３３ａ 、 ３３ｂ 、 ３３ｃ 、
３３ｄは、試料台３１の上半分はほぼ矩形状の断面形
状に形成され、下半分は下方に向けて次第に拡開゛りる
テーパが（＝Ｊけられに段（＝Ｊ形状の貫通孔となって
いる。そして各試料収容孔の段部には試料メツシュ及び
試料３４ａ。
３４ｂ 、 ３４ｃ 、 ３４ｄが収容され、これらの
試料を固定するための試料固定リング３５ａ 、 ３５
ｂ 、 ３５Ｃ。
試料を固定するための試料固定リング３５ａ 、 ３５
ｂ 、 ３５Ｃ。
３５（Ｉが各試料収容孔内に固定されている。また−万
作動部１６ｃに当たる保持棒本体１９の試料台３１の下
側部分には光軸０２に一致Ｊる観察位置にテーパ状の貫
通孔３６が形成されており、試料台３１の回転に伴なっ
て試料収容孔３３ａ 、 ３３１１ 、３３Ｇ 、 ３
３ｄが順次貫通孔３６に一致するように設定されている
。
作動部１６ｃに当たる保持棒本体１９の試料台３１の下
側部分には光軸０２に一致Ｊる観察位置にテーパ状の貫
通孔３６が形成されており、試料台３１の回転に伴なっ
て試料収容孔３３ａ 、 ３３１１ 、３３Ｇ 、 ３
３ｄが順次貫通孔３６に一致するように設定されている
。
そして試料台３１は、試料保持棒１６の操作部１６ａに
取付けられｌ（つよみ２０を回転操作Ｊることにより駆
動軸２１及び試料変換供横１７に組込まれた各種歯車２
２．２３．２４．２７．２９を経由して試料台３１に回
転操作が加えられ試料台３１は第３図中１ｆ７ ｔ１回
りｈ内戚いはこの逆の方向に回転して試料収容孔に装填
された試料３４ａ 、 ３４ｂ 、 ３４ｃ 、 ３４
ｄを順次観察位置に位置合せすることができる。試料変
換機構１７において、当該試料変換１幾横１７を構成Ｊ
る各種歯車のギヤ比を調整Ｊることにより、つまみの回
転数Ｎ１ど試１１台３１の回転数Ｎ２を自由に可変でき
る。例えば となるようなギＡ７比にすればつまみを４ 回転づるだ
けで任意の試料から隣接りる試料へと交換が可能となる
。しかも、この回転操作におｔノる試料台３１の回転方
向は時ｔ１方向、反時ｈ１、自由に行なうことができ、
例えば１つの試料３４ａから３４ｂまたは３４ｄへの変
換はつみよ２０を互いに異なった方向に７回転させれば
切換えすることができるため試料交換は極めて容易且つ
迅速に行なうことができる。そして試Ｆ３１３４ａに対
して直径方向反対側にある試料３４ｃに切換える場合で
あっても、つまみ２０を時バ一方向または反時ａ１方向
に１回転させるだ番ノで試料切換えができるため、１つ
の試料から池の試料に切換えるのにつまみを最大７回転
りるだ１ノで行なうことができ操作が極めて簡単である
。
取付けられｌ（つよみ２０を回転操作Ｊることにより駆
動軸２１及び試料変換供横１７に組込まれた各種歯車２
２．２３．２４．２７．２９を経由して試料台３１に回
転操作が加えられ試料台３１は第３図中１ｆ７ ｔ１回
りｈ内戚いはこの逆の方向に回転して試料収容孔に装填
された試料３４ａ 、 ３４ｂ 、 ３４ｃ 、 ３４
ｄを順次観察位置に位置合せすることができる。試料変
換機構１７において、当該試料変換１幾横１７を構成Ｊ
る各種歯車のギヤ比を調整Ｊることにより、つまみの回
転数Ｎ１ど試１１台３１の回転数Ｎ２を自由に可変でき
る。例えば となるようなギＡ７比にすればつまみを４ 回転づるだ
けで任意の試料から隣接りる試料へと交換が可能となる
。しかも、この回転操作におｔノる試料台３１の回転方
向は時ｔ１方向、反時ｈ１、自由に行なうことができ、
例えば１つの試料３４ａから３４ｂまたは３４ｄへの変
換はつみよ２０を互いに異なった方向に７回転させれば
切換えすることができるため試料交換は極めて容易且つ
迅速に行なうことができる。そして試Ｆ３１３４ａに対
して直径方向反対側にある試料３４ｃに切換える場合で
あっても、つまみ２０を時バ一方向または反時ａ１方向
に１回転させるだ番ノで試料切換えができるため、１つ
の試料から池の試料に切換えるのにつまみを最大７回転
りるだ１ノで行なうことができ操作が極めて簡単である
。
第５図は本発明の第２の実施例を示１図である。
この実施例においては、上記第１の実施例におけ台４０
を回転可能に設置してなる。この第２の試料台４０は、
前記試料台３１と同様の栴造を持った平歯車からなり、
試料台３１に噛合うことによってつまみ２０からの動力
伝達を受【ノ時訝１方向Ｊ、た【よ反時８１方向へ回転
することができる。更に、この第２の試料台４０は、試
料台３１と同様回転中心０３を中心とする同心円上に４
個の試料保持部即ち試料収容孔４１ａ ； ４１ｂ 、
４１ｃ 、 ４１ｄを形成し、この試料収容孔内には
試料固定リング４３ａ 、 ４３ｂ 、 ４３ｃ 。
を回転可能に設置してなる。この第２の試料台４０は、
前記試料台３１と同様の栴造を持った平歯車からなり、
試料台３１に噛合うことによってつまみ２０からの動力
伝達を受【ノ時訝１方向Ｊ、た【よ反時８１方向へ回転
することができる。更に、この第２の試料台４０は、試
料台３１と同様回転中心０３を中心とする同心円上に４
個の試料保持部即ち試料収容孔４１ａ ； ４１ｂ 、
４１ｃ 、 ４１ｄを形成し、この試料収容孔内には
試料固定リング４３ａ 、 ４３ｂ 、 ４３ｃ 。
４３ｄによって固定された試ＦＩ４２ａ 、 ４２ｂ
、 ４２ｃ 。
、 ４２ｃ 。
４２ｄが設置される。そして、試料保持棒１Ｇには、当
該試料保持棒１６をぞの長手方向軸線方向（Ｘ軸り向と
す°る）に移動さＵるための相８機４＾１（図示せず）
が連結されこの粗動機描を操作することにより試料保持
棒１６を試料台３１に設（）た試料収容孔と第２の試料
台４０に設けた試料収容孔との間Ｃ最も近い２つの試わ
１収容孔の中心間距離たり移動させることにより、試料
台３１に設置した試１１と第２の試料台４０に設置した
試料との間で観察位置への切換え操作を行なうことがで
きる。例えば第５図において、試料台３１上に設置され
た試１１３１３３ａが光Ｗ＊ ０２に一致し観察位置に
ある１時に、試料台４０に設置された試料を見たいとい
う場合は、試料収容孔３３ａに最も近い試料収容孔４１
ｃの中心が光軸０２に一致づる距離９、だ【ノ試別保持
棒１６をＸ軸方向に粗動さＬればよい。そして試料保持
棒１ＧのＸ軸方向への移ＩＪＪを行なった後は、つまみ
２０を操作することにＪ、り動力を試料変換機構１７へ
伝え試料台４０を回転さけることにより試ｔ’１４２ａ
、 ４２ｂ 、 ４２ｃ 。
該試料保持棒１６をぞの長手方向軸線方向（Ｘ軸り向と
す°る）に移動さＵるための相８機４＾１（図示せず）
が連結されこの粗動機描を操作することにより試料保持
棒１６を試料台３１に設（）た試料収容孔と第２の試料
台４０に設けた試料収容孔との間Ｃ最も近い２つの試わ
１収容孔の中心間距離たり移動させることにより、試料
台３１に設置した試１１と第２の試料台４０に設置した
試料との間で観察位置への切換え操作を行なうことがで
きる。例えば第５図において、試料台３１上に設置され
た試１１３１３３ａが光Ｗ＊ ０２に一致し観察位置に
ある１時に、試料台４０に設置された試料を見たいとい
う場合は、試料収容孔３３ａに最も近い試料収容孔４１
ｃの中心が光軸０２に一致づる距離９、だ【ノ試別保持
棒１６をＸ軸方向に粗動さＬればよい。そして試料保持
棒１ＧのＸ軸方向への移ＩＪＪを行なった後は、つまみ
２０を操作することにＪ、り動力を試料変換機構１７へ
伝え試料台４０を回転さけることにより試ｔ’１４２ａ
、 ４２ｂ 、 ４２ｃ 。
４２ｄの間で切換え操作づることができる。このためこ
の実施例によれば２つの試料台３１及び４０を使うこと
により合８１８個の試料を極めて簡単な操作で観察位置
へ移動さぜ且つ観察Ｊることができ従来Ｃ゛は化えられ
なかったような一度に極めて多くの試料を試料保持棒に
装着することができるのである。
の実施例によれば２つの試料台３１及び４０を使うこと
により合８１８個の試料を極めて簡単な操作で観察位置
へ移動さぜ且つ観察Ｊることができ従来Ｃ゛は化えられ
なかったような一度に極めて多くの試料を試料保持棒に
装着することができるのである。
以上述べたように本発明によれば、試料保持棒の先番；
１；部分に回転可能な試料台を設置しこの試料台上にお
いて回転軸に対し−Ｃ同心因土に所定の間隔をおいて複
数の試料保持部を設り、試料台を回転さｌることにより
観察位置に任意の試料を選択的に位置合ｔ！″ｃさるよ
うにしたため１つの試料保持棒上に多数のん（利を設置
できると共に１つの試料から他の試１′３１への切換え
を４なめて容易１１つ迅速に行なうことができるように
なった。更に回転可能な試料台を複数説けることにより
試料は史にイ）′５加され多種類の試料の１ｉ３１！察
を１本の試料保持棒ｅ行なうことができるという（へめ
で人なる効果が（（１られる。
１；部分に回転可能な試料台を設置しこの試料台上にお
いて回転軸に対し−Ｃ同心因土に所定の間隔をおいて複
数の試料保持部を設り、試料台を回転さｌることにより
観察位置に任意の試料を選択的に位置合ｔ！″ｃさるよ
うにしたため１つの試料保持棒上に多数のん（利を設置
できると共に１つの試料から他の試１′３１への切換え
を４なめて容易１１つ迅速に行なうことができるように
なった。更に回転可能な試料台を複数説けることにより
試料は史にイ）′５加され多種類の試料の１ｉ３１！察
を１本の試料保持棒ｅ行なうことができるという（へめ
で人なる効果が（（１られる。
第１図は従来の電子線装置の９１〜利装買を承り図、第
２図は本発明の第１の実施例に係わる試ｆ１装盾に用い
られる試料保持棒を承り側面図、第３図は」−記第１の
実施例にＪ３りる試１′８１保持捧の先端部分を示ず拡
大平面図、第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ １２におりる
拡大断面図、第５図は本発明の第２の実施例に係わる試
料装置に用いられる試わ１保持棒の先端部分を承り平面
図である。 １ ・・・ ε支 向 ２ ・・・ 「）１本３・・・
球体軸 ５・・・試料台 １６・・・試料保持棒 １１・・・試料変換１本侶１８
・・・（幾横収容部 １９・・・保持棒不休２０・・・
つまみ ２１・・・駆動軸 ２２・・・第′１の傘歯車 ２３・・・第２の＄歯車２
４・・・第１の平歯１’ｔ ２７・・・第２の平歯車２
９・・・第３の平歯車 ３１・・・試料台３３ａ 、
３３ｂ 、 ３３ｃ 、 ３３ｄ −・・試料収容孔３
４ａ 、 ３４ｂ 、 ３４ｃ 、 ３４ｄ−・・試料
４０・・・第２の試料台 ４１ａ 、 ４１ｂ 、 ４１ｃ 、 ４１（＋ ・・
・試料収容孔（試料保持部） ４２ａ 、 ４２ｔ＋ 、 ４２ｃ 、 ４２（１−・
・試料０＋ 、０３・・・試料台の回転中心軸０２・・
・光軸（電子線軸）
２図は本発明の第１の実施例に係わる試ｆ１装盾に用い
られる試料保持棒を承り側面図、第３図は」−記第１の
実施例にＪ３りる試１′８１保持捧の先端部分を示ず拡
大平面図、第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ １２におりる
拡大断面図、第５図は本発明の第２の実施例に係わる試
料装置に用いられる試わ１保持棒の先端部分を承り平面
図である。 １ ・・・ ε支 向 ２ ・・・ 「）１本３・・・
球体軸 ５・・・試料台 １６・・・試料保持棒 １１・・・試料変換１本侶１８
・・・（幾横収容部 １９・・・保持棒不休２０・・・
つまみ ２１・・・駆動軸 ２２・・・第′１の傘歯車 ２３・・・第２の＄歯車２
４・・・第１の平歯１’ｔ ２７・・・第２の平歯車２
９・・・第３の平歯車 ３１・・・試料台３３ａ 、
３３ｂ 、 ３３ｃ 、 ３３ｄ −・・試料収容孔３
４ａ 、 ３４ｂ 、 ３４ｃ 、 ３４ｄ−・・試料
４０・・・第２の試料台 ４１ａ 、 ４１ｂ 、 ４１ｃ 、 ４１（＋ ・・
・試料収容孔（試料保持部） ４２ａ 、 ４２ｔ＋ 、 ４２ｃ 、 ４２（１−・
・試料０＋ 、０３・・・試料台の回転中心軸０２・・
・光軸（電子線軸）
Claims (1)
- 電子線経路を形成したｖＡ筒内に電子線軸と直交する方
向に試料保持棒を挿入するようにした試料装置において
、試料保持棒の先端部分に回転可能な試料台を設置し、
この試料台上において回転軸に対して同心円上に所定の
間隔をおいて複数の試料保持部を設け、試料台を回転さ
せることにより観察位置に任意の試料を選択的に位置合
せできるようにしたことを特徴とする電子線装置の試料
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58203614A JPS6097537A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 電子線装置の試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58203614A JPS6097537A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 電子線装置の試料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097537A true JPS6097537A (ja) | 1985-05-31 |
Family
ID=16476954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58203614A Pending JPS6097537A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 電子線装置の試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097537A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4837444A (en) * | 1987-05-22 | 1989-06-06 | Jeol Ltd. | Electron microscope |
| JPH04328233A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JP2004241255A (ja) * | 2003-02-06 | 2004-08-26 | Renesas Technology Corp | 電子顕微鏡用試料ホルダー |
| JP2007188905A (ja) * | 2007-04-23 | 2007-07-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置用試料ホールダ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5126613U (ja) * | 1974-08-19 | 1976-02-26 | ||
| JPS529366A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-24 | Hitachi Ltd | Sample equipment for electron microscopes, etc |
-
1983
- 1983-11-01 JP JP58203614A patent/JPS6097537A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5126613U (ja) * | 1974-08-19 | 1976-02-26 | ||
| JPS529366A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-24 | Hitachi Ltd | Sample equipment for electron microscopes, etc |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4837444A (en) * | 1987-05-22 | 1989-06-06 | Jeol Ltd. | Electron microscope |
| JPH04328233A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JP2004241255A (ja) * | 2003-02-06 | 2004-08-26 | Renesas Technology Corp | 電子顕微鏡用試料ホルダー |
| JP2007188905A (ja) * | 2007-04-23 | 2007-07-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置用試料ホールダ |
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