JPS63293379A - 減圧器 - Google Patents

減圧器

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JPS63293379A
JPS63293379A JP63111734A JP11173488A JPS63293379A JP S63293379 A JPS63293379 A JP S63293379A JP 63111734 A JP63111734 A JP 63111734A JP 11173488 A JP11173488 A JP 11173488A JP S63293379 A JPS63293379 A JP S63293379A
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ダニエル・ガリー
クリストフ・デイ・ジウリオ
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ジエラル・トールリ
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は入口、減圧装置および低圧出口を有する最終段
階を備えた型の純粋ガス用減圧器に関するものである。
微粒子含有量を最小にする必要のある純粋ガスの使用に
対して、通常使用場所の上流に設置されたフィルタ装置
（予備フィルタ）が使用される。しかしながら、ある分
野とくに電子技術の分野において、純粋ガスを供給され
る設備の信頼性を改善する“清浄管”（設備および管系
）を利用することが必要である。このガスは弁を備えた
圧縮ガスシリンダから供給される。減圧器がそのような
シリンダの出口に連結され、シリンダに収容されたガス
の圧力を予定の利用装置に適した低圧レヘルに減圧する
。さて、そのようなシリンダから流出するガス流によっ
て運ばれる固体微粒子の数は多くかつ制御するのが困難
であり、したがってこれらの微粒子のほとんどすべてを
濾過しうる減圧器を利用することが望ましい。
本発明の目的はきわめて低い濾過限界を達成するとくに
簡単な構造の減圧器を得ることにある。
したがって本発明は、減圧Ｖｔ　ｆと低圧出口との間に
介装された１ミクロン以下の濾過限界を存するフィルタ
を備えた、前記型の減圧器を提供するものである。
フィルタの下流側は一方では低圧出口に、また他方では
圧力計に連結された管に連通ずるのが有利である。
フィルタは支持グリルと背圧グリルとの間に挟持された
ダイヤフラムまたはセラミック管の型式に構成すること
ができる。
以下、本発明の二つの実施例を非限定的実施例として図
面を参照して説明する。
第１図および第２図には、高圧ガスたとえば最初の圧力
が２００バールの窒素のシリンダから供給される二段減
圧器の第２段を示す。
図示しない減圧器の第１段は通常の構造で、入口および
出口に一つ以上の予備フィルタ備え、第１段減圧器は第
２段の入口１に中圧の、たとえば数十バールのガスを供
給する。第２段の作用はガス圧力を中圧からふたたび減
圧して、たとえば数バール程度の所要の低い利用圧力の
、はとんど微粒子のないガスを出口２に供給することで
ある。
出口２は（図示しない）利用場所に達する（図示しない
）清浄ガス管に連結されている。
垂直となしうる軸線Ｘ−Ｘを有する、第２段減圧器は、
水平な底壁５を有する円筒形凹所４を有する本体３を備
えている。
入口１を有するノズル６は底壁５から突出している。二
つの導管、すなわち出口２および低圧圧力計に達する導
管７は、ノズル６の底部に近い底壁５に設けられている
。
プラグ８は環状シール要素９を介して、ノズル６の出口
に螺着されている。このプラグは中心孔を有し、その中
に案内１０が設置されロッド１１を自由に摺動させるよ
うになっている。周囲にスプラインを設けられノズル入
口１によって案内される弁１２は、ばね１３の作用によ
って偏倚されプラグ８の下面に密封係合する。
第２図に一層明瞭に示すように、三つのワッシャすなわ
ち、背圧グリル１４、ポリマたとえばテフロン（商品名
）のフィルタダイヤフラム１５および支持グリル１６が
底壁５に積層され、ノズル６から凹所４に側壁まで延び
ている。テフロンバンド１７がグリル１６の外周に設け
られ、好ましくは、テフロンの他のバンド１８が図示の
ようにこのグリルの内周部分に設置されている。環状シ
ール要素１９．２０は、各バンド１７．１８に対して環
状部材２１．２２によってそれぞれ押付けられている。
外側部材２１は、凹所４に螺着された管状ナツト２３に
よって所定位置に保持されかつノズル６上方に内側肩部
２４を有するリングである。リング２１の内周部分には
ベロー２５の下端が固定され、ベロー２５上端はカバー
２６によって閉鎖され、カバー２６ばばね２８によって
下方に偏倚されるワッシャ２７を担持している。
内側部材２２は、ノズル６上に取付けられかつプラグ８
の周辺部分によって所定位置に保持されるスリーブであ
る。
作用において、ヘロー内に存在する低い圧力が十分大き
いならばワッシャ２７は図示のように肩２７に押付けら
れ、ロッド１１は自由である。弁１２は閉鎖される。こ
の圧力が設定値以下に下ると、ばね２８は打克ち、カバ
ー２６は下降し、ロッド１１を下方に押し、ロッド１１
は弁１２を開く。導管１を通って入ってくる中圧ガスは
、出口２にそして圧力計導管７に、ベローの内部案内を
通り、そしてフィルタダイヤフラムを通った後、同じ調
整された低い利用圧力で供給される。
通常約０．１　　ミクロンの濾過限界を有するダイヤフ
ラム１５が存在するため、流出ガスにはは＼微粒子が存
在しない。
一点鎖線７Ａで示されたような変型として、導管２およ
び／または７は、ダイヤフラム１５の有効断面を増加す
るため、底壁５の範囲において拡大される。しかしなが
らこの拡大は、ダイヤフラム支持が弱体化するため制限
される。
第３図に示す実施例は第１図および第２図に示す実施例
と全体的に同じであるが、要素１４ないし１８．２０お
よび２２が除去されリング２１が直接底壁５に対して接
触し、プラグ８が広くかつ周囲に凹所２９を有し、約０
．１　ミクロンの濾過限界を有するセラミックの管状部
分３０が凹所２９に整合し、導管２および７外側の底壁
５に接触することにおいて相違している。平らなシール
ガスケット３１がフィルタ３０の端部に設けられ、好ま
しくは、このフィルタの端部区域は多孔性をなくレジた
がって良いシールをうるため接着されている。
使用中、中圧ガスは前記のようにベローの内部空間にお
いてその圧力を減圧され、ついでフィルタ３０を通って
外部から内部に流れ、利用圧力と同じ低圧でほとんど微
粒子なしに導管２および７に到達する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による減圧器最終段の部分軸方向断面回
。 第２図は第１図の一点鎖線包囲部分Ｈの拡大図。 第３図は本発明による減圧器の別の実施例の図。 １−入口、２−出口、３−・一本体、４聞円筒形凹所、
５−底壁、６−・・ノズル、７聞−圧力計導管。 ８・・−プラグ、９・・−環状シール要素、１０−案内
。 ｉｉ−ロッド、１２−・−弁、１３−　ばね、　　１４
−−背圧グリル、　　１５−　　フィルタダイヤフラム
。 １６−・・−支持グリル、　　１７　、　　’１８．−
バンド、１９゜２０・−シール要素、　　２１．　２２
−リング、２３−・−管状ナット、２４−・・−肩部、
２５−曲ベロー。 ２７−・・ワッシャ、２６曲カバー、２８凹ばね。 ２９−・・・凹所、３ｏ−・・−フィルタ、３１−・・
−シールガスケット

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、入口、減圧装置および低圧出口を有する最終段階を
    備えた型の減圧器において、前記減圧器が減圧装置と低
    圧出口との間に介装された１ミクロン以下の濾過限界を
    有するフィルタをさらに備えた、減圧器。 ２、フィルタが０．１ミクロン程度の濾過限界を有する
    、請求項１記載の減圧器。 ３、フィルタが支持グリルと背圧グリルとの間に挟持さ
    れたダイヤフラムの型式に構成された、請求項１記載の
    減圧器。 ４、フィルタがセラミック管の型式に構成された、請求
    項１または２記載の減圧器。 ５、セラミックのフィルタ管がベロー内側に設けられ、
    減圧器本体の軸方向管状部分を包囲し、該減圧器本体の
    軸方向管状部分が前記入口を形成し、減圧弁を有しかつ
    前記管状部分によつて低圧出口と連通する環状空間を形
    成する、請求項４記載の減圧器。 ６、フィルタの下流側が、一方では低圧出口にまた他方
    では圧力計に連結された導管に連通する、請求項１ない
    し５のいずれか１項記載の減圧器。 ７、予備フィルタ装置を有する第１減圧段階を備えた請
    求項１ないし６のいずれか１項記載の減圧器。
JP63111734A 1987-05-15 1988-05-10 減圧器 Pending JPS63293379A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8706815 1987-05-15
FR8706815A FR2615270B1 (fr) 1987-05-15 1987-05-15 Detendeur pour gaz purs

Publications (1)

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JPS63293379A true JPS63293379A (ja) 1988-11-30

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JP63111734A Pending JPS63293379A (ja) 1987-05-15 1988-05-10 減圧器

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EP (1) EP0291399A1 (ja)
JP (1) JPS63293379A (ja)
KR (1) KR880014303A (ja)
FR (1) FR2615270B1 (ja)

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