JPS6329933U - - Google Patents
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- JPS6329933U JPS6329933U JP12359886U JP12359886U JPS6329933U JP S6329933 U JPS6329933 U JP S6329933U JP 12359886 U JP12359886 U JP 12359886U JP 12359886 U JP12359886 U JP 12359886U JP S6329933 U JPS6329933 U JP S6329933U
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- JP
- Japan
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- semiconductor wafer
- etching rate
- lower electrode
- upper electrode
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の実施例
を示す概略構成断面図、第２図は本考案における
補正板の一例を示す平面図、第３図は本考案にお
ける補正板の変形例を示す平面図である。第４図
は半導体製造装置の従来例を示す概略構成断面図
、第５図は第４図装置によるウエーハ径に対する
エツチングレートを示す特性図である。 ２……半導体ウエーハ、４……下部電極、５…
…上部電極、８……半導体製造装置、９，９′…
…補正板。
を示す概略構成断面図、第２図は本考案における
補正板の一例を示す平面図、第３図は本考案にお
ける補正板の変形例を示す平面図である。第４図
は半導体製造装置の従来例を示す概略構成断面図
、第５図は第４図装置によるウエーハ径に対する
エツチングレートを示す特性図である。 ２……半導体ウエーハ、４……下部電極、５…
…上部電極、８……半導体製造装置、９，９′…
…補正板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上部電極及び下部電極間に半導体ウエーハを配
置し、反応ガス雰囲気内で上記電極間に高周波電
界を付与して半導体ウエーハをエツチングする装
置において、 上記上部電極と下部電極との間に、半導体ウエ
ーハ上でのエツチングレート分布に応じて該エツ
チングレートを補正する材質及び該材質のパター
ンで形成された補正板を配設したことを特徴とす
る半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12359886U JPS6329933U (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12359886U JPS6329933U (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6329933U true JPS6329933U (ja) | 1988-02-27 |
Family
ID=31014848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12359886U Pending JPS6329933U (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6329933U (ja) |
-
1986
- 1986-08-12 JP JP12359886U patent/JPS6329933U/ja active Pending
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