JPS64330U - - Google Patents
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- JPS64330U JPS64330U JP9346887U JP9346887U JPS64330U JP S64330 U JPS64330 U JP S64330U JP 9346887 U JP9346887 U JP 9346887U JP 9346887 U JP9346887 U JP 9346887U JP S64330 U JPS64330 U JP S64330U
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- JP
- Japan
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- semiconductor substrate
- predetermined regions
- etching apparatus
- electrolytic etching
- conductive
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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Description
第１図はこの考案の一実施例に係る電解エツチ
ング装置の構成を示す図、第２図は従来の電解エ
ツチング装置の一構成を示す図、第３図は第２図
の電解エツチング装置でエツチング処理される半
導体基板の所定領域に電圧を印加するための電極
の形成を示す図である。 図の主要な部分を表わす符号の説明、１……半
導体基板、２５……導電針、２７……金属板。
ング装置の構成を示す図、第２図は従来の電解エ
ツチング装置の一構成を示す図、第３図は第２図
の電解エツチング装置でエツチング処理される半
導体基板の所定領域に電圧を印加するための電極
の形成を示す図である。 図の主要な部分を表わす符号の説明、１……半
導体基板、２５……導電針、２７……金属板。
Claims (1)
- 半導体基板における複数の所定の領域に電圧を
選択的に印加して前記半導体基板のエツチング処
理を行う電解エツチング装置において、前記半導
体基板の各々の所定の領域に圧着される複数の導
電針が前記半導体基板における所定の領域の配置
パターンに対応して設けられ、前記導電針を介し
て前記半導体基板における複数の所定の領域に電
圧を印加する導電部材を有することを特徴とする
電解エツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9346887U JPH0514509Y2 (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9346887U JPH0514509Y2 (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS64330U true JPS64330U (ja) | 1989-01-05 |
| JPH0514509Y2 JPH0514509Y2 (ja) | 1993-04-19 |
Family
ID=30956072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9346887U Expired - Lifetime JPH0514509Y2 (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0514509Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP9346887U patent/JPH0514509Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0514509Y2 (ja) | 1993-04-19 |