JPS63306854A - 工作機械装置のバイト制御方式 - Google Patents
工作機械装置のバイト制御方式Info
- Publication number
- JPS63306854A JPS63306854A JP13812587A JP13812587A JPS63306854A JP S63306854 A JPS63306854 A JP S63306854A JP 13812587 A JP13812587 A JP 13812587A JP 13812587 A JP13812587 A JP 13812587A JP S63306854 A JPS63306854 A JP S63306854A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hysteresis
- memory
- displacement
- piezoelectric actuator
- control
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- Pending
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- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
試料工作用バイトの切込み駆動に圧電アクチユエータを
利用し、特にNCデータによりバイトの切込みを制御す
るのに好適な工作機械装置に関する。
利用し、特にNCデータによりバイトの切込みを制御す
るのに好適な工作機械装置に関する。
機械工作用バイトの切込み駆動に、圧電アクチュエータ
を利用したフライカッティング装置の従来の制御方式の
原理を第4図に示す。
を利用したフライカッティング装置の従来の制御方式の
原理を第4図に示す。
従来の装置は、DCサーボモータ12.エアスピンドル
14などからなる工具回転部と、摺動子16をすベリ案
内に用いた送りねじ駆動型の試料移動部、およびNCデ
ータ信号発生回路1、高圧アンプ5などからなる工具切
込み量制御部から構成されており、以下のように制御さ
れていた。
14などからなる工具回転部と、摺動子16をすベリ案
内に用いた送りねじ駆動型の試料移動部、およびNCデ
ータ信号発生回路1、高圧アンプ5などからなる工具切
込み量制御部から構成されており、以下のように制御さ
れていた。
すなわち、DCサーボモータ12によって回転駆動する
切削工具の回転角位置をロータリエンコーダ1oで検出
し、NCデータ信号発生回路1によって工具切込み信号
を発生する。工具切込み信号は、高圧アンプ5により圧
電アクチュエータ8の駆動に必要な高電圧信号に増幅さ
れ、スリップリング13を介して回転中の圧電アクチュ
エータ8に伝達される。上記の伝達信号に応じて圧電ア
クチュエータ8を伸縮させ、この結果、アクチュエータ
に固定したダイヤモンドバイト18の切込み量を切削加
工中に変化させる。
切削工具の回転角位置をロータリエンコーダ1oで検出
し、NCデータ信号発生回路1によって工具切込み信号
を発生する。工具切込み信号は、高圧アンプ5により圧
電アクチュエータ8の駆動に必要な高電圧信号に増幅さ
れ、スリップリング13を介して回転中の圧電アクチュ
エータ8に伝達される。上記の伝達信号に応じて圧電ア
クチュエータ8を伸縮させ、この結果、アクチュエータ
に固定したダイヤモンドバイト18の切込み量を切削加
工中に変化させる。
しかし、従来の装置では、工具切込み量制御部の圧電ア
クチュエータに対する切込み制御がオープンループ制御
になっているため、第5図に示したアクチュエータの動
的な変位ヒステリシスに対する切込み量の補償が十分で
なかった。すなわち、従来、全くヒステリシスの補償が
なされていないか、もしくは、数式計算あるいは、第5
図に示したヒステリシス特性図を用いてアクチュエータ
の変位ヒステリシスを補償したNCデータを作成し、制
御していた。ところが、第5図のマイナーループ変位特
性20が存在するため、全ての電圧変化に対して、ヒス
テリシスを補償することは困難であった。
クチュエータに対する切込み制御がオープンループ制御
になっているため、第5図に示したアクチュエータの動
的な変位ヒステリシスに対する切込み量の補償が十分で
なかった。すなわち、従来、全くヒステリシスの補償が
なされていないか、もしくは、数式計算あるいは、第5
図に示したヒステリシス特性図を用いてアクチュエータ
の変位ヒステリシスを補償したNCデータを作成し、制
御していた。ところが、第5図のマイナーループ変位特
性20が存在するため、全ての電圧変化に対して、ヒス
テリシスを補償することは困難であった。
一方、フィードバック制御を加工バイトの変位制御に用
いようとしても、加工バイトであるが故に変位量の測定
を切削中に計測することは、容易でない。また、切削後
に実際の変位量が測定できても無意味である。
いようとしても、加工バイトであるが故に変位量の測定
を切削中に計測することは、容易でない。また、切削後
に実際の変位量が測定できても無意味である。
本発明の目的は、上記従来技術で配慮されていなかった
圧電アクチュエータの動的に変化する印加電圧に対する
変位ヒステリシスを切削加工データの変化にリアルタイ
ムに即応して補償することにある。これにより、工具回
転角に同期して、工具切込み量を制御する機能を備えた
フライ力ッテイクグ装置において、従来の制御では実現
することが困難であったサブミクロンオーダ以下のより
高精度なNG機械加工が可能になる。
圧電アクチュエータの動的に変化する印加電圧に対する
変位ヒステリシスを切削加工データの変化にリアルタイ
ムに即応して補償することにある。これにより、工具回
転角に同期して、工具切込み量を制御する機能を備えた
フライ力ッテイクグ装置において、従来の制御では実現
することが困難であったサブミクロンオーダ以下のより
高精度なNG機械加工が可能になる。
上記目的を達成するために、バイト切込み駆動用圧電ア
クチュエータの印加電圧によって誘起される実際のアク
チュエータの変位をモニタし、それが目標値に達してい
なければ、その偏差を補償するフィードバック系と、そ
の偏差補償値を格納するメモリ系とで制御系を構成する
。
クチュエータの印加電圧によって誘起される実際のアク
チュエータの変位をモニタし、それが目標値に達してい
なければ、その偏差を補償するフィードバック系と、そ
の偏差補償値を格納するメモリ系とで制御系を構成する
。
なお、圧電アクチュエータへの電圧印加のルートとして
、フィードバック系からのルートと、メモリ系からの直
接ルートが存在し、そのルートの切換えを可能としてお
く。
、フィードバック系からのルートと、メモリ系からの直
接ルートが存在し、そのルートの切換えを可能としてお
く。
第3図の制御ブロック図を使って、制御動作を説明する
。
。
まず、切削加工前に、上記手段で記述したフィードバッ
ク系のルートを使用し、実際のNCデータを流す。この
ときの制御は、クローズドループ制御であるため、動的
変位ヒステリシスは補償されている。また、このとき同
時に、ヒステリシスを補償したアクチュエータへの印加
電圧値をメモリ2へ取り込んでおく。
ク系のルートを使用し、実際のNCデータを流す。この
ときの制御は、クローズドループ制御であるため、動的
変位ヒステリシスは補償されている。また、このとき同
時に、ヒステリシスを補償したアクチュエータへの印加
電圧値をメモリ2へ取り込んでおく。
次に、圧電アクチュエータ8をメモリ2がら出力される
データによって直接制御するルートに切換え、切削加工
時にヒステリシスを補償したデータによって完全オープ
ンループ制御する。
データによって直接制御するルートに切換え、切削加工
時にヒステリシスを補償したデータによって完全オープ
ンループ制御する。
この制御方式によって、圧電アクチュエータ8の動的ヒ
ステリシスがオープンループ制御を使用しても補償でき
るので、高速応答、かつサブミクロンオーダ以下の高精
度なNG機械加工が可能になる。
ステリシスがオープンループ制御を使用しても補償でき
るので、高速応答、かつサブミクロンオーダ以下の高精
度なNG機械加工が可能になる。
以下、本発明の一実施例を第1図、第2図により説明す
る。
る。
本装置は、NCデータ制御により試料の非球面の創成を
実現するフライカッティング装置である。
実現するフライカッティング装置である。
本装置は、タコジェネレータ11とロータリエンコーダ
10に連結したDCサーボモータ12゜エアスピンドル
14などからなる工具回転部と、試料19を移動させる
移動台15と移動台を駆動する駆動装置17などか己な
る試料移動部、およびNCデータ発生回路1.測長計7
.偏差検出回路3.高圧アンプ5とダイヤモンドバイト
18付切込み用圧電アクチュエータ8などからなる工具
切込み制御部から構成されている。
10に連結したDCサーボモータ12゜エアスピンドル
14などからなる工具回転部と、試料19を移動させる
移動台15と移動台を駆動する駆動装置17などか己な
る試料移動部、およびNCデータ発生回路1.測長計7
.偏差検出回路3.高圧アンプ5とダイヤモンドバイト
18付切込み用圧電アクチュエータ8などからなる工具
切込み制御部から構成されている。
第1図に対応して、まず以下のように動作する。
すなわち、DCサーボモータ12によって回転駆動する
切削工具8.18の回転角位置をロータリエンコーダ1
0で検出し、NGデータ発生回路1によって工具切込み
信号VOを発生させる。
切削工具8.18の回転角位置をロータリエンコーダ1
0で検出し、NGデータ発生回路1によって工具切込み
信号VOを発生させる。
工具切込み信号Voは、切込み用圧電アクチュエータの
実際の変化量を検出する測長計7の計測値Nfが、設定
値Nrになるようにフィードバック制御された値である
。したがって、このときの工具切込み信号Voは、圧電
アクチュエータの動的ヒステリシスを補償した信号にな
っているので、設定値に1対1に対応した値になってい
る。
実際の変化量を検出する測長計7の計測値Nfが、設定
値Nrになるようにフィードバック制御された値である
。したがって、このときの工具切込み信号Voは、圧電
アクチュエータの動的ヒステリシスを補償した信号にな
っているので、設定値に1対1に対応した値になってい
る。
本信号Voを切削加工前に実際のNGデータを使って発
生させ、そのとき同時にVoの値をメモリ2に取り込ん
でおく。
生させ、そのとき同時にVoの値をメモリ2に取り込ん
でおく。
次に、圧電アクチュエータへの電圧印加ルートを第2図
のように切換えて実際の切削運転に入る。
のように切換えて実際の切削運転に入る。
この場合の切削中のメモリから出力されてくるデータは
、アクチュエータ8の動的ヒステリシスを補償した値に
なっており、さらに、この値を高圧アンプ5に伝達する
だけのオープンループ制御になっているので、制御系の
応答速度も高速である。
、アクチュエータ8の動的ヒステリシスを補償した値に
なっており、さらに、この値を高圧アンプ5に伝達する
だけのオープンループ制御になっているので、制御系の
応答速度も高速である。
なお、第1図、第2図を使って説明した上記実施例では
、偏差補償格納メモリ2への格納方法として、全NCデ
ータに対応してその偏差補償値をメモリへ格納する方法
を示したが、加工前にNC設定データの今回データと前
回データの差に対応して変化補償値を格納し、加工時に
その変化補償値をNC設定データに加減算して実際の偏
差補償済データを得る演算器を追加した方式も容易に実
施できることは言うまでもない。
、偏差補償格納メモリ2への格納方法として、全NCデ
ータに対応してその偏差補償値をメモリへ格納する方法
を示したが、加工前にNC設定データの今回データと前
回データの差に対応して変化補償値を格納し、加工時に
その変化補償値をNC設定データに加減算して実際の偏
差補償済データを得る演算器を追加した方式も容易に実
施できることは言うまでもない。
本発明によれば、以下の効果がある。
(1)バイトを駆動する圧電アクチュエータの動的ヒス
テリシスを完全に補償している。
テリシスを完全に補償している。
(2)測長針の測定分解能の上昇に比例して、動的ヒス
テリシスの補償精度の向上が見込める。
テリシスの補償精度の向上が見込める。
(3)高速応答が期待できるオープンループ制御で動的
ヒステリシスを補償している。
ヒステリシスを補償している。
(4)圧電アクチュエータの種類を選ばない、交換。
保守が容易である。
(5)上記(1) (2)により、従来方法で実現困難
であったサブミクロンオーダ以下の高精度なNC機械加
工が可能になる。
であったサブミクロンオーダ以下の高精度なNC機械加
工が可能になる。
第1図は本発明の一実施例における試料加工前の制御構
成を示すブロック図、第2図は第1図の試料加工時の制
御構成を示すブロック図、第3図は第1図の制御回路部
のブロック図、第4図は従来装置の制御構成を示すブロ
ック図、第5図は電圧アクチュエータの動的変位ヒステ
リシスの特性図である。 1・・・NOデータ発生回路、2・・・偏差補償済デー
タの格納メモリ、3・・・偏差補償回路、4・・・制御
データ発生ルート切換器、5・・・高圧アンプ、6・・
・計数カウンタ、7・・・測長計、8・・・圧電アクチ
ュエータ、9・・・変位検出板、10・・・ロータリエ
ンコーダ、11・・・タコジェネレータ、12・・・D
Cサーボモータ、13・・・スリップリング、14・・
・エアスピンドル、15・・・移動台、16・・・摺動
子、17・・・駆動装置、18・・・ダイヤモンドバイ
ト、19・・・試料、;11; ノ ]!] 纂 2 国 猶 3 図 第4記 第 5!!] /l?氏 ff)
成を示すブロック図、第2図は第1図の試料加工時の制
御構成を示すブロック図、第3図は第1図の制御回路部
のブロック図、第4図は従来装置の制御構成を示すブロ
ック図、第5図は電圧アクチュエータの動的変位ヒステ
リシスの特性図である。 1・・・NOデータ発生回路、2・・・偏差補償済デー
タの格納メモリ、3・・・偏差補償回路、4・・・制御
データ発生ルート切換器、5・・・高圧アンプ、6・・
・計数カウンタ、7・・・測長計、8・・・圧電アクチ
ュエータ、9・・・変位検出板、10・・・ロータリエ
ンコーダ、11・・・タコジェネレータ、12・・・D
Cサーボモータ、13・・・スリップリング、14・・
・エアスピンドル、15・・・移動台、16・・・摺動
子、17・・・駆動装置、18・・・ダイヤモンドバイ
ト、19・・・試料、;11; ノ ]!] 纂 2 国 猶 3 図 第4記 第 5!!] /l?氏 ff)
Claims (1)
- 1、バイト切込み駆動に圧電アクチュエータを利用した
工作機械装置において、圧電アクチュエータの印加電圧
によつて誘起される圧電アクチュエータの実際の変位を
モニタし、それが目標値に未達であれば、その偏差を補
償するフィードバック系と、その偏差補償値を即時格納
できるメモリとで制御系を構成し、かつ圧電アクチュエ
ータへの電圧印加のループとして、フィードバック系か
らのクローズドループと、メモリから出力される直接デ
ータによるオープンループが存在し、そのループの切換
えを可能にすることを特徴とする工作機機装置のバイト
制御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13812587A JPS63306854A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | 工作機械装置のバイト制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13812587A JPS63306854A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | 工作機械装置のバイト制御方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63306854A true JPS63306854A (ja) | 1988-12-14 |
Family
ID=15214556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13812587A Pending JPS63306854A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | 工作機械装置のバイト制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63306854A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007059063A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | 3M Innovative Properties Company | Cutting tool having variable movement in a z-direction laterally along a work piece for making microstructures |
| WO2007058844A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | 3M Innovative Properties Company | Cutting tool having variable rotation about a y-direction transversely across a work piece for making microstructures |
| WO2007058840A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | 3M Innovative Properties Company | Cutting tool having variable movement at two simultaneously independent speeds in an x-direction into a work piece for making microstructures |
| WO2007058758A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | 3M Innovative Properties Company | Cutting tool having variable and independent movement in an x-direction and a z-direction into and laterally along a work piece for making microstructures |
| JP2010535640A (ja) * | 2007-08-06 | 2010-11-25 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | フライカッティングシステム及び方法、並びに関連する工具及び物品 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61214942A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-24 | トラウブ・アーゲー | 駆動手段 |
| JPS61224005A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-04 | Toyoda Mach Works Ltd | 数値制御工作機械 |
-
1987
- 1987-06-03 JP JP13812587A patent/JPS63306854A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61214942A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-24 | トラウブ・アーゲー | 駆動手段 |
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| US7487701B2 (en) | 2005-11-15 | 2009-02-10 | 3M Innovative Properties Company | Method for using a cutting tool having variable movement at two simultaneously independent speeds in an x-direction into a work piece for making microstructures |
| JP2010535640A (ja) * | 2007-08-06 | 2010-11-25 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | フライカッティングシステム及び方法、並びに関連する工具及び物品 |
| US9003934B2 (en) | 2007-08-06 | 2015-04-14 | 3M Innovative Properties Company | Fly-cutting system and method, and related tooling and articles |
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