JPS63307903A - セラミックグリ−ンシ−トの製造方法およびその装置 - Google Patents
セラミックグリ−ンシ−トの製造方法およびその装置Info
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- JPS63307903A JPS63307903A JP14308887A JP14308887A JPS63307903A JP S63307903 A JPS63307903 A JP S63307903A JP 14308887 A JP14308887 A JP 14308887A JP 14308887 A JP14308887 A JP 14308887A JP S63307903 A JPS63307903 A JP S63307903A
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- ceramic
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
- B28B3/00—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor
- B28B3/20—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor wherein the material is extruded
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- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
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- B28B3/20—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor wherein the material is extruded
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、セラミックグリーンシートの製造方法および
その装置に係シ、特に、しわの発生のない薄肉幅広のセ
ラミックグリーンシートを製造するに好適な、セラミッ
クグリーンシートの製造方法およびその装置に関するも
のである。
その装置に係シ、特に、しわの発生のない薄肉幅広のセ
ラミックグリーンシートを製造するに好適な、セラミッ
クグリーンシートの製造方法およびその装置に関するも
のである。
セラミックグリーンシートの製造方法は、ドクターブレ
ード法（キャスティング法）と押出成形法が知られてい
る。
ード法（キャスティング法）と押出成形法が知られてい
る。
従来、一般にはドクターブレード法で製造されている。
すなわち、セラミック主材に係るセラミック粉末、有機
結合剤、溶剤などの混合された。
結合剤、溶剤などの混合された。
セラミックグリーンシートの原材料に係るスラリーを、
キャリアフィルム上に載置されたドクターブレードを有
するダムへ注入する。そして、前記キャリアフィルムを
一定方向へ移動させると、スラリーがドクターブレード
とキャリアフィルムの間隙から連続的に流出される。そ
の後、乾燥して前記キャリアフィルムから剥離され、一
定の厚さのセラミックグリーンシートが得られる。
キャリアフィルム上に載置されたドクターブレードを有
するダムへ注入する。そして、前記キャリアフィルムを
一定方向へ移動させると、スラリーがドクターブレード
とキャリアフィルムの間隙から連続的に流出される。そ
の後、乾燥して前記キャリアフィルムから剥離され、一
定の厚さのセラミックグリーンシートが得られる。
しかし、上記ドクターブレード法においては、セラミッ
クグリーンシートを製造するの忙、多量の溶剤を加えた
スラリーを使用する必要がある。
クグリーンシートを製造するの忙、多量の溶剤を加えた
スラリーを使用する必要がある。
そのため、乾燥後のセラミックグリーンシート内には、
溶剤の蒸発した後釦できる気孔が数多く存在し、セラミ
ック粉末の充填率、すなわちセラミック充填率が低くな
シ、焼結時の収縮率が大きいものであった。その結果、
焼結収縮率のバラツキが大きくなり、高い寸法精度の焼
結体、たとえばセラミック多層配線基板を得ることが困
難であった。
溶剤の蒸発した後釦できる気孔が数多く存在し、セラミ
ック粉末の充填率、すなわちセラミック充填率が低くな
シ、焼結時の収縮率が大きいものであった。その結果、
焼結収縮率のバラツキが大きくなり、高い寸法精度の焼
結体、たとえばセラミック多層配線基板を得ることが困
難であった。
そこで、セラミック充填率の高いセラミックグリーンシ
ートを得る方法として、他の方法、すなわち押出成形法
の実施が望まれていた。
ートを得る方法として、他の方法、すなわち押出成形法
の実施が望まれていた。
この押出成形法は、前記ドクターブレード法に比べて、
溶剤の少ない、セラミックグリーンシートの原材料を高
い圧力下で成形することができるので、セラミック充填
率が高くなシ、その結果、焼結収縮率のバラツキが小さ
く、高い寸法精度の焼結体を得るに適している。
溶剤の少ない、セラミックグリーンシートの原材料を高
い圧力下で成形することができるので、セラミック充填
率が高くなシ、その結果、焼結収縮率のバラツキが小さ
く、高い寸法精度の焼結体を得るに適している。
なお、この押出成形法に関連するものには、たとえば［
セラミック成形用バインダー有機成形助剤の選定と利用
技術」、昭和５９年３月２９日。
セラミック成形用バインダー有機成形助剤の選定と利用
技術」、昭和５９年３月２９日。
経営開発センター出版部発行などが挙げられる。
従来の一般的な押出成形法は、薄肉幅広のセラミックグ
リーンシートを成形する場合には、後述するような問題
点があった、これを、第２図を用いて説明する。
リーンシートを成形する場合には、後述するような問題
点があった、これを、第２図を用いて説明する。
第２図は、従来の押出成形法の問題点を説明するための
ものであシ、この押出成形法の実施に使用される製造装
置の要部と、これ忙よって押出成形されたセラミックグ
リーンシートとを併せて示す要部斜視図でおる。
ものであシ、この押出成形法の実施に使用される製造装
置の要部と、これ忙よって押出成形されたセラミックグ
リーンシートとを併せて示す要部斜視図でおる。
以下に問題点を説明する。
すなわち、ダイ２内部を通るセラミックグリーンシート
の原材料（以下、セラミック材料という）のダイ内壁と
の摩擦により、セラミック材料の内部とダイ２内壁の接
触部で流動速度が異なるため、セラミック材料をシート
状に絞るダイ出口２ａで。
の原材料（以下、セラミック材料という）のダイ内壁と
の摩擦により、セラミック材料の内部とダイ２内壁の接
触部で流動速度が異なるため、セラミック材料をシート
状に絞るダイ出口２ａで。
シートの幅方向の中央部分と両端部分との流動速度の差
により、第２図に示されるように、薄肉幅広形状のセラ
ミックグリーンシート１には、コンテナ３Ｖｃ設置され
たダイ２のダイ出口２ａで、しわが発生した。しかし、
上記従来技術は、この点について何ら考慮がされていな
かった。
により、第２図に示されるように、薄肉幅広形状のセラ
ミックグリーンシート１には、コンテナ３Ｖｃ設置され
たダイ２のダイ出口２ａで、しわが発生した。しかし、
上記従来技術は、この点について何ら考慮がされていな
かった。
本発明は、上記した従来技術の問題点を改善して、しわ
のない薄肉幅広のセラミックグリーンシートを押出成形
することができる、セラミックグリーンシートの製造方
法、およびその実施に直接使用される製造装置の提供を
、その目的とするものである。
のない薄肉幅広のセラミックグリーンシートを押出成形
することができる、セラミックグリーンシートの製造方
法、およびその実施に直接使用される製造装置の提供を
、その目的とするものである。
上記問題点を改善するための、本発明のセラミ、フグリ
ーンシートの製造方法に係る構成は、セラミックグリー
ンシートの原材料を、ダイ出口から押出してセラミック
グリーンシートを製造する方法において、ダイ出口から
押出されるセラミックグリーンシートの流動速度を、該
セラミックグリーンシートの両端部分と中央部分とでほ
ぼ等しくするようにしたものである。
ーンシートの製造方法に係る構成は、セラミックグリー
ンシートの原材料を、ダイ出口から押出してセラミック
グリーンシートを製造する方法において、ダイ出口から
押出されるセラミックグリーンシートの流動速度を、該
セラミックグリーンシートの両端部分と中央部分とでほ
ぼ等しくするようにしたものである。
また、本発明のセラミックグリーンシートの製造装置に
係る構成は、セラミックグリーンシートの原材料を、ダ
イ出口から押出してセラミックグリーンシートを製造す
る装置において、ダイ出口近傍に、該出口の両端部へ中
央部よりも高温度の流体を流すことができる、複数個の
通水孔を分布して穿設したものである。
係る構成は、セラミックグリーンシートの原材料を、ダ
イ出口から押出してセラミックグリーンシートを製造す
る装置において、ダイ出口近傍に、該出口の両端部へ中
央部よりも高温度の流体を流すことができる、複数個の
通水孔を分布して穿設したものである。
さらに詳しくは、上記目的は、セラミックグリーンシー
トをシート状に押出すためのダイの温度を、両端部分と
中央部分で別々に制御できるようにした、セラミックグ
リーンシートの製造装置により達成される。
トをシート状に押出すためのダイの温度を、両端部分と
中央部分で別々に制御できるようにした、セラミックグ
リーンシートの製造装置により達成される。
セラミック材料を、所定圧力でダイ出口から押出す場合
、高粘度な材料は流動速度が遅く、低粘度な材料では速
くなる。また、押出成形するセラミック材料の粘性は、
このセラミック材料中に含まれる有機結合剤の特性に依
存するので、温度依存性のある有機結合剤を用いたセラ
ミック材料は、その温度を制御することによシ粘性の制
御が可能である。
、高粘度な材料は流動速度が遅く、低粘度な材料では速
くなる。また、押出成形するセラミック材料の粘性は、
このセラミック材料中に含まれる有機結合剤の特性に依
存するので、温度依存性のある有機結合剤を用いたセラ
ミック材料は、その温度を制御することによシ粘性の制
御が可能である。
ところで、均一に混線されたセラミック材料を押出成形
する際に、ダイの両端部分では、該ダイからの摩擦に加
えてダイ側面の摩擦力を受けるため、中央部分よりも材
料の受ける抵抗が大きくなる。そこで、セラミック材料
の温度を制御して、押出されるセラミックグリーンシー
トの温１ｔ−１両端部分で中央部分よりも所定温度だけ
高くすることにより、前記両端部分の粘性が中央部分よ
りも低くなり、両端部分と中央部分と同じ流動速度でセ
ラミックグリーンシートを押出成形することができる。
する際に、ダイの両端部分では、該ダイからの摩擦に加
えてダイ側面の摩擦力を受けるため、中央部分よりも材
料の受ける抵抗が大きくなる。そこで、セラミック材料
の温度を制御して、押出されるセラミックグリーンシー
トの温１ｔ−１両端部分で中央部分よりも所定温度だけ
高くすることにより、前記両端部分の粘性が中央部分よ
りも低くなり、両端部分と中央部分と同じ流動速度でセ
ラミックグリーンシートを押出成形することができる。
したがって、上記方法の実施によシセラミックグリーン
シートは、しわを発生することなく押出成形される。
シートは、しわを発生することなく押出成形される。
以下、本発明を実施例によって、図面を用いて説明する
。
。
この実施例は、セラミックグリーンシートラ押出成形法
によって製造したのち、これを複数枚積層して焼結し、
セラミック多層配線基板を製造するものである。
によって製造したのち、これを複数枚積層して焼結し、
セラミック多層配線基板を製造するものである。
第１図は、本発明のセラミックグリーンシートの製造装
置の一実施例を示すものであり、（ａ）図は。
置の一実施例を示すものであり、（ａ）図は。
シート押出方向の要部断面図、（ｂ）図は、この（ａ）
図におけるＩ−Ｉ’矢視断面図である。
図におけるＩ−Ｉ’矢視断面図である。
まず、このセラミックグリーンシートの製造装置の構成
を説明する。
を説明する。
３はコンテナ、２Ａは、このコンテナ３の出口側に装着
され、ダイ出口２ａを有するダイであって、このダイ２
人のダイ出口２ａ近傍には、複数個の通水孔５が分布し
て穿設されておシ、これら通水孔５のうち、両端部（以
下、０部という）の通水孔５（合計３×２＝６個）へは
、中央部とその近傍（以下、０部という）の通水孔５（
合計７Ｘ２＝１４個）よりも高温度の温水を流すことが
できるようになっている。４は、前記コンテナ３゜ダイ
２Ａ内を矢印方向へ前進して、セラミック材料１ａをダ
イ出口２ａから押出してセラミックグリーンシート１を
押出成形するに使用されるラムである。
され、ダイ出口２ａを有するダイであって、このダイ２
人のダイ出口２ａ近傍には、複数個の通水孔５が分布し
て穿設されておシ、これら通水孔５のうち、両端部（以
下、０部という）の通水孔５（合計３×２＝６個）へは
、中央部とその近傍（以下、０部という）の通水孔５（
合計７Ｘ２＝１４個）よりも高温度の温水を流すことが
できるようになっている。４は、前記コンテナ３゜ダイ
２Ａ内を矢印方向へ前進して、セラミック材料１ａをダ
イ出口２ａから押出してセラミックグリーンシート１を
押出成形するに使用されるラムである。
このように構成したセラミックグリーンシートの製造装
置を使用して１本発明のセラミックグリーンシートの製
造方法の一実施例を、第１図、第３図を用いて説明する
。
置を使用して１本発明のセラミックグリーンシートの製
造方法の一実施例を、第１図、第３図を用いて説明する
。
第３図は％第１図におけるダイ出口の両端部の通水孔を
流れる温水の温度と、セラミックグリーンシートの押出
速度比との関係の一例を示す水温−押出速度比特性図で
ある。
流れる温水の温度と、セラミックグリーンシートの押出
速度比との関係の一例を示す水温−押出速度比特性図で
ある。
セラミック主材としてアルミナを使用し、このアルミナ
を９０重量部、スラックス１０重量部。
を９０重量部、スラックス１０重量部。
有機結合剤としてメチルセルロースとポリビニルアルコ
ールとを合わせて１０重量部、可塑分散剤としてグリセ
リン１重量部、さらに水１５重量部を混合したのち、土
練機で十分に混練し、セラミ、フグリーンシートの原材
料、すなわちセラミック材料１ａを製作する。そして、
これをコンテナ３内へ挿填してラム４で矢印の方向へ押
出し、コンテナ３の出口に設置しであるダイ２Ａを通し
て、板厚（ｌＬ５ ｖｍ 、 幅１８０■の薄肉幅広の
セラミックグリーンシート１を成形する。
ールとを合わせて１０重量部、可塑分散剤としてグリセ
リン１重量部、さらに水１５重量部を混合したのち、土
練機で十分に混練し、セラミ、フグリーンシートの原材
料、すなわちセラミック材料１ａを製作する。そして、
これをコンテナ３内へ挿填してラム４で矢印の方向へ押
出し、コンテナ３の出口に設置しであるダイ２Ａを通し
て、板厚（ｌＬ５ ｖｍ 、 幅１８０■の薄肉幅広の
セラミックグリーンシート１を成形する。
この際、０部の通水孔５には５０℃の温水が流れ、０部
の通水孔５には５℃の冷水が流れている。
の通水孔５には５℃の冷水が流れている。
ここで、０部の通水孔５を流れる水温を５℃に固定し、
０部の通水孔５を流れる水温を変化させたとき、ダイ出
口２ａから押出されるセラミックグリーンシートの中央
部分と両端部分の速度比、すなわちセラミックグリーン
シートの押出速度比は、第３図に示すように変化する。
０部の通水孔５を流れる水温を変化させたとき、ダイ出
口２ａから押出されるセラミックグリーンシートの中央
部分と両端部分の速度比、すなわちセラミックグリーン
シートの押出速度比は、第３図に示すように変化する。
すなわち、０部の水温が０部の水温と同一の５℃の場合
には。
には。
セラミックグリーンシートの中央部分は両端部分の約５
５倍の速度で押出されて、しわを発生するが、０部の水
温を上昇させて行くと、両端部分でのセラミック材料１
ａの粘性が低下して速度が遠くなシ中央部分の流速に近
づき、０部の水温が３０℃のとき、中央部分と両端部分
での流速がほぼ等しくなり、しわの発生しないセラミッ
クグリーンシート１が成形される。したがって、本実施
例で用いた材料では、０部の水温を３０℃、０部の水温
を５℃とした。
５倍の速度で押出されて、しわを発生するが、０部の水
温を上昇させて行くと、両端部分でのセラミック材料１
ａの粘性が低下して速度が遠くなシ中央部分の流速に近
づき、０部の水温が３０℃のとき、中央部分と両端部分
での流速がほぼ等しくなり、しわの発生しないセラミッ
クグリーンシート１が成形される。したがって、本実施
例で用いた材料では、０部の水温を３０℃、０部の水温
を５℃とした。
０部の水温をさらに上昇させると、中央部分よりも両端
部分の速度が速くなり、両端部分にしわが発生する。こ
のため、０部と０部の水温は、使用するセラミック材料
や押出条件に応じて設定するのが良い。本実施例の材料
では、０部の水温が４０℃以上になると、再び両端部分
の流速が遅くなるのは、セラミック材料中の有機結合剤
がゲル化するためである。
部分の速度が速くなり、両端部分にしわが発生する。こ
のため、０部と０部の水温は、使用するセラミック材料
や押出条件に応じて設定するのが良い。本実施例の材料
では、０部の水温が４０℃以上になると、再び両端部分
の流速が遅くなるのは、セラミック材料中の有機結合剤
がゲル化するためである。
次に１このようＫして製造したセラミックグリーンシー
ト１を使用して、セラミック多層配線基板を製造する製
造工程を説明する。
ト１を使用して、セラミック多層配線基板を製造する製
造工程を説明する。
第４図は、第１図に係る製造装置によって押出成形した
セラミックグリーンシートを使用して。
セラミックグリーンシートを使用して。
セラミック多層配線基板を製造する製造工程を示す工程
図、第５図は、第４図における穴あけ工程時の穴あけ状
轢を示す斜視図、第６図は穴埋め工程時の穴埋め状態を
示す斜視図、第７図はセラミック多層配線基板を示す断
面斜視図である。
図、第５図は、第４図における穴あけ工程時の穴あけ状
轢を示す斜視図、第６図は穴埋め工程時の穴埋め状態を
示す斜視図、第７図はセラミック多層配線基板を示す断
面斜視図である。
このセラミック多層配線基板の製造工程は、前述したセ
ラミックグリーンシート１を押出成形したのち、このセ
ラミックグリーンシート１を切断する切断工程、穴あけ
工程、穴埋め工程、配線印刷工種、積層・接着工程、焼
結工程とから成っている。
ラミックグリーンシート１を押出成形したのち、このセ
ラミックグリーンシート１を切断する切断工程、穴あけ
工程、穴埋め工程、配線印刷工種、積層・接着工程、焼
結工程とから成っている。
そして、前記セラミックグリーンシート１を切断する工
程は、外形打抜き機（図示せず）等で所定形状に切断す
る工程である。穴明は工程は、第５図に示したように、
パンチ機６により、セラミ、フグリーンシート１にスル
ーホールを穿設する工程である。穴埋め工程は、第６図
に示すように、セラミックグリーンシート１上にスクリ
ーン１０をのせ、このスクリーン１０上に導体ペースト
１１をのせておき、この導体ペースト１１をスキージ１
２で押さえ込んでスルーホール内へ４体ペースト１１を
充填する。ここで導体ペースト１１が充填されたホール
をヴイアホールという。この穴埋め工程後、通常のスク
リーン印刷法により配線印刷を行なう。このようＫして
配線印刷を実施した複数枚のセラミックグリーンシート
１を積層・圧着したのち、この積層体を焼結炉内へ入れ
、この焼結炉にて、例えば温度１６００℃２時間１時間
の条件で焼結すれば、所望のセラミック多層配線基板が
得られる。これを詳細に説明すると、６枚のセラミック
グリーンシートが積層されており、それぞれのセラミッ
クグリーンシート上には配線層７．７′が所定回路パタ
ーン状に形成されている。
程は、外形打抜き機（図示せず）等で所定形状に切断す
る工程である。穴明は工程は、第５図に示したように、
パンチ機６により、セラミ、フグリーンシート１にスル
ーホールを穿設する工程である。穴埋め工程は、第６図
に示すように、セラミックグリーンシート１上にスクリ
ーン１０をのせ、このスクリーン１０上に導体ペースト
１１をのせておき、この導体ペースト１１をスキージ１
２で押さえ込んでスルーホール内へ４体ペースト１１を
充填する。ここで導体ペースト１１が充填されたホール
をヴイアホールという。この穴埋め工程後、通常のスク
リーン印刷法により配線印刷を行なう。このようＫして
配線印刷を実施した複数枚のセラミックグリーンシート
１を積層・圧着したのち、この積層体を焼結炉内へ入れ
、この焼結炉にて、例えば温度１６００℃２時間１時間
の条件で焼結すれば、所望のセラミック多層配線基板が
得られる。これを詳細に説明すると、６枚のセラミック
グリーンシートが積層されており、それぞれのセラミッ
クグリーンシート上には配線層７．７′が所定回路パタ
ーン状に形成されている。
そしてグイアホール８．８′によシ配線層７．７′間の
導通がなされている。また、図示していないが、このセ
ラミック多層配線基板の一方の面上にはＬＳＩチップを
載置し、他方の面にはピンを植設し、このピンを介して
プリント板（図示せず）へ装着することができるように
なっている。
導通がなされている。また、図示していないが、このセ
ラミック多層配線基板の一方の面上にはＬＳＩチップを
載置し、他方の面にはピンを植設し、このピンを介して
プリント板（図示せず）へ装着することができるように
なっている。
以上説明した実施例によれば、押出成形時のセラミック
材料１ａの流動速度が、シート幅方向の中央部分と両端
部分とでほぼ等しくなるので、薄肉幅広形状のセラミッ
クグリーンシート１を、しわを発生せずに押出成形でき
るという効果がある。
材料１ａの流動速度が、シート幅方向の中央部分と両端
部分とでほぼ等しくなるので、薄肉幅広形状のセラミッ
クグリーンシート１を、しわを発生せずに押出成形でき
るという効果がある。
なお、前記本実施例では、セラミック主材としてアルミ
ナを用いたが、ムライト等の別の材料でも良く、有機結
合剤についても、メチルセルロースやポリビニルアルコ
ール以外のもの、例えばポリエチレングリコール等の別
の結合剤を使用したものでも、同様の効果を奏するもの
である。
ナを用いたが、ムライト等の別の材料でも良く、有機結
合剤についても、メチルセルロースやポリビニルアルコ
ール以外のもの、例えばポリエチレングリコール等の別
の結合剤を使用したものでも、同様の効果を奏するもの
である。
さらに、押出すときの加圧方法は、ラム使用のプランジ
ャ方式に限らず、他の方法、例えばスクリュ一方式であ
っても構わない。
ャ方式に限らず、他の方法、例えばスクリュ一方式であ
っても構わない。
以上詳細に説明したように本発明によれば、しわのない
薄肉幅広のセラミックグリーンシートを押出成形するこ
とができる、セラミックグリーンシートの製造方法、お
よびその実施に直接使用される製造装置を提供すること
がテキル。
薄肉幅広のセラミックグリーンシートを押出成形するこ
とができる、セラミックグリーンシートの製造方法、お
よびその実施に直接使用される製造装置を提供すること
がテキル。
第１図は、本発明のセラミックグリーンシートの製造装
置の一実施例を示すものであり、（ａ）図は、シート押
出方向の要部断面図、（ｂ）図は、この（ａ）図におけ
るＩ−Ｉ’矢視断面図、第２図は、従来の押出成形法の
問題点を説明するためのものであり。 この押出成形の実施に使用される製造装置の要部と、こ
れによって押出成形されたセラミックグリーンシートと
を併せて示す要部斜視図、第３図は、第１図におけるダ
イ出口の両端部の通水孔を流れる温水の温度と、セラミ
、フグリーンシートの押出速度比との関係の一例を示す
水温−押出速度比特性図、第４図は、第１図に係る製造
装置によって押出成形したセラミックグリーンシートを
使用して、セラミック多層配線基板を製造する製造工程
を示す工程図、第５図は、第４図における穴あけ工程時
の穴あけ状態を示す斜視図、第６図は、穴埋め工程時の
穴埋め状態を示す斜視図、第７図は、セラミック多層配
線基板を示す断面斜視図でおる。 １・・・セラミックグリーンシート １ａ・・・セラミック材料 ２・・・ダイ ２ａ・・・ダイ出口 ５・・・通水孔。 第 ＩＬ２１ 第 ２図 第３図 ′シ ３本孔■の本ＥＬ Ｃ”Ｃ）Ｗ＼ 便 第４図
置の一実施例を示すものであり、（ａ）図は、シート押
出方向の要部断面図、（ｂ）図は、この（ａ）図におけ
るＩ−Ｉ’矢視断面図、第２図は、従来の押出成形法の
問題点を説明するためのものであり。 この押出成形の実施に使用される製造装置の要部と、こ
れによって押出成形されたセラミックグリーンシートと
を併せて示す要部斜視図、第３図は、第１図におけるダ
イ出口の両端部の通水孔を流れる温水の温度と、セラミ
、フグリーンシートの押出速度比との関係の一例を示す
水温−押出速度比特性図、第４図は、第１図に係る製造
装置によって押出成形したセラミックグリーンシートを
使用して、セラミック多層配線基板を製造する製造工程
を示す工程図、第５図は、第４図における穴あけ工程時
の穴あけ状態を示す斜視図、第６図は、穴埋め工程時の
穴埋め状態を示す斜視図、第７図は、セラミック多層配
線基板を示す断面斜視図でおる。 １・・・セラミックグリーンシート １ａ・・・セラミック材料 ２・・・ダイ ２ａ・・・ダイ出口 ５・・・通水孔。 第 ＩＬ２１ 第 ２図 第３図 ′シ ３本孔■の本ＥＬ Ｃ”Ｃ）Ｗ＼ 便 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、セラミックグリーンシートの原材料を、ダイ出口か
ら押出してセラミックグリーンシートを製造する方法に
おいて、ダイ出口から押出されるセラミックグリーンシ
ートの流動速度を、該セラミックグリーンシートの両端
部分と中央部分とでほぼ等しくするようにしたことを特
徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。 ２、ダイ出口から押出されるセラミックグリーンシート
の温度を、両端部分で中央部分よりも所定温度だけ高く
することにより、該セラミックグリーンシートの流動速
度を、両端部分と中央部分とでほぼ等しくするようにし
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のセラミ
ックグリーンシートの製造方法。 ３、セラミックグリーンシートの原材料を、ダイ出口か
ら押出してセラミックグリーンシートを製造する装置に
おいて、ダイ出口近傍に、該出口の両端部へ中央部より
も高温度の流体を流すことができる、複数個の通水孔を
分布して穿設したことを特徴とするセラミックグリーン
シートの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14308887A JPS63307903A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | セラミックグリ−ンシ−トの製造方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14308887A JPS63307903A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | セラミックグリ−ンシ−トの製造方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63307903A true JPS63307903A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15330631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14308887A Pending JPS63307903A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | セラミックグリ−ンシ−トの製造方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63307903A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002079509A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-19 | Denso Corp | セラミックシートの成形方法及び成形装置 |
| WO2024004018A1 (ja) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 | 日本たばこ産業株式会社 | 再構成たばこシートの製造装置及び製造方法 |
| JPWO2024004020A1 (ja) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 |
-
1987
- 1987-06-10 JP JP14308887A patent/JPS63307903A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002079509A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-19 | Denso Corp | セラミックシートの成形方法及び成形装置 |
| US6802996B2 (en) | 2000-06-30 | 2004-10-12 | Denso Corporation | Method for molding ceramic sheet |
| US7090480B2 (en) | 2000-06-30 | 2006-08-15 | Denso Corporation | Method and apparatus for molding ceramic sheet |
| DE10131692B4 (de) * | 2000-06-30 | 2017-03-02 | Denso Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum Formen einer Keramiktafel |
| WO2024004018A1 (ja) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 | 日本たばこ産業株式会社 | 再構成たばこシートの製造装置及び製造方法 |
| JPWO2024004020A1 (ja) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 |
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