JPS63308897A - 蓄積リング用パルス電磁石 - Google Patents
蓄積リング用パルス電磁石Info
- Publication number
- JPS63308897A JPS63308897A JP62144272A JP14427287A JPS63308897A JP S63308897 A JPS63308897 A JP S63308897A JP 62144272 A JP62144272 A JP 62144272A JP 14427287 A JP14427287 A JP 14427287A JP S63308897 A JPS63308897 A JP S63308897A
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- JP
- Japan
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- magnetic field
- coil
- permanent magnet
- storage ring
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- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
蓄積リング、例えば電子蓄積リング内に電子を入射する
ために用いるパルス電磁石の残留磁化の影響を除去する
ため、磁場の方向が反対の永久磁石を付加した構造の蓄
積リング用パルス電磁石を揚起する。
ために用いるパルス電磁石の残留磁化の影響を除去する
ため、磁場の方向が反対の永久磁石を付加した構造の蓄
積リング用パルス電磁石を揚起する。
本発明は電子、陽電子等の蓄積リングへの入射に使われ
るパルス電磁石に係り、とくに電磁石のコアの残留磁場
のない入射用パルス電磁石に関する。
るパルス電磁石に係り、とくに電磁石のコアの残留磁場
のない入射用パルス電磁石に関する。
近年、半導体装置の製造において超微細パターンのりソ
グラフィにシンクロトロン放射光（ＳＯＲ）を利用する
ことが検討されている。
グラフィにシンクロトロン放射光（ＳＯＲ）を利用する
ことが検討されている。
シンクロトロン放射光は、従来素粒子実験に使われてき
た粒子加速器の一種である電子蓄積リングから発生する
強力な光で、Ｘ線領域から赤外領域に至る広い連続スペ
クトルをもっている。
た粒子加速器の一種である電子蓄積リングから発生する
強力な光で、Ｘ線領域から赤外領域に至る広い連続スペ
クトルをもっている。
従来の入射用パルス電磁石の説明に先立って。
蓄積リングの例として電子蓄積リングの概略を第３図に
示す。
示す。
第３図は電子蓄積リングの構成の概略を示す模式的な平
面図である。
面図である。
図示のように、電子蓄積リングは環状につながれたビー
ムダクトと、これに沿って配置された各種の電磁石、高
周波加速空洞、真空ポンプ等で構成されている。
ムダクトと、これに沿って配置された各種の電磁石、高
周波加速空洞、真空ポンプ等で構成されている。
ビームダクト中はＩＱ−” Ｐａ以下の高真空に保たれ
、この中を数１００ ＭｅＶ以上の高エネルギをもつ電
子がパンチとなって周回する。この電子数（電流量）が
多いほど強いシンクロトロン放射光が発生することにな
る。
、この中を数１００ ＭｅＶ以上の高エネルギをもつ電
子がパンチとなって周回する。この電子数（電流量）が
多いほど強いシンクロトロン放射光が発生することにな
る。
電子蓄積リングは小型のものでも、直径１０ ｍ程度で
あり、半導体装置の製造に利用するにはその小型化が望
まれている。
あり、半導体装置の製造に利用するにはその小型化が望
まれている。
第４図は蓄積リングへの電子の入射を説明する模式的な
平面図である。
平面図である。
図において、蓄積リング４１に電子ｅ−を入射するには
、パルス電磁石（第３図のパークベータ電磁石）４２
、４３を動作させて点線で示される入射バンプ４４をつ
くり、このバンブ軌道に電子を偏向しなければならない
。
、パルス電磁石（第３図のパークベータ電磁石）４２
、４３を動作させて点線で示される入射バンプ４４をつ
くり、このバンブ軌道に電子を偏向しなければならない
。
パークベータ電磁石は入射される電子が到来したときの
み動作するパルス電磁石であり、入射時以外は磁場が０
でなければならない。
み動作するパルス電磁石であり、入射時以外は磁場が０
でなければならない。
第２図（１１，（２１は従来のパルス電磁石の斜視図と
断面図である。
断面図である。
図において、フェライトのコア１の中にコイル２が配置
されている。コイル２の形状は、ビームダクトが通るよ
うに、コア１の外側で図示のように整形されている。
されている。コイル２の形状は、ビームダクトが通るよ
うに、コア１の外側で図示のように整形されている。
断面図は１点斜線で示されるＡ−Ａ面で切った図で、ギ
ャップ３にはビームダクトが通り、矢印は磁場の方向を
示す。
ャップ３にはビームダクトが通り、矢印は磁場の方向を
示す。
従来のパルス電磁石においては、フエライ１−のコア１
の残留磁化のためコイル２に流ず電流を０に戻しても、
ギャップ３内の磁場は０にならなかった。
の残留磁化のためコイル２に流ず電流を０に戻しても、
ギャップ３内の磁場は０にならなかった。
上記問題点の解決は、蓄積リングのビームダクトを囲む
筒状の強磁性体よりなるコアと、該コアの内側に磁場を
発生させるコイルと、該磁場と反対方向の磁場をもつ永
久磁石とを有する蓄積リング用パルス電磁石により達成
される。
筒状の強磁性体よりなるコアと、該コアの内側に磁場を
発生させるコイルと、該磁場と反対方向の磁場をもつ永
久磁石とを有する蓄積リング用パルス電磁石により達成
される。
本発明は、パルス電磁石の残留磁化を打ち消すように反
対方向の磁場をもつ永久磁石を設けることにより、コイ
ルの電流がＯのときに、ギャップ内の磁場がＯになるよ
うにしたものである。
対方向の磁場をもつ永久磁石を設けることにより、コイ
ルの電流がＯのときに、ギャップ内の磁場がＯになるよ
うにしたものである。
第１図（１１，（２）は本発明のパルス電磁石の斜視図
と断面図である。
と断面図である。
図において、フェライトのコア１の中にコイル２と、永
久磁石４が配置されている。コイル２の形状は従来例と
同様に、ビームダクトが通るように、コア１の外側で図
示のように上下に２分されて整形されている。
久磁石４が配置されている。コイル２の形状は従来例と
同様に、ビームダクトが通るように、コア１の外側で図
示のように上下に２分されて整形されている。
断面図は１点斜線で示されるＡ−Ａ面で切った図で、ギ
ャップ３には永久磁石４が配置され、ここを図示されて
いないがビームダクトが通る。
ャップ３には永久磁石４が配置され、ここを図示されて
いないがビームダクトが通る。
矢印は永久磁石４の磁場の方向を示し、その大きさは残
留磁場の大きさと等しくなるように選んだ。
留磁場の大きさと等しくなるように選んだ。
以上説明したように本発明によれば、パルス電磁石の残
留磁化の影響を除去して、所定の入射バンプが形成でき
、蓄積リングに正確に電子を入射することができる。
留磁化の影響を除去して、所定の入射バンプが形成でき
、蓄積リングに正確に電子を入射することができる。
第１図＋１）、 （２）は本発明のパルス電磁石の斜視
図と断面図。 第２図ｆｌ）、 （２）は従来のパルス電磁石の斜視図
と断面図。 第３図は電子蓄積リングの構成の概略を示す模式的な平
面図。 第４図は蓄積リングへの電子の入射を説明する模式的な
平面図である。 図において。 １はフェライトのコア。 ２はコイル。 ３はギャップ。 ４は永久磁石 ｃｌ）／１千祖２ （２）Ａ−牟町酊 嵜宸例 秦 （口 （１）斜授図 （２）Ａ−Ａ坑誼 狭Ｉｋ例 争 ２ 口 Ｂ ：り馴句鎗石 ＆プｙｎＤと：ビー乙ダ
２［ρＤ’、（Ｘ、’ｎ、穢鋏石 ＲＦＣａｖｔヴ：
慕呪滓貯洞Ｆ′：バータベ゛−夕 七眉創Ｇ Ｖ
Ｐ：Ｊ扛空苅ズ°ンフ。 ＦａｓｔＫｔｃｋｅｙｈ渦Ｌ”ｃｙｊ）竜項乃１ｎ３ｅ
ｃｔｏ薦入肘＊Ｉｎｆｌｅｃｔｏｒ ニパ２レス慢し込
しツへ己とロブチー“１頑ｔ）：、ニブ’ｃｙ＞；ヒ−
（マ「１０２１番 ３ 口
図と断面図。 第２図ｆｌ）、 （２）は従来のパルス電磁石の斜視図
と断面図。 第３図は電子蓄積リングの構成の概略を示す模式的な平
面図。 第４図は蓄積リングへの電子の入射を説明する模式的な
平面図である。 図において。 １はフェライトのコア。 ２はコイル。 ３はギャップ。 ４は永久磁石 ｃｌ）／１千祖２ （２）Ａ−牟町酊 嵜宸例 秦 （口 （１）斜授図 （２）Ａ−Ａ坑誼 狭Ｉｋ例 争 ２ 口 Ｂ ：り馴句鎗石 ＆プｙｎＤと：ビー乙ダ
２［ρＤ’、（Ｘ、’ｎ、穢鋏石 ＲＦＣａｖｔヴ：
慕呪滓貯洞Ｆ′：バータベ゛−夕 七眉創Ｇ Ｖ
Ｐ：Ｊ扛空苅ズ°ンフ。 ＦａｓｔＫｔｃｋｅｙｈ渦Ｌ”ｃｙｊ）竜項乃１ｎ３ｅ
ｃｔｏ薦入肘＊Ｉｎｆｌｅｃｔｏｒ ニパ２レス慢し込
しツへ己とロブチー“１頑ｔ）：、ニブ’ｃｙ＞；ヒ−
（マ「１０２１番 ３ 口
Claims (1)
- 蓄積リングのビームダクトを囲む筒状の強磁性体よりな
るコアと、該コアの内側に磁場を発生させるコイルと、
該磁場と反対方向の磁場をもつ永久磁石とを有すること
を特徴とする蓄積リング用パルス電磁石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62144272A JPS63308897A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 蓄積リング用パルス電磁石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62144272A JPS63308897A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 蓄積リング用パルス電磁石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308897A true JPS63308897A (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=15358232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62144272A Pending JPS63308897A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 蓄積リング用パルス電磁石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308897A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002164200A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | パルス超強磁場偏向電磁石 |
| JP2008234938A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | High Energy Accelerator Research Organization | 電磁石の高速強磁場化方法及びパルス電磁石システム |
-
1987
- 1987-06-10 JP JP62144272A patent/JPS63308897A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002164200A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | パルス超強磁場偏向電磁石 |
| JP2008234938A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | High Energy Accelerator Research Organization | 電磁石の高速強磁場化方法及びパルス電磁石システム |
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