JPS63310548A - 電子顕微鏡用記録媒体搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡に係わり、特に記録媒体を送りマガ
ジンの下方より取り出し、受けマガジンの上方より収納
するようにした電子顕微鏡用記録媒体搬送装置に関する
。

〔従来の技術〕

従来、フィルム搬送装置は、未撮影フィルムを収納する
送りマガジンと撮影済フィルムを収納する受けマガジン
をカメラ室内の同一平面上に設け、送りマガジンの上蓋
の開口部から未撮影フィルム取り出し、撮影位置まで搬
送し、撮影後光はマガジンの上蓋の開口部から撮影済フ
ィルムを収納していた。

第３図は、従来の電子顕微鏡のフィルム搬送装置を示す
図で、１は送りマガジン、２は受けマガジン、３は未撮
影フィルム、４は撮影済フィルム、５はバネ、６は突起
、７は台車、８は爪、９はレール、１０はテーブルであ
る。

図において、未撮影フィルム３が収納されている送りマ
ガジン１は撮影済フィルム４を収納した受けマガジン２
とカメラ室において同一平面上に配置されている。未撮
影フィルム３は曲がり易いので、金属性のカセットに入
れてあり、金属性のカセットの端部には搬送用の突起６
が設けである。

また、送りマガジン１内では未撮影フィルム３はバネ５
で常時上方に押し上げられている。

送りマガジンｌおよび受けマガジン２の上方に置かれた
フィルム入りカセットを搬送する台車７はレール９上を
モータ（図示せず）によって直線運動をする。ｍ影の際
台車７に設けた爪８で、未撮影フィルム３のカセットの
突起６を引っかけて送りマガジン１から未撮影フィルム
３を引き出し、撮影位置に置かれたテーブル１０に移動
させ、撮影後は受けマガジン２の位置まで搬送して収納
している。

〔発明が解決すべき問題点〕 このように、従来のフィルム搬送装置は、マガジンの上
蓋の開口部からフィルムカセットを引き出し、収納する
ための送り用突起を有する剛性の高い金属性フィルムカ
セットに適した構成をとっていたが、撮影後、写真フィ
ルムのようにカセットから取り出して現像処理すること
なく、カセットに入れたままレーザ光を照射して記録情
報を読み取る柔軟な樹脂性のカセットを使用する超高感
度のイメージングプレートの場合には新しい記録媒体収
納マガジンとそれに適応した搬送装置が要求される。ま
た、従来の搬送装置では撮影順に読取器で続み取ること
ができず、さらに、摩擦の発生箇所が多く感光面の損傷
、金属粉による汚損などの恐れがあり、イメージングプ
レートには不向きである。

本発明は上記問題点を解決するためのもので、写真フィ
ルムおよびイメージングプレートに共用でき、カセット
の移動が同一平面ですみ、構成を簡単化することができ
ると共に、撮影順に送りマガジンから受けマガジンへ収
納することができる電子顕微鏡用記録媒体搬送装置を提
供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

そのために本発明は、電子銃から発射された電子線を試
料に照射して得られる電子線像を記録媒体上に記録する
電子ｕｌｋ鏡において、カメラ室を遮蔽バルブを介して
第１室と第２室とに分離し、第１室に未撮影の記録媒体
を下方から取り出す送りマガジンと、送りマガジンの下
方に設けられ、盪影済記録媒体を上方から収納する受け
マガジンと、送りマガジンから記録媒体を取り出す取り
出し手段と、記録媒体を取り出し手段と遮蔽バルブ位置
間で搬送する第１の搬送手段と、第１の搬送手段から記
録媒体を受けマガジンへ収納するためのガイドとを配置
し、第２室に、撮影位置と遮蔽バルブ間で記録媒体を搬
送する第２の搬送手段を配置し、遮蔽バルブを介して第
１、第２の搬送手段間で記録媒体を受け渡すことを特徴
とする。

〔作用〕

本発明は、送りマガジンと受けマガジンをそれぞれ上下
関係に配置し、記録媒体を送りマガジンの下方から取り
出し、撮影記録媒体を受けマガジンの上方から収納する
と共に、カメラ室を記録媒体を収納する第１室と撮影す
る第２室とに分割し、遮蔽バルブを介して記録媒体を第
１室、第２室間で受け渡しすることにより、撮影の際発
生するＸ線による未撮影記録媒体の感光の防止を行い、
超高感度の記録媒体を使用可能にし、滑り摩擦を減少し
て記録媒体の損傷、汚損を防ぐと共に、撮影順に記録媒
体を取り出して、容易に撮影後の読み取りが可能となる
。

（実施例〕 以下、実施例を図面を参照して説明する。

第１図は電子ＩＪ徽鏡のカメラ室に本発明の記録媒体搬
送装置を収納した図、第２図は本発明の記録媒体搬送装
置主要部を示す図である０図において、２０はカメラ室
、２１は扉、２２はＸ線遮蔽バルブ、２３は第１室、２
４は第２室、２５は未撮影フィルム、２６は撮影済フィ
ルム、２７は送りマガジン、２８は受けマガジン、２９
はフィルム搬送装置主要部、３０はフィルム搬送機構、
３１は上蓋、３２は遮光板、３３は送りカム、３４は送
り出し爪、３５は移動板、３６はスプリング、３７はＬ
型アングル、３８はねじ、３９は連動板、４０．４２．
４４．４５はビン、４１はカム、４３は移動板、４６は
可逆モータ、４７．４９はローラ、４８は送りベルト、
５０は平行リンク、５１はソレノイド、５２はスプリン
グ、５３はガイド、５４はフィルム搬送機構、５５は送
りベルト、５６はローラ、５７はストッパ、５８は窓、
６０゜６１”、６２は検出部である。

第１図において、カメラ室２０はｘＨ遮蔽材料でつくら
れたＸ線遮蔽バルブ２２と、同じくＸ線遮蔽材料で作ら
れた隔壁で、第１室２３と第２室２４に分離されると共
に、第１室２３の扉２１でカメラ室２０は気密構造とな
っている。第１室２３にはフィルム搬送装置の主要部を
備え、未撮影フィルム２５と盪影済フィルム２６を収納
する受けマガジン２８をそれぞれ上下にフィルム搬送装
置主要部２９に配置しである。また、フィルム搬送装置
主要部２９にはフィルム搬送機構５４が組み込んであり
、送りマガジン２７の下方から押し出された未撮影フィ
ルム２５をバルブ２２を経由して第２室２３へ、また、
撮影済フィルム２６を第２室２３からバルブ２２を経由
して受けマガジン２８の上方から収納する。フィルム搬
送装置主要部２９、すなわちフィルム搬送機構５４と送
りマガジン２７および受けマガジン２８は一体となって
引き出しガイド（図示せず）によって、第１室から８２
１を開けて取り出すことができる。第２室２４には第１
室２３からバルブ２２を通じて搬送されてきた未撮影フ
ィルム２５を電子線通過用の窓５８直下の盪影位置へ、
そして撮影後、撮影済フィルム２６を措影位置からバル
ブ２２を通じて第１室のフィルム搬送機構５４へ搬送す
る搬送機構３０を設けである。

送りマガジン２７と受けマガジン２８は同一構造であり
、各マガジンは遮光構造であり、上部に上蓋３１、前面
に遮光板３２を備え、内部空間にはフィルムを収納する
空間とフィルムを送り出す偏心カム３３、送り出し用の
爪３４を取り付ける空間および送り出し用爪３４を取り
付は水平運動する移動板３５の復帰用スプリング３６等
を取り付ける下部空間に分かれている。未撮影フィルム
２５は送りマガジン２７の上蓋３１を開けて収納し、遮
光板３２を゛開けて送り出す、また、橿影済フィルム２
６は開けである上蓋の開口部から順次収納し、始めに邊
影したフィルムは下になり、シャンク３２の開口部から
撮影順にしたがって取り出すことができる。

第２図はフィルム搬送装置主要部２９を示す図である。

図において、フィルム搬送装置主要部２９には遮光状態
にした送りマガジン２７と受けマガジン２８を取り付け
ることができ、また、主要部２９の側面にはＬ型アング
ル３７がねじ３８を中心としである角度回転するように
取り付けである。Ｌ型アングル３７には、Ｌ型アングル
３７の回転によって連動する連動Ｆｉ３９のビン４０の
入る縦穴と同じくＬ型アングル３７の回転によって連動
して回転するカム４１に取り付けたビン４１に取り付け
たビン４ｚに噛み合う溝が作っである。連動板３９の先
端は受けマガジン２８の上１３１に接触しており、連動
板３９の回転によりフィルムが収納される幅だけ開けら
れる。移動板４３のビン４４はカム４１のビン４２の対
称位置の溝に噛み合い、カム４１の回転により、移動板
４３が図の矢印方向に移動するとき送りマガジン２７の
遮光板３２が開き、未撮影フィルム２５を押し出すこと
ができるだけの段差を移動板４３に設け、遮光板３２に
は移動板４３によって連動して開（ようにビン４５が取
り付けである。

可逆モータ４６は第１図に示すローラ４７と送りベルト
４８のローラ４９および第２室２４内の送りベルト５５
のローラ５６を駆動する。ローラ４７は押し出された未
撮影フィルム２５を送りベルト４８まで送る。送りベル
ト４８は２段重ね平行リンク５０になっており、ソレノ
イドバルブ４６の作動によってバルブ２２の軸を中心と
して平行リンク５０は受けマガジン側が下げられる。未
撮影フィルム２５はその間を通って第２室へ、あるいは
第２室２４から受けマガジン２８へと可逆的に搬送され
る。また、ローラ４７と送りベルト４８はフィルムを収
めたカセットの両側でフィルム面に接触することなく、
フィルムを送るように２列になっている。送りベルトを
取り付けた平行リンク５０全体は受けマガジン２８に撮
影済フィルムを収納するようにバルブ２２側のローラ４
９を軸としてソレノイドバルブ５１により下げられる。

スプリング５２は平行リンク５０の復帰用である。

また、第１図において、ガイド５３は撮影済フィルムが
平行リンク５０から受けマガジン２８へ収納する案内に
なるように取り付けである。第２室２４内の送りベルト
５５は第１室からのフィルムを可逆的に搬送すると共に
、電子顕微鏡の電子線の中心の撮影位置にフィルムを置
くように取り付けである。また、送りマガジン２７の開
口部である検出部６０は未撮影フィルム２５が送りマガ
ジン２７から平行リンク５０に送り出されたことを検出
し、検出部６１は未撮影フィルム２５が第２室２４の送
りベルト５５で送られストッパ５７に当たって撮影位置
にあることを検出するよう取り付けである。検出部６２
は撮影フィルム２６が受けマガジン２８に収納され、次
のフィルムが送り出し準備の状態を検出するよう取り付
けである。

次に、動作について第１図および第２図を参照して説明
する。

まず、未撮影フィルム２５を収納した送りマガジン２７
と受けマガジン２８を遮光状態にしてフィルム搬送装置
主要部２９の定位置にそれぞれ取り付け、第１室２３に
収納し、扉２を閉める。フィルム搬送装置主要部２９の
側面のＬ型アングル３７の先端は扉２１で押され、Ｌ型
アングル３７は螺子３８を中心として、ある角度回転し
、ピン４０を介して連動板３９の先端が連動して受けマ
ガジン２８の上１［３１が開く、同時にピン４２を介し
て、カム４１が回転し、移動板４３が平行リンク５０の
方に移動し、移動板４３０段差によりピン４５を介して
送りマガジン２７の遮光板３２が開く、これでフィルム
の送り準備が完了し、次に操作盤から撮影信号を送ると
、Ｘ線遮蔽バルブ２２が開き、且つ可逆モータ４６によ
りフィルム送りローラ４７、送りベルト４８および５５
が回転を始める。ある設定された時間後カム３３のソレ
ノイドバルブ（図示せず）が作動し、カム３３を介して
、送り出し爪３４を移動させ、未撮影フィルム２５を送
りローラ４７に噛み合うまで送り出す、未撮影フィルム
２５は送りローラ４７により前方に押し出され、さらに
平行リンク５０の送りベルト４８で送られ、Ｘ線遮蔽バ
ルブ２２を通過し、第２室２４内の送りベルト５５に挟
まれながら、スト７パ５７に当たるまで送られる。この
とき未撮影フィルム２５の位置は電子顕微鏡のビームの
中心に撮影位置になる。検出部６０で未撮影フィルム２
５の送られていることを示すと共に、ソレノイドバルブ
（図示せず）の電源が切れ、カム３３が復帰する。また
未撮影フィルム２５が撮影位置でス）７パ５７に当たる
と検出部６１で検出した信号で可逆モータ４６が止まり
、同時にＸ線遮蔽バルブ２２を閉じ、撮影が行われる。

撮影が完了すると、完了信号によりＸ線遮蔽バルブ２２
が開き、可逆モータ４６の電源が入り可逆モータは反転
し、送りベルト５５により撮影済フィルム２６は返送を
始める。それと同期して、ソレノイドバルブ５１により
平行リンク５０は受けマガジン２８の方に傾き、撮影済
フィルム２６はＸ線遮蔽バルブ２２、平行リンク５０お
よびガイド５３を通過して受けマガジン２８に収納され
る。このとき通過する検出部６２の信号により送り機構
は次の未盪像フィルム２５送り出し準備状態となる。

以上述べた搬送装置はフィルム収納カセットの両側の縁
をローラおよびベルトで挟んで送るため、カセットの剛
性を高くする必要がなく、写真フィルムのみならず、イ
メージングプレートにも使用できる。

なお、本実施例では第１室と第２室との間にＸ線遮蔽材
料のバルブを使用したが、Ｘ線遮蔽材料のシャッタを用
いても同じ効果が得られる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、滑りの少ない送りベルト
およびローラなどで記録媒体を収納カセットの両側で搬
送する機構とすることにより、従来のように爪で引っ掛
けることがなく、剛性の高い写真フィルム用金属カセッ
トである必要がなくなり、超高感度のイメージングプレ
ートなどに使用されている樹脂性の剛性の低いカセット
を利用することができる。また、カメラ室を記録媒体を
収納する空間と撮影する空間にＸ線遮蔽材で分けること
ができ、撮影の際発生するＸ線による記録媒体への影響
も防止できる。

さらに、滑りの原因となる記録媒体表面の傷の発生およ
び金属粉塵による撮影記録障害が防止でき、送りマガジ
ンと受けマガジンが同一構造であるため共用することが
できると共に、カセットの移動が同一平面ですみ、構成
を簡単化することができ、さらに取り扱いが容易であり
、撮影記録媒体を受けマガジンの下方から取り出すこと
が可能であるため、撮影順に取り出すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の記録媒体搬送装置を備えた電子顕微鏡
のカメラ室を示す図、第２図は本発明の記録媒体搬送装
置主要部を示す図、第３図は従来の電子顕微鏡のフィル
ム搬送装置を示す図である。 １・・・送りマガジン、２・・・受けマガジン、３・・
・未撮影フィルム、４・・・撮影済フィルム、５・・・
バネ、６・・・突起、７・・・台車、８・・・爪、９・
・・レール、１０・・・テーブル、２０・・・カメラ室
、２１・・・扉、２２・・・Ｘ線遮蔽バルブ、２３・・
・第１室、２４・・・第２室、２５・・・未撮影フィル
ム、２６・・・撮影済フイ７ＬＬ、２７・・・送りマガ
ジン、２８・・・受けマガジン、２９・・・フィルム搬
送装置主要部、３０・・・フィルム搬送機構、３１・・
・上蓋、３２・・・遮光板、３３・・・送りカム、３４
・・・送り出し爪、３５・・・移動板、３６・・・スプ
リング、３７・・・Ｌ型アングル、３８・・・ねじ、３
９・・・連動板、４０．４２．４４．４５・・・ピン、
４１・・・カム、４３・・・移動板、４６・・・可逆モ
ータ、４７．４９・・・ローラ、４８・・・送りベルト
、５０・・・平行リンク、５１はソレノイド、５２はス
プリング、５３・・・ガイド、５４・・・フィルム搬送
機構、５５・・・送りベルト、５６・・・ローラ、５７
・・もストッパ、５８・・・窓、６０．６１．６２・・
・検出部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子銃から発射された電子線を試料に照射して得られる
   電子線像を記録媒体上に記録する電子顕微鏡において、
   カメラ室を遮蔽バルブを介して第１室と第２室とに分離
   し、第１室に未撮影の記録媒体を下方から取り出す送り
   マガジンと、送りマガジンの下方に設けられ、撮影済記
   録媒体を上方から収納する受けマガジンと、送りマガジ
   ンから記録媒体を取り出す取り出し手段と、記録媒体を
   取り出し手段と遮蔽バルブ位置間で搬送する第１の搬送
   手段と、第１の搬送手段から記録媒体を受けマガジンへ
   収納するためのガイドとを配置し、第２室に、撮影位置
   と遮蔽バルブ間で記録媒体を搬送する第２の搬送手段を
   配置し、遮蔽バルブを介して第１、第２の搬送手段間で
   記録媒体を受け渡すことを特徴とする電子顕微鏡用記録
   媒体搬送装置。