JPS63311101A - 主軸の回転精度測定装置 - Google Patents
主軸の回転精度測定装置Info
- Publication number
- JPS63311101A JPS63311101A JP14852387A JP14852387A JPS63311101A JP S63311101 A JPS63311101 A JP S63311101A JP 14852387 A JP14852387 A JP 14852387A JP 14852387 A JP14852387 A JP 14852387A JP S63311101 A JPS63311101 A JP S63311101A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main shaft
- measured
- ball
- spindle
- sphere
- Prior art date
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- Granted
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は旋盤等の主軸の回転精度を測定するための主軸
回転精度測定装置に関する。
回転精度測定装置に関する。
〈従来技術〉
従来、旋盤等においては主軸の一端にモータのロータを
固着して駆動するビルトインモータ方式が採用され、主
軸の回転精度測定には、主軸端面に被測定球を鉄製の芯
出しプレートに直接装着し、被測定球の変位を非接触式
の変位センサで検出していた。
固着して駆動するビルトインモータ方式が採用され、主
軸の回転精度測定には、主軸端面に被測定球を鉄製の芯
出しプレートに直接装着し、被測定球の変位を非接触式
の変位センサで検出していた。
〈発明が解決しようとする問題点〉
かかるビルトインモータ方式ではモータを駆動した際に
、磁場を形成するためにこの磁場がロータより主軸を通
って被測定球を磁化させる。
、磁場を形成するためにこの磁場がロータより主軸を通
って被測定球を磁化させる。
これにより被測定球の静電容量を変化させるために変位
センサーによる正確な変位の検出ができない問題がある
。
センサーによる正確な変位の検出ができない問題がある
。
〈問題を解決するための手段〉
本発明は上述した問題を解決するためになされたもので
、主軸端面に被測定球を誘電率の低いセラミックで形成
した球ホルダに装着し、この球ホルダを前記主軸の軸線
上に被測定球を芯出しする芯出しプレートを介して主軸
端面に装着し、この被測定球の主軸回転軸線上と、この
主軸回転軸線と直交する径方向に被測定球との間の静電
容量を測定して被測定球の変位を検出する変位センサを
設けたものである。
、主軸端面に被測定球を誘電率の低いセラミックで形成
した球ホルダに装着し、この球ホルダを前記主軸の軸線
上に被測定球を芯出しする芯出しプレートを介して主軸
端面に装着し、この被測定球の主軸回転軸線上と、この
主軸回転軸線と直交する径方向に被測定球との間の静電
容量を測定して被測定球の変位を検出する変位センサを
設けたものである。
〈作用〉
セラミックで形成した球ホルダが主軸を通ってくる磁力
線を遮断して被測定球の静電容量の変化を防止して変位
センサによる変位の検出を正確に行えるようにする。
線を遮断して被測定球の静電容量の変化を防止して変位
センサによる変位の検出を正確に行えるようにする。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図において1は支持台2上に設けられた主軸本体で
ある。この主軸本体1内には主軸10が設けられ、この
主軸10の一端にはモータハウジング17に包囲された
ステータ12とロータ13とにより構成されるモータが
装着されている。ロータ13にはスリーブ14が係合し
ており、スリーブ14は主軸10に装着されている。
ある。この主軸本体1内には主軸10が設けられ、この
主軸10の一端にはモータハウジング17に包囲された
ステータ12とロータ13とにより構成されるモータが
装着されている。ロータ13にはスリーブ14が係合し
ており、スリーブ14は主軸10に装着されている。
15は主軸10を軸受支持する静圧軸受である。
この静圧軸受I5は内周面に形成された軸受ポケット1
6に固定絞りを介して圧力流体を供給し、静圧保持力に
より主軸10を回転自在に保持する。
6に固定絞りを介して圧力流体を供給し、静圧保持力に
より主軸10を回転自在に保持する。
また、静圧軸受15の端部には主軸10に突出したフラ
ンジ部18に対向してスラスト軸受ポケット19が形成
され、静圧力にてスラスト支持している。主軸10の端
面には芯出しプレート20および球ホルダ21を介して
被測定球22が装着されている。芯出しプレート20は
主軸10に固定されるアダプタプレート23と芯出しね
じ24によってフローティング可能にアダプタブレイー
ドに固定されるプレート25とによって構成され、芯出
しねじ24を回すことによって被測定球22の中心を主
軸10の軸線上に合わせることができる。
ンジ部18に対向してスラスト軸受ポケット19が形成
され、静圧力にてスラスト支持している。主軸10の端
面には芯出しプレート20および球ホルダ21を介して
被測定球22が装着されている。芯出しプレート20は
主軸10に固定されるアダプタプレート23と芯出しね
じ24によってフローティング可能にアダプタブレイー
ドに固定されるプレート25とによって構成され、芯出
しねじ24を回すことによって被測定球22の中心を主
軸10の軸線上に合わせることができる。
球ホルダ21は誘電率の低いマイカセラミックで形成さ
れ、その先端中心部に被測定球22を接着している。主
軸10回転軸線上と軸線と直交する被測定球22の径方
向には主軸10のスラスト方向およびラジアル方向の変
位を検出する変位センサ26.27が設けられている。
れ、その先端中心部に被測定球22を接着している。主
軸10回転軸線上と軸線と直交する被測定球22の径方
向には主軸10のスラスト方向およびラジアル方向の変
位を検出する変位センサ26.27が設けられている。
この変位センサ26,27は被測定球22までの静電容
量を測定してその変化より変位を検出するものである。
量を測定してその変化より変位を検出するものである。
この変位センサ26,27にはアンプ28.フィルタ2
9.A/Dコンバータ30を介してコンピュータ31が
接続され、変位センサ26,27で検出された被測定球
の振れによる変位信号はコンピュータ31に記憶される
。
9.A/Dコンバータ30を介してコンピュータ31が
接続され、変位センサ26,27で検出された被測定球
の振れによる変位信号はコンピュータ31に記憶される
。
以上のような構成にすることで測定時にモータから主軸
10内を通る磁力線を球ホルダ21で遮断して被測定球
22の静電容量の変化を防止して正確な回転精度の測定
を可能とする。
10内を通る磁力線を球ホルダ21で遮断して被測定球
22の静電容量の変化を防止して正確な回転精度の測定
を可能とする。
〈効果〉
上述したように本発明はモータからの磁力線を遮断する
ための球ホルダをセラミックとしたことにより高精度な
主軸の回転精度が測定できる。
ための球ホルダをセラミックとしたことにより高精度な
主軸の回転精度が測定できる。
第1図は本発明実施例の主軸の回転精度測定装置の構成
を示す図である。 10・・・主軸、15・・・静圧軸受、16・・・静圧
軸受ポケット、19・・・スラスト軸受ポケット、20
・・・芯出しプレート、21・・・球ホルダ、22・・
・被測定球、26.27・・・変位センサ。
を示す図である。 10・・・主軸、15・・・静圧軸受、16・・・静圧
軸受ポケット、19・・・スラスト軸受ポケット、20
・・・芯出しプレート、21・・・球ホルダ、22・・
・被測定球、26.27・・・変位センサ。
Claims (1)
- (1)主軸台本体に回転軸承した主軸にこの主軸と同軸
的に設けた駆動モータのロータを連結し、主軸の径方向
および軸方向の振れ等を検出する主軸の回転精度測定装
置であって、前記主軸端面に被測定球を誘電率の低いセ
ラミックで形成した球ホルダに装着し、この球ホルダを
前記主軸の軸線上に被測定球を芯出しする芯出しプレー
トを介して主軸端面に装着し、前記主軸回転軸線上と、
この主軸回転軸線と直交する径方向に被測定球との間の
静電容量を測定して被測定球の変位を検出する変位セン
サを設けたことを特徴とする主軸の回転精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14852387A JPH0684882B2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 主軸の回転精度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14852387A JPH0684882B2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 主軸の回転精度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63311101A true JPS63311101A (ja) | 1988-12-19 |
| JPH0684882B2 JPH0684882B2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=15454681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14852387A Expired - Lifetime JPH0684882B2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 主軸の回転精度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0684882B2 (ja) |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP14852387A patent/JPH0684882B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684882B2 (ja) | 1994-10-26 |
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