JPS63311227A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents
液晶表示素子の製造方法Info
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- JPS63311227A JPS63311227A JP62147588A JP14758887A JPS63311227A JP S63311227 A JPS63311227 A JP S63311227A JP 62147588 A JP62147588 A JP 62147588A JP 14758887 A JP14758887 A JP 14758887A JP S63311227 A JPS63311227 A JP S63311227A
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- liquid crystal
- crystal panel
- pressure
- temporarily assembled
- plastic sheet
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は液晶テレビジョンなどに用いる液晶表示素子の
製造方法に関するものである。
製造方法に関するものである。
従来の技術
近年、マイコン等を内蔵した機器の増加に伴ない、簡易
な表示用デバイスとして、マトリックス型表示器に対す
るニーズが高まっている。また、コンピュータ端末表示
、あるいは高品位テレビジョン等においては、高精細度
化が進められておυ、このため液晶を用いたディスプレ
イ装置においても、高密度の電極パターンピッチが要求
されていて、ガラス基板間に封じ込められる液晶層の厚
さも薄くされなければならない。
な表示用デバイスとして、マトリックス型表示器に対す
るニーズが高まっている。また、コンピュータ端末表示
、あるいは高品位テレビジョン等においては、高精細度
化が進められておυ、このため液晶を用いたディスプレ
イ装置においても、高密度の電極パターンピッチが要求
されていて、ガラス基板間に封じ込められる液晶層の厚
さも薄くされなければならない。
従来、液晶パネルの間隙の制御は、所定径のスペーサ全
一方の基板上に分散した後に所定の方法によシ上下基板
を貼シ合わせ、その後、鉄ブロックのようなもので荷重
をかけながら所定温度にて、あるいはＵＶ光を照射して
、シール樹脂を硬化させて行っている。
一方の基板上に分散した後に所定の方法によシ上下基板
を貼シ合わせ、その後、鉄ブロックのようなもので荷重
をかけながら所定温度にて、あるいはＵＶ光を照射して
、シール樹脂を硬化させて行っている。
あるいは、より均一なギャップ全形成するために、第６
図に示すように、鉄ブロック等のかわシに、熱収縮性フ
ィルム製の袋１に、アライメント後の基板２，３を挿入
し、真空パンクあるいは加熱を行って、均一な圧力を基
板に負荷する方法や、第７図に示すように、加圧槽４に
アライメント後の基板２，３を入れて、シリコンゴム等
で成形された仕切部材６を固定し、ポンプ６により加圧
槽４内に水、油等の加圧流体を流入させ、基板２゜３を
加圧した状態で、熱硬化、あるいは水銀灯７によるＵＶ
照射によって、ＵＶ硬化させる方法も提案されている。
図に示すように、鉄ブロック等のかわシに、熱収縮性フ
ィルム製の袋１に、アライメント後の基板２，３を挿入
し、真空パンクあるいは加熱を行って、均一な圧力を基
板に負荷する方法や、第７図に示すように、加圧槽４に
アライメント後の基板２，３を入れて、シリコンゴム等
で成形された仕切部材６を固定し、ポンプ６により加圧
槽４内に水、油等の加圧流体を流入させ、基板２゜３を
加圧した状態で、熱硬化、あるいは水銀灯７によるＵＶ
照射によって、ＵＶ硬化させる方法も提案されている。
発明が解決しようとする問題点
上記のような方法では、幾つかの問題点があシ、必ずし
も、均一なパネル間隙、アライメント情報が得られず、
歩留Ｄ’に悪化させている。熱収縮性フィルム製の袋を
用いる方法での問題点は、（１）熱収縮性フィルム製の
袋に挿入する際に、２枚の基板のアライメントずれが生
じる。
も、均一なパネル間隙、アライメント情報が得られず、
歩留Ｄ’に悪化させている。熱収縮性フィルム製の袋を
用いる方法での問題点は、（１）熱収縮性フィルム製の
袋に挿入する際に、２枚の基板のアライメントずれが生
じる。
ｆ２）熱収縮性フィルム製の袋に挿入後、真空パンクを
行なう際に、基板のアライメントずれが生じる。またこ
のときのずれを少なくするため。
行なう際に、基板のアライメントずれが生じる。またこ
のときのずれを少なくするため。
には、治具が必要であり、工数も多くかかる。
に）熱収縮性フィルムの添加剤等により、加熱時に基板
の電極を傷める。
の電極を傷める。
（４）袋への挿入と、硬化後の袋からの取出しの工程は
作業タクトが長く、ライン化も難しい。
作業タクトが長く、ライン化も難しい。
（６）基板−組につき、一枚の袋が必要であシ、コスト
高である。
高である。
（＠ 真空バックの際に、急激な減圧をすると第８図に
示すように、基板間に介在するギャップ材としてのビー
ズが液晶注入口部８から飛散することがあシ、ギャップ
のむらを生じる。尚、このギャップのむらは、Ｎａ線を
照射することにより、図示の如く干渉縞で組察できる。
示すように、基板間に介在するギャップ材としてのビー
ズが液晶注入口部８から飛散することがあシ、ギャップ
のむらを生じる。尚、このギャップのむらは、Ｎａ線を
照射することにより、図示の如く干渉縞で組察できる。
等が挙げられる。
また、加圧流体を用いて加圧する方法の問題点は、
（勢 シリコンゴム製の仕切部材を固定する際に、２枚
の基板のアライメントずれが発生する。
の基板のアライメントずれが発生する。
（＠ 仕切部材の固定後、加圧流体が流入する際にもア
ライメントずれが発生する。
ライメントずれが発生する。
（６）装置のシール構造を充分考慮する必要があるため
、装置が大がかシになシ、コスト高になる。
、装置が大がかシになシ、コスト高になる。
（１０）一枚毎に、加圧流体の流入、排出をする必要が
あるため、作業タクトが長い。
あるため、作業タクトが長い。
（１１）Ｕｖ照射をする場合、基板上に有機染料等を含
むフィルターが形成されていると、有機染料が変質２分
解してしまうこともある。
むフィルターが形成されていると、有機染料が変質２分
解してしまうこともある。
等が挙げられる。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために、本発明の第１の発明は、
第１電極基板と第２電極基板の両基板をアライメント装
置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程
度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶
パネルを得、その後仮組液晶パネルを減圧可能な筐体内
の吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートを上
から重ね、吸着固定台とプラスチックシートの間を真空
吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加圧圧着
されたシール剤を光硬化することにより、液晶パネルを
得るという液晶表示素子の製造方法を提供するものであ
る。
第１電極基板と第２電極基板の両基板をアライメント装
置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程
度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶
パネルを得、その後仮組液晶パネルを減圧可能な筐体内
の吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートを上
から重ね、吸着固定台とプラスチックシートの間を真空
吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加圧圧着
されたシール剤を光硬化することにより、液晶パネルを
得るという液晶表示素子の製造方法を提供するものであ
る。
また本発明の第２の発明は、アライメント装置で、第２
電極基板を上側の吸着治具に吸着し、第１電極基板を下
側の吸着治具に吸着して、両基板を吸着治具を相対移動
させて略々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して
重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その後
、仮組液晶パネルを、減圧可能な筐体内にあり、アライ
メント装置の下側の吸着治具と等しい吸着パターンを有
する吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートラ
上から重ね、吸着固定台とプラスチックシートの間を真
空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加圧圧
着されたシール剤を光硬化することにより、液晶パネル
を得るという液晶表示素子の製造方法を提供するもので
ある。
電極基板を上側の吸着治具に吸着し、第１電極基板を下
側の吸着治具に吸着して、両基板を吸着治具を相対移動
させて略々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して
重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その後
、仮組液晶パネルを、減圧可能な筐体内にあり、アライ
メント装置の下側の吸着治具と等しい吸着パターンを有
する吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートラ
上から重ね、吸着固定台とプラスチックシートの間を真
空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加圧圧
着されたシール剤を光硬化することにより、液晶パネル
を得るという液晶表示素子の製造方法を提供するもので
ある。
また本発明の第３の発明は両基板をアライメント装置を
用いて位置合せ全行い、略々位置ずれが起らない程度に
シール剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶パ
ネルを得、その後仮組液晶パネルを透明なプラスチック
シートの供給ロールと巻き取りロールの間に配置された
減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチック
シートと仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラ
スチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶パネルの
真空加圧を行い、加圧圧着されたシール剤を光硬化する
ことにより、液晶パネルを得、その後新しい液晶パネル
を真空加圧する際は、巻き取りロールを回転させ、基板
上部に変形のないプラスチックシート面を配置して仮組
液晶パネルの真空加圧を行ない液晶パネルを得るという
液晶表示素子の製造方法を提供するものである。
用いて位置合せ全行い、略々位置ずれが起らない程度に
シール剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶パ
ネルを得、その後仮組液晶パネルを透明なプラスチック
シートの供給ロールと巻き取りロールの間に配置された
減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチック
シートと仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラ
スチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶パネルの
真空加圧を行い、加圧圧着されたシール剤を光硬化する
ことにより、液晶パネルを得、その後新しい液晶パネル
を真空加圧する際は、巻き取りロールを回転させ、基板
上部に変形のないプラスチックシート面を配置して仮組
液晶パネルの真空加圧を行ない液晶パネルを得るという
液晶表示素子の製造方法を提供するものである。
また本発明の第４の発明は、両基板をアライメント装置
を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程度
にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行っ忙仮組液晶パ
ネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可能な、筐体
内の吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートと
仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチック
シートの間を真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧
を行った状態で、遮光領域を形成したマスク基板を介し
てシール剤の塗られている領域に紫外線が当たシ、それ
以外の領域には紫外線が当たらないように紫外線の照射
を行ない、加圧圧着されたシール剤を光硬化することに
よフ液晶パネルを得るという液晶パネルの製造方法を提
供するものである。
を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程度
にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行っ忙仮組液晶パ
ネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可能な、筐体
内の吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートと
仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチック
シートの間を真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧
を行った状態で、遮光領域を形成したマスク基板を介し
てシール剤の塗られている領域に紫外線が当たシ、それ
以外の領域には紫外線が当たらないように紫外線の照射
を行ない、加圧圧着されたシール剤を光硬化することに
よフ液晶パネルを得るという液晶パネルの製造方法を提
供するものである。
また本発明の第６の発明は両基板をアライメント装置を
用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程度に
シール剤全介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶パネ
ルを得、その後仮組液晶パネル全減圧可能な篩体内の吸
着固定台に固定し、プラスチックシートと仮組液晶パネ
ルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの間を
ゆるやかに１〜１６０Ｔｏｒｒ程度まで減圧し、その後
に１Ｔｏｒｒ以下に減圧する２段階以上又は、２種以上
の減圧速度で減圧して仮組液晶パネルの真空加圧を行い
、その後接着剤の硬化を行うという液晶パネルの製造方
法を提供するものである。
用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程度に
シール剤全介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶パネ
ルを得、その後仮組液晶パネル全減圧可能な篩体内の吸
着固定台に固定し、プラスチックシートと仮組液晶パネ
ルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの間を
ゆるやかに１〜１６０Ｔｏｒｒ程度まで減圧し、その後
に１Ｔｏｒｒ以下に減圧する２段階以上又は、２種以上
の減圧速度で減圧して仮組液晶パネルの真空加圧を行い
、その後接着剤の硬化を行うという液晶パネルの製造方
法を提供するものである。
作 用
本発明の第１の発明の作用は、両基板をアライメント装
置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程
度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行っても仮組液
晶パネルを得、その後、仮組液晶パネル全減圧可能な筐
体内の吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシート
を上かう７２Ｆね、吸着固定台とプラスチックシートの
間全真空吸引して仮組液晶パネルの真空加圧全行い、加
圧圧着されたシール剤を光硬化することにより液晶パネ
ルを得るので、接着剤の加圧の硬化のために、袋への挿
入や、その後の真空パックの工程がなくなり、アライメ
ントずれが起こりにくい。また、熱収縮性フィルムの加
熱変形や変質などによって、基板の電極を傷めることも
なくなる。
置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程
度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行っても仮組液
晶パネルを得、その後、仮組液晶パネル全減圧可能な筐
体内の吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシート
を上かう７２Ｆね、吸着固定台とプラスチックシートの
間全真空吸引して仮組液晶パネルの真空加圧全行い、加
圧圧着されたシール剤を光硬化することにより液晶パネ
ルを得るので、接着剤の加圧の硬化のために、袋への挿
入や、その後の真空パックの工程がなくなり、アライメ
ントずれが起こりにくい。また、熱収縮性フィルムの加
熱変形や変質などによって、基板の電極を傷めることも
なくなる。
本発明の第２の作用は、アライメント装置で、第２電極
基板を上側の吸着治具に吸着し、第１電極基板を下側の
吸着治具に吸着して、両基板を吸着治具を相対移動させ
て略々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して重ね
合わせ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その後、仮
組液晶パネル金、減圧可能な筐体内にあり、アライメン
ト装置の下側の吸着治具と等しい吸着パターン金有する
吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートを上か
ら重ね、吸着固定台とプラスチックシートの間を真空吸
引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加圧圧着さ
れたシール剤を光硬化するので、アライメン１−１−し
た際の下側基板の吸着による変形と、真空吸引により加
圧圧着する場合の下側基板の吸着による変形が等しいた
め、真空吸引の際、液晶パネルの吸着パターンによるパ
ネル変形量、変形形状が同じと考えられアライメントす
れがほとんど発生しない。
基板を上側の吸着治具に吸着し、第１電極基板を下側の
吸着治具に吸着して、両基板を吸着治具を相対移動させ
て略々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して重ね
合わせ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その後、仮
組液晶パネル金、減圧可能な筐体内にあり、アライメン
ト装置の下側の吸着治具と等しい吸着パターン金有する
吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートを上か
ら重ね、吸着固定台とプラスチックシートの間を真空吸
引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加圧圧着さ
れたシール剤を光硬化するので、アライメン１−１−し
た際の下側基板の吸着による変形と、真空吸引により加
圧圧着する場合の下側基板の吸着による変形が等しいた
め、真空吸引の際、液晶パネルの吸着パターンによるパ
ネル変形量、変形形状が同じと考えられアライメントす
れがほとんど発生しない。
本発明の第３の発明の作用は両基板をアライメント装置
を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程度
にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶
パネルを得、その後仮組液晶パネル全透明なプラスチッ
クシートの供給ロールと巻き取りロールの間に配設され
た減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチッ
クシートと仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプ
ラスチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶パネル
の真空加圧を行い、加圧圧着されたシール剤を光硬化す
ることによジ、液晶パネルを得、その後新しい液晶パネ
ルを真空加圧する際は、巻き取りロールを回転させ、基
板上部に変形のないプラスチックシート面を配置して、
仮組液晶パネルの真空加圧を行うので、袋への挿入と、
硬化後の袋からの取ジ出しの工程は不要となり、作業工
数は少なくて済む。また、１組のパネルを製造するのに
袋に較べ、プラスチックシートの方が、袋加工費用及び
１面のシートが不用なために安価である。また、常に変
形のないプラスチックシートによる加圧ができるため、
加圧条件が安定し、アライメントずれも小さくなる〇 本発明の第４の発明の作用は両基板をアライメント装置
を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程度
にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶パ
ネルを得、その後仮組液晶パネルを減圧可能な筐体内の
吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートと仮組
液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシー
トの間を真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行
った状態で、遮光領域を形成したマスク基板を介してシ
ール剤の塗られている領域に紫外線が当たシ、それ以外
の領域には紫外線が当たらないように紫外線の照射を行
い、加圧圧着されたシール剤を光硬化するので、強い紫
外線により変質２分解し易いカラーフィルタの有機染料
及びフィルター用膜材料がある液晶パネル内のフィルタ
一部への紫外線照射を防ぎ、紫外線による有機染料等の
変質、劣化等を防ぐことができる。
を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程度
にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶
パネルを得、その後仮組液晶パネル全透明なプラスチッ
クシートの供給ロールと巻き取りロールの間に配設され
た減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチッ
クシートと仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプ
ラスチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶パネル
の真空加圧を行い、加圧圧着されたシール剤を光硬化す
ることによジ、液晶パネルを得、その後新しい液晶パネ
ルを真空加圧する際は、巻き取りロールを回転させ、基
板上部に変形のないプラスチックシート面を配置して、
仮組液晶パネルの真空加圧を行うので、袋への挿入と、
硬化後の袋からの取ジ出しの工程は不要となり、作業工
数は少なくて済む。また、１組のパネルを製造するのに
袋に較べ、プラスチックシートの方が、袋加工費用及び
１面のシートが不用なために安価である。また、常に変
形のないプラスチックシートによる加圧ができるため、
加圧条件が安定し、アライメントずれも小さくなる〇 本発明の第４の発明の作用は両基板をアライメント装置
を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程度
にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶パ
ネルを得、その後仮組液晶パネルを減圧可能な筐体内の
吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシートと仮組
液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシー
トの間を真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行
った状態で、遮光領域を形成したマスク基板を介してシ
ール剤の塗られている領域に紫外線が当たシ、それ以外
の領域には紫外線が当たらないように紫外線の照射を行
い、加圧圧着されたシール剤を光硬化するので、強い紫
外線により変質２分解し易いカラーフィルタの有機染料
及びフィルター用膜材料がある液晶パネル内のフィルタ
一部への紫外線照射を防ぎ、紫外線による有機染料等の
変質、劣化等を防ぐことができる。
本発明の第５の発明の作用は、両基板をアライメント装
置を用いて位置合せ七行い、略々位置ずれが起らない程
度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶
パネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可能な筐体
内の吸着固定台に固定しプラスチックシートと仮組液晶
パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの
間をゆるやかに１〜１６０ Ｔｏｒｒ程度まで減圧し、
その後に１Ｔｏｒｒ以下に減圧する２段階以上又は、２
種以上の減圧速度で減圧して仮組液晶パネルの真空加圧
を行ない、その後接着剤の硬化を行なうので、両基板が
略々ギャップ材に接するまでゆるやかに減圧され、急激
な圧力の変化がないため、真空減圧の際の基板のアライ
メントずれが発生しにくい。また、ギャップ材に基板が
接してから高速に吸引又は高真空減圧をするため、減圧
の際にギャップ材が液晶注入口部から飛散することがな
くなり、ギャップむらも発生しない。
置を用いて位置合せ七行い、略々位置ずれが起らない程
度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶
パネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可能な筐体
内の吸着固定台に固定しプラスチックシートと仮組液晶
パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの
間をゆるやかに１〜１６０ Ｔｏｒｒ程度まで減圧し、
その後に１Ｔｏｒｒ以下に減圧する２段階以上又は、２
種以上の減圧速度で減圧して仮組液晶パネルの真空加圧
を行ない、その後接着剤の硬化を行なうので、両基板が
略々ギャップ材に接するまでゆるやかに減圧され、急激
な圧力の変化がないため、真空減圧の際の基板のアライ
メントずれが発生しにくい。また、ギャップ材に基板が
接してから高速に吸引又は高真空減圧をするため、減圧
の際にギャップ材が液晶注入口部から飛散することがな
くなり、ギャップむらも発生しない。
実施例
以下、本発明の第１の実施例の液晶表示素子の製造方法
について、第１図（ａ）〜−）を参照しながら説明する
。第１図（ａ）は、本発明の第１実施例におけるアライ
メント装置の斜視図であり、９は第２電極基板、１０は
第１電極基板、１１は第２電極基板の吸着治具、１２は
第１電極基板の吸着治具、１３は第１電極基板位置′決
めビン、１４はアライメント用対物レンズ、１５はエア
ー加圧用スリット、１６は吸着溝、１７は加圧用エア供
給口、１８は第２電極基板用減圧口、１９は第１電極基
板用減圧口である。第１図（ロ）は、実施例における基
板接着硬化装置の斜視図であシ、２０は重ね合せ後の仮
組液晶パネルの吸着固定台、２１は仮組液晶パネルの位
置決め部材、２２は基板接着硬化装置の筐体、２３は加
圧用プラスチックシート、２４は加圧用プラスチックシ
ート固定用部材、２６は紫外線照射ランプである。２６
は減圧用排気口、２７は減圧用排気穴、２８はシート固
定用部材によりシートを固定するための溝部である。
について、第１図（ａ）〜−）を参照しながら説明する
。第１図（ａ）は、本発明の第１実施例におけるアライ
メント装置の斜視図であり、９は第２電極基板、１０は
第１電極基板、１１は第２電極基板の吸着治具、１２は
第１電極基板の吸着治具、１３は第１電極基板位置′決
めビン、１４はアライメント用対物レンズ、１５はエア
ー加圧用スリット、１６は吸着溝、１７は加圧用エア供
給口、１８は第２電極基板用減圧口、１９は第１電極基
板用減圧口である。第１図（ロ）は、実施例における基
板接着硬化装置の斜視図であシ、２０は重ね合せ後の仮
組液晶パネルの吸着固定台、２１は仮組液晶パネルの位
置決め部材、２２は基板接着硬化装置の筐体、２３は加
圧用プラスチックシート、２４は加圧用プラスチックシ
ート固定用部材、２６は紫外線照射ランプである。２６
は減圧用排気口、２７は減圧用排気穴、２８はシート固
定用部材によりシートを固定するための溝部である。
接着、硬化、ギャップ形成を行う場合は、まず第２電極
基板９を吸着治具１１に吸着し、対物しンズ１４全通し
て、第２電極基板９の位置を認識し、次に第１電極基板
１０’ｉ吸着治具１２に吸着させ、第１電極基板１ｏの
位置を認識して、第２電極基板９との位置ずれを算出し
、そのデータに基づいて、ｘ、ｙ、ｏ方向へそれぞれ動
かし、アライメント装置う。そして第２電極基板９の吸
着治具１１を降下させて、二枚の基板を略々、位置ずれ
がおこらないように重ね合せ、第２電極基板９の吸着を
切って、エアー加圧用スリット１６がらエアーを吹き出
して加圧を行なう。次に貼シ合わさ−れた仮組液晶パネ
ルを加圧硬化装置の筐体２２内の基板の吸着固定台２０
に移載し、加圧用プラスチックシート２３をかぶせ、シ
ート固定用部材２４を用いてシートを固定し、接着硬化
装置の筐体２２の内部の吸着固定台２０とプラスチック
シート２３の間を真空吸引して減圧し、基板に均一な力
を与えた状態で、紫外線照射ランプ２５によりＵＶ照射
を行い接着剤の硬化を行う。
基板９を吸着治具１１に吸着し、対物しンズ１４全通し
て、第２電極基板９の位置を認識し、次に第１電極基板
１０’ｉ吸着治具１２に吸着させ、第１電極基板１ｏの
位置を認識して、第２電極基板９との位置ずれを算出し
、そのデータに基づいて、ｘ、ｙ、ｏ方向へそれぞれ動
かし、アライメント装置う。そして第２電極基板９の吸
着治具１１を降下させて、二枚の基板を略々、位置ずれ
がおこらないように重ね合せ、第２電極基板９の吸着を
切って、エアー加圧用スリット１６がらエアーを吹き出
して加圧を行なう。次に貼シ合わさ−れた仮組液晶パネ
ルを加圧硬化装置の筐体２２内の基板の吸着固定台２０
に移載し、加圧用プラスチックシート２３をかぶせ、シ
ート固定用部材２４を用いてシートを固定し、接着硬化
装置の筐体２２の内部の吸着固定台２０とプラスチック
シート２３の間を真空吸引して減圧し、基板に均一な力
を与えた状態で、紫外線照射ランプ２５によりＵＶ照射
を行い接着剤の硬化を行う。
第１図（Ｃ）は本発明の接着硬化装置の正面図であり、
両爪板９．１０’ｉｉ吸着固定台２０に固定したところ
である。第１図（ｄ）は本発明による液晶パネルの製造
工程と、従来例による液晶パネルの製造工程全比較した
ものであり、大幅な製造工数の削減ができる。
両爪板９．１０’ｉｉ吸着固定台２０に固定したところ
である。第１図（ｄ）は本発明による液晶パネルの製造
工程と、従来例による液晶パネルの製造工程全比較した
ものであり、大幅な製造工数の削減ができる。
以上のように本実施例によれば、両基板の位置合せ５重
ね合せ、加圧後に、シー）ｆ重ねて減圧を行ない、均一
に基板を加圧した状態で、ＵＶ光全全照射て、加圧圧着
されたシール剤を光硬化することにより、袋への挿入の
工程と、真空パンクの工程がなくなるため、アライメン
トずれが起こシにくく、工数も少なくて済む。また熱収
縮性フィルムの加熱により、基板の電極をいためること
もなくなる。
ね合せ、加圧後に、シー）ｆ重ねて減圧を行ない、均一
に基板を加圧した状態で、ＵＶ光全全照射て、加圧圧着
されたシール剤を光硬化することにより、袋への挿入の
工程と、真空パンクの工程がなくなるため、アライメン
トずれが起こシにくく、工数も少なくて済む。また熱収
縮性フィルムの加熱により、基板の電極をいためること
もなくなる。
次に、本発明の第２実施例について説明する。
第２図（ａ）は、アライメント装置の第１電極基板１０
の吸着治具１２の斜視図であり、２９は吸着パターン、
３０は減圧穴、３１は、移載用フォークのための切欠き
部である。接着硬化装置の吸着固定台２０の吸着パター
ンも同じパターンに形成されている。
の吸着治具１２の斜視図であり、２９は吸着パターン、
３０は減圧穴、３１は、移載用フォークのための切欠き
部である。接着硬化装置の吸着固定台２０の吸着パター
ンも同じパターンに形成されている。
この第２実施例の動作は、第１実施例に記載するような
アライメント装置と、その吸着治具１２と同じ吸着パタ
ーン全有する吸着固定台２０を有する接着硬化装置を用
いて、第１実施例と同様に両基板９，１ｏの位置合せ、
重ね合せ、加圧、接着硬化装置への移載、シート固定、
そして減圧による基板の均一な加圧中にＵＶ照射を行な
い接着剤の硬化を行なうのである。
アライメント装置と、その吸着治具１２と同じ吸着パタ
ーン全有する吸着固定台２０を有する接着硬化装置を用
いて、第１実施例と同様に両基板９，１ｏの位置合せ、
重ね合せ、加圧、接着硬化装置への移載、シート固定、
そして減圧による基板の均一な加圧中にＵＶ照射を行な
い接着剤の硬化を行なうのである。
第２図Φ）と第２図（Ｃ）は、その動作を具体的に示す
もので、第２図（ロ）は本発明の第２実施例であシ、第
２図（Ｃ）は比較例である。
もので、第２図（ロ）は本発明の第２実施例であシ、第
２図（Ｃ）は比較例である。
９は第２電極基板、１０は第１電極基板、１１はアライ
メント装置の上側吸着台、１２はアライメント装置の下
側吸着台、２３は真空減圧による加圧のためのプラスチ
ックシート、２９は吸着パターン、２ｏはアライメント
装置の下側吸着治具１２と同じ吸着パターン２９を有す
る接着硬化装置の吸着固定台である。２０ ａは任意の
吸着パターン２９ａｉ有する吸着固定台である。第２図
（ｂ）の工程１において、第１電極基板１ｏはある一定
の変形した状態にあるが、工程２で示されるように吸着
治Ａ１２に固定されると、変形の絶対量は少なくなるが
、吸着パターンに応じた一定の変形をする。工程３では
、アライメント後の上側吸着治具１１に吸着された第２
電極基板９をシール剤９ａを介して重ね合せ、一定の加
圧力で加圧されたところである。工程４では重ね合わさ
れた両基板を、吸着治具１２から一旦はずし、接着硬化
装置の吸着固定台２ｏに移載して、プラスチックシート
２３を重ね減圧全行ない、加圧を行った状態を示してい
る。一方、第２図（（＋）の工程では、工８１〜３は、
第２図（ｂ）と全く同様であるが、工程４では接着硬化
装置の吸着固定台２０ａの吸着パターン２９ａが、アラ
イメント装置の下側吸着治具１２の吸着パターン２９と
違っている。
メント装置の上側吸着台、１２はアライメント装置の下
側吸着台、２３は真空減圧による加圧のためのプラスチ
ックシート、２９は吸着パターン、２ｏはアライメント
装置の下側吸着治具１２と同じ吸着パターン２９を有す
る接着硬化装置の吸着固定台である。２０ ａは任意の
吸着パターン２９ａｉ有する吸着固定台である。第２図
（ｂ）の工程１において、第１電極基板１ｏはある一定
の変形した状態にあるが、工程２で示されるように吸着
治Ａ１２に固定されると、変形の絶対量は少なくなるが
、吸着パターンに応じた一定の変形をする。工程３では
、アライメント後の上側吸着治具１１に吸着された第２
電極基板９をシール剤９ａを介して重ね合せ、一定の加
圧力で加圧されたところである。工程４では重ね合わさ
れた両基板を、吸着治具１２から一旦はずし、接着硬化
装置の吸着固定台２ｏに移載して、プラスチックシート
２３を重ね減圧全行ない、加圧を行った状態を示してい
る。一方、第２図（（＋）の工程では、工８１〜３は、
第２図（ｂ）と全く同様であるが、工程４では接着硬化
装置の吸着固定台２０ａの吸着パターン２９ａが、アラ
イメント装置の下側吸着治具１２の吸着パターン２９と
違っている。
ここに示す第１醒極基板１０は１Ｍ程度の厚みで３０ｃ
ｄ程度の面積であるが、一定時間吸着されると、その吸
着を切ってもしばらくの間、その形状全維持する特性が
あるため、接着硬化装置への移載時に第１電極基板１ｏ
はほとんど変形しない。
ｄ程度の面積であるが、一定時間吸着されると、その吸
着を切ってもしばらくの間、その形状全維持する特性が
あるため、接着硬化装置への移載時に第１電極基板１ｏ
はほとんど変形しない。
第２図（ｂ）では移載後に同じ吸着パターン２９で吸着
するので、変形は工程３の状態と全く同じである。その
ため、真空加圧時のアライメントずれは小さい。一方、
第２図（Ｃ）では、工程４において、吸着パターンが違
うため第１電極基板１０’Ｏ変形がおこり、そのために
アライメントずｎの発生量が、第２図（ｂ）の工程よシ
多くなることがある。
するので、変形は工程３の状態と全く同じである。その
ため、真空加圧時のアライメントずれは小さい。一方、
第２図（Ｃ）では、工程４において、吸着パターンが違
うため第１電極基板１０’Ｏ変形がおこり、そのために
アライメントずｎの発生量が、第２図（ｂ）の工程よシ
多くなることがある。
以上のように本実施例によｎば、アライメント装置の第
１電極基板の吸着テーブルの吸着パターンと、前記接着
硬化装置の吸着固定台の吸着パターンが等しいので、ア
ライメントをした時の第１電極基板の吸着による変形と
、接着硬化装置内で加圧、ＵＶ硬化する時の第１岐極基
板の吸着による変形がほぼ号しいため、接着硬化装置内
で減圧する顔のアライメントずれがほとんど発生しない
。
１電極基板の吸着テーブルの吸着パターンと、前記接着
硬化装置の吸着固定台の吸着パターンが等しいので、ア
ライメントをした時の第１電極基板の吸着による変形と
、接着硬化装置内で加圧、ＵＶ硬化する時の第１岐極基
板の吸着による変形がほぼ号しいため、接着硬化装置内
で減圧する顔のアライメントずれがほとんど発生しない
。
次に、本発明の第３実施例（でついて、第３図（ａ）〜
（Ｃ）を用いて説明する。第３図（ａ）は本実施例にお
ける基板接着硬化装置の斜視図である。第３図（ａ）に
おいて、３２はゴムパツキン、３３はプラスチックシー
ト供給ロール、３４ＨＦ］巻きｌｌロール、３５ｉｄ７
’ラスナツクシートのテンションコントローラ、３６は
減圧用排気口、３７はプラスチックシートである。
（Ｃ）を用いて説明する。第３図（ａ）は本実施例にお
ける基板接着硬化装置の斜視図である。第３図（ａ）に
おいて、３２はゴムパツキン、３３はプラスチックシー
ト供給ロール、３４ＨＦ］巻きｌｌロール、３５ｉｄ７
’ラスナツクシートのテンションコントローラ、３６は
減圧用排気口、３７はプラスチックシートである。
接着、硬化、ギャップ形成を行なう場合は、第１の実施
例と同様に、位置合せ２重ね合せ、加圧を行い、プラス
チックシート３７をゆるめて貼シ合せた基板９．１０ｔ
−移載し、巻き取りロール３４ｉＡ方向に回転させ、テ
ンションコントローラー３５で設定されたテンションで
プラスチックシー）３７ｔ′固定する。ここでプラスチ
ックシー）３７と基板９，１０は接触していない。次に
、接着硬化装置の筐体２２内を減圧して、基板９，１０
に均一な力と負荷した状態で、紫外線照射ランプ２６に
よシ、ＵＶ照射を行い、接着剤の硬化をする。
例と同様に、位置合せ２重ね合せ、加圧を行い、プラス
チックシート３７をゆるめて貼シ合せた基板９．１０ｔ
−移載し、巻き取りロール３４ｉＡ方向に回転させ、テ
ンションコントローラー３５で設定されたテンションで
プラスチックシー）３７ｔ′固定する。ここでプラスチ
ックシー）３７と基板９，１０は接触していない。次に
、接着硬化装置の筐体２２内を減圧して、基板９，１０
に均一な力と負荷した状態で、紫外線照射ランプ２６に
よシ、ＵＶ照射を行い、接着剤の硬化をする。
硬化の終了後には、プラスチックシート３７は変形して
いて、再使用すると、真空減圧時の圧力の分布が変るた
め、巻き取りロール３４を入方向に回転させ、未使用の
部分１に、ｔｇ体２２の上部に送っておく。
いて、再使用すると、真空減圧時の圧力の分布が変るた
め、巻き取りロール３４を入方向に回転させ、未使用の
部分１に、ｔｇ体２２の上部に送っておく。
以上のように本実施例によれば、プラスチックシートの
巻き取りロールと供給ロールが設けられているため、従
来の袋への挿入と硬化後の袋からの取出しの工程が不要
となり、作業工数が少なくてすむ、また、アライメント
ずれも少ない。また、１組のパネルを製造する際には、
プラスチックの袋に較べ、プラスチックシー）ｆ用いる
方が安価である。
巻き取りロールと供給ロールが設けられているため、従
来の袋への挿入と硬化後の袋からの取出しの工程が不要
となり、作業工数が少なくてすむ、また、アライメント
ずれも少ない。また、１組のパネルを製造する際には、
プラスチックの袋に較べ、プラスチックシー）ｆ用いる
方が安価である。
また、第３図（ロ）および（０）は、上記第３実施例の
変形例を示す。第３図（至）、（Ｃ）において、３９は
貼り合せ後の基板の位置決めする吸着固定台４１を上下
駆動する駆動装置、３８はシールパツキン、４ｏは枠体
である。
変形例を示す。第３図（至）、（Ｃ）において、３９は
貼り合せ後の基板の位置決めする吸着固定台４１を上下
駆動する駆動装置、３８はシールパツキン、４ｏは枠体
である。
貼り合せ後の基板９．１０ｔ−１第３図（ｂ）の状態で
位置決め吸着テーブル４１に移載し、駆動装置３９によ
って上方へ移動させ、枠体４０と嵌合させることによシ
、筐体２２を形成して、減圧を行い、ＵＶ照射を行なっ
て、接着剤を硬化する。以上のような構成にすると、貼
シ合せ後の基板の移載が容易となシ、工数がよシ削減で
きる。
位置決め吸着テーブル４１に移載し、駆動装置３９によ
って上方へ移動させ、枠体４０と嵌合させることによシ
、筐体２２を形成して、減圧を行い、ＵＶ照射を行なっ
て、接着剤を硬化する。以上のような構成にすると、貼
シ合せ後の基板の移載が容易となシ、工数がよシ削減で
きる。
次に、本発明の′ａ４実施例について、第４図を用いて
説明を行う。第４図は、本実施例における基板接着硬化
装置の斜視図である。第４図において、４２は石英ガラ
スからなるマスク基板、４３は特定のパターンで蒸着さ
れたアルミである。
説明を行う。第４図は、本実施例における基板接着硬化
装置の斜視図である。第４図において、４２は石英ガラ
スからなるマスク基板、４３は特定のパターンで蒸着さ
れたアルミである。
接着、硬化、ギャップ形成を行う場合は、上記第３実施
例と同様に、位置合せ、重ね合せ、エアー加圧を行ない
、プラスチックシート３７を固定し、減圧による基板の
均一加圧中に、両基板の上面に特定のパターンでアルミ
４３を蒸着された石英ガラスから成るマスク基板４２を
支持し、基板上でＵＶ光の一部′ｆ、遮蔽できるように
して、紫外線照射装置２６によｆｉＵＶ光の照射を行い
、接着剤の硬化を行う。
例と同様に、位置合せ、重ね合せ、エアー加圧を行ない
、プラスチックシート３７を固定し、減圧による基板の
均一加圧中に、両基板の上面に特定のパターンでアルミ
４３を蒸着された石英ガラスから成るマスク基板４２を
支持し、基板上でＵＶ光の一部′ｆ、遮蔽できるように
して、紫外線照射装置２６によｆｉＵＶ光の照射を行い
、接着剤の硬化を行う。
以上のように本実施例によれば、両基板の上面に特定の
パターンでアルミ蒸着された石英ガラスから成るマスク
基板４２を支持して、基板上でＵＶ光の一部ｔＷ蔽でき
るので、基板上に構成されたカラーフィルタ等の有機染
料が形成されている部分へのＵＶ照射を防ぎ、ＵＶ光に
よる有機染料の変質２分解等？防ぐことができる。
パターンでアルミ蒸着された石英ガラスから成るマスク
基板４２を支持して、基板上でＵＶ光の一部ｔＷ蔽でき
るので、基板上に構成されたカラーフィルタ等の有機染
料が形成されている部分へのＵＶ照射を防ぎ、ＵＶ光に
よる有機染料の変質２分解等？防ぐことができる。
次に、本発明の第５実施例について、第６図（ａ）〜（
ｅ）を用いて説明を行う。第５図（ａ）は、本実施例に
おける接着硬化装置の斜視図である。第６図（ａ）にお
いて、４４はコンバムフィルターでの減圧排気管、４６
は真空ポンプでの減圧排気管、４６はコンバムフィルタ
ー、Ｃ，Ｄｉエアー（Ｄ Ｈ動方向、４７は真空ポンプ
である。
ｅ）を用いて説明を行う。第５図（ａ）は、本実施例に
おける接着硬化装置の斜視図である。第６図（ａ）にお
いて、４４はコンバムフィルターでの減圧排気管、４６
は真空ポンプでの減圧排気管、４６はコンバムフィルタ
ー、Ｃ，Ｄｉエアー（Ｄ Ｈ動方向、４７は真空ポンプ
である。
接着、硬化、ギャップの形成を行う場合は、上記第３実
施例と同様に、位置合せ、重ね合せ、加圧を行い、プラ
スチックシート３゛７をテンションコントローラー３６
で固定シ、コンバムフィルター４６で一旦減圧し、その
後に真空ポンプ４７で減圧して、所定の真空度を得る。
施例と同様に、位置合せ、重ね合せ、加圧を行い、プラ
スチックシート３゛７をテンションコントローラー３６
で固定シ、コンバムフィルター４６で一旦減圧し、その
後に真空ポンプ４７で減圧して、所定の真空度を得る。
その状態で、基板の均一加圧を行いながら、紫外線照射
装置２５によシ、ＵＶ光の照射を行ない、接着剤の硬化
を行う。
装置２５によシ、ＵＶ光の照射を行ない、接着剤の硬化
を行う。
また、第５図に）〜（ｅ）に、本実施例の工程を示して
いる。第５図（ロ）は、両基板の位置合せ全行った後に
、菫ね合わせた状態の平面図、第５図（Ｃ）は第５図（
ｂ）の断面図、第５図（Φは両基板がギャップ材に略々
接する状態まで、ゆるやかに減圧した状態の断面図、第
６図（ｅ）は、ゆるやかに減圧した後に、１Ｔｏｒｒ以
下に減圧した状態の断面図であシ、４８はシール剤、４
９は第１電極基板１ｏの上に分散されたギャップ材、５
０はシール剤４８中に分散されたギャップ材、６２は若
干の弾性変形をしている、第１電極基板１０上に分散さ
れたギャップ材、５３は若干の弾性変形をしている、シ
ール剤中に分散されたギャップ材である。
いる。第５図（ロ）は、両基板の位置合せ全行った後に
、菫ね合わせた状態の平面図、第５図（Ｃ）は第５図（
ｂ）の断面図、第５図（Φは両基板がギャップ材に略々
接する状態まで、ゆるやかに減圧した状態の断面図、第
６図（ｅ）は、ゆるやかに減圧した後に、１Ｔｏｒｒ以
下に減圧した状態の断面図であシ、４８はシール剤、４
９は第１電極基板１ｏの上に分散されたギャップ材、５
０はシール剤４８中に分散されたギャップ材、６２は若
干の弾性変形をしている、第１電極基板１０上に分散さ
れたギャップ材、５３は若干の弾性変形をしている、シ
ール剤中に分散されたギャップ材である。
第６図（Ｃ）の状態から、第６図（Φの状態にするとき
、急激に減圧すると、基板１ｏ上に分散されたギャップ
材４９がシール剤４８によって形成された液晶注入口か
ら飛散することがあるが、これをコンバム等でゆるやか
に減圧するとギャップ材４９の飛散は発生しない。そし
て、副基板９，１０がギャップ材４９．５０に略々接す
る状態になった後は、１Ｔｏｒｒ以下真空ポンプを用い
て減圧を行う。
、急激に減圧すると、基板１ｏ上に分散されたギャップ
材４９がシール剤４８によって形成された液晶注入口か
ら飛散することがあるが、これをコンバム等でゆるやか
に減圧するとギャップ材４９の飛散は発生しない。そし
て、副基板９，１０がギャップ材４９．５０に略々接す
る状態になった後は、１Ｔｏｒｒ以下真空ポンプを用い
て減圧を行う。
この２段階の減圧コントロールについては、本実施例の
ように、コンバムと真空ポンプを併用する方法の他に、
真空ポンプのバルブの制御によっても、行うことは可能
である。
ように、コンバムと真空ポンプを併用する方法の他に、
真空ポンプのバルブの制御によっても、行うことは可能
である。
以上のように本実施例によれば、減圧時に、コンバムフ
ィルターで一旦減圧を行い、その後に真空ポンプによる
減圧を行うので、急激な圧力の変化がないため、真空減
圧の際の基板のアライメントずれが発生しない。
ィルターで一旦減圧を行い、その後に真空ポンプによる
減圧を行うので、急激な圧力の変化がないため、真空減
圧の際の基板のアライメントずれが発生しない。
発明の効果
以上、述べたように、本発明の第１の発明によれば、液
晶表示素子の製造方法において、副基板をアライメント
装置を用いて位置合せ全行い、略々位置すれか、起こら
ない程度てシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮
組液晶パネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可能
な筐体内の吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシ
ートを上から重ね、吸着固定台とプラスチックシートの
間全真空吸着して仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加
圧圧着されたシール剤を、光硬化することによシ液晶パ
ネルを得ることによシ、 ■ 袋への挿入の工程と真空バックによる加圧の工程が
不要となることと、重ね合せ後に加圧を行うことによｐ
、アライメントずれがおこシにく−。
晶表示素子の製造方法において、副基板をアライメント
装置を用いて位置合せ全行い、略々位置すれか、起こら
ない程度てシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮
組液晶パネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可能
な筐体内の吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシ
ートを上から重ね、吸着固定台とプラスチックシートの
間全真空吸着して仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加
圧圧着されたシール剤を、光硬化することによシ液晶パ
ネルを得ることによシ、 ■ 袋への挿入の工程と真空バックによる加圧の工程が
不要となることと、重ね合せ後に加圧を行うことによｐ
、アライメントずれがおこシにく−。
■ 袋への挿入と取出しの工程、熱硬化の工程が不要と
なるため、工数、材料費が少なくて済み、自動化も容易
となる。
なるため、工数、材料費が少なくて済み、自動化も容易
となる。
■ 熱収縮性フィルムの加熱によシ、基板の電極がいた
められることがなくなる。
められることがなくなる。
また、本発明の第２の発明によれば、アライメント装置
で、第２電極基板を上側の吸着治具に吸着し、第１電極
基板を下側の吸着治具に吸着して、副基板全吸着治具を
相対移動させて、略々位置ずれが起こらない程度にシー
ル剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶パネル
を得、その後、仮組液晶パネルを、減圧可能な筐体内に
あ）、アライメント装置の下側の吸着治具と等しい吸着
パターンを有する吸着固定台に固定し、透明なプラスチ
ックシートを上から重ね、吸着固定台とグラスチックシ
ートの間全真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を
行い、加圧圧着されたシール剤を光硬化することにより
、液晶パネルを得るので、前記第１の発明の効果■〜■
と同様の効果が得られるとともに、 ■ アライメントをして重ね合せ、加圧した時の第１電
極基板の吸着による変形と、真空加圧を行って光硬化を
行う時の第１電極基板の吸着による変形がほぼ等しいた
め、真空加圧の際のアライメントずれがよシ小さくなる
。
で、第２電極基板を上側の吸着治具に吸着し、第１電極
基板を下側の吸着治具に吸着して、副基板全吸着治具を
相対移動させて、略々位置ずれが起こらない程度にシー
ル剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶パネル
を得、その後、仮組液晶パネルを、減圧可能な筐体内に
あ）、アライメント装置の下側の吸着治具と等しい吸着
パターンを有する吸着固定台に固定し、透明なプラスチ
ックシートを上から重ね、吸着固定台とグラスチックシ
ートの間全真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を
行い、加圧圧着されたシール剤を光硬化することにより
、液晶パネルを得るので、前記第１の発明の効果■〜■
と同様の効果が得られるとともに、 ■ アライメントをして重ね合せ、加圧した時の第１電
極基板の吸着による変形と、真空加圧を行って光硬化を
行う時の第１電極基板の吸着による変形がほぼ等しいた
め、真空加圧の際のアライメントずれがよシ小さくなる
。
また、本発明の第３の発明によれば、副基板をアライメ
ント装置を用いて位置合せ全行い、略々位置ずれが起こ
らない程度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行っ
て仮組液晶パネル金得、その後仮組液晶パネル全透明な
プラスチックシートの供給ロールと巻き取りロールの間
に配設された減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、
プラスチックシートと仮組液晶パネル全近接させ、吸着
固定台とプラスチックシートの間ｆｆ：Ｘ空吸引して、
仮組液晶パネルの真空加圧全行い、加圧圧着されたシー
ル剤を光硬化することにより、液晶パネルを得、その後
新しい液晶パネルを真空加圧する際は、巻き取りロール
七回転させ、基板上部に変形のないプラスチックシート
面を配置して仮組液晶パネルの真空加圧を行うので、前
記第１の発明の効果■〜■と同様の効果が得られるとと
もに、■ 常に、変形のないプラスチックシートによる
加圧ができるため、加圧条件が安定し、アライメントず
れもよシ小さくなる。
ント装置を用いて位置合せ全行い、略々位置ずれが起こ
らない程度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行っ
て仮組液晶パネル金得、その後仮組液晶パネル全透明な
プラスチックシートの供給ロールと巻き取りロールの間
に配設された減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、
プラスチックシートと仮組液晶パネル全近接させ、吸着
固定台とプラスチックシートの間ｆｆ：Ｘ空吸引して、
仮組液晶パネルの真空加圧全行い、加圧圧着されたシー
ル剤を光硬化することにより、液晶パネルを得、その後
新しい液晶パネルを真空加圧する際は、巻き取りロール
七回転させ、基板上部に変形のないプラスチックシート
面を配置して仮組液晶パネルの真空加圧を行うので、前
記第１の発明の効果■〜■と同様の効果が得られるとと
もに、■ 常に、変形のないプラスチックシートによる
加圧ができるため、加圧条件が安定し、アライメントず
れもよシ小さくなる。
また、本発明の第４の発明によれば、両基板をアライメ
ント装置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起こ
らない程度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って
仮組液晶パネルを得、その後仮組液晶パネルを減圧可能
な、筐体内の吸着面。
ント装置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起こ
らない程度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って
仮組液晶パネルを得、その後仮組液晶パネルを減圧可能
な、筐体内の吸着面。
足台に固定し、透明なプラスチックシートと仮組液晶パ
ネル七近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの間
を真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行った状
態で、遮光領域を形成したマスク基板を介してシール剤
の塗られてｈる領域に紫外線が当たり、そＩｔ以外の領
域には紫外線が当たらないように紫外線の照射を行い、
加圧圧着されたシール剤を光硬化することによシ液晶パ
ネルを得るので、前記第１の発明の効果■〜■と同様の
効果が得られるとともに、 ■ 基板上に紫外線によシ変質２分解するカラーフィル
タの有機染料等が形成されている場合、その部分への紫
外線照射を防ぎ、紫外線による有機染料等の変質、分解
等を防ぐことかできる。
ネル七近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの間
を真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行った状
態で、遮光領域を形成したマスク基板を介してシール剤
の塗られてｈる領域に紫外線が当たり、そＩｔ以外の領
域には紫外線が当たらないように紫外線の照射を行い、
加圧圧着されたシール剤を光硬化することによシ液晶パ
ネルを得るので、前記第１の発明の効果■〜■と同様の
効果が得られるとともに、 ■ 基板上に紫外線によシ変質２分解するカラーフィル
タの有機染料等が形成されている場合、その部分への紫
外線照射を防ぎ、紫外線による有機染料等の変質、分解
等を防ぐことかできる。
また、本発明の第６の発明によれば、両基板をアライメ
ント装置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起こ
らない程度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って
仮組液晶パネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可
能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチックシート
と仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチッ
クシートの間をゆるやかに１〜１６０ Ｔｏｒｒ程度ま
で減圧し、その後に１Ｔｏｒｒ以下に減圧する２段階以
上又は、２種以上の減圧速度で減圧して仮組液晶パネル
の真空加圧を行い、その後接着剤の硬化を行うので、前
記第１の発明の効果■〜■と同様の効果が得られるとと
もに、 ■ 両基板が略々ギャップ材に接するまで急激な圧力の
変化がないため、真空減圧の際の基板のアライメントず
れか発生しにくい。
ント装置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起こ
らない程度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って
仮組液晶パネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可
能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチックシート
と仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチッ
クシートの間をゆるやかに１〜１６０ Ｔｏｒｒ程度ま
で減圧し、その後に１Ｔｏｒｒ以下に減圧する２段階以
上又は、２種以上の減圧速度で減圧して仮組液晶パネル
の真空加圧を行い、その後接着剤の硬化を行うので、前
記第１の発明の効果■〜■と同様の効果が得られるとと
もに、 ■ 両基板が略々ギャップ材に接するまで急激な圧力の
変化がないため、真空減圧の際の基板のアライメントず
れか発生しにくい。
■ ギャップ材に、基板が接してから、高真空度にまで
減圧を行なうので、ギャップ材が、液晶注入口部から飛
散することがなく、ギャップむらも発生しない。
減圧を行なうので、ギャップ材が、液晶注入口部から飛
散することがなく、ギャップむらも発生しない。
第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明の第１実施例を示し、第
１図（ａ）はアライメント装置の斜視図、第１図（ｂ）
は基板接着硬化装置の斜視図、第１図（Ｃ）は接着硬化
装置の正面図、第１図（Φは液晶パネル製造工程のフロ
ーチャート、第２図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の第２夾施
例を示し、第２図（ａ）はアライメント装置の下側の吸
着テーブルの斜視図、第２図［有］）、（ロ）は木突施
例と比較例の工８図、第３図（ａ）は本発明の第３実施
例における基板接着硬化装置の斜視図、第３図（ｂ）
、 （Ｃ＋）は本発明の第３実施例の変形例の基板接着
硬化装置の側面図、第４図は本発明の第４夾施例におけ
る基板接着硬化装置の斜視図、第５図（４）は本発明の
第６実施例における基板接着硬化装置の斜視図、第６図
Φ）〜（ｅ）は同実施例の工程を示す図、第６図および
第７図は従来の液晶表示素子の製造方法の説明図、第８
図は同ギャップむらの発生状悪因である。 ９・・・・・・第２電極基板、１ｏ・・・・・・第１電
極基板、１１・・・・・・第１１！極基板の吸着治具、
１２・・・・・・第２電極基板の吸着治具、２０・・・
・・・吸着固定台、２２・・・・・・基板接着硬化装置
の筐体、２３・・・・・・プラスチックシート、２６・
・・・・・紫外線照射装置、２９・・・・・・吸着ハタ
ーン、３３・・・・・・供給ロール、３４・・・・・・
巻取りロール、４２・・・・・・マスク基板、４６・・
・・・・コンパムフィルタ、４７・・・・・・Ｘ全ポン
プ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｑ−
一一才ｚ４を梅丞構 ｆＯ−−−χず Ｉ 第 １ 図
イイ、ｆ２・−−
［ｌＪξ１會果第１図 ２゜−ス着回足台 第１図 （ｄ） 不光明１すろノ〔ネル淡止工舌鉦 −１８列１ｚ
ユンバネルＷが瓢箪２図 Ｃユ
Ｑｑ−一−ｖ′沓ハ゛′−′第３図
３３．−０伏給。−２゜３４・−息取りロール Ｃ） 味 う第５図 第８図
１図（ａ）はアライメント装置の斜視図、第１図（ｂ）
は基板接着硬化装置の斜視図、第１図（Ｃ）は接着硬化
装置の正面図、第１図（Φは液晶パネル製造工程のフロ
ーチャート、第２図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の第２夾施
例を示し、第２図（ａ）はアライメント装置の下側の吸
着テーブルの斜視図、第２図［有］）、（ロ）は木突施
例と比較例の工８図、第３図（ａ）は本発明の第３実施
例における基板接着硬化装置の斜視図、第３図（ｂ）
、 （Ｃ＋）は本発明の第３実施例の変形例の基板接着
硬化装置の側面図、第４図は本発明の第４夾施例におけ
る基板接着硬化装置の斜視図、第５図（４）は本発明の
第６実施例における基板接着硬化装置の斜視図、第６図
Φ）〜（ｅ）は同実施例の工程を示す図、第６図および
第７図は従来の液晶表示素子の製造方法の説明図、第８
図は同ギャップむらの発生状悪因である。 ９・・・・・・第２電極基板、１ｏ・・・・・・第１電
極基板、１１・・・・・・第１１！極基板の吸着治具、
１２・・・・・・第２電極基板の吸着治具、２０・・・
・・・吸着固定台、２２・・・・・・基板接着硬化装置
の筐体、２３・・・・・・プラスチックシート、２６・
・・・・・紫外線照射装置、２９・・・・・・吸着ハタ
ーン、３３・・・・・・供給ロール、３４・・・・・・
巻取りロール、４２・・・・・・マスク基板、４６・・
・・・・コンパムフィルタ、４７・・・・・・Ｘ全ポン
プ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｑ−
一一才ｚ４を梅丞構 ｆＯ−−−χず Ｉ 第 １ 図
イイ、ｆ２・−−
［ｌＪξ１會果第１図 ２゜−ス着回足台 第１図 （ｄ） 不光明１すろノ〔ネル淡止工舌鉦 −１８列１ｚ
ユンバネルＷが瓢箪２図 Ｃユ
Ｑｑ−一−ｖ′沓ハ゛′−′第３図
３３．−０伏給。−２゜３４・−息取りロール Ｃ） 味 う第５図 第８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）第１電極基板と、少なくともシール剤を塗布形成
してなる第２電極基板とを、ギャップ材又はギャップ構
造を介して対向させ、両基板を接着する工程において、
両基板をアライメント装置を用いて位置合せを行い、略
々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して重ね合わ
せ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その後、仮組液
損パネルを減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、透
明なプラスチックシート上から重ね、吸着固定台とプラ
スチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶パネルの
真空加圧を行ない、加圧圧着されたシール剤を光硬化す
ることにより、液晶パネルを得る液晶表示素子の製造方
法。 （２）第１電極基板と、少なくともシール剤を塗布形成
してなる第２電極基板とを、ギャップ材又はギャップ構
造を介して対向させ、両基板を接着する工程において、
アライメント装置で、第２電極基板を上側の吸着治具に
吸着し、第１電極基板を下側の吸着治具に吸着し、両基
板を両吸着治具を相対移動させて略々位置ずれが起らな
い程度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮
組液晶パネルを得、その後仮組液晶パネルを、減圧可能
な筐体内にあり、アライメント装置の下側の吸着治具と
等しい吸着パターンを有する吸着固定台に固定し、透明
なプラスチックシートを上から重ね、吸着固定台とプラ
スチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶パネルの
真空加圧を行ない加圧圧着されたシール剤を光硬化する
ことにより、液晶パネルを得る液晶表示素子の製造方法
。 （２）第１電極基板と、少なくともシール剤を塗布形成
してなる第２電極基板とを、ギャップ材又はギャップ構
造を介して対向させ、両基板を接着する工程において、
両基板を、アライメント装置を用いて位置合せを行い、
略々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して重ね合
わせ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その後仮組液
晶パネルを透明なプラスチックシートの供給ロールと巻
取りロールの間に配置された減圧可能な筐体内の吸着固
定台に固定し、プラスチックシートと仮組液晶パネルを
近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの間を真空
吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行ない、加圧圧
着されたシール剤を光硬化することにより、液晶パネル
を得、その後新しい液晶パネルを真空加圧する際は、巻
き取りロールを回転させ、基板上部に変形のないプラス
チックシート面を配置して仮組液晶パネルの真空加圧を
行ない液晶パネルを得る液晶表示素子の製造方法。 （４）第１電極基板と、少なくともシール剤を塗布形成
してなる第２電極基板とをギャップ材又はギャップ構造
を介して対向させ、両基板を接着する工程において、両
基板をアライメント装置を用いて位置合せを行ない、略
々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して重ね合せ
、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その後、仮組液晶
パネルを減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、透明
なプラスチックシートと仮組液晶パネルを近接させ、吸
着固定台とプラスチックシートの間を真空吸引して、仮
組液晶パネルの真空加圧を行なった状態で、遮光領域を
形成したマスク基板を介してシール剤の塗られている領
域に紫外線が当たり、それ以外の領域には紫外線が当た
らないように紫外線の照射を行ない、加圧圧着されたシ
ール剤を光硬化することにより液晶パネルを得る液晶表
示素子の製造方法。 （２）マスク基板は、石英ガラス板上に第２電極基板の
カラーフィルター形成領域を遮光する様にアルミを蒸着
したものである特許請求の範囲第４項に記載の液晶表示
素子の製造方法。 （６）第１電極基板と、少なくともシール剤を塗布形成
してなる第２電極基板とを、ギャップ材又はギャップ構
造を介して対向させ、両基板を接着する工程において、
両基板をアライメント装置を用いて位置合せを行い、略
々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して重ね合せ
、加圧を行つて仮組液晶パネルを得、その後仮組液晶パ
ネルを減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラス
チックシートと仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台
とプラスチックシートの間をゆるやかに１〜１６０Ｔｏ
ｒｒ程度まで減圧し、その後に１Ｔｏｒｒ以下に減圧す
る２段階以上又は、２種以上の減圧速度で減圧して仮組
液晶パネルの真空加圧を行ない、その後接着剤の硬化を
行なう液晶表示素子の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62147588A JP2530853B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 液晶表示素子の製造方法 |
| US07/203,814 US4923552A (en) | 1987-06-12 | 1988-06-08 | Method of producing liquid crystal display element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62147588A JP2530853B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 液晶表示素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63311227A true JPS63311227A (ja) | 1988-12-20 |
| JP2530853B2 JP2530853B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15433743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62147588A Expired - Fee Related JP2530853B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 液晶表示素子の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4923552A (ja) |
| JP (1) | JP2530853B2 (ja) |
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- 1987-06-12 JP JP62147588A patent/JP2530853B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1988
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| JP2530853B2 (ja) | 1996-09-04 |
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