JPS63313028A - 圧力センサ埋め込みパイプ - Google Patents
圧力センサ埋め込みパイプInfo
- Publication number
- JPS63313028A JPS63313028A JP14933787A JP14933787A JPS63313028A JP S63313028 A JPS63313028 A JP S63313028A JP 14933787 A JP14933787 A JP 14933787A JP 14933787 A JP14933787 A JP 14933787A JP S63313028 A JPS63313028 A JP S63313028A
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- JP
- Japan
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- pipe
- pressure
- pressure sensor
- voltmeter
- power source
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- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、超小型の半導体圧力センサを壁面内に埋め
込んだパイプに関するもので、配管中の流体（液体、気
体）の圧力を監視または計測するための装置の改良に関
するものである。
込んだパイプに関するもので、配管中の流体（液体、気
体）の圧力を監視または計測するための装置の改良に関
するものである。
［従来の技術］
ｗＳ３図にその一例を示す。
配管１０中の流体１２の圧力を測定するためには、配管
１０に孔１４をあけ、そこに、ネジ切り、溶接などの方
法で接続部１６を作り、そこにブルドン管圧力計１８な
どをとりつけるという方法が一般的である。
１０に孔１４をあけ、そこに、ネジ切り、溶接などの方
法で接続部１６を作り、そこにブルドン管圧力計１８な
どをとりつけるという方法が一般的である。
［発明が解決しようとする問題点］
上記の方法では、
■手数がかかる、
■ブルドン管圧力計１８をとりつけるためのスペースが
必要になる、 ■接続部１６の作り方が粗悪な場合には、そこから流体
１２の漏れか生ずる心配もある、などの点で問題がある
。
必要になる、 ■接続部１６の作り方が粗悪な場合には、そこから流体
１２の漏れか生ずる心配もある、などの点で問題がある
。
［問題点を解決するための手段］
この発明は、第１ａ図、ＷＳｌｂ図のように。
（１）パイプ２０の壁面に、超小型半導体圧力センサ３
０を気密に埋め込むこと、 （２）そのときパイプ２０の内面に受圧面４０がありか
つ外面に接続端子４２．４４が位置するように埋め込む
こと、 という構成をとることによって、上記の問題の解決を図
ったものである。
０を気密に埋め込むこと、 （２）そのときパイプ２０の内面に受圧面４０がありか
つ外面に接続端子４２．４４が位置するように埋め込む
こと、 という構成をとることによって、上記の問題の解決を図
ったものである。
〔実施例］
［１］半導体圧カセンサについて：
はじめに半導体圧力センサについて簡単に説明しておく
。
。
第２図において、
３０は圧力センサの全体を示し、超小型、極薄がその特
色であって、例えば特願昭８２−０７３５８４号に詳述
されている圧力センサである。
色であって、例えば特願昭８２−０７３５８４号に詳述
されている圧力センサである。
３２はその本体で、たとえばプラスチックのモールド品
からなる。
からなる。
３４は台座、
３６はチップで、たとえばシリコーン単結晶ダイアフラ
ム上に拡散ゲージ抵抗を形成し、それをブリッジに組ん
だものである。
ム上に拡散ゲージ抵抗を形成し、それをブリッジに組ん
だものである。
３８は圧力伝達媒体となる樹脂エラストマで、たとえば
ゲル状のシリコーン樹脂などが充填されていて、その表
面に受圧面４０が形成あるいは設けられている。
ゲル状のシリコーン樹脂などが充填されていて、その表
面に受圧面４０が形成あるいは設けられている。
受圧面４０に圧力Ｐが加わると、それが樹脂エラストマ
３Ｂを介してチップ３６に伝わり、抵抗値が変化し、そ
れが電圧または電流の変化として出力端子４２からとり
だされる。
３Ｂを介してチップ３６に伝わり、抵抗値が変化し、そ
れが電圧または電流の変化として出力端子４２からとり
だされる。
４４は電源端子である。
［２］圧カセンサ３０のとりつけ：
パイプ２０に孔２２を設け、そこに上記のように、受圧
面４０がパイプ２０の内面に露出するように、気密にと
りつける（第２図）。
面４０がパイプ２０の内面に露出するように、気密にと
りつける（第２図）。
受圧面４０はパイプ２０の内面より内側にあってもよい
し、また同一面にあってもよいが、少なくとも受圧面の
一部がパイプ内面に露出しなければならない。
し、また同一面にあってもよいが、少なくとも受圧面の
一部がパイプ内面に露出しなければならない。
気密にとりつける方法に関しては、
■第２図のように、樹脂２４で固めてしまってもよいし
。
。
■Ｏリングなどを用いて機械的に締め込む方法でもよい
。
。
［３］使用方法：
実際の圧力測定にあたっては、第４ａ図のように、まず
測定が必要な配管ｌＯの一部に、本発明のパイプ２０を
つなぎこんでおく。
測定が必要な配管ｌＯの一部に、本発明のパイプ２０を
つなぎこんでおく。
その後、外面に出ている電源端子４４に電源２６（ＤＣ
１定電流または定電圧）を接続し、出力端子４２に電圧
計２８などを接続する。
１定電流または定電圧）を接続し、出力端子４２に電圧
計２８などを接続する。
以上により、パイプ２０内の圧力に比例した電気出力を
、外部にとりだすことができる。
、外部にとりだすことができる。
なおその際、電源２６．電圧計２８などは配管１０のす
ぐ近くに設置する必要はなく、配線で適切な場所まで任
意の延長が可能である。
ぐ近くに設置する必要はなく、配線で適切な場所まで任
意の延長が可能である。
［発明の効果］
パイプ２０内体に半導体圧力センサが埋め込んであるの
で、 （１）配管ｌＯ内の流体圧力の測定が、非常に筒便にな
る。
で、 （１）配管ｌＯ内の流体圧力の測定が、非常に筒便にな
る。
（２）あらかじめリークテストなどを行っておくことが
できるので、現場で漏れなどが生じることがなく、信頼
性が高い。
できるので、現場で漏れなどが生じることがなく、信頼
性が高い。
（３）従来のブルドン管圧力計などをとりつけるスペー
スがなくても、電源線、信号線さえ引き出せるスペース
さえあればよいので、狭い場所でも利用できる。
スがなくても、電源線、信号線さえ引き出せるスペース
さえあればよいので、狭い場所でも利用できる。
（４）出力が電気信号なので、遠隔でも監視可能である
。
。
（５）本発明のパイプ２０を複数箇所にとりつければ、
圧力の分布を測定することもできるので、便利である。
圧力の分布を測定することもできるので、便利である。
第１図ａは本発明の詳細な説明図で、
第１ｂ図は第１ａ図のＢ−Ｈの断面図、第２図はｔｊＩ
Ｉｌａ図のＨの部分の拡大説明図、第３図は従来技術の
説明図。 １０：配管 １２二流体 １４．２２：孔 １６：接続部 １８ニブルトン管圧力計 ２０：パイプ ２４：樹脂 ２６：電源 ２８：電圧計 ３０：圧力センサ ３２：本体 ３４：台座 ３６：チツプ ３８：樹脂エラストマ ４０：受圧面 ４２：出力端子 ４４：電源端子
Ｉｌａ図のＨの部分の拡大説明図、第３図は従来技術の
説明図。 １０：配管 １２二流体 １４．２２：孔 １６：接続部 １８ニブルトン管圧力計 ２０：パイプ ２４：樹脂 ２６：電源 ２８：電圧計 ３０：圧力センサ ３２：本体 ３４：台座 ３６：チツプ ３８：樹脂エラストマ ４０：受圧面 ４２：出力端子 ４４：電源端子
Claims (1)
- パイプ２０の壁面に、内面に受圧面４０がありかつ外面
に接続端子が位置するように、超小型半導体圧力センサ
３０を気密に埋め込んだことを特徴とする、圧力センサ
埋込みパイプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14933787A JPS63313028A (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | 圧力センサ埋め込みパイプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14933787A JPS63313028A (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | 圧力センサ埋め込みパイプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63313028A true JPS63313028A (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=15472900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14933787A Pending JPS63313028A (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | 圧力センサ埋め込みパイプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63313028A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102971565A (zh) * | 2010-07-01 | 2013-03-13 | Emd密理博公司 | 刚性一次性流路 |
| CN104896206A (zh) * | 2015-05-13 | 2015-09-09 | 王丽 | 一种冷冻式干燥机气流送风管 |
-
1987
- 1987-06-16 JP JP14933787A patent/JPS63313028A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102971565A (zh) * | 2010-07-01 | 2013-03-13 | Emd密理博公司 | 刚性一次性流路 |
| JP2013534598A (ja) * | 2010-07-01 | 2013-09-05 | イー・エム・デイー・ミリポア・コーポレイシヨン | 硬質使い捨て流路 |
| US9494259B2 (en) | 2010-07-01 | 2016-11-15 | Emd Millipore Corporation | Rigid disposable flow path |
| CN104896206A (zh) * | 2015-05-13 | 2015-09-09 | 王丽 | 一种冷冻式干燥机气流送风管 |
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