JPS63313612A - 真空用アルミニウム製中空押出型材の製造法 - Google Patents
真空用アルミニウム製中空押出型材の製造法Info
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- JPS63313612A JPS63313612A JP62149910A JP14991087A JPS63313612A JP S63313612 A JPS63313612 A JP S63313612A JP 62149910 A JP62149910 A JP 62149910A JP 14991087 A JP14991087 A JP 14991087A JP S63313612 A JPS63313612 A JP S63313612A
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- Japan
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- vacuum
- dry air
- shape
- hollow
- oxide film
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21C—MANUFACTURE OF METAL SHEETS, WIRE, RODS, TUBES, PROFILES OR LIKE SEMI-MANUFACTURED PRODUCTS OTHERWISE THAN BY ROLLING; AUXILIARY OPERATIONS USED IN CONNECTION WITH METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL
- B21C23/00—Extruding metal; Impact extrusion
- B21C23/02—Making uncoated products
- B21C23/04—Making uncoated products by direct extrusion
- B21C23/08—Making wire, rods or tubes
- B21C23/085—Making tubes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21C—MANUFACTURE OF METAL SHEETS, WIRE, RODS, TUBES, PROFILES OR LIKE SEMI-MANUFACTURED PRODUCTS OTHERWISE THAN BY ROLLING; AUXILIARY OPERATIONS USED IN CONNECTION WITH METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL
- B21C23/00—Extruding metal; Impact extrusion
- B21C23/002—Extruding materials of special alloys so far as the composition of the alloy requires or permits special extruding methods of sequences
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21C—MANUFACTURE OF METAL SHEETS, WIRE, RODS, TUBES, PROFILES OR LIKE SEMI-MANUFACTURED PRODUCTS OTHERWISE THAN BY ROLLING; AUXILIARY OPERATIONS USED IN CONNECTION WITH METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL
- B21C23/00—Extruding metal; Impact extrusion
- B21C23/009—Gas treatment of work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Extrusion Of Metal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、たとえばシンクロトロンなどの加速器に使
用される粒子加速用パイプのような高真空状態で用いら
れる真空用アルミニウム製中空押出型材の製造法に関す
る。
用される粒子加速用パイプのような高真空状態で用いら
れる真空用アルミニウム製中空押出型材の製造法に関す
る。
この明細書において、アルミニウムとは純アルミニウム
およびその合金を含むものとする。
およびその合金を含むものとする。
従来技術とその問題点
この種の粒子加速用パイプの材料には、いままで主とし
てステンレスが使用されてきたが、最近になってアルミ
ニウムがこの用途に適していることが分かり、使用され
るようになってきている。その理由は、アルミニウムの
方がステンレスに比べて誘導放射能を生じにくくかつ生
じても減衰時間が早いこと、熱伝導性および電気伝導性
が良好であること、表面のガス放出係数が小さいこと、
軽量であること、加工性が良いことなどの点で優れてい
るからである。この粒子加速用パイプの内部は、粒子を
高速で通す必要上、高真空に保たなければならない。し
たがって、いかにしてパイプ内部を高真空にするかとい
うことが重要な課題となる。
てステンレスが使用されてきたが、最近になってアルミ
ニウムがこの用途に適していることが分かり、使用され
るようになってきている。その理由は、アルミニウムの
方がステンレスに比べて誘導放射能を生じにくくかつ生
じても減衰時間が早いこと、熱伝導性および電気伝導性
が良好であること、表面のガス放出係数が小さいこと、
軽量であること、加工性が良いことなどの点で優れてい
るからである。この粒子加速用パイプの内部は、粒子を
高速で通す必要上、高真空に保たなければならない。し
たがって、いかにしてパイプ内部を高真空にするかとい
うことが重要な課題となる。
従来、粒子加速用パイプの内部を高真空にするために、
パイプ内面を有機溶剤等により脱脂処理した後、約１５
０℃で２４時間程度の加熱脱ガス処理を繰返して行なっ
たり、またこの処理と組合わせて水素ガス、アルゴンガ
ス、酸素ガスなどの中での放電洗浄を行なっていたが、
このような作業は長時間を要して非能率的であるうえに
、真空度の点においてもいまだ充分に満足し得るもので
はなかった。
パイプ内面を有機溶剤等により脱脂処理した後、約１５
０℃で２４時間程度の加熱脱ガス処理を繰返して行なっ
たり、またこの処理と組合わせて水素ガス、アルゴンガ
ス、酸素ガスなどの中での放電洗浄を行なっていたが、
このような作業は長時間を要して非能率的であるうえに
、真空度の点においてもいまだ充分に満足し得るもので
はなかった。
ところで粒子加速用バイブ内部の高い真空度を保持する
ためには、製品になった後におけるバイブ内壁からの放
出ガスを減らすことが重要である。この点につき本発明
者らは実験研究を重ねた結果アルミニウム製バイブの内
面の皮膜状態が真空度に大きく影響を与えることが判明
した。
ためには、製品になった後におけるバイブ内壁からの放
出ガスを減らすことが重要である。この点につき本発明
者らは実験研究を重ねた結果アルミニウム製バイブの内
面の皮膜状態が真空度に大きく影響を与えることが判明
した。
アルミニウムは、周知のように、非常に酸化され易い金
属であり、微量の酸素に触れただけで表面に酸化膜が形
成される。また、水、湿気などの水分の存在する環境下
におかれると、その表面に水和酸化膜が生成する。モし
て水和酸化物の生成反応の温度が高い程水和酸化膜の成
長は著しく、高温環境ではアルミニウム表面にベーマイ
トまたはバイアライトなどの水和酸化膜が形成される。
属であり、微量の酸素に触れただけで表面に酸化膜が形
成される。また、水、湿気などの水分の存在する環境下
におかれると、その表面に水和酸化膜が生成する。モし
て水和酸化物の生成反応の温度が高い程水和酸化膜の成
長は著しく、高温環境ではアルミニウム表面にベーマイ
トまたはバイアライトなどの水和酸化膜が形成される。
このような水和酸化膜の膜質は、水分の存在しない環境
で形成されるアルミニウム酸化膜に比べて非常に粗で多
孔質状でありかつその孔形態も複雑にいり込んでいる。
で形成されるアルミニウム酸化膜に比べて非常に粗で多
孔質状でありかつその孔形態も複雑にいり込んでいる。
加えて膜厚も厚い。
ところで、通常の押出成形によるアルミニウム製バイブ
の内面には、成形特水分を含んだ大気との接触により水
和酸化膜が生成される。しかもこの水和酸化膜は、押出
時高温にさらされるため、水和酸化膜の生成反応が促進
されて厚膜となっている。この水和酸化膜の膜質は上述
のとおりのものであり、かつ厚膜であるために皮膜に多
（の水分が吸着する。しかも皮膜がちみつさに欠けるた
めに、成形後においても大気中に存在する水分、ハイド
ロカーボン、二酸化炭素および一酸化炭素などの真空度
低下物質が皮膜に吸着する。このような真空度低下物質
は、前記ガス中における放電洗浄時や真空引き時におい
てすらなお若干存在しているために前記同様皮膜に吸着
する。しかもこれは水和酸化膜が上記のようなものであ
るために皮膜内にいわば吸蔵された形態になる。その結
果これの脱離が困難な状態となり、真空引きを行なって
もなかなか除去できない。したがって、これが粒子加速
用バイブの真空度向上阻害の原因になっている。また押
出成形後のアルミニウム製バイブの機械的強度を高める
ために、高温加熱後、水冷および空冷などの焼入れ処理
が行なわれるが、このさいにも押出成形時に形成された
上述の水和酸化膜はさらに成長するとともにすでに吸着
されている真空度低下物質は皮膜に内蔵される形となる
。
の内面には、成形特水分を含んだ大気との接触により水
和酸化膜が生成される。しかもこの水和酸化膜は、押出
時高温にさらされるため、水和酸化膜の生成反応が促進
されて厚膜となっている。この水和酸化膜の膜質は上述
のとおりのものであり、かつ厚膜であるために皮膜に多
（の水分が吸着する。しかも皮膜がちみつさに欠けるた
めに、成形後においても大気中に存在する水分、ハイド
ロカーボン、二酸化炭素および一酸化炭素などの真空度
低下物質が皮膜に吸着する。このような真空度低下物質
は、前記ガス中における放電洗浄時や真空引き時におい
てすらなお若干存在しているために前記同様皮膜に吸着
する。しかもこれは水和酸化膜が上記のようなものであ
るために皮膜内にいわば吸蔵された形態になる。その結
果これの脱離が困難な状態となり、真空引きを行なって
もなかなか除去できない。したがって、これが粒子加速
用バイブの真空度向上阻害の原因になっている。また押
出成形後のアルミニウム製バイブの機械的強度を高める
ために、高温加熱後、水冷および空冷などの焼入れ処理
が行なわれるが、このさいにも押出成形時に形成された
上述の水和酸化膜はさらに成長するとともにすでに吸着
されている真空度低下物質は皮膜に内蔵される形となる
。
従来、上記問題点を解決した真空用アルミニウム製中空
押出型材の製造法として、押出されつつある型材の中空
部内に不純物としての酸素を含む不活性ガスを供給し、
この不活性ガス中に含まれる酸素により、中空押出型材
の内面にちみつで薄い酸化膜を形成することを特徴とす
る方法が知られている（特公昭６１−３７００５号公報
参照）。
押出型材の製造法として、押出されつつある型材の中空
部内に不純物としての酸素を含む不活性ガスを供給し、
この不活性ガス中に含まれる酸素により、中空押出型材
の内面にちみつで薄い酸化膜を形成することを特徴とす
る方法が知られている（特公昭６１−３７００５号公報
参照）。
しかしながら、この方法では、不活性ガスの価格が高い
ために製造コストが高くなるという問題がある。
ために製造コストが高くなるという問題がある。
この発明の目的は、上記の問題を解決し、内部を真空に
保つことが要求される粒子加速用バイブなどの用途に適
した真空用アルミニウム製中空押出型材を安価に製造す
る方法を提供することにある。
保つことが要求される粒子加速用バイブなどの用途に適
した真空用アルミニウム製中空押出型材を安価に製造す
る方法を提供することにある。
問題点を解決するための手段
この発明による真空用アルミニウム製中空押出型材の製
造法は、アルミニウム中空押出型材を押出成形するにあ
たり、押出されつつある型材の中空部内に乾燥空気また
は純酸素を供給することを特徴とするものである。
造法は、アルミニウム中空押出型材を押出成形するにあ
たり、押出されつつある型材の中空部内に乾燥空気また
は純酸素を供給することを特徴とするものである。
上記において、押出型材を製造するビレットとしては、
押出性および機械的強度の点から、Ａ６０６１およびＡ
６０６３などのＡ／−Ｍｇ−５ｉ系合金からなるものが
好ましい。また、上記ビレットとして純アルミニウム製
芯材と上記Ａ／−Ｍｇ−８ｉ系合金製皮材とからなるも
のを用いることが一層好ましい。
押出性および機械的強度の点から、Ａ６０６１およびＡ
６０６３などのＡ／−Ｍｇ−５ｉ系合金からなるものが
好ましい。また、上記ビレットとして純アルミニウム製
芯材と上記Ａ／−Ｍｇ−８ｉ系合金製皮材とからなるも
のを用いることが一層好ましい。
乾燥空気は、たとえば大気をコンプレッサで圧縮して、
乾燥剤が入れられた除湿器内を通過させることなどによ
り得られる。この方法において乾燥剤としては公知のも
のを使用することができるが、その中でも合成ゼオライ
トを用いることが好ましい。また、乾燥空気の露点は、
−３０℃以下であることが好ましく、−５０℃以下であ
ることが望ましい。水分を含まない純酸素は、純度１０
０％の酸素である。
乾燥剤が入れられた除湿器内を通過させることなどによ
り得られる。この方法において乾燥剤としては公知のも
のを使用することができるが、その中でも合成ゼオライ
トを用いることが好ましい。また、乾燥空気の露点は、
−３０℃以下であることが好ましく、−５０℃以下であ
ることが望ましい。水分を含まない純酸素は、純度１０
０％の酸素である。
乾燥空気または純酸素を押出されつつある型材の中空部
内に供給することにより、中空押出型材の内面に厚さ２
０〜３０人程度の酸化膜が得られる。
内に供給することにより、中空押出型材の内面に厚さ２
０〜３０人程度の酸化膜が得られる。
なお、この発明の方法によって得られた中空押出型材は
、粒子加速用パイプに限らず高真空を保つ必要がある製
品に用いることができる。
、粒子加速用パイプに限らず高真空を保つ必要がある製
品に用いることができる。
発明の効果
この発明の真空用アルミニウム製中空押出型材の製造法
によれば、アルミニウム中空押出型材を押出成形するに
あたり、押出されつつある゛型材の中空部内に乾燥空気
または純酸素を供給するものであるから、中空押出型材
の内面は水分を含んだ大気と接触することはなく、同内
面に問題のある水和酸化膜が生成しない。他方上記供給
乾燥空気中の酸素または純酸素により、同内面に酸化膜
が形成せられる。この酸化膜の膜質はちみつでかつその
膜厚は薄いから、水和酸化膜に比べて真空度低下物質の
吸着、吸蔵は著しく少なく、かつ吸着吸蔵されていても
脱ガス処理により簡単にこれを除去することができる。
によれば、アルミニウム中空押出型材を押出成形するに
あたり、押出されつつある゛型材の中空部内に乾燥空気
または純酸素を供給するものであるから、中空押出型材
の内面は水分を含んだ大気と接触することはなく、同内
面に問題のある水和酸化膜が生成しない。他方上記供給
乾燥空気中の酸素または純酸素により、同内面に酸化膜
が形成せられる。この酸化膜の膜質はちみつでかつその
膜厚は薄いから、水和酸化膜に比べて真空度低下物質の
吸着、吸蔵は著しく少なく、かつ吸着吸蔵されていても
脱ガス処理により簡単にこれを除去することができる。
したがって、真空度低下物質がパイプ内に放出される量
が非常に少なくなり、高真空度を保つことができるし、
従来のように真空度を高めるための面倒な作業を省略な
いし軽減することができる。しかも、乾燥空気および純
酸素は不活性ガスに比べて安価であるので、従来の不活
性ガスを使用する方法に比べてコストが安くなる。
が非常に少なくなり、高真空度を保つことができるし、
従来のように真空度を高めるための面倒な作業を省略な
いし軽減することができる。しかも、乾燥空気および純
酸素は不活性ガスに比べて安価であるので、従来の不活
性ガスを使用する方法に比べてコストが安くなる。
実 施 例
この発明の実施例を、以下図面を参照して説明する。
第１図には押出機が示されており、同図において、（１
）はコンテナ、（２）はコンテナ（１）内のアルミニウ
ム令ビレット、（３）（４）はビレット（２）を押圧す
るダミー・ブロックおよびステム、（５）は中央にガス
噴射口（６）を有するポート・ホール・ダイス雄型、（
７）は同雌型、（８）はダイ・ホルダ、（９）（１０）
は雄型（５）およびダイ・ホルダ（８）に形成せられた
ガス通路、（１１）はダイ・ホルダ（８）に設けられた
ガス供給口、（１２）はガス容器で、これに取付けられ
た導管（１３）がガス供給口（１１）に接続せられてい
る。（１４）はボルスタである。
）はコンテナ、（２）はコンテナ（１）内のアルミニウ
ム令ビレット、（３）（４）はビレット（２）を押圧す
るダミー・ブロックおよびステム、（５）は中央にガス
噴射口（６）を有するポート・ホール・ダイス雄型、（
７）は同雌型、（８）はダイ・ホルダ、（９）（１０）
は雄型（５）およびダイ・ホルダ（８）に形成せられた
ガス通路、（１１）はダイ・ホルダ（８）に設けられた
ガス供給口、（１２）はガス容器で、これに取付けられ
た導管（１３）がガス供給口（１１）に接続せられてい
る。（１４）はボルスタである。
第１図の押出機により、第２図および第３図に示されて
いるような横断面を有する粒子加速用パイプに用いられ
る中空押出型材（１５）（１Ｂ）が押出成形されるので
ある。もちろん両者を成形するダイスは成形されるべき
型材（１５） （１６）のそれぞれに合致した形状のも
のが用いられる。所定長さの両押田型材（１５） （１
Ｂ）が交互に連結せられて無端状の粒子加速用のバイブ
（図示路）が組立てられるのである。両図において、（
１７） （１８）は横断面楕円形の粒子流通中空部（粒
子加速用パイプに組込時−以下同様） 、（１９）はこ
れに隣接する横断面方形の真空引き用中空部、（２０）
は雨中空部（１７） （１８）間の隔壁で、これには所
定間隔おきに連通孔があけられる。（２１） （２２）
は粒子流通中空部（１７） （１８）の−側に設けられ
た横断面小円形の冷却水流通中空部、（２３） （２４
）および（２５）は粒子流通中空部（１７） （１ｇ）
および真空用中空部（１９）のそれぞれ−側に設けられ
た加熱脱ガス処理用シーズ線取付用溝である。
いるような横断面を有する粒子加速用パイプに用いられ
る中空押出型材（１５）（１Ｂ）が押出成形されるので
ある。もちろん両者を成形するダイスは成形されるべき
型材（１５） （１６）のそれぞれに合致した形状のも
のが用いられる。所定長さの両押田型材（１５） （１
Ｂ）が交互に連結せられて無端状の粒子加速用のバイブ
（図示路）が組立てられるのである。両図において、（
１７） （１８）は横断面楕円形の粒子流通中空部（粒
子加速用パイプに組込時−以下同様） 、（１９）はこ
れに隣接する横断面方形の真空引き用中空部、（２０）
は雨中空部（１７） （１８）間の隔壁で、これには所
定間隔おきに連通孔があけられる。（２１） （２２）
は粒子流通中空部（１７） （１８）の−側に設けられ
た横断面小円形の冷却水流通中空部、（２３） （２４
）および（２５）は粒子流通中空部（１７） （１ｇ）
および真空用中空部（１９）のそれぞれ−側に設けられ
た加熱脱ガス処理用シーズ線取付用溝である。
上記中空押出型材（１５）の製造順序について述べる。
ガス容器（１２）中には露点−７０℃の乾燥空気を入れ
ておく。そして、まずダイスを苛性洗浄した後５６０℃
で３時間均質化処理したＡ６０６３のビレット（２）を
押出温度５００℃、押出速度１０ｍ／ｗｉｎで押出す。
ておく。そして、まずダイスを苛性洗浄した後５６０℃
で３時間均質化処理したＡ６０６３のビレット（２）を
押出温度５００℃、押出速度１０ｍ／ｗｉｎで押出す。
このさい潤滑油は使用しない。前記押出と同時にガス容
器（１２）より露点−７０℃の乾燥空気（２６）を導管
（１３）、通路（１０） （９）を経て噴出口（６）よ
り圧力２〜３ｋｇ ／ ｃ−で噴出し、押出されつつあ
る型材（１５）の中空部内に供給する。そして仁か押出
された後の型材（１５）の先端開口部をプレスで圧接し
て密封し、第１図に示されているような一方の密封端部
（２７）を形成する。その後も乾燥空気（２６）の供給
を継続し、所定長さ押出した後、型材（１５）をシャー
で切断すると同時に切断端を密封し、他方の密封端部（
２８）を形成する（第４図参照）。
器（１２）より露点−７０℃の乾燥空気（２６）を導管
（１３）、通路（１０） （９）を経て噴出口（６）よ
り圧力２〜３ｋｇ ／ ｃ−で噴出し、押出されつつあ
る型材（１５）の中空部内に供給する。そして仁か押出
された後の型材（１５）の先端開口部をプレスで圧接し
て密封し、第１図に示されているような一方の密封端部
（２７）を形成する。その後も乾燥空気（２６）の供給
を継続し、所定長さ押出した後、型材（１５）をシャー
で切断すると同時に切断端を密封し、他方の密封端部（
２８）を形成する（第４図参照）。
その後乾燥空気（２Ｇ）を密封したままの型材（１５）
を２５０℃まで強制空冷し、続いて自然冷却した後引張
り矯正する。つぎにそのままの状態で１８０℃で６時間
時効処理を行なう。最後に型材（１５）の両密封端部（
２７） （２８）を油を用いずかつエヤー・ブローなし
で切断し、所定寸法の中空押出型材をつる。他の中空押
出型材（１６）もダイスを代えるだけで上記と同様にし
て製造せられる。
を２５０℃まで強制空冷し、続いて自然冷却した後引張
り矯正する。つぎにそのままの状態で１８０℃で６時間
時効処理を行なう。最後に型材（１５）の両密封端部（
２７） （２８）を油を用いずかつエヤー・ブローなし
で切断し、所定寸法の中空押出型材をつる。他の中空押
出型材（１６）もダイスを代えるだけで上記と同様にし
て製造せられる。
なお、上記両密封端部（２７） （２Ｂ）は、押出成形
後中空押出型材の使用地に送られてから切断除去しても
よい。
後中空押出型材の使用地に送られてから切断除去しても
よい。
上記押出型材の内面にはちみつでかつ薄い酸化膜が形成
されており、これに１５０℃で２４時間脱ガス処理し、
真空度を測定したところ、放出ガス係数は５ｘ１０Ｔｏ
ｒｒ−／／５−ｃ−であった。これは、従来では全く予
測し得ない現象によるものである。すなわち、内面の酸
化膜が、型材内部の残留ガスを吸着する真空ポンプの作
用をする特性に基くものである。
されており、これに１５０℃で２４時間脱ガス処理し、
真空度を測定したところ、放出ガス係数は５ｘ１０Ｔｏ
ｒｒ−／／５−ｃ−であった。これは、従来では全く予
測し得ない現象によるものである。すなわち、内面の酸
化膜が、型材内部の残留ガスを吸着する真空ポンプの作
用をする特性に基くものである。
また、上記において乾燥空気の代わりに水分を含まない
純度１００％の純酸素を使用し、他は上記と同様な方法
で中空押出型材を製造したところ、この押出型材の内面
にはちみつでかつ薄い酸化膜が形成されており、これに
１５０℃で２４時間脱ガス処理し、真空度を測定したと
ころ、放出ガス係数は２Ｘ１０ Ｔｏｒｒ−／／５
ｅｃｊ以下であった。
純度１００％の純酸素を使用し、他は上記と同様な方法
で中空押出型材を製造したところ、この押出型材の内面
にはちみつでかつ薄い酸化膜が形成されており、これに
１５０℃で２４時間脱ガス処理し、真空度を測定したと
ころ、放出ガス係数は２Ｘ１０ Ｔｏｒｒ−／／５
ｅｃｊ以下であった。
比較のために、乾燥空気または純酸素を供給する代わり
に酸素２０ｖｏ１％を含み残部アルゴンからなる混合ガ
スを供給した他は上記実施例と同様な方法で中空押出型
材を製造したところ、この押出型材の内面にはちみつで
かつ薄い酸化膜が形成されており、これに１５０℃で２
４時間脱ガス処理し、真空度を測定したところ、放出ガ
ス係数は２Ｘ１０ Ｔｏｒｒ−／／５−ｃｊであっ
た。
に酸素２０ｖｏ１％を含み残部アルゴンからなる混合ガ
スを供給した他は上記実施例と同様な方法で中空押出型
材を製造したところ、この押出型材の内面にはちみつで
かつ薄い酸化膜が形成されており、これに１５０℃で２
４時間脱ガス処理し、真空度を測定したところ、放出ガ
ス係数は２Ｘ１０ Ｔｏｒｒ−／／５−ｃｊであっ
た。
さらに、比較のために、乾燥空気または純酸素を供給し
ない他は上記実施例と同様な方法で中空押出型材を製造
したところ、この押出型材の内面には粗で多孔質状の酸
化膜が形成されており、これに１５０℃で２４時間脱ガ
ス処理し、真空度を測定したところ、放出ガス係数は５
×１０Ｔｏｒｒ−ｌ／５−ｃ−であった。
ない他は上記実施例と同様な方法で中空押出型材を製造
したところ、この押出型材の内面には粗で多孔質状の酸
化膜が形成されており、これに１５０℃で２４時間脱ガ
ス処理し、真空度を測定したところ、放出ガス係数は５
×１０Ｔｏｒｒ−ｌ／５−ｃ−であった。
図面はこの発明の実施例を示すもので、第１図は押出成
形途上を示す縦断面図、第２図は第１図の■−■線にそ
う断面図、第３図は粒子加速用パイプをつくるさい第２
図の型材と組合わせて用いられる他の型材の第２図相当
断面図、第４図は混合ガス密封状態の型材の縦断面図で
ある。 （１５）（１Ｂ）・・・中空押出型材、（２６）・・・
乾燥空気。 以 上
形途上を示す縦断面図、第２図は第１図の■−■線にそ
う断面図、第３図は粒子加速用パイプをつくるさい第２
図の型材と組合わせて用いられる他の型材の第２図相当
断面図、第４図は混合ガス密封状態の型材の縦断面図で
ある。 （１５）（１Ｂ）・・・中空押出型材、（２６）・・・
乾燥空気。 以 上
Claims (1)
- アルミニウム中空押出型材を押出成形するにあたり、押
出されつつある型材の中空部内に乾燥空気または純酸素
を供給することを特徴とする真空用アルミニウム製中空
押出型材の製造法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62149910A JPS63313612A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 真空用アルミニウム製中空押出型材の製造法 |
| EP88109394A EP0295613B1 (en) | 1987-06-15 | 1988-06-13 | Process for preparing hollow aluminum extrudates for use in vacuum |
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