JPS63314800A - 放射光装置 - Google Patents
放射光装置Info
- Publication number
- JPS63314800A JPS63314800A JP15012387A JP15012387A JPS63314800A JP S63314800 A JPS63314800 A JP S63314800A JP 15012387 A JP15012387 A JP 15012387A JP 15012387 A JP15012387 A JP 15012387A JP S63314800 A JPS63314800 A JP S63314800A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- synchrotron
- irradiated
- electron beam
- magnet
- power supply
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はシンクロトロン放射光を用いて半導体ウェハな
どの被照射物を照射する装置に関するものである。
どの被照射物を照射する装置に関するものである。
（従来の技術）
シンクロトロン放射光Ｓ （ＳＯＲ光とも言う）は第２
図に模式的に示すように、光速に近いスピードで運動す
る電子ｅが磁界Ｈによって軌導を曲げられるときに接線
方向に放射される電磁波であり、高い輝度と強い指向性
を有しているので各種の用途が有る。近年これらの特徴
を活かして超ＬＳＩの微細パターン転写用光源源として
の応用が盛んになりつつある０例えば雑誌“日本の科学
と技術”特集マイクロエレクトロニクスを拓く超微細加
工（財団法人日本科学技術振興財団発行１９８４ Ｖｏ
ｌ、２５＆ ２２８）中、阿刀田伸史氏の“次代を担う
リソグラフィ技術の本命”等に詳述されている。
図に模式的に示すように、光速に近いスピードで運動す
る電子ｅが磁界Ｈによって軌導を曲げられるときに接線
方向に放射される電磁波であり、高い輝度と強い指向性
を有しているので各種の用途が有る。近年これらの特徴
を活かして超ＬＳＩの微細パターン転写用光源源として
の応用が盛んになりつつある０例えば雑誌“日本の科学
と技術”特集マイクロエレクトロニクスを拓く超微細加
工（財団法人日本科学技術振興財団発行１９８４ Ｖｏ
ｌ、２５＆ ２２８）中、阿刀田伸史氏の“次代を担う
リソグラフィ技術の本命”等に詳述されている。
さて、このシンクロトロン放射光を得る手段としては一
般に第３図に示す如く、従来の高エネルギー物理用加速
器を応用した構成が一般的であった。これは電子ビーム
の入射塁の働きをする線形加速器１と電子加速するシン
クロトロン２と電子を蓄積しシンクロトロン放射光を得
る蓄積リング３とから構成されている。
般に第３図に示す如く、従来の高エネルギー物理用加速
器を応用した構成が一般的であった。これは電子ビーム
の入射塁の働きをする線形加速器１と電子加速するシン
クロトロン２と電子を蓄積しシンクロトロン放射光を得
る蓄積リング３とから構成されている。
又第３図の加速器の運転方法を第４図に模式的に示す。
線形加速器１は第４図（ａ）に示す如く短時間繰返し運
転される。この線形加速器１からの電子ビームをシンク
ロトロン２で受はシンクロトロンは第４図（ｂ）又は（
ｂ′）のように三角波又は正弦波状にエネルギーを変化
して運転される。（第４図（ｂ）。
転される。この線形加速器１からの電子ビームをシンク
ロトロン２で受はシンクロトロンは第４図（ｂ）又は（
ｂ′）のように三角波又は正弦波状にエネルギーを変化
して運転される。（第４図（ｂ）。
（ｂ′）は具体的にはシンクロトロンの偏向電磁石、四
極電磁石等の励磁パターンを示す、）シンクロトロンで
加速しエネルギーを高められた電子は蓄積リング３に入
射し蓄積されてシンクロトロン放射光を放出する。
極電磁石等の励磁パターンを示す、）シンクロトロンで
加速しエネルギーを高められた電子は蓄積リング３に入
射し蓄積されてシンクロトロン放射光を放出する。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の装置ではシンクロトロンで電子を加速する際、第
４図（ｂ）、（ｂ’）に示す如く図の太線部のみしか利
用しておらずエネルギーの有効利用の観点のみならず大
電源の蓄積の為の高頻度繰返し運転の観点からも不経済
かつ非効率的であった。
４図（ｂ）、（ｂ’）に示す如く図の太線部のみしか利
用しておらずエネルギーの有効利用の観点のみならず大
電源の蓄積の為の高頻度繰返し運転の観点からも不経済
かつ非効率的であった。
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、電源
利用率が高く高頻度繰返しのシンクロトロンを提供する
ことを目的とする。
利用率が高く高頻度繰返しのシンクロトロンを提供する
ことを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明の放射光装置は、線形加速器とシンクロトロン間
及びシンクロトロンと蓄積リングにビーム振り分はマグ
ネットを設け、かつシンクロトロンの電磁石励磁電源を
共振電源とする。
及びシンクロトロンと蓄積リングにビーム振り分はマグ
ネットを設け、かつシンクロトロンの電磁石励磁電源を
共振電源とする。
（作用）
このようにすると、１台のシンクロトロンを共振電源の
正負両方向振幅いずれの場合でも使用出来ることになる
。
正負両方向振幅いずれの場合でも使用出来ることになる
。
（実施例）
以下本発明の一実施例について第１図を参照して説明す
る。
る。
第１図に於て線形加速器１から打ち出された電子ビーム
はビーム振り分はマグネット４で上方に曲げられシンク
ロトロン２に入射される（時刻ｔｉ）＠シンクロトロン
２の電磁石群（偏向電磁石、四極電磁石等）は充電電源
６、コンデンサ７、及び前述の電磁石負荷とから構成さ
れる共振電源により正弦波状に励磁される。このときｔ
□で入射された電子ビームは加速され時刻ｔ２で出射さ
れて、ビーム振り分はマグネット５を経て蓄積リング３
に入射蓄積される。
はビーム振り分はマグネット４で上方に曲げられシンク
ロトロン２に入射される（時刻ｔｉ）＠シンクロトロン
２の電磁石群（偏向電磁石、四極電磁石等）は充電電源
６、コンデンサ７、及び前述の電磁石負荷とから構成さ
れる共振電源により正弦波状に励磁される。このときｔ
□で入射された電子ビームは加速され時刻ｔ２で出射さ
れて、ビーム振り分はマグネット５を経て蓄積リング３
に入射蓄積される。
次に電磁石は正弦波状に減磁されさらに反対方向に振動
する０時刻ｔ３に於て線形加速器１から打ち出された電
子ビームはビーム振り分はマグネット４を経て下方に曲
げられシンクロトロン２に入射される（ｔｍ）、電磁石
の励磁に伴って電子はｔ１〜ｔ３間とは逆回転しながら
加速され、時刻ｔ、にて最終エネルギーに達した後シン
クロトロンから出射され蓄積リング３に入射蓄積される
。
する０時刻ｔ３に於て線形加速器１から打ち出された電
子ビームはビーム振り分はマグネット４を経て下方に曲
げられシンクロトロン２に入射される（ｔｍ）、電磁石
の励磁に伴って電子はｔ１〜ｔ３間とは逆回転しながら
加速され、時刻ｔ、にて最終エネルギーに達した後シン
クロトロンから出射され蓄積リング３に入射蓄積される
。
以上の過程を順次繰り返すことにより蓄積リングに大電
流を′ｆＰ積する。
流を′ｆＰ積する。
以上説明したように本発明によれば一式のシンクロトロ
ンにより従来装置の２倍の高繰返し頻度での運転が可能
になり、かつエネルギーの利用率も約２倍となる。
ンにより従来装置の２倍の高繰返し頻度での運転が可能
になり、かつエネルギーの利用率も約２倍となる。
第１図は本発明の一実施例の放射光装置を示す図であり
、第１図（ａ）は装置の構成図、第１図（ｂ）は電磁石
の回路図、第１図（ｃ）は運転パターンを示す図、第２
図はシンクロトロン放射光の説明図、第３図は従来の放
射光装置の説明図、第４図は第３図の装置の運転パター
ンを示す線図である。 １・・・線形加速器 ２・・・シンクロトロン３
・・・蓄積リング ４．５・・・ビーム振り分はマグネット６・・・充電電
源 ７・・・コンデンサ８・・・電磁石 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 第１図（α） 第１図（ｂ） 第１図＜Ｃ） 第３図
、第１図（ａ）は装置の構成図、第１図（ｂ）は電磁石
の回路図、第１図（ｃ）は運転パターンを示す図、第２
図はシンクロトロン放射光の説明図、第３図は従来の放
射光装置の説明図、第４図は第３図の装置の運転パター
ンを示す線図である。 １・・・線形加速器 ２・・・シンクロトロン３
・・・蓄積リング ４．５・・・ビーム振り分はマグネット６・・・充電電
源 ７・・・コンデンサ８・・・電磁石 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 第１図（α） 第１図（ｂ） 第１図＜Ｃ） 第３図
Claims (1)
- シンクロトロンの電磁石励磁電源として共振電源を使用
し共振の正負両波形を電子ビームの加速に使用すること
を特徴とする放射光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15012387A JPS63314800A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 放射光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15012387A JPS63314800A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 放射光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63314800A true JPS63314800A (ja) | 1988-12-22 |
Family
ID=15489984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15012387A Pending JPS63314800A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 放射光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63314800A (ja) |
-
1987
- 1987-06-18 JP JP15012387A patent/JPS63314800A/ja active Pending
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