JPS63316407A - 永久磁石用原料粉の製造方法 - Google Patents
永久磁石用原料粉の製造方法Info
- Publication number
- JPS63316407A JPS63316407A JP62152504A JP15250487A JPS63316407A JP S63316407 A JPS63316407 A JP S63316407A JP 62152504 A JP62152504 A JP 62152504A JP 15250487 A JP15250487 A JP 15250487A JP S63316407 A JPS63316407 A JP S63316407A
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- JP
- Japan
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- raw material
- material powder
- permanent magnets
- substrate
- producing raw
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/032—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials
- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/047—Alloys characterised by their composition
- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
- H01F1/055—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5
- H01F1/057—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B
- H01F1/0571—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B in the form of particles, e.g. rapid quenched powders or ribbon flakes
- H01F1/0572—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B in the form of particles, e.g. rapid quenched powders or ribbon flakes with a protective layer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ９発明の目的
（１）産業上の利用分野
本発明は永久磁石用原料１５）の製造方法に関する。
（２）従来の技術
従来、このＪ・■原料粉を製造する場合は、永久磁石材
料である合金を製造し、次いでその合金を粉砕するとい
った手法が採用されている（工業技術会電子材料部会発
行、エレクトロニク・セラミクス° ８５ 各号 第３
５真参照）。
料である合金を製造し、次いでその合金を粉砕するとい
った手法が採用されている（工業技術会電子材料部会発
行、エレクトロニク・セラミクス° ８５ 各号 第３
５真参照）。
（３）発明が解決しようとする問題点
しかしながら前記のように粉砕法を採用すると、配向性
および異方性の大きな原料粉を得ることができない、原
料粉が酸化され易い、原料粉の大きさが不揃いになる、
合金における偏析等に起因して原料粉の組成が不均一に
なる等の問題がある。
および異方性の大きな原料粉を得ることができない、原
料粉が酸化され易い、原料粉の大きさが不揃いになる、
合金における偏析等に起因して原料粉の組成が不均一に
なる等の問題がある。
本発明は前記問題を解決することのできる前記製造方法
を提供することを目的とする。
を提供することを目的とする。
Ｂ１発明の構成
（１）問題点を解決するだめの手段
本発明は、耐熱性合成樹脂製基体の被蒸着面にスパッタ
リング法による蒸着処理を施して、該被蒸着面に存する
多数の微細な突出部表面に永久磁石材料よりなる微細針
状物を析出させ、次いで前記基体を溶解することを特徴
とする。
リング法による蒸着処理を施して、該被蒸着面に存する
多数の微細な突出部表面に永久磁石材料よりなる微細針
状物を析出させ、次いで前記基体を溶解することを特徴
とする。
（２）作 用
前記方法によれば、１６処理および熔解処理といった簡
単な手法を採用して磁気特性の優れた原料粉を得ること
ができる。
単な手法を採用して磁気特性の優れた原料粉を得ること
ができる。
（３）実施例
基体を構成する耐熱性合成樹脂としては、ポリイミド樹
脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂等種々の樹脂が用
いられる。
脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂等種々の樹脂が用
いられる。
前記基体の被蒸着面側に多数の微細な突出部を形成する
方法としては、基体の一面に真空下にて不活性ガスイオ
ンを衝突させるといった手法が適切であり、この場合突
出部の平均高さは３μｍ以下に設定される。
方法としては、基体の一面に真空下にて不活性ガスイオ
ンを衝突させるといった手法が適切であり、この場合突
出部の平均高さは３μｍ以下に設定される。
このように各突出部の平均高さを設定する理由は次の通
りである。即ち、永久磁石用原料粉としては、その磁気
特性を考慮した場合、平均粒径３μｒｎ以下のものが望
ましい。本発明においては、スパッタリング法による蒸
着処理によって永久磁石材料からの蒸発成分を各突出部
表面に優先的に付着析出させて微細針状物に成長させる
ので、原料キ２）末の平均粒径に等しくなるように突出
部の平均高さを決めることが必要となる。
りである。即ち、永久磁石用原料粉としては、その磁気
特性を考慮した場合、平均粒径３μｒｎ以下のものが望
ましい。本発明においては、スパッタリング法による蒸
着処理によって永久磁石材料からの蒸発成分を各突出部
表面に優先的に付着析出させて微細針状物に成長させる
ので、原料キ２）末の平均粒径に等しくなるように突出
部の平均高さを決めることが必要となる。
前記永久磁石材料としては、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系化合物、
例えばＮ ｄ ＋ｓＦ ６７７Ｂ１１が用いられる。
例えばＮ ｄ ＋ｓＦ ６７７Ｂ１１が用いられる。
蒸着処理後基体を溶解する場合は有機溶剤を用いるのが
簡便であり、この有機溶剤としては溶解力の大きなジメ
チルホルムアミドが適切である。
簡便であり、この有機溶剤としては溶解力の大きなジメ
チルホルムアミドが適切である。
（ａ） 基体に対する突出部の形成処理ポリイミド樹
脂よりなる厚さ２０μｍの基体を真空容器内に設置して
、真空圧： ５．ＯＸ １ （Ｉ３Ｔ。
脂よりなる厚さ２０μｍの基体を真空容器内に設置して
、真空圧： ５．ＯＸ １ （Ｉ３Ｔ。
ｒ「；電圧ニー４００Ｖ、処理時間：２時間の条件の下
でアルゴンガスイオンを基体の一面に衝突させて多数の
突出部を形成する。
でアルゴンガスイオンを基体の一面に衝突させて多数の
突出部を形成する。
第１図は前記処理後の基体ｌを示し、２は被蒸着面、３
は突出部である。この場合、突出部３の平均高さは３μ
ｍである。
は突出部である。この場合、突出部３の平均高さは３μ
ｍである。
（ｂ） 蒸着処理
前記基体１を、その被蒸着面２をＮｄ＋５Ｆｅ７ｔＢ６
よりなるターゲットに対向させてスパッタリング装置に
設置する。そして、使用ガス：アルゴンガス：スパッタ
圧： ５．ＯＸ １０”１Ｔｏｒｒ；投入電カニ０．５
ｋＷ、基体バイアス電圧ニーｔｏｏｖ（ＤＣ）ｉスパッ
タ時間：３時間の条件の下に蒸着処理を行う。
よりなるターゲットに対向させてスパッタリング装置に
設置する。そして、使用ガス：アルゴンガス：スパッタ
圧： ５．ＯＸ １０”１Ｔｏｒｒ；投入電カニ０．５
ｋＷ、基体バイアス電圧ニーｔｏｏｖ（ＤＣ）ｉスパッ
タ時間：３時間の条件の下に蒸着処理を行う。
前記処理を行うことによって、第２図に示すように各突
出部３表面にＮｄ＋５ＦｅｔＪｓよりなる微細針状物４
が析出する。
出部３表面にＮｄ＋５ＦｅｔＪｓよりなる微細針状物４
が析出する。
（Ｃ） 溶出処理
前記微細針状物４と共に基体ｌを、ジメチルホルムアミ
ドの溶液に浸漬して基体ｌを溶解する。
ドの溶液に浸漬して基体ｌを溶解する。
前記各処理（ａ）〜（Ｃ）を経て平均粒径（微細針状物
の長袖方向平均長さ）ｄが約１μｍの原料粉が得られる
。
の長袖方向平均長さ）ｄが約１μｍの原料粉が得られる
。
この原料粉の平均保磁力は６ｋＯｅであり、従来の粉砕
法による平均粒径約１μｍの原料粉の平均保磁力４ｋＯ
ｅに比べて大幅に向上していることが明らかである。
法による平均粒径約１μｍの原料粉の平均保磁力４ｋＯ
ｅに比べて大幅に向上していることが明らかである。
この平均保磁力は各種製造条件により多少変動するが、
本発明によれば、粉砕法による場合に比べて２割以上向
上することが確認されている。
本発明によれば、粉砕法による場合に比べて２割以上向
上することが確認されている。
第３図は前記蒸着条件における投入電力を変化させた場
合の、スパッタ時間と原料粉の平均粒径との関係を示す
。線ａは投入電力２ｋＷの場合に、線すは投入電力１ｋ
Ｗの場合に、線りは投入電力０．５ｋＷの場合にそれぞ
れ該当する。蒸発成分の平均成長速度は、線ａにおいて
０．０１ ｆｉ ３μｍ／ｌｌｌ１ｎ、線すにおいて０
．０１１！ ｍ／ｍｉｎ 、線Ｃにおいて０． ＯＯ５
５ｐ ｍ ／ｍｉｎである。
合の、スパッタ時間と原料粉の平均粒径との関係を示す
。線ａは投入電力２ｋＷの場合に、線すは投入電力１ｋ
Ｗの場合に、線りは投入電力０．５ｋＷの場合にそれぞ
れ該当する。蒸発成分の平均成長速度は、線ａにおいて
０．０１ ｆｉ ３μｍ／ｌｌｌ１ｎ、線すにおいて０
．０１１！ ｍ／ｍｉｎ 、線Ｃにおいて０． ＯＯ５
５ｐ ｍ ／ｍｉｎである。
第３図より投入電力が高くなる程蒸発成分の平均成長速
度が増すことが判る。
度が増すことが判る。
Ｃ０発明の効果
本発明によれば、前記特定の基体を用い、またスパッタ
リング法による蒸着処理および溶解処理といった簡単な
手法を採用することによって、磁気特性の優れた永久磁
石用原料粉を得ることができる。
リング法による蒸着処理および溶解処理といった簡単な
手法を採用することによって、磁気特性の優れた永久磁
石用原料粉を得ることができる。
即ち、本発明により得られる原料粉は以下の特性を有す
る。
る。
（ａ） 大きな配向性および異方性を有する。
（ｂ） ！細であるから大きな保磁力を有する。
（Ｃ） 気相からの析出であるから酸化が少ない。
（ｄ） 大きさが揃っている。
（ｅ） Ｍｉ成副制御容易であるから組成が均一であ
る。
る。
第１図は基体の断面図、第２図は蒸着処理後の基体の断
面図、第３図はスパッタ時間と原料粉の平均粒径との関
係を示すグラフである。 ■・・・基体、２・・・蒸着面、３・・・突出部４・・
・微細針状物 特 許 出 願 人 本田技研工業株式会社代理人
弁理士 落 合 健湾１図 ？
面図、第３図はスパッタ時間と原料粉の平均粒径との関
係を示すグラフである。 ■・・・基体、２・・・蒸着面、３・・・突出部４・・
・微細針状物 特 許 出 願 人 本田技研工業株式会社代理人
弁理士 落 合 健湾１図 ？
Claims (5)
- （１）耐熱性合成樹脂製基体の被蒸着面にスパッタリン
グ法による蒸着処理を施して、該被蒸着面に存する多数
の微細な突出部表面に永久磁石材料よりなる微細針状物
を析出させ、次いで前記基体を溶解することを特徴とす
る永久磁石用原料粉の製造方法。 - （２）前記永久磁石材料はＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系化合物であ
る、特許請求の範囲第（１）項記載の永久磁石用原料粉
の製造方法。 - （３）前記突出部の突出高さは３μｍ以下である、特許
請求の範囲第（１）または第（２）項記載の永久磁石用
原料粉の製造方法。 - （４）前記耐熱性合成樹脂はポリイミド樹脂である、特
許請求の範囲第（１）、第（２）または第（３）項記載
の永久磁石用原料粉の製造方法。 - （５）前記耐熱性合成樹脂はポリアミド樹脂である、特
許請求の範囲第（１）、第（２）または第（３）項記載
の永久磁石用原料粉の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62152504A JPS63316407A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 永久磁石用原料粉の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62152504A JPS63316407A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 永久磁石用原料粉の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63316407A true JPS63316407A (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=15541904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62152504A Pending JPS63316407A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 永久磁石用原料粉の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63316407A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010180442A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Fujifilm Corp | 微粒子及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP62152504A patent/JPS63316407A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010180442A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Fujifilm Corp | 微粒子及びその製造方法 |
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