JPS63318609A - 真空装置における被駆動系の位置決め方法 - Google Patents
真空装置における被駆動系の位置決め方法Info
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- JPS63318609A JPS63318609A JP15454387A JP15454387A JPS63318609A JP S63318609 A JPS63318609 A JP S63318609A JP 15454387 A JP15454387 A JP 15454387A JP 15454387 A JP15454387 A JP 15454387A JP S63318609 A JPS63318609 A JP S63318609A
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- driven
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は真空装置における被駆動系の位置決めの方法
に関する。
に関する。
従来の回転機構を備えた真空装置では添付図面の第２図
に示すように、真空槽人の壁を貫いて回転主軸Ｂを設け
、この回転体主軸Ｂを回転伝動歯車装置Ｃを介してステ
ッピングモータまたはブレーキ付モータＤより回転駆動
するように構成されている。真空槽入内圧おいて、回転
体主軸Ｂには、基板や電極等の被駆動系が装着され、こ
の基板や［４６１は、ステッピングモータまたはブレー
キ付モータＤ′５ｒＪ［動させることＫよって、回転伝
動歯車装＠Ｃを介して回転主軸ＢＫよシ回転される。
に示すように、真空槽人の壁を貫いて回転主軸Ｂを設け
、この回転体主軸Ｂを回転伝動歯車装置Ｃを介してステ
ッピングモータまたはブレーキ付モータＤより回転駆動
するように構成されている。真空槽入内圧おいて、回転
体主軸Ｂには、基板や電極等の被駆動系が装着され、こ
の基板や［４６１は、ステッピングモータまたはブレー
キ付モータＤ′５ｒＪ［動させることＫよって、回転伝
動歯車装＠Ｃを介して回転主軸ＢＫよシ回転される。
一方、被駆動系Ｅの停止は、ステッピングモータまたは
ブレーキ付モータＤを停止させることによって行われる
。
ブレーキ付モータＤを停止させることによって行われる
。
上記のように従来の装置においては、基板や電極等の被
駆動系の回転停止は、モータの回転停止によって行われ
ていたため、高回転精度を有する高価なステッピングモ
ータやブレーキ付モータを使用しなければならなかった
。
駆動系の回転停止は、モータの回転停止によって行われ
ていたため、高回転精度を有する高価なステッピングモ
ータやブレーキ付モータを使用しなければならなかった
。
また、回転体主軸の制動はモータにより回転伝動歯車装
置を介して行われていたため、いかに回転精度の高いモ
ータを使用しても回転伝動歯車装置のバックラッシュ（
ガタ）により停止位置が不正確となるのは避けられない
。ところでこのようなバックラッシュは設計如何で少な
くできるが、歯車の唸シ音が大きくなったり、ゴミが発
生したり、故障の原因ともなる等の問題が生じる。
置を介して行われていたため、いかに回転精度の高いモ
ータを使用しても回転伝動歯車装置のバックラッシュ（
ガタ）により停止位置が不正確となるのは避けられない
。ところでこのようなバックラッシュは設計如何で少な
くできるが、歯車の唸シ音が大きくなったり、ゴミが発
生したり、故障の原因ともなる等の問題が生じる。
そこでこの発明は、上記の問題点を解決して被駆動系を
高精度に回転停止位置決めできる真空装置における被駆
動系の位置決め方法を提供することを目的としている。
高精度に回転停止位置決めできる真空装置における被駆
動系の位置決め方法を提供することを目的としている。
上記の目的を達成するために、この発明による真空装置
における被駆動系の位置決め方法は、回転機構の回転体
主軸にディスクブレーキを取シ付け、これにより回転体
主軸の回転停止位置を決めることを特徴としている。
における被駆動系の位置決め方法は、回転機構の回転体
主軸にディスクブレーキを取シ付け、これにより回転体
主軸の回転停止位置を決めることを特徴としている。
またこの発明の別の特徴によれば、回転体主軸に取付け
たディスクブレーキにより回転体主軸の回転停止位置を
決め、真空装置内圧おける横送り、縦送り等の搬送系を
位置決め停止させることを特徴としている。
たディスクブレーキにより回転体主軸の回転停止位置を
決め、真空装置内圧おける横送り、縦送り等の搬送系を
位置決め停止させることを特徴としている。
この発明の真空装置における被駆動系の位置決め方法は
、回転体主軸に取付られたディスクブレーキは回転伝動
装置のガタや滑シの量およびモータの停止精度に無関係
に被駆動系を回転停止させるように作用する。
、回転体主軸に取付られたディスクブレーキは回転伝動
装置のガタや滑シの量およびモータの停止精度に無関係
に被駆動系を回転停止させるように作用する。
以下、この発明の一実施例を添付図面の第１図を参照し
て説明する。
て説明する。
第１図にはこの発明の一実施例を示し、真空槽１の開口
部１ａに回転体主軸２が真空シール部材３によシ真空シ
ールされて取付けられている。回転体主軸２にはプーリ
４およびディスクブレーキ５のディスク板５ａが装着さ
れている。回転体主軸２は、プーリ４、ベルト６および
プーリ７を介してモータ８に寄って駆動される。
部１ａに回転体主軸２が真空シール部材３によシ真空シ
ールされて取付けられている。回転体主軸２にはプーリ
４およびディスクブレーキ５のディスク板５ａが装着さ
れている。回転体主軸２は、プーリ４、ベルト６および
プーリ７を介してモータ８に寄って駆動される。
以上のように構成した図示装置においては、回転体主軸
２の先端には基板や電極等（図示していない〕が装着さ
れ、この回転体主軸２＃′ｉ、モータ８によりプーリ４
．７およびベルト６を介して回転体主軸２に回転を伝動
させることによシ回転され、またその停止位置決めは、
まずモータ８の回転を減速し、所定の停止位置にきたら
、モータ８を回転停止させると同時に、ディスクブレー
キ５を作動させディスク板５ａを約１ ／１００秒程度
で完全停止させることにより行われる。この場合、ディ
スクブレーキはディスク板を挾んだまま保持するため、
モータやベルト等の駆動系にバックラッシュがあっても
、基板や電極等の被駆動系は所定位置に正確に停止され
得る。
２の先端には基板や電極等（図示していない〕が装着さ
れ、この回転体主軸２＃′ｉ、モータ８によりプーリ４
．７およびベルト６を介して回転体主軸２に回転を伝動
させることによシ回転され、またその停止位置決めは、
まずモータ８の回転を減速し、所定の停止位置にきたら
、モータ８を回転停止させると同時に、ディスクブレー
キ５を作動させディスク板５ａを約１ ／１００秒程度
で完全停止させることにより行われる。この場合、ディ
スクブレーキはディスク板を挾んだまま保持するため、
モータやベルト等の駆動系にバックラッシュがあっても
、基板や電極等の被駆動系は所定位置に正確に停止され
得る。
なお、上記実施例ではモータの回転伝動をプーリとベル
トによって行なったが、回転伝動歯車等の他の伝動手段
を用いることもできる。
トによって行なったが、回転伝動歯車等の他の伝動手段
を用いることもできる。
以上説明してきたように、この発明による真空装ｆＭ、
における被駆動系の位置決め方法は、回転体主軸にディ
スクブレーキを設け、モータの停止による制動に依存し
ない方法を採用しているため、回転伝動装置のガタや滑
りまたは、モータの停止精度および、バックラッシュ等
に左右されない、極めて高い停止精度を得ることができ
、またモータや回転伝動装置には高い精度が不要となる
ため、これらの駆動系は従来に対し１／１０〜１／１５
程の費用で作ることができる。
における被駆動系の位置決め方法は、回転体主軸にディ
スクブレーキを設け、モータの停止による制動に依存し
ない方法を採用しているため、回転伝動装置のガタや滑
りまたは、モータの停止精度および、バックラッシュ等
に左右されない、極めて高い停止精度を得ることができ
、またモータや回転伝動装置には高い精度が不要となる
ため、これらの駆動系は従来に対し１／１０〜１／１５
程の費用で作ることができる。
また、この発明の方法によれば、回転体主軸をディスク
ブレーキによシ直接停止するようにしているので、駆動
モータや伝動装置等に安価な通常のものを用いることが
でき、その結果低コスト化を図ることができる。
ブレーキによシ直接停止するようにしているので、駆動
モータや伝動装置等に安価な通常のものを用いることが
でき、その結果低コスト化を図ることができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略図、第２図は従
来の回転機構を備えた真空装＊ｔ−示す概略図である。 図中
来の回転機構を備えた真空装＊ｔ−示す概略図である。 図中
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転機構を備えた真空装置において、回転機構の回
転体主軸にディスクブレーキを取り付け、これにより回
転体主軸の回転停止位置を決めることを特徴とする真空
装置における被駆動系の位置決め方法。 ２、回転機構を備えた真空装置において、回転機構の回
転体主軸にディスクブレーキを取り付け、これにより回
転体主軸の回転停止を決め、真空装置内における搬送系
を位置決め停止させることを特徴とする真空装置におけ
る被駆動系の位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15454387A JPS63318609A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 真空装置における被駆動系の位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15454387A JPS63318609A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 真空装置における被駆動系の位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63318609A true JPS63318609A (ja) | 1988-12-27 |
Family
ID=15586557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15454387A Pending JPS63318609A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 真空装置における被駆動系の位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63318609A (ja) |
-
1987
- 1987-06-23 JP JP15454387A patent/JPS63318609A/ja active Pending
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