JPS6332131Y2 - - Google Patents
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- JPS6332131Y2 JPS6332131Y2 JP18597583U JP18597583U JPS6332131Y2 JP S6332131 Y2 JPS6332131 Y2 JP S6332131Y2 JP 18597583 U JP18597583 U JP 18597583U JP 18597583 U JP18597583 U JP 18597583U JP S6332131 Y2 JPS6332131 Y2 JP S6332131Y2
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- Japan
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- vapor deposition
- melting
- lithium
- boat
- coil
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- Expired
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 51
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 39
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 37
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 26
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 22
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 12
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- -1 lithium and sodium Chemical class 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 150000003657 tungsten Chemical class 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔技術分野〕
本考案はリチウムなどの蒸着材料を融解するの
に使用する蒸着材料融解用ボートに関する。
に使用する蒸着材料融解用ボートに関する。
従来、蒸着材料を融解するためのボートとして
は、第５〜７図に示すようにタングステン、タン
タル、モリブデンなどの高融点金属でつくられた
長方形状のプレートの中央部を凹ばせて材料融解
部１２としたものが使用されていたが、このボー
ト１１でリチウムを融解しようとすると、リチウ
ム表面が酸化物、窒化物でおおわれているためで
あると思われるが、リチウムが完全に融解する以
前に突沸により材料融解部１２から飛び出すこと
がしばしば見受けられた。また、たとえうまく融
解できたとしても、リチウムが非常に酸化を受け
やすいため、融解したリチウムがわずかに残存し
ている酸素によつて酸化され、その酸化皮膜のた
めに蒸発速度が遅くなり、蒸着作用が予定どおり
進行しないという問題があつた。
は、第５〜７図に示すようにタングステン、タン
タル、モリブデンなどの高融点金属でつくられた
長方形状のプレートの中央部を凹ばせて材料融解
部１２としたものが使用されていたが、このボー
ト１１でリチウムを融解しようとすると、リチウ
ム表面が酸化物、窒化物でおおわれているためで
あると思われるが、リチウムが完全に融解する以
前に突沸により材料融解部１２から飛び出すこと
がしばしば見受けられた。また、たとえうまく融
解できたとしても、リチウムが非常に酸化を受け
やすいため、融解したリチウムがわずかに残存し
ている酸素によつて酸化され、その酸化皮膜のた
めに蒸発速度が遅くなり、蒸着作用が予定どおり
進行しないという問題があつた。
本考案は蒸着材料の融解時に蒸着材料が材料融
解部から飛び出すのを防止し、かつ融解した蒸着
材料の酸化皮膜を破壊させて、酸化皮膜による蒸
着速度の低下を防止し、蒸着を予定どおり進行さ
せることを目的とする。
解部から飛び出すのを防止し、かつ融解した蒸着
材料の酸化皮膜を破壊させて、酸化皮膜による蒸
着速度の低下を防止し、蒸着を予定どおり進行さ
せることを目的とする。
本考案は蒸着材料融解用ボートに、その本体部
分の材料融解部の外側に遊嵌する蒸着材料押え用
のリングまたはコイルを備えさせ、蒸着材料融解
時には該リングまたはコイルによつて蒸着材料を
押えて蒸着材料の融解部からの飛び出しを防止
し、蒸着材料融解後は該リングまたはコイルの自
重によつて融解した蒸着材料表面の酸化皮膜を破
らせるようにした蒸着材料融解用ボートに関す
る。
分の材料融解部の外側に遊嵌する蒸着材料押え用
のリングまたはコイルを備えさせ、蒸着材料融解
時には該リングまたはコイルによつて蒸着材料を
押えて蒸着材料の融解部からの飛び出しを防止
し、蒸着材料融解後は該リングまたはコイルの自
重によつて融解した蒸着材料表面の酸化皮膜を破
らせるようにした蒸着材料融解用ボートに関す
る。
本考案の蒸着材料融解用ボートにおいて、ボー
ト本体部分は従来からこの種用途に使用されてい
るタングステン、タンタル、モリブデンなどの高
融点金属製のボートが使用される。
ト本体部分は従来からこの種用途に使用されてい
るタングステン、タンタル、モリブデンなどの高
融点金属製のボートが使用される。
リングまたはコイルは、材質的にはボート本体
部分と同様にたとえばタングステン、タンタル、
モリブデンなどの高融点金属製のものが好まし
く、寸法的にはこのコイルまたはリングをボート
本体部分の材料融解部の外側に嵌め込んだとき
に、コイルまたはリングと材料融解部との間に適
度の遊び、すなわちコイルまたはリングをボート
本体部分の材料融解部に外嵌した状態でリチウム
などの蒸着材料を材料融解部に挿入するのが容易
でありかつ突沸によつて材料融解部から飛び出そ
うとする蒸着材料を押えて材料融解部から飛び出
させないようにする程度の適当の余裕があるよう
な内径を有していることが望まれる。
部分と同様にたとえばタングステン、タンタル、
モリブデンなどの高融点金属製のものが好まし
く、寸法的にはこのコイルまたはリングをボート
本体部分の材料融解部の外側に嵌め込んだとき
に、コイルまたはリングと材料融解部との間に適
度の遊び、すなわちコイルまたはリングをボート
本体部分の材料融解部に外嵌した状態でリチウム
などの蒸着材料を材料融解部に挿入するのが容易
でありかつ突沸によつて材料融解部から飛び出そ
うとする蒸着材料を押えて材料融解部から飛び出
させないようにする程度の適当の余裕があるよう
な内径を有していることが望まれる。
次に本考案の実施例を図面とともに説明する。
線径１mmのタングステン線を３本撚り合わせた
タングステンの撚線を巻いて内径15mmのタングス
テンコイル３を作製し、このタングステンコイル
３をタングステン製のボート本体部分１の材料融
解部２の外側に遊嵌した（第１〜２図参照）。
タングステンの撚線を巻いて内径15mmのタングス
テンコイル３を作製し、このタングステンコイル
３をタングステン製のボート本体部分１の材料融
解部２の外側に遊嵌した（第１〜２図参照）。
上記の蒸着材料融解用ボートにおいて、そのボ
ート本体部分１は従来からこの種用途に使用され
てきたボートと同様のもので、タングステン製の
長方形状のプレートの中央部を凹ばせて材料融解
部２としたもので、材料融解部２の開口部の幅は
14mm、深さは２mmであり、この材料融解部２をタ
ングステンコイル３の輪の中に配置したとき、コ
イル３と材料融解部２との間には寸法的に少し余
裕がある。
ート本体部分１は従来からこの種用途に使用され
てきたボートと同様のもので、タングステン製の
長方形状のプレートの中央部を凹ばせて材料融解
部２としたもので、材料融解部２の開口部の幅は
14mm、深さは２mmであり、この材料融解部２をタ
ングステンコイル３の輪の中に配置したとき、コ
イル３と材料融解部２との間には寸法的に少し余
裕がある。
このボートのタングステンコイル３を浮かせ塊
状のリチウム４をコイル３をくぐらせてボート本
体部分１の材料融解部２に入れ（第３図参照）、
常法により加熱してリチウムを融解させ、蒸着を
行なつた。
状のリチウム４をコイル３をくぐらせてボート本
体部分１の材料融解部２に入れ（第３図参照）、
常法により加熱してリチウムを融解させ、蒸着を
行なつた。
融解の間、材料融解部２からのリチウム４の飛
び出しはなかつた。
び出しはなかつた。
リチウム４の融解後、タングステンコイル３は
第４図に示すように自重によりその一部が融解し
たリチウム４中に沈み、その際、リチウム表面の
酸化皮膜は破られ、表面張力によつてその周囲す
なわち材料融解部２の周壁上端部近傍に集まり、
中央部には清浄なリチウム面があらわれ、蒸着は
スムーズに進行した。なお、リチウム４は融解後
も表面張力によりその上端部はボートの材料融解
部２の上端部より盛り上がつていた。
第４図に示すように自重によりその一部が融解し
たリチウム４中に沈み、その際、リチウム表面の
酸化皮膜は破られ、表面張力によつてその周囲す
なわち材料融解部２の周壁上端部近傍に集まり、
中央部には清浄なリチウム面があらわれ、蒸着は
スムーズに進行した。なお、リチウム４は融解後
も表面張力によりその上端部はボートの材料融解
部２の上端部より盛り上がつていた。
上記のようにしてリチウムの蒸着を20回繰り返
したが、融解時のリチウムの飛び出しがなく、ま
た酸化皮膜による蒸着の遅延などがまつたくなか
つた。
したが、融解時のリチウムの飛び出しがなく、ま
た酸化皮膜による蒸着の遅延などがまつたくなか
つた。
なお、実施例ではコイルを用いたが、コイルに
代えてリングを用いても様の効果が奏される。
代えてリングを用いても様の効果が奏される。
本考案の蒸着材料融解用ボートは、その適用範
囲が特定のものに限られることはないが、特にリ
チウム、ナトリウムなどのアルカリ金属やマグネ
シウムなどのアルカリ土類金属など酸化を受けや
すい金属の蒸着に使用した場合に顕著な効果が奏
される。
囲が特定のものに限られることはないが、特にリ
チウム、ナトリウムなどのアルカリ金属やマグネ
シウムなどのアルカリ土類金属など酸化を受けや
すい金属の蒸着に使用した場合に顕著な効果が奏
される。
以上説明したように、本考案によれば蒸着材料
の融解時、材料融解部からの蒸着材料の飛び出し
が防止され、かつ融解した蒸着材料の表面に生成
した酸化皮膜が破られ、酸化皮膜による蒸発速度
の低下が抑制され、蒸着がスムーズに進行する。
の融解時、材料融解部からの蒸着材料の飛び出し
が防止され、かつ融解した蒸着材料の表面に生成
した酸化皮膜が破られ、酸化皮膜による蒸発速度
の低下が抑制され、蒸着がスムーズに進行する。
第１〜４図は本考案の蒸着材料融解用ボートの
一実施例を示すもので、第１図は側面図、第２図
は平面図であり、第３図はボートの材料融解部に
塊状のリチウムを入れた状態の縦断面図、第４図
は材料融解部に入れたリチウムの融解後の状態を
示す縦断面図である。第５〜７図は従来の蒸着材
料融解用ボートを示すもので、第５図は側面図、
第６図は平面図、第７図は第６図のＸ−Ｘ線にお
ける断面図である。 １……ボート本体部分、２……材料融解部、３
……タングステンコイル、４……リチウム。
一実施例を示すもので、第１図は側面図、第２図
は平面図であり、第３図はボートの材料融解部に
塊状のリチウムを入れた状態の縦断面図、第４図
は材料融解部に入れたリチウムの融解後の状態を
示す縦断面図である。第５〜７図は従来の蒸着材
料融解用ボートを示すもので、第５図は側面図、
第６図は平面図、第７図は第６図のＸ−Ｘ線にお
ける断面図である。 １……ボート本体部分、２……材料融解部、３
……タングステンコイル、４……リチウム。
Claims (1)
- ボート本体部分の材料融解部の外側に遊嵌する
蒸着材料押え用のリングまたはコイルを備えたこ
とを特徴とする蒸着材料融解用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18597583U JPS6093755U (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | 蒸着材料融解用ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18597583U JPS6093755U (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | 蒸着材料融解用ボ−ト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6093755U JPS6093755U (ja) | 1985-06-26 |
| JPS6332131Y2 true JPS6332131Y2 (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=30401827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18597583U Granted JPS6093755U (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | 蒸着材料融解用ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6093755U (ja) |
-
1983
- 1983-12-01 JP JP18597583U patent/JPS6093755U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6093755U (ja) | 1985-06-26 |
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