JPS6332554A - 除去可能な薄膜およびその使用方法 - Google Patents

除去可能な薄膜およびその使用方法

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JPS6332554A
JPS6332554A JP62169582A JP16958287A JPS6332554A JP S6332554 A JPS6332554 A JP S6332554A JP 62169582 A JP62169582 A JP 62169582A JP 16958287 A JP16958287 A JP 16958287A JP S6332554 A JPS6332554 A JP S6332554A
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frame
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thin film
plane
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    • G—PHYSICS
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の製造に用いるホトマスク用の除去
しうる薄膜装着に関する。
〔従来の技術〕
ホトマスクから基体へのパターンの移動を光源にマスク
を露光することにより行うことは知られている。ホトマ
スク上のパターンが、予め感光均質で処理されている基
体に投映される。マスク表面上の異物質は基体に移され
る正しいパターンに干渉しうる。
マスク表面の粒子による表面汚染をなくすためにペリク
ルとして知られる枠付きの薄膜がマスク表面に装着され
、マスク表面に通常付着する汚れがペリクルによりその
表面から隔てられるようになっている。このフレームは
マスク表面から十分間隔をとって膜を支持し、それによ
り膜上の粒子はリトグラフ処理中焦点はずれとなり、そ
れ数基体には投映されない。
〔発明が解決しようとする問題点〕
現在、ペリクルは両面接着材によりマスク表面に直接装
着されている。ベリシルを代える必要がある場合にはベ
リシル全体をマスクからとりはずす。接着材はしばしば
マスク表面に残留するから洗浄剤の使用が必要になる。
しかしながらこれは汚れを増加させる。それ故洗浄処理
後にマスクを再検査してその本来の品質が洗浄により影
響を受けていないことを確認する必要がある。これらす
べてが時間、費用およびマスクの潜在的損傷の可能性の
点でベリシル交換費用を増大させる。
〔間順点を解決するための手段〕
本発明はフリースタンド薄膜用の組合せフレームを提供
することにより上記問題を解決する。このフレームは第
１フレーム部材と、この′：ｊＸｌフレーム部材を、動
作領域が平面に限定されるようにその平面に装着する手
段と、この薄膜を周辺的に支持する第１側部を有する第
２フレーム部材と、この膜が動作面を保護しカバーする
ように第２フレーム部材の第２側部を第１フレーム部材
に除去しうるように装着する手段と、からなる。
本発明はペリクルを使用する方法にも関しており、これ
は第１フレーム部材を、動作面が平面」−に限定される
ようにその平面に装着する段階、および動作面か枠つき
薄膜またはペリシルにより保護されるように第１フレー
ム部材にペリシルを除去しうるように装着する段階から
なる。
〔作　用〕
ペリシルを交換したいときには、それを第１フレーム部
材から切離しそして新しいペリシルをそこに装着すれば
よい。第１ブーム部材はべりシルが接着剤により平面に
直接固定される必要のないように平面上に残る。
〔実施例〕
第１−３図において、組合せフレーム１０は従来のホト
マスク１２に装着されるようになっている。但しホトマ
スクの詳細は示していない。フレーム１０は第１フレー
ム部材１４、第２フレーム部材１６および薄膜１８から
なる。膜１８はその周辺において第２フレーム部材１６
の第１、すなわち上側部３２に永久的にシールされてお
り、そしてこの第２フレーム部材と膜の組立体をここで
はペリシルと呼ぶ。
第２．３図は第２フレーム部材１６が第１フレーム部材
１４におさまり、そしてこれら両部材が相補的形状をな
していることを示している。両部材１４．１６は図示の
ような円形である必要はあるいは実質的に同様の形状で
ある必要もない。要するに両部材の形状は係合しうるよ
うに互いに相補的であればよい。第３図の実施例では第
１フレーム部材］４は一般に−に向きの部分２４と横向
きの部分２６からなる第１の上側部２２を含む。上向き
部分２４はホトマスク１２から離れており、横向き部分
２６はフレーム１０とホトマスク１２の間に限定される
動作領域２８から離れている。
第１フレーム部材１４はまたホトマスク１２に装着され
る第２の下側部３０を有する。
第２フレーム部材１６は第１の上側部３２と第２の下側
部３４を有し、上側部３２には膜１８か接着によりシー
ルされて装着され、下側部３４は横向内向き部分３６と
下向き部分３８を有する。
第１および第２フレーム部材１４．１６間の係合は通常
動作領域２８に対し気密シールを与えるが、その係合が
そこを通って粒子か入り得ないように密であれば気密シ
ールは不要である。図示の例は、動作領域２８に入るに
は粒子は第１フレーム部材１４の」二向部２４と第２フ
レーム部材１６の下向き部の間のはＶ水平の界面４０、
そして第１および第２フレーム部材１４．１６の横向き
部２６．３６間のはＶ垂直の界面４２を通らねばならな
いようになっているから好適である。この例の他の利点
は第１および第２フレーム部材間の実際の係合あるいは
シール手段が水平の界面４０に沿っており、それ故、こ
のシール手段により発生する粒子は直接動作領域２８に
入れず、動作領域に入る前に垂直の界面４２に沿って動
かねばならないということである。
第１および第２フレーム部材１４．１６間のシールは両
部材間に永久係合を与えるものではない。
他方第１フレーム部材はホトマスク１２に固定されるよ
うになっている。この形式の組合せ装着により、ペリシ
ルはホトマスクへのその実際のシールを再びつくること
なく除去しそして交換しつる。
第２．３図の実施例では本発明に必要な除去しうるシー
ルを与えるべく水平界面４０に沿って弱い除去しうる接
着剤４４が設けである。そのようなシールにより、第２
フレーム部材１６とそれにより支持される膜１８は欠刻
４６に沿って第２フレーム部材に係合する除去工具を用
いることにより第１フレーム部材１４から除去出来る。
第４図に示すように、機械的係合装置を第１および第２
フレーム部材１４．１６間に用いてもよい。そのような
装置の一例はねじピン５２のようなものである。その場
合、第１および第２フレーム部材１４．１６はねじピン
５２に合った寸法のねじ部５４．５６を夫々有する。ね
じピン５２以外にも、第１および第２フレーム部材１４
．１６間に伸びるばね偏倚されたピン（図示せず）を用
いると有利なこともある。
第１および第２フレーム部材１４．１６間の水平界面４
０をシールするための他の手段を第５図に示す。この例
では両面テープ片４８．５０が界面４０に置かれる。夫
々の両面接告テープ片は夫々のフレーム部材に隣接する
側が他方のテープ片に隣接する側のそれより強い接着性
をもつようにされている。それ故、第２フレーム部材１
６を第１フレーム部材１４から引きはがすとき、シール
が両テープ片間において破壊されそしてそれらが接着し
ている部材からはいずれのテープ片もはがれないように
なる。従来の両面テープを使用することが出来、その例
はフリスクブロダクツ社の「フリスフフィルム」あるい
は３Ｍカンパニ社の「スコッチブランド、マジックプラ
スリムーバルトランスピアレントテーブ」である。他の
例とし′　　では３Ｍ社のｒ７２１Ｊまたはｒ７２３Ｊ
またはモルガンアドヘシブ社の「マクタック２９０４Ｊ
である。
第１フレーム部材１４とホトマスク１２の間の装着は、
この部材がそれと第２フレーム部材との間の係合が破壊
されてもホトマスク１２上に残らねばならぬものである
ため非常に強くなくてはならない。この係合は通常節２
，３図に５８で示すような強力両面接着テープからなる
。このテープは従来のものであり、第１および第２フレ
ーム部材間にあるものより強い接着性を与えねばならぬ
点を除き上述の形式のものでよい。
運送中およびホトマスク１２への組合せフレーム１０の
装着前に、フレーム１０の内部は出来るだけ清潔でほこ
りのない状態に維持されていなければならない。この構
造の下側に沿って保護カバー６０を与えることによりこ
れを行うことが出来るのであり、このようなカバーにつ
いては米国出願番号０６１５２７２５１に詳細に説明し
である。
このように、工場においてフレーム１０を組立てる際に
保護カバー６０が第１フレーム部材１４の第２の側部３
０に与えられてフレーム１０の内部領域６１をシールす
る。接着剤６２が製造組立中領域６１に入った粒子がそ
こに付着するように、保護カバー６０の上または下面に
与えられるべきである。
第１フレーム部材３０の第２の下側部と保護カバー６０
の間の接着はホトマスク１２へのフレーム１０の装着前
に破壊されねばならないから、カバーと第１フレーム部
材との間には成る種の解放手段を設けるとよい。第５図
に６４で示すこの手段は一般に両面に解放剤を塗布した
ポリエステルのライナの形をしている。適当な解放剤と
しては３Ｍ社の７２１または７２３剤がある。あるいは
この解放剤をカバーを第１フレーム部材の間に用いても
よい。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明によればペリンルの交換にお
けるマスクの汚れがなくまたそれを簡単に行うことが出
来、経済的に極めて有利である。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の１実施例の平面図、第２図は第１図の
２−２における断面図、第３図は第１゜２図の実施例の
拡大断面図、第４図は他の実施例の拡大断面図、第５図
は他の実施例の拡大断面図である。 １０・・組合せフレーム、１２・・・ホトマスク、１４
・・・第１フレームｇ（Ｈ’ｔ、１６・・・第２フレー
ム部材、１８・・薄膜、２８・・・動作領域、４４．６
２・・・接着剤、５２・・・ねじピン、４８．５０・・
・両面接着テープ、６０・・カバー、６４・・・解放手
段。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、第１フレーム部材、このフレーム部材内の平面に動
    作領域が限定されるようにこの第１フレーム部材をその
    平面に装着する手段、薄膜を周辺的に支持する第１側部
    および第２側部を有する第２フレーム部材、上記薄膜が
    上記動作領域を保護すると共にそれを覆うように上記第
    ２フレーム部材の上記第２側部を上記第１フレーム部材
    に除去しうるように装着するための手段、からなる保護
    薄膜用組立フレーム。 ２、前記動作領域面積は装着されるべき薄膜の表面積以
    上である特許請求の範囲第１項記載のフレーム。 ３、前記フレーム部材は対応する形状をもち、これが一
    般に装着されるべき薄膜の周辺に合致しそして前記動作
    領域を囲むごとくなった特許請求の範囲第１項または第
    ２項記載のフレーム。 ４、前記装着手段および除去しうるように装着する手段
    は夫々気密シールを与えるごとくなった特許請求の範囲
    第１項記載のフレーム。 ５、前記第２フレーム部材を第１フレーム部材に除去し
    うるように装着する手段は第１の両面接着テープ片から
    なり、このテープ片は上記第１フレーム部材に装着され
    る第１側部と第１フレーム部材に面する第２の側部を有
    し、第１側部の接着度が第２側部により与えられる接着
    度より強くなっている特許請求の範囲第１項記載のフレ
    ーム。 ６、前記第２フレーム部材を第１フレーム部材に除去し
    うるように装着する手段は更に第２の両面接着テープ片
    を有し、このテープ片は第２フレーム部材に装着される
    第１側部と上記第１テープ片の第２側部に装着される第
    ２側部を有し、両テープ片間の接着度が第１フレーム部
    材と第１テープ片との間のそれより小さくなっている特
    許請求の範囲第５項記載のフレーム。 ７、前記第２フレーム部材を第１フレーム部材に除去し
    うるように装着する手段は機械的固定手段である特許請
    求の範囲第１項記載のフレーム。 ８、前記機械的固定手段は前記第１および第２フレーム
    部材を選択的に係合させる複数のピン状部材からなる特
    許請求の範囲第７項記載のフレーム。 ９、前記第２フレーム部材により周辺で支持される保護
    膜を更に有する特許請求の範囲第１項記載のフレーム。 １０、薄膜、この膜の動作面に対応する動作領域を囲み
    、それを限定する第１フレーム部材、第１フレーム部材
    に対応する形状をもつ第２フレーム部材、上記膜を上記
    第２フレーム部材の第１側部に周辺的に装着するための
    手段、上記第２フレーム部材の第２側部を第１フレーム
    部材の第１側部に除去しうるように装着する手段、から
    なる枠ぎめされたフリースタンド薄膜。 １１、前記第１フレーム部材は更にその第２側部を平面
    に装着する手段を有する特許請求の範囲第１０項記載の
    薄膜。 １２、前記第１フレーム部材を平面に装着する手段は両
    面接着テープからなり、このテープは第１フレーム部材
    に装着される第１側部を有しており、更に、この両面接
    着テープの第２側部に除去しうるように装着される第１
    側部を有するライナと、このライナの第２側部に除去し
    うるように装着されると共に前記薄膜の形にほゞ一致し
    て平面に装着する前の上記組立フレームと薄膜を保護す
    る保護カバーとを有するごとくなった特許請求の範囲第
    １１項記載の薄膜。 １３、更に前記第１フレーム部材の第２側部に除去しう
    るように装着されるようになった、前薄膜の形状にほゞ
    一致する形状を有するこの膜の保護のための保護カバー
    を有する特許請求の範囲第１０項記載の薄膜。 １４、前記第１フレーム部材の第２側部は次にそれを平
    面に装着するための両面接着手段を有し、そして前記保
    護カバーが上記接着手段に除去しうるように装着される
    手段を有するごとくなった特許請求の範囲第１３項記載
    の薄膜。 １５、前記保護カバーは前記薄膜に面する集塵接着面を
    有する特許請求の範囲第１２、１３または１４項記載の
    薄膜。 １６、前記第１フレーム部材は前記平面から離れてそれ
    に面する上向き部分と、前記動作領域から離れてそれに
    面する横向き部分を有し、前記第２フレーム部材は両フ
    レーム部材が互いに装着されるとき上記上向き部分を相
    補しそしてそれに面する下向き部分と第１フレーム部材
    の横向き部分を相補しそしてそれに面する横向き部分を
    有するごとくなった特許請求の範囲第１項または第１１
    項記載の装置。 １７、前記第１および第２フレーム部材が互いに装着さ
    れそして第１フレームが前記平面に装着されたとき前記
    上向きおよび下向き部分は前記平面にほゞ平行であり、
    前記横向き部分は上記平面にほゞ垂直である特許請求の
    範囲第１６項記載の装置。 １８、第１フレーム部材を動作領域がそれにより囲まれ
    てその内側のホトマスク上に限定されるようにホトマス
    ク表面に装着し、この動作面が薄膜により保護されるよ
    うにその薄膜を第１フレーム部材に除去しうるように装
    着し、第１フレームを上記平面上に維持しながら第１フ
    レームから薄膜を除去しそして第１フレームに代りの薄
    膜を除去しうるように装着することよりなる、薄膜の使
    用方法。
JP62169582A 1986-07-07 1987-07-07 除去可能な薄膜およびその使用方法 Pending JPS6332554A (ja)

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US06/882,772 US4737387A (en) 1986-07-07 1986-07-07 Removable pellicle and method
US882772 1986-07-07

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JPS6332554A true JPS6332554A (ja) 1988-02-12

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