JPS633281B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS633281B2 JPS633281B2 JP54123014A JP12301479A JPS633281B2 JP S633281 B2 JPS633281 B2 JP S633281B2 JP 54123014 A JP54123014 A JP 54123014A JP 12301479 A JP12301479 A JP 12301479A JP S633281 B2 JPS633281 B2 JP S633281B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- optical system
- glass
- optical
- multilayer film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3447—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide
- C03C17/3452—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide comprising a fluoride
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Description
本発明は化学耐久性に劣るガラスから成る光学
素子表面上に多層膜を形成した光学系の改良に関
する。 従来、光学素子例えばレンズ、ミラーの材質と
して光学設計上、化学耐久性の劣つたガラス例え
ばSK１６、LaK１３等がしばしば用いられる。
一般にこれらガラスの屈折率は1.60乃至1.70のも
のが多い。 ところで多層膜は特開昭52−60142号公報に知
られるように複写機等において感光体の分光感度
特性と光源の分光波特性の重畳された分光特性が
短波長側若しくは長波長側に偏るのを補正しほぼ
一様な分光特性とするために用いられる。 一般にセレン系感光体では短波長側に、また
CdS系感光体では長波長側に分光特性が偏る。 このような多層膜とりわけ５層以上の多層膜を
SK１６、LaK１３等の化学耐久性の劣るガラス
上に設けると、時間経過と共に膜が剥離された
り、曇りが生じたりするという現象がしばしば起
こり、多層膜を設けたレンズ等の光学素子が耐久
性に欠けるものとなつていた。これは多層膜にお
いてその内部応力や吸湿性、更に膜を構成する膜
材料等の影響により基板となるガラス表面が侵さ
れ易くなるためである。 本発明は上記問題点を解決し、化学耐久性の向
上した光学系を提供することを目的とする。 この目的はSK１６、LaK１３等のガラス表面
に透明な酸化アルミニウム層を真空蒸着法、スパ
ツタリング等で蒸着し、その上に従来の多層膜を
形成させることによつて達成される。 以下、本発明を添附する図面を用いて詳細に説
明する。 第１図は本発明に係わる光学系の一実施例であ
る。SK１６、LaK１３等、化学耐久性に劣るガ
ラス基板１の上には透明な単層の酸化アルミニウ
ム層１′が蒸着される。酸化アルミニウムの屈折
率は1.65でSK１６の1.62、LaK１３の1.69にほぼ
等しい。酸化アルミニウム層１′の上には表に
示される従来通りの多層膜２乃至１４即ち高屈折
率誘電体層と低屈折率誘電体層が高屈折率層から
始まるように交互に積層される。高屈折率誘電体
層としてはCeO2、ZrO2、TiO2等がまた低屈折率
誘電体層としてはMgF2、SiO2等がある。表にお
いてλは設計波長である。 化学耐久性に劣るSK１６，LaK１３等のガラ
ス表面は蒸着される酸化アルミニウム膜によつて
保護され化学耐久性が向上するがこれは酸化アル
ミニウムの次のような性質による。 (i) 蒸着膜を形成したときに膜がポーラスでなく
緻密ある。 (ii) 強度、特に硬度及び密着性の高いもので化学
的に安定である。 (iii) 屈折率が基板となるガラスの屈折率にほぼ等
しくその上に形成される多層膜の光学特性に影
響を与えない。 このような酸化アルミニウム膜は少なとも100
Å以上の厚さが適当である。 第２図ＡはLaK１３を基板とするレンズ表面
に高屈折率誘電体層としてCeO2層をまた低屈折
率誘電体層としてMgF2層を、高屈折率層から始
まる13層の交互層とした従来の光学系の光学特性
（曲線ｂ）と、LaK１３上に酸化アルミニウム層
を蒸着しその上に従来の13層の交互層をそのまま
形成させた本発明に係わる光学系の一実施例の光
学特性（曲線ａ）を比較したものである。ここで
縦軸は透過率（％）であり横軸は波長（ｍμ）で
ある。これより両者の光学特性にほとんど差異が
無いことが明らかである。これは当該ガラスの屈
折率と酸化アルミニウムの屈折率の間に大きな差
がなくほぼ等しいことによる。第２図Ａでは短波
長側で透過率が落ちており複写機等でセレン系の
感光体を用いるときに適するがCdS系の感光体に
適用させるには長波長側で透過率の落ちるような
多層膜を用いれば良い。このようにガラス基板と
従来の多層膜の第１層との間にサンドイツチされ
た酸化アルミニウム層により化学耐久性が向上す
ることは耐環境テストとして温度45℃、湿度95％
の条件のもとで200時間放置した結果、従来のま
まの光学系では曇りの現象が発生し透過率が低下
したのに対し本発明に係わる光学系においては曇
りも発生せず透過率にも問題ないという良好な結
果によつて実証された。これは酸化アルミニウム
層が極めて緻密であるため蒸気等のガス体の通過
を阻止し化学耐久性に劣るガラス（SK１６、
LaK１３等）を保護すると共に酸化アルミニウ
ム層自体が化学的に安定で侵されにくく該ガラス
に蒸着したときにガラスとの密着性が良いためで
ある。同様の結果は表に示す光学系についても
確認された。なお第２図Ｂは表に示す光学系に
おける光学特性の従来例との比較であるが両者に
やはり差はない。曲線ｃは本発明に係わるもの
で、曲線ｄは従来の光学系の光学特性を示す。 第３図は本発明を複写機に応用した系の説明図
である。 原稿１６は照明光源１７によつてスリツト状に
照明され、原稿光は物界側反射鏡１９，２０で反
射されレンズ２１によつて像界側反射鏡２２で反
射されてドラム２３上に結像される。ここでレン
ズ２１には表、表のような多層膜が蒸着され
ている。本発明に係わる光学系はレンズ２１、物
界側反射鏡１９，２０、像界側反射鏡２２の各表
面に形成され得る。即ち透過型の光学系ばかりで
なく反射型の光学系にも適用できる。 以上本発明によれば化学耐久性に劣るガラスを
基板とする多層膜から成る光学系を化学耐久性に
優れたものとし且つ従来の光学特性に影響を与え
ないものとすることができる。
素子表面上に多層膜を形成した光学系の改良に関
する。 従来、光学素子例えばレンズ、ミラーの材質と
して光学設計上、化学耐久性の劣つたガラス例え
ばSK１６、LaK１３等がしばしば用いられる。
一般にこれらガラスの屈折率は1.60乃至1.70のも
のが多い。 ところで多層膜は特開昭52−60142号公報に知
られるように複写機等において感光体の分光感度
特性と光源の分光波特性の重畳された分光特性が
短波長側若しくは長波長側に偏るのを補正しほぼ
一様な分光特性とするために用いられる。 一般にセレン系感光体では短波長側に、また
CdS系感光体では長波長側に分光特性が偏る。 このような多層膜とりわけ５層以上の多層膜を
SK１６、LaK１３等の化学耐久性の劣るガラス
上に設けると、時間経過と共に膜が剥離された
り、曇りが生じたりするという現象がしばしば起
こり、多層膜を設けたレンズ等の光学素子が耐久
性に欠けるものとなつていた。これは多層膜にお
いてその内部応力や吸湿性、更に膜を構成する膜
材料等の影響により基板となるガラス表面が侵さ
れ易くなるためである。 本発明は上記問題点を解決し、化学耐久性の向
上した光学系を提供することを目的とする。 この目的はSK１６、LaK１３等のガラス表面
に透明な酸化アルミニウム層を真空蒸着法、スパ
ツタリング等で蒸着し、その上に従来の多層膜を
形成させることによつて達成される。 以下、本発明を添附する図面を用いて詳細に説
明する。 第１図は本発明に係わる光学系の一実施例であ
る。SK１６、LaK１３等、化学耐久性に劣るガ
ラス基板１の上には透明な単層の酸化アルミニウ
ム層１′が蒸着される。酸化アルミニウムの屈折
率は1.65でSK１６の1.62、LaK１３の1.69にほぼ
等しい。酸化アルミニウム層１′の上には表に
示される従来通りの多層膜２乃至１４即ち高屈折
率誘電体層と低屈折率誘電体層が高屈折率層から
始まるように交互に積層される。高屈折率誘電体
層としてはCeO2、ZrO2、TiO2等がまた低屈折率
誘電体層としてはMgF2、SiO2等がある。表にお
いてλは設計波長である。 化学耐久性に劣るSK１６，LaK１３等のガラ
ス表面は蒸着される酸化アルミニウム膜によつて
保護され化学耐久性が向上するがこれは酸化アル
ミニウムの次のような性質による。 (i) 蒸着膜を形成したときに膜がポーラスでなく
緻密ある。 (ii) 強度、特に硬度及び密着性の高いもので化学
的に安定である。 (iii) 屈折率が基板となるガラスの屈折率にほぼ等
しくその上に形成される多層膜の光学特性に影
響を与えない。 このような酸化アルミニウム膜は少なとも100
Å以上の厚さが適当である。 第２図ＡはLaK１３を基板とするレンズ表面
に高屈折率誘電体層としてCeO2層をまた低屈折
率誘電体層としてMgF2層を、高屈折率層から始
まる13層の交互層とした従来の光学系の光学特性
（曲線ｂ）と、LaK１３上に酸化アルミニウム層
を蒸着しその上に従来の13層の交互層をそのまま
形成させた本発明に係わる光学系の一実施例の光
学特性（曲線ａ）を比較したものである。ここで
縦軸は透過率（％）であり横軸は波長（ｍμ）で
ある。これより両者の光学特性にほとんど差異が
無いことが明らかである。これは当該ガラスの屈
折率と酸化アルミニウムの屈折率の間に大きな差
がなくほぼ等しいことによる。第２図Ａでは短波
長側で透過率が落ちており複写機等でセレン系の
感光体を用いるときに適するがCdS系の感光体に
適用させるには長波長側で透過率の落ちるような
多層膜を用いれば良い。このようにガラス基板と
従来の多層膜の第１層との間にサンドイツチされ
た酸化アルミニウム層により化学耐久性が向上す
ることは耐環境テストとして温度45℃、湿度95％
の条件のもとで200時間放置した結果、従来のま
まの光学系では曇りの現象が発生し透過率が低下
したのに対し本発明に係わる光学系においては曇
りも発生せず透過率にも問題ないという良好な結
果によつて実証された。これは酸化アルミニウム
層が極めて緻密であるため蒸気等のガス体の通過
を阻止し化学耐久性に劣るガラス（SK１６、
LaK１３等）を保護すると共に酸化アルミニウ
ム層自体が化学的に安定で侵されにくく該ガラス
に蒸着したときにガラスとの密着性が良いためで
ある。同様の結果は表に示す光学系についても
確認された。なお第２図Ｂは表に示す光学系に
おける光学特性の従来例との比較であるが両者に
やはり差はない。曲線ｃは本発明に係わるもの
で、曲線ｄは従来の光学系の光学特性を示す。 第３図は本発明を複写機に応用した系の説明図
である。 原稿１６は照明光源１７によつてスリツト状に
照明され、原稿光は物界側反射鏡１９，２０で反
射されレンズ２１によつて像界側反射鏡２２で反
射されてドラム２３上に結像される。ここでレン
ズ２１には表、表のような多層膜が蒸着され
ている。本発明に係わる光学系はレンズ２１、物
界側反射鏡１９，２０、像界側反射鏡２２の各表
面に形成され得る。即ち透過型の光学系ばかりで
なく反射型の光学系にも適用できる。 以上本発明によれば化学耐久性に劣るガラスを
基板とする多層膜から成る光学系を化学耐久性に
優れたものとし且つ従来の光学特性に影響を与え
ないものとすることができる。
【表】
【表】
【表】
第１図は本発明に係わる光学系の一実施例図、
第２図Ａ，Ｂは分光特性における従来例との比較
図、第３図は本発明を複写機に適用した系の説明
図である。 図中 １…ガラス、１′…酸化アルミニウム層、
２，４，６，……，１４…高屈折率誘電体層、
３，５，７，……，１３…低屈折率誘電体層。
第２図Ａ，Ｂは分光特性における従来例との比較
図、第３図は本発明を複写機に適用した系の説明
図である。 図中 １…ガラス、１′…酸化アルミニウム層、
２，４，６，……，１４…高屈折率誘電体層、
３，５，７，……，１３…低屈折率誘電体層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 化学耐久性に劣る屈折率が1.60乃至1.70であ
るガラスから成る光学素子表面上に多層膜を形成
した光学系において、前記光学素子表面と多層膜
の第１層との間に前記ガラスの屈折率と略等しい
屈折率をもつ酸化アルミニウム層が蒸着されるこ
とを特徴とする光学系。 ２ 光学素子が透過型レンズである特許請求の範
囲第１項記載の光学系。 ３ 多層膜が誘電体層から成り第１層を含む奇数
番目層が高屈折率誘電体層であり、偶数番目層が
低屈折率誘電体層である特許請求の範囲第１項記
載の光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12301479A JPS5647001A (en) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | Optical system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12301479A JPS5647001A (en) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | Optical system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5647001A JPS5647001A (en) | 1981-04-28 |
| JPS633281B2 true JPS633281B2 (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=14850097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12301479A Granted JPS5647001A (en) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | Optical system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5647001A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59155201U (ja) * | 1983-04-05 | 1984-10-18 | 株式会社ダイフク | 搬送台車用車輪 |
| JPH0528703U (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-16 | ケンサンリース株式会社 | 作業車用車輪 |
| JP5685337B1 (ja) * | 2014-05-02 | 2015-03-18 | 山田医療照明株式会社 | 照明装置及び照明装置の製造方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5133750B2 (ja) * | 1972-04-17 | 1976-09-21 | ||
| DE2219319A1 (de) * | 1972-04-20 | 1973-08-23 | Eos Elektrogeraetewerk W Guent | Elektro-heizgeraet |
| CH557546A (de) * | 1972-10-19 | 1974-12-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | Aus einer mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzen (lambda)/4-schichten bestehender reflexionsvermindernder belag. |
| JPS501215A (ja) * | 1973-05-11 | 1975-01-08 | ||
| JPS5438904B2 (ja) * | 1973-10-15 | 1979-11-24 | ||
| JPS50117812A (ja) * | 1974-03-04 | 1975-09-16 | ||
| JPS5359442A (en) * | 1976-10-14 | 1978-05-29 | Seiko Epson Corp | Tripple layer antireflection film |
| JPS5390316A (en) * | 1977-01-20 | 1978-08-09 | Nippon Chemical Ind | Reflectionnproof film |
-
1979
- 1979-09-25 JP JP12301479A patent/JPS5647001A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5647001A (en) | 1981-04-28 |
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