JPS633475B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS633475B2 JPS633475B2 JP53140651A JP14065178A JPS633475B2 JP S633475 B2 JPS633475 B2 JP S633475B2 JP 53140651 A JP53140651 A JP 53140651A JP 14065178 A JP14065178 A JP 14065178A JP S633475 B2 JPS633475 B2 JP S633475B2
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- JP
- Japan
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- discharge
- voltage
- circuit
- trigger
- paths
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- Expired
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/083—Ring lasers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は放電路を二系統以上有するガスレーザ
装置に関する。
装置に関する。
従来のガスレーザ装置に使用されていた回路の
概略を第１図に示す。第１図で、レーザ管１はア
ノード３，４とカソード５を有し、二系統の放電
路を有する。また、高圧電源１０，１１のそれぞ
れの一つの出力端にトリガ回路８，９とバラスト
抵抗６，７を通して、アノード３，４が接続され
ている。
概略を第１図に示す。第１図で、レーザ管１はア
ノード３，４とカソード５を有し、二系統の放電
路を有する。また、高圧電源１０，１１のそれぞ
れの一つの出力端にトリガ回路８，９とバラスト
抵抗６，７を通して、アノード３，４が接続され
ている。
高圧電源１０，１１でレーザ管１のそれぞれの
放電路の放電維持電圧を発生させ、トリガ回路
８，９それぞれにトリガ電圧を発生させると、そ
れぞれの放電路は放電開始する。放電開始により
トリガ電圧はひとりでに消失し、そしてバラスト
抵抗６，７の負帰還作用により放電電流を安定化
している。
放電路の放電維持電圧を発生させ、トリガ回路
８，９それぞれにトリガ電圧を発生させると、そ
れぞれの放電路は放電開始する。放電開始により
トリガ電圧はひとりでに消失し、そしてバラスト
抵抗６，７の負帰還作用により放電電流を安定化
している。
しかし、レーザ管１には前記の正規の２放電路
以外にレーザ管１アノード３，４間の第３の放電
路があるため、この第３の放電路が放電しても、
トリガ電圧はひとりでに消失し、いかにも正規の
２放電路が放電したような状態になる。そうする
と、アノード３，４のいずれかがカソードとなる
ため、電極はスパツタし、レーザ管１を破損する
ことになり、またもちろんレーザ発振出力２も減
少し停止する。
以外にレーザ管１アノード３，４間の第３の放電
路があるため、この第３の放電路が放電しても、
トリガ電圧はひとりでに消失し、いかにも正規の
２放電路が放電したような状態になる。そうする
と、アノード３，４のいずれかがカソードとなる
ため、電極はスパツタし、レーザ管１を破損する
ことになり、またもちろんレーザ発振出力２も減
少し停止する。
本発明の目的は、前記欠点を改善し、２放電路
に正常な放電を開始、維持し、安定なレーザ発振
出力を得ることができるガスレーザ装置を提供す
ることにある。
に正常な放電を開始、維持し、安定なレーザ発振
出力を得ることができるガスレーザ装置を提供す
ることにある。
本発明は放電路を二系統以上有するレーザ管と
各放電路に高圧を供給する電源と、トリガー回路
を有するガスレーザ装置において、放電路ごとに
光検出回路を設け、かつこれら放電路の放電光を
検出後トリガ回路を制御する放電検出回路を設け
たことを特徴とする。
各放電路に高圧を供給する電源と、トリガー回路
を有するガスレーザ装置において、放電路ごとに
光検出回路を設け、かつこれら放電路の放電光を
検出後トリガ回路を制御する放電検出回路を設け
たことを特徴とする。
以下第２図に例示した実施例について本発明を
説明する。第２図で、レーザ管１はアノード３，
４とカソード５を有し、二系統の放電路を有す
る。また高圧電源１０，１１それぞれの一つの出
力端にバラスト抵抗６，７を通してアノード３，
４が接続されている。また、トリガ回路１７の一
つの出力端に逆流防止ダイオード１２，１３を通
してアノード３，４が接続されている。二系統の
放電路のそれぞれに光検出器２５，２６が設けら
れ、光検出器２５，２６から比較増幅器２３，２
４、抵抗２０，２１ダイオード１４，１５をそれ
ぞれ通して放電検出回路１６の入力に接続する。
さらにこの入力端から抵抗１９と正バイアス電源
１８を介して接地されている。放電検出回路１６
の出力はトリガ回路１７に接続する。
説明する。第２図で、レーザ管１はアノード３，
４とカソード５を有し、二系統の放電路を有す
る。また高圧電源１０，１１それぞれの一つの出
力端にバラスト抵抗６，７を通してアノード３，
４が接続されている。また、トリガ回路１７の一
つの出力端に逆流防止ダイオード１２，１３を通
してアノード３，４が接続されている。二系統の
放電路のそれぞれに光検出器２５，２６が設けら
れ、光検出器２５，２６から比較増幅器２３，２
４、抵抗２０，２１ダイオード１４，１５をそれ
ぞれ通して放電検出回路１６の入力に接続する。
さらにこの入力端から抵抗１９と正バイアス電源
１８を介して接地されている。放電検出回路１６
の出力はトリガ回路１７に接続する。
このような回路構成において、高圧電源１０，
１１にレーザ管１のそれぞれの放電路の放電維持
電圧以上の電圧を発生させると共に、トリガ回路
１７にトリガ電圧を発生させる。そこで、レーザ
管１のアノード４とカソード５間が、アノード３
とカソード５間より早く放電開始したとすると、
光検出器２６の出力電圧は上昇し基準電源２２の
電圧に達するため比較増幅器２４の出力電圧は正
となり、ダイオード１５はオフとなる。放電検出
回路１６の入力端のバイアス電圧は抵抗１９，２
０，２１の値を等しく選んであるため、基準電源
１８の電圧をEcとすると、＋1/3Ecから＋1/2Ec
となり、これではまだトリガ回路１７を停止させ
ることはできず、トリガ回路１７はトリガ電圧の
発生を持続する。そのうち、放電の遅れていたア
ノード３とカソード５間の放電も開始する。その
結果、光検出器２５の出力電圧は上昇し基準電源
２２の電圧に達するため比較増幅器２３の出力電
圧は正となり、ダイオード１４はオフとなるか
ら、放電検出回路１６のバイアスは＋Ecとなり、
したがつてトリガ回路１７の動作を停止させ、ア
ノード３とカソード５の間、およびアノード４と
カソード５の間のそれぞれの放電路は正常に放電
し安定する。また第３の放電路アノード３，４間
の放電ではトリガ回路は停止しないため、アノー
ド３，４間で放電は維持しない。以上のように、
本発明によれば、アノード３，４の電極の劣化、
レーザ管１の破損レーザ発振出力の減少、停止は
生じない。
１１にレーザ管１のそれぞれの放電路の放電維持
電圧以上の電圧を発生させると共に、トリガ回路
１７にトリガ電圧を発生させる。そこで、レーザ
管１のアノード４とカソード５間が、アノード３
とカソード５間より早く放電開始したとすると、
光検出器２６の出力電圧は上昇し基準電源２２の
電圧に達するため比較増幅器２４の出力電圧は正
となり、ダイオード１５はオフとなる。放電検出
回路１６の入力端のバイアス電圧は抵抗１９，２
０，２１の値を等しく選んであるため、基準電源
１８の電圧をEcとすると、＋1/3Ecから＋1/2Ec
となり、これではまだトリガ回路１７を停止させ
ることはできず、トリガ回路１７はトリガ電圧の
発生を持続する。そのうち、放電の遅れていたア
ノード３とカソード５間の放電も開始する。その
結果、光検出器２５の出力電圧は上昇し基準電源
２２の電圧に達するため比較増幅器２３の出力電
圧は正となり、ダイオード１４はオフとなるか
ら、放電検出回路１６のバイアスは＋Ecとなり、
したがつてトリガ回路１７の動作を停止させ、ア
ノード３とカソード５の間、およびアノード４と
カソード５の間のそれぞれの放電路は正常に放電
し安定する。また第３の放電路アノード３，４間
の放電ではトリガ回路は停止しないため、アノー
ド３，４間で放電は維持しない。以上のように、
本発明によれば、アノード３，４の電極の劣化、
レーザ管１の破損レーザ発振出力の減少、停止は
生じない。
第１図は従来のガスレーザ装置の回路構成図、
第２図は本発明のガスレーザ装置の一実施例の回
路構成図である。 １……レーザ管、２……レーザ発振出力、３，
４……アノード、５……カソード、６，７……バ
ラスト抵抗、８，９，１７……トリガ回路、１
０，１１……高圧電源、１２，１３，１４，１５
……ダイオード、１６……放電検出回路、１８，
２２……基準電源、１９，２０，２１……抵抗、
２３，２４……比較増幅器、２５，２６……光検
出器。
第２図は本発明のガスレーザ装置の一実施例の回
路構成図である。 １……レーザ管、２……レーザ発振出力、３，
４……アノード、５……カソード、６，７……バ
ラスト抵抗、８，９，１７……トリガ回路、１
０，１１……高圧電源、１２，１３，１４，１５
……ダイオード、１６……放電検出回路、１８，
２２……基準電源、１９，２０，２１……抵抗、
２３，２４……比較増幅器、２５，２６……光検
出器。
Claims (1)
- １ 放電路を二系統以上有するレーザ管と、複数
の放電路それぞれに高圧を供給する電源と、放電
路のトリガ回路とを有するガスレーザ装置におい
て前記放電路ごとに放電光検出回路と、これらの
各放電路の放電光を検出後前記トリガ回路を制御
する放電検出回路とを設けたことを特徴とするガ
スレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14065178A JPS5567181A (en) | 1978-11-15 | 1978-11-15 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14065178A JPS5567181A (en) | 1978-11-15 | 1978-11-15 | Gas laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5567181A JPS5567181A (en) | 1980-05-21 |
| JPS633475B2 true JPS633475B2 (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=15273599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14065178A Granted JPS5567181A (en) | 1978-11-15 | 1978-11-15 | Gas laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5567181A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4656637A (en) * | 1985-02-14 | 1987-04-07 | Sundstrand Data Control, Inc. | Multiple ring laser gyro power supply |
| US8923356B1 (en) | 2011-10-04 | 2014-12-30 | Kern Technologies, LLC. | Gas laser pre-ionization optical monitoring and compensation |
| US9263849B2 (en) | 2013-12-27 | 2016-02-16 | Gerald L Kern | Impedance matching system for slab type lasers |
| CN109478757B (zh) * | 2016-08-05 | 2021-04-16 | 极光先进雷射株式会社 | 气体激光装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5274772U (ja) * | 1975-12-02 | 1977-06-03 |
-
1978
- 1978-11-15 JP JP14065178A patent/JPS5567181A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5567181A (en) | 1980-05-21 |
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