JPS586142Y2 - 電子銃のウエネルト電源 - Google Patents
電子銃のウエネルト電源Info
- Publication number
- JPS586142Y2 JPS586142Y2 JP17635377U JP17635377U JPS586142Y2 JP S586142 Y2 JPS586142 Y2 JP S586142Y2 JP 17635377 U JP17635377 U JP 17635377U JP 17635377 U JP17635377 U JP 17635377U JP S586142 Y2 JPS586142 Y2 JP S586142Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- bias
- power supply
- wehnelt
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡やその他類似装置用電子銃のウェネ
ルト電源に関するもので詳述すれば電子銃のウェネルト
に別電源によりカットオフ電圧近くのあるいはそれ以上
の電圧を発生させ、該電圧の効果によりフィラメント点
火時の過大なＸ線の発生あるいは過大ビームによる装置
の損傷を防止する回路である。
ルト電源に関するもので詳述すれば電子銃のウェネルト
に別電源によりカットオフ電圧近くのあるいはそれ以上
の電圧を発生させ、該電圧の効果によりフィラメント点
火時の過大なＸ線の発生あるいは過大ビームによる装置
の損傷を防止する回路である。
第１図は従来の所謂セルフバイアス方式のウェネルト電
源装置を示すもので１は陰極、２はウェネルト電極、３
は陽極、４は高圧発生装置を示しである。
源装置を示すもので１は陰極、２はウェネルト電極、３
は陽極、４は高圧発生装置を示しである。
又８はフィラメント電流安定化回路、９はフィラメント
トランス、１１はフィラメント電源である。
トランス、１１はフィラメント電源である。
該高圧発生装置４からの高電圧はセルフバイアス抵抗５
を介して陰極１に与えられており、その電圧降下分がバ
イアス電圧としてウェネルト電極２へ印加される。
を介して陰極１に与えられており、その電圧降下分がバ
イアス電圧としてウェネルト電極２へ印加される。
この様な構成となす時はビーム電流が何等かの影響を受
けて変動した場合それに応じてウェネルト電極２のバイ
アス電圧が変化する為、常に自動的にビーム電流が安定
化されるという優れた効果を有している。
けて変動した場合それに応じてウェネルト電極２のバイ
アス電圧が変化する為、常に自動的にビーム電流が安定
化されるという優れた効果を有している。
しかし乍ら、一般に上記セルフバイアス抵抗５としては
数ＭΩ〜数十ＭΩ、又特殊な場合には数百ＭΩもの高抵
抗が必要である為、高圧電源その他から誘導雑音を拾い
易く、その影響によりビームの密度が変動する。
数ＭΩ〜数十ＭΩ、又特殊な場合には数百ＭΩもの高抵
抗が必要である為、高圧電源その他から誘導雑音を拾い
易く、その影響によりビームの密度が変動する。
バイアスコンデンサ６はこの影響をなくす為、バイアス
抵抗５に並列に接続されている。
抵抗５に並列に接続されている。
ところが斯かるバイアス回路ではスイッチ７を通じてフ
ィラメント電流安定化回路８．フィラメントトランス２
９よりフィラメント加熱電力が供給された瞬間、即ちス
イッチが閉路になった瞬間には、陰極、ウェネルト間の
電圧すなわちバイアス電圧は零ボルトである。
ィラメント電流安定化回路８．フィラメントトランス２
９よりフィラメント加熱電力が供給された瞬間、即ちス
イッチが閉路になった瞬間には、陰極、ウェネルト間の
電圧すなわちバイアス電圧は零ボルトである。
その后バイアス電圧はビーム電流により徐々に上昇しバ
イアス抵抗値及びバイアスコンデンサの容量値により定
筐るある一定時間経過后一定のバイアス電圧に安定化さ
れる。
イアス抵抗値及びバイアスコンデンサの容量値により定
筐るある一定時間経過后一定のバイアス電圧に安定化さ
れる。
この間過大なバイアスコンデンサの充電電流、即ちビー
ム電流が流れ、この過大なビーム電流によりＸ線が発生
したり過大ビームが流れ込む陽極もしくは陰極にもうけ
られた絞り等を損傷させる等の不都合が発生していた。
ム電流が流れ、この過大なビーム電流によりＸ線が発生
したり過大ビームが流れ込む陽極もしくは陰極にもうけ
られた絞り等を損傷させる等の不都合が発生していた。
而して本考案は斯かる欠点を完全に排除したウェネルト
電源を提供するもので、以下第２図に示す回路例に従っ
て詳述する。
電源を提供するもので、以下第２図に示す回路例に従っ
て詳述する。
図中７′はスイッチ７に連動して動作するスイッチであ
るが、スイッチ７が開路の時は閉路に、スイッチ７が閉
路の時は開路になる様に動作する。
るが、スイッチ７が開路の時は閉路に、スイッチ７が閉
路の時は開路になる様に動作する。
８′はスイッチ７が開路の時バイアス抵抗、バイアスコ
ンデンサに電圧を供給する電源である。
ンデンサに電圧を供給する電源である。
該電源８′の出力電圧を陰極、ウェネルト電極間のカッ
トオフ電圧以上に選んでわくとすれば、Ｉが閉路になっ
た瞬間はビーム電流が流れない。
トオフ電圧以上に選んでわくとすれば、Ｉが閉路になっ
た瞬間はビーム電流が流れない。
しかし６に充電されたバイアス電圧はバイアス抵抗５を
通じて徐々に放電し、一定のバイアス電圧捷で下降した
時ビーム電流が流れ始め、そのバイアス電圧で安定化さ
れる。
通じて徐々に放電し、一定のバイアス電圧捷で下降した
時ビーム電流が流れ始め、そのバイアス電圧で安定化さ
れる。
従ってフィラメント点火時に過大な電子ビームが発生す
ることが防止され、有害なＸ線も発生しない。
ることが防止され、有害なＸ線も発生しない。
ところで電源８′の出力電圧は必ずしもカットオフ電圧
以上にする必要はなく、それ以下でもフィラメント点火
時に電子ビーム電流を減少させる効果は十分ある。
以上にする必要はなく、それ以下でもフィラメント点火
時に電子ビーム電流を減少させる効果は十分ある。
又、カットオフ電圧は加速電圧によって変動するので電
源８′の電圧を加速電圧の変化に連動させるようにすれ
ばより実用的である。
源８′の電圧を加速電圧の変化に連動させるようにすれ
ばより実用的である。
同、動作開始後はスイッチ７′は開かれており、従って
第１図と同一の回路構成となることは言う１でもない。
第１図と同一の回路構成となることは言う１でもない。
第３図は本考案のその他の実施例であり、第１図及び第
２図のスイッチ７及び７′が省略されており、そのかわ
りダイオード１０及びスイッチ７〃が付加されている。
２図のスイッチ７及び７′が省略されており、そのかわ
りダイオード１０及びスイッチ７〃が付加されている。
１１は電源である。９′はバイアストランスである。
スイッチ７及び７′を高電圧におき制御するのは困難が
伴なう為、フィラメントトランス９及びバイアストラン
ス９′の入力なスイッチＩ“によって切換える事により
ビームの制御を行なう。
伴なう為、フィラメントトランス９及びバイアストラン
ス９′の入力なスイッチＩ“によって切換える事により
ビームの制御を行なう。
動作は第２図と変わりなく、スイッチ７′がトランス９
′側に倒されている場合バイアスコンデンサ６は安定化
回路８′よりダイオード１０を通じて充電されている。
′側に倒されている場合バイアスコンデンサ６は安定化
回路８′よりダイオード１０を通じて充電されている。
スイッチ７′がトランス９側に倒されるとフィラメント
は加熱され陰極より電子ビームか発射されるが、その時
ダイオード１０には逆電圧がかかり８′の回路網には無
関係となる。
は加熱され陰極より電子ビームか発射されるが、その時
ダイオード１０には逆電圧がかかり８′の回路網には無
関係となる。
以上詳述した如く本考案によればフィラメント点火時の
過大ビームの発生を防止することができ、従って有害な
Ｘ線の発生も防止され、又装置破損の恐れもなくなる。
過大ビームの発生を防止することができ、従って有害な
Ｘ線の発生も防止され、又装置破損の恐れもなくなる。
第１図は従来のウェネルト電源の−ｆＵを示す図であり
、第２図及び第３図は本考案の一実施例を示す図である
。 １：陰極、２：ウェネルト電極、４：高圧発生回路、５
：バイアス抵抗、６：バイアスコンデンサ、７ 、７’
、 ７／／：スイッチ、１０：ダイオード。
、第２図及び第３図は本考案の一実施例を示す図である
。 １：陰極、２：ウェネルト電極、４：高圧発生回路、５
：バイアス抵抗、６：バイアスコンデンサ、７ 、７’
、 ７／／：スイッチ、１０：ダイオード。
Claims (1)
- セルフバイアス抵抗と、該抵抗に並列に接続されるバイ
アスコンデンサとを備えたセルフバイアス方式の電子銃
のウェネルト電源において、陰極を加熱していない期間
前記バイアスコンデンサに前記電子銃をカットオフ状態
にする方向の電圧を充電する手段を設けたことを特徴と
するウェネルト電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17635377U JPS586142Y2 (ja) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | 電子銃のウエネルト電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17635377U JPS586142Y2 (ja) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | 電子銃のウエネルト電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54103743U JPS54103743U (ja) | 1979-07-21 |
| JPS586142Y2 true JPS586142Y2 (ja) | 1983-02-02 |
Family
ID=29184801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17635377U Expired JPS586142Y2 (ja) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | 電子銃のウエネルト電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS586142Y2 (ja) |
-
1977
- 1977-12-29 JP JP17635377U patent/JPS586142Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54103743U (ja) | 1979-07-21 |
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