JPS633480A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
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- JPS633480A JPS633480A JP14850686A JP14850686A JPS633480A JP S633480 A JPS633480 A JP S633480A JP 14850686 A JP14850686 A JP 14850686A JP 14850686 A JP14850686 A JP 14850686A JP S633480 A JPS633480 A JP S633480A
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- thin tube
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Links
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract 2
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
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- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔奮業上の利用分野〕
本発明は、窒化アルミニウム製のレーザ細管を有するイ
オンレーザ装置に関する。
オンレーザ装置に関する。
従来、この種のイオンレーザ装置は第２図に示すように
、レーザ電源１０をレーザ管１のアノード７とカソード
５とにそれぞれ接続し、アノード７、カソード５間で放
電させ、出力ミラー３と全反射ミラー４とで構成される
光共掘器によりレーザ発振し、レーザ光１３を出力させ
る。
、レーザ電源１０をレーザ管１のアノード７とカソード
５とにそれぞれ接続し、アノード７、カソード５間で放
電させ、出力ミラー３と全反射ミラー４とで構成される
光共掘器によりレーザ発振し、レーザ光１３を出力させ
る。
イオンレーザは、イオン化された希ガスのエネルギーレ
ベル間の遷移によってレーザ発振を行なわせるものであ
シ、可視域においてワット台の大出力連続発振が得られ
る唯一のガスレーザなので、ラマン分光、ホログラフィ
、レーザ製版などに広く用いられている。しかし希ガス
のイオン化エネルギーが高いため、レーザ管内に数アン
ペアにおよぶ大Ｗ流アーク放電を行なわせる必要があシ
、このときレーザ細管では数ＫＷに達する熱発生がある
。したがって、イオンレーザの細管としては、イオンの
衝撃に耐えることができ、熱分解しにくいぺＩＪ ＩＪ
アセラミック等を選ぶ必要がある。さらに数ＫＷにおよ
ぶ熱をレーザ細管外部に放出させるため、管外部に冷却
水を通したシ、放熱フィン８を取シ付はファン９によシ
空冷するなどして冷却している。そして、前記大電流ア
ーク放ｗＫよりイオン化した希ガスはアノード７からカ
ソード５に向って流れるので、ガスリターンバス細管１
１により希ガスをカソード５からアノード７側へもどす
必要がある。
ベル間の遷移によってレーザ発振を行なわせるものであ
シ、可視域においてワット台の大出力連続発振が得られ
る唯一のガスレーザなので、ラマン分光、ホログラフィ
、レーザ製版などに広く用いられている。しかし希ガス
のイオン化エネルギーが高いため、レーザ管内に数アン
ペアにおよぶ大Ｗ流アーク放電を行なわせる必要があシ
、このときレーザ細管では数ＫＷに達する熱発生がある
。したがって、イオンレーザの細管としては、イオンの
衝撃に耐えることができ、熱分解しにくいぺＩＪ ＩＪ
アセラミック等を選ぶ必要がある。さらに数ＫＷにおよ
ぶ熱をレーザ細管外部に放出させるため、管外部に冷却
水を通したシ、放熱フィン８を取シ付はファン９によシ
空冷するなどして冷却している。そして、前記大電流ア
ーク放ｗＫよりイオン化した希ガスはアノード７からカ
ソード５に向って流れるので、ガスリターンバス細管１
１により希ガスをカソード５からアノード７側へもどす
必要がある。
上述した従来のイオンレーザ装ｗｈ、内径の大きなガス
リターンバス細管を用いるとアーク放電がガスリターン
バス細管１１内を通り、ガスリターンバス細管１１を破
損してしまうため、内径の小さなガスリターンバス細管
１１を複雑な形状に加工してアーク放電がレーザ細管６
の中央穴１２にのみ通るようＫしている。しかし、内径
の小さなガスリターンバス細管を複雑な形状に加工する
には高いレベルの加工技術を要するため、加工作業者が
限定され、高価となるという欠点がある。
リターンバス細管を用いるとアーク放電がガスリターン
バス細管１１内を通り、ガスリターンバス細管１１を破
損してしまうため、内径の小さなガスリターンバス細管
１１を複雑な形状に加工してアーク放電がレーザ細管６
の中央穴１２にのみ通るようＫしている。しかし、内径
の小さなガスリターンバス細管を複雑な形状に加工する
には高いレベルの加工技術を要するため、加工作業者が
限定され、高価となるという欠点がある。
本発明は、アノードとカソード間に、放電用の中央穴を
有する窒化アルミニウム細管部材を複数個間隔をムいて
縦続して配列したレーザ細管を備えるイオンレーザ装置
において、窒化アルミニウム細管部材にガスリターンバ
ス穴を各細管部材毎に位置が異なるように設け、さらに
複数個の細管部材間の空隙に直径の大きな円筒部材と直
径の小さな円筒部材とを同軸状にかつその一部が１なる
ように設けたことを特徴とする。
有する窒化アルミニウム細管部材を複数個間隔をムいて
縦続して配列したレーザ細管を備えるイオンレーザ装置
において、窒化アルミニウム細管部材にガスリターンバ
ス穴を各細管部材毎に位置が異なるように設け、さらに
複数個の細管部材間の空隙に直径の大きな円筒部材と直
径の小さな円筒部材とを同軸状にかつその一部が１なる
ように設けたことを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。レーザ細管
は、放電用の中央穴１７．１８．１９を有する窒化アル
ミニウム細管部材１４．１５．１６から構成され、細管
部材β１４，１５．１６にはガスリターンバス穴２０．
２１．２２がそれぞれ位置を異ならせて設けられている
。また、細管部材１４．１５および１５．１６の間の空
隙には、直径の大きい円筒部材２５と直径の小さい円筒
部材２６が一部が１なるように細管部材の中央穴１７．
１８．１９と同軸に設けられている。このような構成を
有するレーザ細管の外周には放熱フィン８が取シ付けら
れ、ファン９によって冷却される。レーザ細管の両端側
に７ノード７とカソード５が設置されておシ、これらカ
ソード５とアノード７間にレーザ電源１０を接続して放
電させ、出力ミラー３と全反射ミラー４にょυレーザ共
振器を構成させレーザ発振を生ぜしめ、レーザ出力１３
を得る。本実施例においては、細管部材間の空隙に円筒
部材が設けられているので放電は細管部材の中央穴を通
してのみ生じ、ガスリターンバス穴を通して生じること
はない。また、円筒部材は一体ではなく大小の直径を有
する二つの円筒部材で一部か重なるように配設している
ので、動作時にレーザ細管が熱膨張しても破損すること
を防止できる。
は、放電用の中央穴１７．１８．１９を有する窒化アル
ミニウム細管部材１４．１５．１６から構成され、細管
部材β１４，１５．１６にはガスリターンバス穴２０．
２１．２２がそれぞれ位置を異ならせて設けられている
。また、細管部材１４．１５および１５．１６の間の空
隙には、直径の大きい円筒部材２５と直径の小さい円筒
部材２６が一部が１なるように細管部材の中央穴１７．
１８．１９と同軸に設けられている。このような構成を
有するレーザ細管の外周には放熱フィン８が取シ付けら
れ、ファン９によって冷却される。レーザ細管の両端側
に７ノード７とカソード５が設置されておシ、これらカ
ソード５とアノード７間にレーザ電源１０を接続して放
電させ、出力ミラー３と全反射ミラー４にょυレーザ共
振器を構成させレーザ発振を生ぜしめ、レーザ出力１３
を得る。本実施例においては、細管部材間の空隙に円筒
部材が設けられているので放電は細管部材の中央穴を通
してのみ生じ、ガスリターンバス穴を通して生じること
はない。また、円筒部材は一体ではなく大小の直径を有
する二つの円筒部材で一部か重なるように配設している
ので、動作時にレーザ細管が熱膨張しても破損すること
を防止できる。
以上説明したように本発明は簡単な構造の窒化アルミニ
ウム細管部材と円筒部材とからレーザ細Ｖを構成してい
るので、放１は長期間維持され、安定なレーザ出力が得
られる。また複雑な形状のガスリターンバス細管もなく
、単純な構造となり、力０工費も従来の数分の−ですみ
、加工の自動化も可能となるため、安価なイオンレーザ
装置を得ることができる。
ウム細管部材と円筒部材とからレーザ細Ｖを構成してい
るので、放１は長期間維持され、安定なレーザ出力が得
られる。また複雑な形状のガスリターンバス細管もなく
、単純な構造となり、力０工費も従来の数分の−ですみ
、加工の自動化も可能となるため、安価なイオンレーザ
装置を得ることができる。
第１図は本発明のイオンレーザ装置を示す断面図、第２
図は従来のイオンレーザ装置を示す断面図である。 １・・・・・・レーザ管、２．２′・・・・・・光学窓
、３・・・・・・出力ミラー、４・・・・・・全反射ミ
ラー、５・・・・・・カソード、６・・・・・・レーザ
細管、７・・・・・・アノード、８・・・・・・放熱フ
ィン、９・・・・・・ファン、１０・・・・・・レーザ
電源、１１・・・・・・ガスリターンバスＭＨ管、１２
． １７゜１８．１９・・・・・・中央穴、１３・・・
・・・レーザ光、２０゜２１．２２・・・・・・ガスリ
ターンバス穴、１４． １５゜１６・・・・・・レーザ
細管部材、２５．２６・・・・・・円筒部材。 −１１１゜ 代理人 弁理士 内 原 晋 −゛−Ｓノ′〜 、′−°。
図は従来のイオンレーザ装置を示す断面図である。 １・・・・・・レーザ管、２．２′・・・・・・光学窓
、３・・・・・・出力ミラー、４・・・・・・全反射ミ
ラー、５・・・・・・カソード、６・・・・・・レーザ
細管、７・・・・・・アノード、８・・・・・・放熱フ
ィン、９・・・・・・ファン、１０・・・・・・レーザ
電源、１１・・・・・・ガスリターンバスＭＨ管、１２
． １７゜１８．１９・・・・・・中央穴、１３・・・
・・・レーザ光、２０゜２１．２２・・・・・・ガスリ
ターンバス穴、１４． １５゜１６・・・・・・レーザ
細管部材、２５．２６・・・・・・円筒部材。 −１１１゜ 代理人 弁理士 内 原 晋 −゛−Ｓノ′〜 、′−°。
Claims (1)
- アノードとカソード間に、放電用の中央穴を有する窒化
アルミニウム細管部材を複数個間隔を置いて縦続配列し
たレーザ細管を備えるイオンレーザ装置において、各窒
化アルミニウム細管部材にガスリターンバス穴を位置を
異ならせて設け、前記窒化アルミニウム細管部材の間の
空隙に直径の大きな円筒部材と直径の小さな円筒部材を
一部が重なるように前記中央穴と同軸状に設けたことを
特徴とするイオンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14850686A JPS633480A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14850686A JPS633480A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS633480A true JPS633480A (ja) | 1988-01-08 |
Family
ID=15454283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14850686A Pending JPS633480A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS633480A (ja) |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP14850686A patent/JPS633480A/ja active Pending
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