JPS633481A - ガスレ−ザ管 - Google Patents
ガスレ−ザ管Info
- Publication number
- JPS633481A JPS633481A JP14850286A JP14850286A JPS633481A JP S633481 A JPS633481 A JP S633481A JP 14850286 A JP14850286 A JP 14850286A JP 14850286 A JP14850286 A JP 14850286A JP S633481 A JPS633481 A JP S633481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- lens
- lenses
- laser tube
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、機器の位置合わせ、計測等に使用されるガス
レーザ管に関する。
レーザ管に関する。
従来、ガスレーザ管は、その応用範囲が広がるにつれ、
また半導体レーザとの競合上、年々小形化されて来てい
る。しかし−般にレーザ発振を行なう光共振器長（ガス
レーザの場合、向かい合うミラー間隔、半導体レーザの
場合、結晶のへき開面の間隔）が短かくなるにつれ出力
光ビームの広がり角（発散角）が大きくなることが知ら
れている。この顕着な例として、半導体レーザの場合、
小さな結晶内で発振が行なわれるためビーム塩がり角は
大きい、ガスレーザ管の様に数十センチから数メートル
の光共振器長であると広がり角は数ミリラジアン程度で
ある。第２図は従来のガスレーザ管の一部を示す図で、
ミラー支持体１にミラー２が低融点ガラスで固着されて
いる。反対側にも図示はしていないが先兵振器を構成す
るミラーが設けられている。かかるガスレーザ管におい
ても光共振器長が１０Ｃ１ａ程度のものを要求されるに
至っている。
また半導体レーザとの競合上、年々小形化されて来てい
る。しかし−般にレーザ発振を行なう光共振器長（ガス
レーザの場合、向かい合うミラー間隔、半導体レーザの
場合、結晶のへき開面の間隔）が短かくなるにつれ出力
光ビームの広がり角（発散角）が大きくなることが知ら
れている。この顕着な例として、半導体レーザの場合、
小さな結晶内で発振が行なわれるためビーム塩がり角は
大きい、ガスレーザ管の様に数十センチから数メートル
の光共振器長であると広がり角は数ミリラジアン程度で
ある。第２図は従来のガスレーザ管の一部を示す図で、
ミラー支持体１にミラー２が低融点ガラスで固着されて
いる。反対側にも図示はしていないが先兵振器を構成す
るミラーが設けられている。かかるガスレーザ管におい
ても光共振器長が１０Ｃ１ａ程度のものを要求されるに
至っている。
上述した従来のガスレーザ管は、レーザ光が平行光線と
なる様出力側ミラーの曲率を決定していた。しかし、光
共振器長が短かくなるに従いビーム広がり角は大きくな
るためガスレーザ管より任意の位置で細く絞り込まれた
レーザ光が必要な場合、ガスレーザ管とは別に複数のレ
ンズから成るコリメータをガスレーザ管の前に置きその
焦点を任意の位置で合わせることが行なわれていた。し
かし、かかる構成においては、ガスレーザ管とコリメー
タの間隔及び光の中心軸の位置関係によりビームの方向
及びビーム径が異なり装置が大形化するという欠点があ
った。さらに、ガスレーザ管とコリメータとを同軸上に
配置するための機械的部品が必要となり高価となってい
た。本発明の目的は、かかる欠点を除き、小形安価で任
意の位置において細いビーム径を発生させるガサレーザ
管を提供することである。
なる様出力側ミラーの曲率を決定していた。しかし、光
共振器長が短かくなるに従いビーム広がり角は大きくな
るためガスレーザ管より任意の位置で細く絞り込まれた
レーザ光が必要な場合、ガスレーザ管とは別に複数のレ
ンズから成るコリメータをガスレーザ管の前に置きその
焦点を任意の位置で合わせることが行なわれていた。し
かし、かかる構成においては、ガスレーザ管とコリメー
タの間隔及び光の中心軸の位置関係によりビームの方向
及びビーム径が異なり装置が大形化するという欠点があ
った。さらに、ガスレーザ管とコリメータとを同軸上に
配置するための機械的部品が必要となり高価となってい
た。本発明の目的は、かかる欠点を除き、小形安価で任
意の位置において細いビーム径を発生させるガサレーザ
管を提供することである。
本発明のガスレーザ管は、出力側ミラーのガスレーザ管
外囲器への固定及び光軸調整を目的とするミラー支持体
を有し、さらに複数のレンズとこのレンズの間隙を調整
する機構から成るコリメータミラー支持体と組み合せた
ことを特徴とする。
外囲器への固定及び光軸調整を目的とするミラー支持体
を有し、さらに複数のレンズとこのレンズの間隙を調整
する機構から成るコリメータミラー支持体と組み合せた
ことを特徴とする。
〔実施例〕
次に本発明を図面により説明する。第１図は、本発明の
一実施例を示す一部断面斜視図である。
一実施例を示す一部断面斜視図である。
第１図において、ミラー支持体１は、ガスレーザ管の外
囲器を構成するガラスと同じ熱膨張率をもつ金属材料、
−般的にコバー合金が使用されている。このミラー支持
体１は外囲器に一方を封着すると同時に、出力側ミラー
２が低融点ガラス３により封着される。さらに本発明の
ガスレーザ管では、ミラー支持部１を従来のものより長
く、この中に凹レンズ５．凸レンズ８の２枚と、スペー
サ４およびバネ６を挿入しレンズ固定用ネジ７で固定し
てコリメータを形成している。この構造において、出力
側ミラー２よろ出力されるレーザ光は、凹レンズ５の曲
率によってビーム径は広げられ、さらに凸レンズ８の曲
率により絞り込まれる。これらレンズの曲率及び２枚の
レンズ間の距Ｎ（バネ６が挿入されている間隔）は、所
要の焦点位置と集来ビーム径によって決定される。ここ
で問題となるのがレンズの曲率である。これは設計段階
において決定されるが製造によるバラツキによって各６
焦点位置が異なって来るため２枚のレンズ間にバネ６を
挿入し固定ネジ７により２枚のレンズ間隔を調整する。
囲器を構成するガラスと同じ熱膨張率をもつ金属材料、
−般的にコバー合金が使用されている。このミラー支持
体１は外囲器に一方を封着すると同時に、出力側ミラー
２が低融点ガラス３により封着される。さらに本発明の
ガスレーザ管では、ミラー支持部１を従来のものより長
く、この中に凹レンズ５．凸レンズ８の２枚と、スペー
サ４およびバネ６を挿入しレンズ固定用ネジ７で固定し
てコリメータを形成している。この構造において、出力
側ミラー２よろ出力されるレーザ光は、凹レンズ５の曲
率によってビーム径は広げられ、さらに凸レンズ８の曲
率により絞り込まれる。これらレンズの曲率及び２枚の
レンズ間の距Ｎ（バネ６が挿入されている間隔）は、所
要の焦点位置と集来ビーム径によって決定される。ここ
で問題となるのがレンズの曲率である。これは設計段階
において決定されるが製造によるバラツキによって各６
焦点位置が異なって来るため２枚のレンズ間にバネ６を
挿入し固定ネジ７により２枚のレンズ間隔を調整する。
尚、本実施例では、出力側ミラーを通常のミラーで構成
したが出力側ミラーを凹レンズ構造にし次に凸レンズを
持って来る事により、より小形のガスレーザ管を構成す
る事も可能である。
したが出力側ミラーを凹レンズ構造にし次に凸レンズを
持って来る事により、より小形のガスレーザ管を構成す
る事も可能である。
以上説明した様に本発明は、出力側ミラー支持体のコリ
メータを一体化することにより、小形安価で任意の位置
及びビーム径を得ることが出来る効果がある。
メータを一体化することにより、小形安価で任意の位置
及びビーム径を得ることが出来る効果がある。
第１図は、本発明の一実施例の部分断面図、第２図は従
来のガスレーザ管の部分断面図である。 １・・・ミラー支持体、２・・・出力ミラー、３・・・
低融点ガラス、４・・・スペーサ、５．８・・・レンズ
、６・・・バゐ Ｊ。 し〉六゛ 第１１図
来のガスレーザ管の部分断面図である。 １・・・ミラー支持体、２・・・出力ミラー、３・・・
低融点ガラス、４・・・スペーサ、５．８・・・レンズ
、６・・・バゐ Ｊ。 し〉六゛ 第１１図
Claims (1)
- ガスレーザ管外囲器の端部にミラー固定及びミラーの光
軸調整を目的とするミラー支持体を有するガスレーザ管
において、光出力側ミラー支持体中に、複数のレンズと
これらレンズ間隙を調整する機構を有するコリメータを
備えたことを特徴とするガスレーザ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14850286A JPS633481A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | ガスレ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14850286A JPS633481A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | ガスレ−ザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS633481A true JPS633481A (ja) | 1988-01-08 |
Family
ID=15454193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14850286A Pending JPS633481A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | ガスレ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS633481A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006041405A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加熱装置 |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP14850286A patent/JPS633481A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006041405A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加熱装置 |
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