JPS6334943A - 半導体基板外観検査装置 - Google Patents
半導体基板外観検査装置Info
- Publication number
- JPS6334943A JPS6334943A JP17969386A JP17969386A JPS6334943A JP S6334943 A JPS6334943 A JP S6334943A JP 17969386 A JP17969386 A JP 17969386A JP 17969386 A JP17969386 A JP 17969386A JP S6334943 A JPS6334943 A JP S6334943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- video signal
- semiconductor substrate
- circuit
- test point
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体基板外観検査装置に関する。
従来、半導体基板の外観検査は、半導体基板上の数ポイ
ンＩ〜を半導体基板を移動させがち１ポイントづつ顕微
鏡で目視検査していた。
ンＩ〜を半導体基板を移動させがち１ポイントづつ顕微
鏡で目視検査していた。
上述した従来の顕微鏡による半導体基板外観の目視検査
では、半導体基板の検査ポイントの移動に時間を要する
欠点があった。
では、半導体基板の検査ポイントの移動に時間を要する
欠点があった。
本発明の半導体基板外観検査装置は、半導体基板の外観
を検査する装置において、前記半導体基板の検査画面の
偶を記憶保持する手段を備え、また、前記記憶保持する
手段は、被検査物を自由に移動させて観察撮像できる観
察撮像部と、該観察撮像部からの映像を電気信号に変換
する映像信号変換部と、該映像信号変換部からの信号を
表示する映像表示部と、前記映像信号変換部からの信号
を記憶保持する映像信号遅延記憶部とを備えている。
を検査する装置において、前記半導体基板の検査画面の
偶を記憶保持する手段を備え、また、前記記憶保持する
手段は、被検査物を自由に移動させて観察撮像できる観
察撮像部と、該観察撮像部からの映像を電気信号に変換
する映像信号変換部と、該映像信号変換部からの信号を
表示する映像表示部と、前記映像信号変換部からの信号
を記憶保持する映像信号遅延記憶部とを備えている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
本実施例は、左右前後に移動可能なＸ−Ｙ移動ステージ
８上に置かれた被検査物の半導体基板１０を見る顕微鏡
部１と、この顕微鏡部１で見た光学的映像を電気的映像
信号に変換するＣＣＤカメラ部２と、前記電気的映像信
号を増幅する映像信号増幅回路３と、この映像信号増幅
回路３からの信号と記憶映像信号とを切替える切替回路
４と、この切替回路４からの信号を二方向に分配する映
像信号分配回路５と、該映像信号分配回路５から分配さ
れた一方の映像信号を表示する映像表示機６と、他方の
分配された映像信号を記憶し切替回路５へ前記記憶映像
信号を送る映像信号遅延記憶回路７と、Ｘ−Ｙ移動ステ
ージ８や切替回路４の制御等を行う操作卓９とを備えて
いる。
８上に置かれた被検査物の半導体基板１０を見る顕微鏡
部１と、この顕微鏡部１で見た光学的映像を電気的映像
信号に変換するＣＣＤカメラ部２と、前記電気的映像信
号を増幅する映像信号増幅回路３と、この映像信号増幅
回路３からの信号と記憶映像信号とを切替える切替回路
４と、この切替回路４からの信号を二方向に分配する映
像信号分配回路５と、該映像信号分配回路５から分配さ
れた一方の映像信号を表示する映像表示機６と、他方の
分配された映像信号を記憶し切替回路５へ前記記憶映像
信号を送る映像信号遅延記憶回路７と、Ｘ−Ｙ移動ステ
ージ８や切替回路４の制御等を行う操作卓９とを備えて
いる。
次に、本実施例の動作について説明する。
まず、Ｘ−Ｙ移動ステージ８上に置かれた被検査物の半
導体基板１０は予め定められている第１の検査ポイント
に顕微鏡部１の焦点が合わされ、その焦点が合わされた
映像はＣＣＤカメラ部２で電気的映像信号に変換され、
映像信号増幅回路３で増幅され、初期状態では実線の状
態である切替回路４と、映像信号分配回路５を経由して
映像表示機６に前記第１の検査ポイントが映出される。
導体基板１０は予め定められている第１の検査ポイント
に顕微鏡部１の焦点が合わされ、その焦点が合わされた
映像はＣＣＤカメラ部２で電気的映像信号に変換され、
映像信号増幅回路３で増幅され、初期状態では実線の状
態である切替回路４と、映像信号分配回路５を経由して
映像表示機６に前記第１の検査ポイントが映出される。
同時に映像信号遅延記憶回路７に映像表示機一画面分の
映像信号が記憶される。
映像信号が記憶される。
次に、操作卓９の操作によって切替回路４を破線の状態
にすることにより、第１の検査ポイントの記憶映像信号
が映像信号遅延記憶回路７から映像表示機６に表示され
、その表示で検査することができる。
にすることにより、第１の検査ポイントの記憶映像信号
が映像信号遅延記憶回路７から映像表示機６に表示され
、その表示で検査することができる。
又、この間操作卓９の操作によってＸ−Ｙ移動ステージ
８が移動し第２の検査ポイントを顕微鏡部１で見える状
態にしておく。
８が移動し第２の検査ポイントを顕微鏡部１で見える状
態にしておく。
第１の検査ポイントの検査が終了し操作卓９の操作によ
って再び切替回路４は実線の状態となり映像表示機６に
は第２の検査ポイントがすぐに映出され、また映像信号
遅延記憶回路７にも第２の検査ポイントの映像信号が記
憶され、第１の検査ポイントと同じ方法で検査される。
って再び切替回路４は実線の状態となり映像表示機６に
は第２の検査ポイントがすぐに映出され、また映像信号
遅延記憶回路７にも第２の検査ポイントの映像信号が記
憶され、第１の検査ポイントと同じ方法で検査される。
以下、上述と同じ手順を繰返して半導体基板１０上のす
べての検査ポイントを従来より検査ポイントの切替時間
を少なくして検査することができる。
べての検査ポイントを従来より検査ポイントの切替時間
を少なくして検査することができる。
なお映像信号の記憶保持する方法としては映像信号をＡ
−Ｄ変換してメモリ装置に記憶させ、メモリ装置の出力
をＤ−Ａ変換して映像信号を得る方法も用いることがで
きる。
−Ｄ変換してメモリ装置に記憶させ、メモリ装置の出力
をＤ−Ａ変換して映像信号を得る方法も用いることがで
きる。
以上説明したように本発明は、半導体基板の検査ポイン
トを映像信号遅延記憶回路で記憶してから映像表示機に
表示して検査を行い、その検査中に事前に次の検査ポイ
ントの撮像準備ができることにより、従来の検査ポイン
トの移動に要した時間の短縮と、外観検査全体の検査時
間を短縮できる効果がある。
トを映像信号遅延記憶回路で記憶してから映像表示機に
表示して検査を行い、その検査中に事前に次の検査ポイ
ントの撮像準備ができることにより、従来の検査ポイン
トの移動に要した時間の短縮と、外観検査全体の検査時
間を短縮できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
１・・・顕微鏡部、２・・・ＣＣＤカメラ部、３・・・
映像信号増幅回路、４・・・切替回路、５・・・映像信
号分配回路、６・・・映像表示機、７・・・映像信号遅
延記憶回路、８・・・Ｘ−Ｙ移動ステージ、９・・・操
作卓、１０・・・半導体基板。
ｔ“ １ｒ
映像信号増幅回路、４・・・切替回路、５・・・映像信
号分配回路、６・・・映像表示機、７・・・映像信号遅
延記憶回路、８・・・Ｘ−Ｙ移動ステージ、９・・・操
作卓、１０・・・半導体基板。
ｔ“ １ｒ
Claims (2)
- （１）半導体基板の外観を検査する装置において、前記
半導体基板の検査画面の像を記憶保持する手段を備える
ことを特徴とする半導体基板外観検査装置。 - （２）記憶保持する手段は、被検査物を自由に移動させ
て観察撮像できる観察撮像部と、該観察撮像部からの映
像を電気信号に変換する映像信号変換部と、該映像信号
変換部からの信号を表示する映像表示部と、前記映像信
号変換部からの信号を記憶保持する映像信号遅延記憶部
とを備える特許請求の範囲第（１）項記載の半導体基板
外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17969386A JPS6334943A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 半導体基板外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17969386A JPS6334943A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 半導体基板外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334943A true JPS6334943A (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=16070222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17969386A Pending JPS6334943A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 半導体基板外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334943A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57111776A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-12 | Fujitsu Ltd | Video processing system |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP17969386A patent/JPS6334943A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57111776A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-12 | Fujitsu Ltd | Video processing system |
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