JPS6336082B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、マイクロ波放電による発光を利用
したマイクロ波放電光源装置に関するものであ
る。

第１図は従来提案されているマイクロ波放電光
源装置であり、図において、１はマイクロ波を発
生するマグネトロン、２はこのマグネトロンのマ
グネトロンアンテナ、３はこのアンテナ２から放
射されるマイクロ波を伝送する導波管、４はこの
導波管３の端部にマイクロ波給電口１２を介して
接続した空胴壁で、空胴壁４は球面部５とこれら
に連らなり開口部４ａの周囲が外方へ屈曲したフ
ランジ部１０を有する円筒部６から構成し、アル
ミニウム等で形成したものである。７は上記空胴
壁４の開口部４ａを塞いでいる金属メツシユ板
で、この金属メツシユ板７はその上から重ねた押
え金具となる押えフランジ８を締付け手段である
押えネジ９で上記フランジ部１０へ締付けてあ
る。金属メツシユ板７はマイクロ波を遮えぎるが
光を透過させるものであり、上記空胴壁４と共に
マイクロ波空胴１１を構成している。１３は空胴
壁４の球面部５の中心近傍に配設した球形の無電
極放電灯で、石英ガラスなどからできており、内
部にアルゴンなどの希ガス，水銀または鉄などの
金属およびヨウ素などのハロゲンが封入されてい
る。１４は放電灯１３の外壁の一部に設けた突起
で、上記空胴壁４の球面部５頂部に形成した放電
灯支持部１７に一端が挿入支持された石英ガラス
のような低損失の誘電体よりなる円筒状の支持体
１５の他端に形成したフレアー状の支持部１６に
嵌合され、これにより上記放電灯１３を支持して
いる。１８は金属メツシユ板７より外部へ放射さ
れる光を被照射面（図示せず）に集光させるため
のレンズである。

次に動作について説明する。電源を投入する
と、マグネトロン１によつてマイクロ波が発生
し、このマイクロ波がアンテナ２を通じて導波管
３中に放射される。そしてこのマイクロ波は導波
管３を伝播し、給電口１２を通してマイクロ波空
胴１１内に放射し、この空胴１１内にマイクロ波
電磁界を形成する。このマイクロ波電磁界により
放電灯１３中の希ガスが放電して、放電灯１３の
内壁が熱せられる。このため放電灯１３内の水
銀，鉄などがハロゲン化物となつて蒸発し、放電
は金属ガスの放電が主となり、封入金属の種類に
応じた特定の発光スペクトルを持つ光が放射され
る。この時の放電は放電灯１３の管壁近傍でおこ
る。すなわち放電灯１３からの発光は球面状にな
つている。したがつて空胴壁４の球面部５を光反
射面にしておけば、放電灯１３が球面部５の中心
近傍にあるため、反射光は再び放電灯１３の近傍
を通過することになる。この反射光と放電灯１３
の直接光が金属メツシユ板７を通して外方へ放射
される。そして外方へ放射された光は集光レンズ
１８で必要な被照射面に集光される。

第２図は金属メツシユ板７の取付け拡大図で、
金属メツシユ板７の接触面７ａとフランジ部１０
の接触面１０ａとが押えネジ９によつて圧接して
電気的に接触している。そこで接触が全周にわた
つて完全に行なわれていなければ、接触が不完全
な部分ではマイクロ波による放電がおこり、また
マイクロ波空胴１１の外部へマイクロ波が漏洩す
ることがあるため、特に電力の大きなマイクロ波
を用いる場合はフランジ部１０の接触面１０ａや
押えフランジ８の接触面８ａは精度の良い平面に
加工して接触効果を出すことが必要である。また
押えネジ９も全周にわたつて数多く必要となる。

この発明は、上記のような従来のものの欠点を
除去するためになされたもので、金属メツシユ板
と押えフランジとの間に弾性体を介装することに
より、フランジ部の接触面１０ａの平面仕上げが
要求されず、かつ押えネジ９が少なくてもマイク
ロ波の漏洩のないマイクロ波放電光源装置を提供
することを目的としている。

以下この発明の一実施例を図について説明す
る。第３図において、金属メツシユ板７と押え金
具となる押えフランジ８との間に弾性体２０が介
装されている。この弾性体２０はシリコンゴムの
パツキン材であることが好ましい。このように上
記弾性体２０を介装することにより、フランジ部
１０の接触面１０ａや押えフランジ８の接触面８
ａが粗面であつたとしても、押えネジ９により押
えフランジ８を締付けることにより、たとえば押
えフランジ８の接触面８ａとフランジ部１０の接
触面１０ａが凸部となつている部分は弾性体２０
が押しつぶされ、一方凹んでいる部分は押しつぶ
されず、したがつて金属メツシユ板７の接触面７
ａは全周にわたつて完全にフランジ部１０の接触
面１０ａと電気的に接触させることができる。こ
れにより両接触面７ａ，１０ａに隙間が生じない
ためマイクロ波空胴１１内のマイクロ波によつて
上記接触面間で放電したり、外部へマイクロ波が
漏洩することがない。また押えネジ９の数が全周
にわたつて少なくてすむ。たとえばマイクロ波空
胴１１の直径が130mmの場合で３本の押えネジで
すむ。

第４図は弾性体の他の実施例を示している。こ
の弾性体はバネ板２１からできている。この場合
もシリコンゴムのパツキンと同様に金属メツシユ
板７の接触面７ａとフランジ部１０の接触面１０
ａとの接触が全周にわたつて完全に行なえる。

第５図には押えネジ９に代る他の締付け手段を
示している。この締付け手段はたとえばタキゲン
製造株式会社製のキヤツチクリツプ３０を全周に
わたつて数箇所使用している。このクリツプ３０
は、一方のフランジ部１０外側に掛金具３１を取
付け、他方の押えフランジ８に掛金具３１のバン
ド３２が掛止めされるフツク部３３を設けてい
る。上記のクリツプ３０を使用しても押えフラン
ジ８をフランジ部１０に締付けて金属メツシユ板
の接触面７ａをフランジ部１０の接触面１０ａに
良好に接触させることができるので、押えネジ９
に代つて金属メツシユ板の着脱を簡単に行なうこ
とができる。なお、第５図では弾性体２０がシリ
コンゴムパツキンを用いた例について示してある
が、バネ板２１であつてもよい。

以上のようにこの発明によれば、少なくとも一
面に開口部を有し、この開口部の周囲にフランジ
部を設けている空胴壁に、開口部を塞ぐようにフ
ランジ部に重ねた金属メツシユ板を押え金具で装
着したマイクロ波空胴と、この空胴内に無電極放
電灯とを備えたマイクロ波放電光源装置におい
て、金属メツシユ板と押え金具との間に弾性体を
介装したことにより、金属メツシユ板とマイクロ
波空胴壁のフランジ部の接触が完全となり、これ
により金属メツシユ板の接触面やフランジ部の接
触面の精度が要求されず、また簡単な締付け手段
でも放電やマイクロ波の漏洩を防止できる効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のマイクロ波放電光源装置の構成
断面図、第２図は同じく金属メツシユ板の取付け
断面図、第３図はこの発明による第２図と同様の
断面図、第４図は他の実施例の断面図、第５図は
締付け手段の他の実施例の図である。 ４……空胴壁、７……金属メツシユ板、８……
押えフランジ、９……押えネジ、１０……フラン
ジ部、１１……マイクロ波空胴、１３……無電極
放電灯、２０……弾性体、２１……バネ板、３０
……クリツプ。なお、図中、同一符号は同一又は
相当部分を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも一面に開口部を有し、この開口部
   の周囲にフランジ部を設けている空胴壁に、前記
   フランジ部に重ねられて前記開口部を塞ぐ金属メ
   ツシユ板を押え金具および締付け手段を用いて装
   着したマイクロ波空胴と、このマイクロ波空胴内
   に無電極放電灯とを備えたマイクロ波放電光源装
   置において、前記金属メツシユ板と前記押え金具
   との間に環状弾性体とを介装したことを特徴とす
   るマイクロ波放電光源装置。 ２ 前記環状弾性体がシリコンゴムからできてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
   のマイクロ波放電光源装置。 ３ 前記環状弾性体がバネ板からできていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のマイ
   クロ波放電光源装置。