JPS6337683A - パルスレ−ザ励起用電源装置 - Google Patents
パルスレ−ザ励起用電源装置Info
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- JPS6337683A JPS6337683A JP18017786A JP18017786A JPS6337683A JP S6337683 A JPS6337683 A JP S6337683A JP 18017786 A JP18017786 A JP 18017786A JP 18017786 A JP18017786 A JP 18017786A JP S6337683 A JPS6337683 A JP S6337683A
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- Japan
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- electrodes
- voltage
- power supply
- discharge
- auxiliary
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
この発明は、パルスレーザ励起用の電源装置に関するも
のである。
のである。
(従来の技術〕
第3図は従来のパルスレーザ励起用の電源装置の構成を
示す回路図であり、(1)は高圧の直流電源で、この直
流電源(1)の出力がコンデンサ(4)の両極側に設け
た抵抗(2)、(3)に接続され、コンデンサ(4)を
充電する。なお、上記抵抗(2)、(31はその抵抗値
をそれぞれR,、R2とすると、R,>>R2に定めら
れている。(5)はコンデンサ(4)と抵抗(3)とを
ゲートQ4)の信号によって所定のパルス幅で開閉する
例えばギャップスイッチのような高速スイッチ(6)。
示す回路図であり、(1)は高圧の直流電源で、この直
流電源(1)の出力がコンデンサ(4)の両極側に設け
た抵抗(2)、(3)に接続され、コンデンサ(4)を
充電する。なお、上記抵抗(2)、(31はその抵抗値
をそれぞれR,、R2とすると、R,>>R2に定めら
れている。(5)はコンデンサ(4)と抵抗(3)とを
ゲートQ4)の信号によって所定のパルス幅で開閉する
例えばギャップスイッチのような高速スイッチ(6)。
(7)は図示のない発掘器内の主電極、(8)、 (9
)は同じく発掘器内に設けられた補助電極、OOおよび
(1っけ抵抗で、抵抗(lりの抵抗値をR5とすると、
R,>>R3に定められている。(財)およびα急はコ
ンデンサである。
)は同じく発掘器内に設けられた補助電極、OOおよび
(1っけ抵抗で、抵抗(lりの抵抗値をR5とすると、
R,>>R3に定められている。(財)およびα急はコ
ンデンサである。
上記のような構成の従来のパルスレーザ励起用の電源装
置において、直流電源(1)の出力電圧(約40KV)
を(El)とすると、コンデンサ(4)およびコンデン
サJaはともにこの出力;圧(El)の電圧値に充電さ
れ、この状、聾より高速スイッチ(5)のゲートα4)
に所定のパルス幅の信号を与えて導通状態にすると、コ
ンデンサ(4)の電圧は主電極(6)、 (71間に印
加され、またコンデンサαつの電圧はコンデンサ(財)
によって分圧される。ここで、それぞれの静電容量を(
C2) 、 (C3)とすると、C2/C2+C5・E
+ (約5KV)の電圧が補助電極(8)、(9)に印
加される。
置において、直流電源(1)の出力電圧(約40KV)
を(El)とすると、コンデンサ(4)およびコンデン
サJaはともにこの出力;圧(El)の電圧値に充電さ
れ、この状、聾より高速スイッチ(5)のゲートα4)
に所定のパルス幅の信号を与えて導通状態にすると、コ
ンデンサ(4)の電圧は主電極(6)、 (71間に印
加され、またコンデンサαつの電圧はコンデンサ(財)
によって分圧される。ここで、それぞれの静電容量を(
C2) 、 (C3)とすると、C2/C2+C5・E
+ (約5KV)の電圧が補助電極(8)、(9)に印
加される。
この補助電極(8)、(9)間のギャップは、上記のC
2/C2+C3・Elの電圧が印加されると瞬時に放電
が開始するような間隙に定められている。一方、主電極
(6)i7)はレーザ光の励起条件に応じた広い電極間
隔を有しているので、電圧(El)の印加開始時には放
電せず、補助電極(8)。
2/C2+C3・Elの電圧が印加されると瞬時に放電
が開始するような間隙に定められている。一方、主電極
(6)i7)はレーザ光の励起条件に応じた広い電極間
隔を有しているので、電圧(El)の印加開始時には放
電せず、補助電極(8)。
(9)間に放電が発生すると瞬時にコンデンサE、 n
のエネルギが補助電極(8)、 (91間に放出され、
主電極(6)、(7)間のインピーダンスが砥下してこ
の主電極(6)、(7)間に放電が開始するととも、に
コンデンサ(4)のエネルギが主電極(6)、(7)間
に投入され、パルスレーザ励起が開始される。
のエネルギが補助電極(8)、 (91間に放出され、
主電極(6)、(7)間のインピーダンスが砥下してこ
の主電極(6)、(7)間に放電が開始するととも、に
コンデンサ(4)のエネルギが主電極(6)、(7)間
に投入され、パルスレーザ励起が開始される。
(発明が解決しようとする問題点)
上記のような従来のパルスレーザ励起用の電ii+N装
置では、補助電極による予備放電が主電極の何れか一方
の側でのみ行なわれので、安定した主電極放電が得られ
ないことがあるとともに、所定のパルス幅で開閉する高
速スイッチには主電極の放電電圧が印加されるようにな
っているため、高耐圧の高価なものを使用しなければな
らないなどの問題があった。
置では、補助電極による予備放電が主電極の何れか一方
の側でのみ行なわれので、安定した主電極放電が得られ
ないことがあるとともに、所定のパルス幅で開閉する高
速スイッチには主電極の放電電圧が印加されるようにな
っているため、高耐圧の高価なものを使用しなければな
らないなどの問題があった。
この発明はかかる問題点を解消するためになされたもの
で、比較的低い耐圧機能の開閉手段でパルス出力が得ら
れ、しかも安定した主電極放電が実現できる電源装置を
得ることを目的とする。
で、比較的低い耐圧機能の開閉手段でパルス出力が得ら
れ、しかも安定した主電極放電が実現できる電源装置を
得ることを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
この発明に係るパルスレーザ励起用の電源装置は、主電
極の両極側のそれぞれに補助電極を設け、これらの補助
電極に放電電圧を印加するための昇圧用トランスの1次
側に所定のパルス幅で開閉する半導体スイッチを設け、
また2次側には波形補償用コンデンサを設けるようにし
たものである。
極の両極側のそれぞれに補助電極を設け、これらの補助
電極に放電電圧を印加するための昇圧用トランスの1次
側に所定のパルス幅で開閉する半導体スイッチを設け、
また2次側には波形補償用コンデンサを設けるようにし
たものである。
この発明においては、主電極の両極側に予備放電のため
の補助電極が設けられているので、安定した主電極間の
主放電が得られる。また、補助電極に放電電圧を印加す
るための昇圧用トランスの2次側に設けた波形補償用コ
ンデンサによって、昇圧用トランスおよび半導体スイッ
チの動作中に生じるパルス波形の歪みを矯正し、急峻な
波形のパルス電圧を出力する。
の補助電極が設けられているので、安定した主電極間の
主放電が得られる。また、補助電極に放電電圧を印加す
るための昇圧用トランスの2次側に設けた波形補償用コ
ンデンサによって、昇圧用トランスおよび半導体スイッ
チの動作中に生じるパルス波形の歪みを矯正し、急峻な
波形のパルス電圧を出力する。
(発明の実施例)
第1図および第2図はこの発明の一実施例によるパルス
レーザ励起用の電源装置の構成を示す回路である。第1
図において、(1)は出力端が±E2(約±l0KVに
設定)の直流電源で、この直流電源(1)の出力は抵抗
(り、(5)を経てコンデンサ(4)に接続される。(
6)、(7)は主電極、(8a) 、 (9a)は第1
の補助電極、(ab) 、 (9b)は第2の補助電極
(18a) 、 (18b)は波形補償用のコンデンサ
、(17a)。
レーザ励起用の電源装置の構成を示す回路である。第1
図において、(1)は出力端が±E2(約±l0KVに
設定)の直流電源で、この直流電源(1)の出力は抵抗
(り、(5)を経てコンデンサ(4)に接続される。(
6)、(7)は主電極、(8a) 、 (9a)は第1
の補助電極、(ab) 、 (9b)は第2の補助電極
(18a) 、 (18b)は波形補償用のコンデンサ
、(17a)。
(17b)は第2図に1次巻線側示す昇圧トランス(1
6)の2次巻線である。
6)の2次巻線である。
第2図は上記2次巻線(17a) 、 (17b)の図
示を省略した昇圧トランス(16)の1次巻線の構成を
示す回路図であり、(17c)は1次巻線、週は出力端
がE3 (約500■に設定)の直流電源、器は抵抗
、21)はコンデンサ、(社)は例えばSCRのような
半導体スイッチである。
示を省略した昇圧トランス(16)の1次巻線の構成を
示す回路図であり、(17c)は1次巻線、週は出力端
がE3 (約500■に設定)の直流電源、器は抵抗
、21)はコンデンサ、(社)は例えばSCRのような
半導体スイッチである。
上記のように構成されたこの発明による電源装置におい
て、コンデンサ(4)は2E2(約20KV)に、コン
デンサ(社)にはE3(約500V)の電圧が充電され
、半導体スイッチ(社)を導通状態にするとコンデンサ
(社)に蓄えられた電荷は昇圧トランス(IEf)によ
って昇圧され、補助電極(8a) 、 (9a)および
補助電極(8b) 、 (9b)に印加されるとともに
、主電極(6)、(7)にも印加される。
て、コンデンサ(4)は2E2(約20KV)に、コン
デンサ(社)にはE3(約500V)の電圧が充電され
、半導体スイッチ(社)を導通状態にするとコンデンサ
(社)に蓄えられた電荷は昇圧トランス(IEf)によ
って昇圧され、補助電極(8a) 、 (9a)および
補助電極(8b) 、 (9b)に印加されるとともに
、主電極(6)、(7)にも印加される。
ここで、昇圧トランス(16)の1次、2次巻線(17
c) 、 (178) 、 (17b)の巻線比を1
:20:20とすると、補助室h (8a) 、 (9
a)および補助電極(8b)。
c) 、 (178) 、 (17b)の巻線比を1
:20:20とすると、補助室h (8a) 、 (9
a)および補助電極(8b)。
(9b)に印加される電圧は20E3 10KV、
また主電極(8) 、 (7) ニは2E2+2X20
E341)KVの電圧が印加され、これらの印加1圧を
それぞれの放電開始電圧よりも高く設定しておけば、半
導体スイッチ(社)を所定のパルス幅で開閉状態にする
とコンデンサI21)のエネルギは過渡的にコンデンサ
(18a) 、 (18b)に蓄えられ、次いで急峻な
電流の変化によって主電極(f3)17)および補助電
極(8a)、 (9a)、(8b)、(9b)にエネ
ルギが投入され、予備放電とともに主電極(6)、 (
7)間に安定な放電が生じてパルスレーザ励起が開始さ
れる。
また主電極(8) 、 (7) ニは2E2+2X20
E341)KVの電圧が印加され、これらの印加1圧を
それぞれの放電開始電圧よりも高く設定しておけば、半
導体スイッチ(社)を所定のパルス幅で開閉状態にする
とコンデンサI21)のエネルギは過渡的にコンデンサ
(18a) 、 (18b)に蓄えられ、次いで急峻な
電流の変化によって主電極(f3)17)および補助電
極(8a)、 (9a)、(8b)、(9b)にエネ
ルギが投入され、予備放電とともに主電極(6)、 (
7)間に安定な放電が生じてパルスレーザ励起が開始さ
れる。
(発明の効果〕
この発明は以上説明したとおり、補助電極を主電極の両
極側のそれぞれに設け、これらの補助電極に対する放電
電圧をトランスによって昇圧して印加し、このトランス
の1次側に設けた半導体スイッチによって発振装置を起
動するように構成したので、半導体スイッチのような比
較的耐圧の低い安価な開閉手段によって超薄ができると
ともに、主電極の両極で予備放電をするので安定した放
電開始が行なわれる効果がある。
極側のそれぞれに設け、これらの補助電極に対する放電
電圧をトランスによって昇圧して印加し、このトランス
の1次側に設けた半導体スイッチによって発振装置を起
動するように構成したので、半導体スイッチのような比
較的耐圧の低い安価な開閉手段によって超薄ができると
ともに、主電極の両極で予備放電をするので安定した放
電開始が行なわれる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例によるパルスレーザ励起用
の電源装置における主電極および補助電極等の構成を示
す回路図、第2図は第1図における補助電極に放電電圧
を印加するための昇圧用トランスの1次側の構成を示す
回路図、第3図は従来のパルスレーザ励起用の1源装着
の一例を示す回路図である。 図において、(6)、 (7)は主電極、(8a) 、
(9a)および(8b) 、 (9b)は補助電極、
(16)は昇圧用トランス、(18a) 、 (18b
)は波形補償用コンデンサ、α9は直流電源、器は半導
体スイッチ。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第 1 図 18a、18b;う&刑7奢帛°イ1用コごテ゛シブ+
9;、tプヒ!、戸 22二斗ダ予休スイ・・ノ千
の電源装置における主電極および補助電極等の構成を示
す回路図、第2図は第1図における補助電極に放電電圧
を印加するための昇圧用トランスの1次側の構成を示す
回路図、第3図は従来のパルスレーザ励起用の1源装着
の一例を示す回路図である。 図において、(6)、 (7)は主電極、(8a) 、
(9a)および(8b) 、 (9b)は補助電極、
(16)は昇圧用トランス、(18a) 、 (18b
)は波形補償用コンデンサ、α9は直流電源、器は半導
体スイッチ。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第 1 図 18a、18b;う&刑7奢帛°イ1用コごテ゛シブ+
9;、tプヒ!、戸 22二斗ダ予休スイ・・ノ千
Claims (1)
- パルス電圧を主電極間に印加してレーザ励起させる発振
装置において、上記主電極の両極側に設けた予備放電の
ための補助電極と、これら補助電極に放電電圧を、印加
するための直流電源および昇圧用トランスと、この昇圧
用トランスの2次側に波形補償用コンデンサをまた1次
側に所定のパルス幅で開閉する半導体スイッチとをそれ
ぞれ備え、この半導体スイッチの開閉によって上記補助
電極にパルス電圧が印加されるとこれらの補助電極の印
加電圧が主電極に印加されていた電圧に加算され、主電
極間の放電を開始するようにしたことを特徴とするパル
スレーザ励起用電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18017786A JPS6337683A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | パルスレ−ザ励起用電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18017786A JPS6337683A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | パルスレ−ザ励起用電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6337683A true JPS6337683A (ja) | 1988-02-18 |
Family
ID=16078740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18017786A Pending JPS6337683A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | パルスレ−ザ励起用電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6337683A (ja) |
-
1986
- 1986-08-01 JP JP18017786A patent/JPS6337683A/ja active Pending
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