JPS63382B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63382B2 JPS63382B2 JP58030015A JP3001583A JPS63382B2 JP S63382 B2 JPS63382 B2 JP S63382B2 JP 58030015 A JP58030015 A JP 58030015A JP 3001583 A JP3001583 A JP 3001583A JP S63382 B2 JPS63382 B2 JP S63382B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soot
- electrode
- glass body
- tube burner
- porous glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/46—Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/62—Distance
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は気相軸付法による多孔質ガラス体の製
造方法に係わる。
造方法に係わる。
［背景技術］
CVD法と称する方法により多孔質ガラス体を
製造する方法には、回転する棒状出発部材があ
り、この出発部材に、ガラスのすすを気相により
横方向から吹き付け、前記出発部材の長さ方向に
順次すすを堆積させて行くような方法および第１
図、第２図に示すように、回転する出発部材の回
転軸線方向にガラスのすすを気相により吹き付け
て順次成長堆積させるような方法がある。前記二
つの方法のうち後者を気相軸付法（VAD法）と
呼んでいるが、第１図はこの例を示すものであ
る。図において、多重管バーナー２よりのガラス
原料ガスを含む酸水素焔３を回転する出発部材１
の軸方向に吹出し、回転軸線方向にガラスのすす
４を堆積させる。
製造する方法には、回転する棒状出発部材があ
り、この出発部材に、ガラスのすすを気相により
横方向から吹き付け、前記出発部材の長さ方向に
順次すすを堆積させて行くような方法および第１
図、第２図に示すように、回転する出発部材の回
転軸線方向にガラスのすすを気相により吹き付け
て順次成長堆積させるような方法がある。前記二
つの方法のうち後者を気相軸付法（VAD法）と
呼んでいるが、第１図はこの例を示すものであ
る。図において、多重管バーナー２よりのガラス
原料ガスを含む酸水素焔３を回転する出発部材１
の軸方向に吹出し、回転軸線方向にガラスのすす
４を堆積させる。
この際、堆積するガラスのすす４の収率向上を
はかるため、多重管バーナー２と出発部材１との
間に直流電源５により、吹出すガラス原料ガスを
含む酸水素焔に影響を及ぼすように電界を加える
方法がすでに提案されている。
はかるため、多重管バーナー２と出発部材１との
間に直流電源５により、吹出すガラス原料ガスを
含む酸水素焔に影響を及ぼすように電界を加える
方法がすでに提案されている。
この場合、すす４の堆積、成長に従つて、多重
管バーナー２はすす４の成長面との間隔を一定に
保持する必要性から、電界のかかつている出発部
材１そのものが、多重管バーナー２より次第に離
れて行くことになり、期待するすすの収率の低下
が免れないばかりでなく、更に多重管バーナー２
よりのガラス原料ガスがドーパント濃度、種類の
異なつた複数のガラス原料ガスよりなり、これら
のガラス原料ガスを区分して吹出し、最終的に所
望の屈折率分布を有する多孔質ガラス体を製造す
るような場合、製造中における電界の変動は製造
される多孔質ガラス体の長さ方向各断面における
半径方向の予定される屈折率分布に変動を与える
結果となる。
管バーナー２はすす４の成長面との間隔を一定に
保持する必要性から、電界のかかつている出発部
材１そのものが、多重管バーナー２より次第に離
れて行くことになり、期待するすすの収率の低下
が免れないばかりでなく、更に多重管バーナー２
よりのガラス原料ガスがドーパント濃度、種類の
異なつた複数のガラス原料ガスよりなり、これら
のガラス原料ガスを区分して吹出し、最終的に所
望の屈折率分布を有する多孔質ガラス体を製造す
るような場合、製造中における電界の変動は製造
される多孔質ガラス体の長さ方向各断面における
半径方向の予定される屈折率分布に変動を与える
結果となる。
［発明の開示］
本発明は以上説明したような加える電界の変動
をなくすため、VAD法によりすすを堆積するに
際し、バーナーとすす成長面の外周近傍に配設し
た電極との間に直流電圧を印加し、前記すす成長
面と電極およびバーナーの相対的間隔を一定に保
持しながら多孔質ガラス体を製造しようとするも
のである。
をなくすため、VAD法によりすすを堆積するに
際し、バーナーとすす成長面の外周近傍に配設し
た電極との間に直流電圧を印加し、前記すす成長
面と電極およびバーナーの相対的間隔を一定に保
持しながら多孔質ガラス体を製造しようとするも
のである。
［実施例］
第２図は本発明の一実施例を示す。第１図と同
一部分には同一符号を用いている。図において４
は図示していない回転する出発部材の軸線方向に
成長、堆積した多孔質ガラス体である。２は多重
管バーナーであり、６はリング状の電極である。
また７は多重管バーナー２の先端より突出させた
先端針状の電極であり、通常多重管バーナー２と
同電位に維持する。
一部分には同一符号を用いている。図において４
は図示していない回転する出発部材の軸線方向に
成長、堆積した多孔質ガラス体である。２は多重
管バーナーであり、６はリング状の電極である。
また７は多重管バーナー２の先端より突出させた
先端針状の電極であり、通常多重管バーナー２と
同電位に維持する。
図示していないが、多重管バーナー２は金属製
隔壁または金属製隔壁と無機材質の隔壁の組合せ
よりなり、一定間隔を隔てて同心配置される多重
管バーナー２と電極６の間に電気的絶縁を施し、
場合に応じ、必要な一定間隔を保つて固定できる
ような機構により、一定の間隔おいて保持され
る。多重管バーナー２を構成する各隔壁８区分に
よる管路よりガラス原料ガスSiCl4、CeCl4、
POCl3、BBr3等が気相で供給され、これに燃料
としてのH2ガスおよびO2ガス、更に不活性ガス
としてAr、Heガス等が供給される。前記のよう
に、多重管バーナー２の先端より突出させた電極
７のかわりに、前記多重管バーナー２の金属製の
隔壁８を若干突出させ電極９とすることもでき
る。
隔壁または金属製隔壁と無機材質の隔壁の組合せ
よりなり、一定間隔を隔てて同心配置される多重
管バーナー２と電極６の間に電気的絶縁を施し、
場合に応じ、必要な一定間隔を保つて固定できる
ような機構により、一定の間隔おいて保持され
る。多重管バーナー２を構成する各隔壁８区分に
よる管路よりガラス原料ガスSiCl4、CeCl4、
POCl3、BBr3等が気相で供給され、これに燃料
としてのH2ガスおよびO2ガス、更に不活性ガス
としてAr、Heガス等が供給される。前記のよう
に、多重管バーナー２の先端より突出させた電極
７のかわりに、前記多重管バーナー２の金属製の
隔壁８を若干突出させ電極９とすることもでき
る。
前記出発部材側に配置される電極６と多重管バ
ーナー２側の電極間に直流高電圧を電源５により
印加する。図に示すように直流高電圧は出発部材
側が＋の極性となつているが、これを逆にするこ
ともある。電極６の位置は図に示すように、多孔
質ガラス体４の成長面の外周近傍にあるように配
置され、これに対して、多重管バーナー２は多孔
質ガラス体４の成長面に対して、火焔によりガラ
ス原料ガスの吹付け作業を行う際、電界をかけた
状態でガラス原料ガスよりのガラスのすすが多孔
質ガラス体の成長面に到達するような間隔をとつ
て、以後多重管バーナー２と電極６とは相対的に
一定の間隔を保つて維持され、多重管バーナー２
と多孔質ガラス体４の成長面とも相対的に一定間
隔を保つようにされ、多重管バーナー２より、す
でに説明したガラス原料ガス、燃料としてのガ
ス、不活性ガスが常に一定量供給される状態で作
業を行う。このような状態で、多重管バーナー２
を点火し、火焔中にガラス原料ガス等を送り出せ
ば、送り出された気体および酸化微粒子（すす）
の一部または全部が帯電されるが、その移動中に
帯電した気体および酸化微粒子は一部中和してイ
オンを失う。しかし、帯電の量と、電界の極性を
選択することにより、前記酸化微粒子は帯電した
状態で多孔質ガラス体４の表面に到達して付着
し、多孔質ガラス体４をその回転軸線方向に成長
させる。図に示すように、多重管バーナー２より
突出した電極７を備える構成をとるときは、火焔
を生成させたとき、火焔中に電極７が入ることに
なり、このようにすれば、電極７の近傍に電界の
集中を生じ、周辺を通過する酸化微粒子がイオン
化しやすい。
ーナー２側の電極間に直流高電圧を電源５により
印加する。図に示すように直流高電圧は出発部材
側が＋の極性となつているが、これを逆にするこ
ともある。電極６の位置は図に示すように、多孔
質ガラス体４の成長面の外周近傍にあるように配
置され、これに対して、多重管バーナー２は多孔
質ガラス体４の成長面に対して、火焔によりガラ
ス原料ガスの吹付け作業を行う際、電界をかけた
状態でガラス原料ガスよりのガラスのすすが多孔
質ガラス体の成長面に到達するような間隔をとつ
て、以後多重管バーナー２と電極６とは相対的に
一定の間隔を保つて維持され、多重管バーナー２
と多孔質ガラス体４の成長面とも相対的に一定間
隔を保つようにされ、多重管バーナー２より、す
でに説明したガラス原料ガス、燃料としてのガ
ス、不活性ガスが常に一定量供給される状態で作
業を行う。このような状態で、多重管バーナー２
を点火し、火焔中にガラス原料ガス等を送り出せ
ば、送り出された気体および酸化微粒子（すす）
の一部または全部が帯電されるが、その移動中に
帯電した気体および酸化微粒子は一部中和してイ
オンを失う。しかし、帯電の量と、電界の極性を
選択することにより、前記酸化微粒子は帯電した
状態で多孔質ガラス体４の表面に到達して付着
し、多孔質ガラス体４をその回転軸線方向に成長
させる。図に示すように、多重管バーナー２より
突出した電極７を備える構成をとるときは、火焔
を生成させたとき、火焔中に電極７が入ることに
なり、このようにすれば、電極７の近傍に電界の
集中を生じ、周辺を通過する酸化微粒子がイオン
化しやすい。
なお一般的について、火焔とともに送出された
気体および酸化微粒子は電界がなくても一部帯電
の状態で存在するものと推定される。そして多重
管バーナー２の先端を絞つたり、ノズル状とする
ことにより、送り出される気体や酸化微粒子の帯
電の量の多寡を調整できるものと推定される。
気体および酸化微粒子は電界がなくても一部帯電
の状態で存在するものと推定される。そして多重
管バーナー２の先端を絞つたり、ノズル状とする
ことにより、送り出される気体や酸化微粒子の帯
電の量の多寡を調整できるものと推定される。
［作用効果］
以上説明したように、本発明はガラスすすを堆
積させて多孔質ガラス体を作るに当り、多孔質ガ
ラス体の成長面の外周近傍に配置される電極と多
重管バーナーとの間に電界をかけた際、前記電極
と多重管バーナーと多孔質ガラス体の成長面の相
対間隔を一定に保つて作業を行うため、すすの堆
積収率を上げることができるのと同時に、結果的
に多孔質ガラス体を熱処理延線してできるガラス
フアイバーに極めて精度の高い屈折率分布をもた
せることができる。
積させて多孔質ガラス体を作るに当り、多孔質ガ
ラス体の成長面の外周近傍に配置される電極と多
重管バーナーとの間に電界をかけた際、前記電極
と多重管バーナーと多孔質ガラス体の成長面の相
対間隔を一定に保つて作業を行うため、すすの堆
積収率を上げることができるのと同時に、結果的
に多孔質ガラス体を熱処理延線してできるガラス
フアイバーに極めて精度の高い屈折率分布をもた
せることができる。
第１図は電界をかけた気相軸付法の説明図であ
る。第２図は本発明の実施例を示す。 １……出発部材、２……多重管バーナー、３…
…ガラス原料ガスを含む酸水素焔、４……多孔質
ガラス体、５……直流高圧電源、６……電極、７
……先端針状電極、８……多重管バーナーの隔
壁、９……電極。
る。第２図は本発明の実施例を示す。 １……出発部材、２……多重管バーナー、３…
…ガラス原料ガスを含む酸水素焔、４……多孔質
ガラス体、５……直流高圧電源、６……電極、７
……先端針状電極、８……多重管バーナーの隔
壁、９……電極。
Claims (1)
- １ 気相軸付法によりすすを堆積するに際し、バ
ーナーとすす成長面の外周近傍に配設した電極と
の間に直流電圧を印加し、前記すす成長面と電極
およびバーナーの相対的間隔を一定に保持するこ
とを特徴とする気相軸付法による多孔質ガラス体
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3001583A JPS59156930A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3001583A JPS59156930A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59156930A JPS59156930A (ja) | 1984-09-06 |
| JPS63382B2 true JPS63382B2 (ja) | 1988-01-06 |
Family
ID=12292028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3001583A Granted JPS59156930A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59156930A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63185187U (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-29 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2767726B2 (ja) * | 1991-10-22 | 1998-06-18 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造装置 |
| US6003342A (en) * | 1991-10-25 | 1999-12-21 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for production of optical fiber preform |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314723A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-09 | Sumitomo Electric Industries | Process for preparing highhpurity glass |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP3001583A patent/JPS59156930A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63185187U (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-29 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59156930A (ja) | 1984-09-06 |
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