JPS6338637B2 - - Google Patents
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- JPS6338637B2 JPS6338637B2 JP60174259A JP17425985A JPS6338637B2 JP S6338637 B2 JPS6338637 B2 JP S6338637B2 JP 60174259 A JP60174259 A JP 60174259A JP 17425985 A JP17425985 A JP 17425985A JP S6338637 B2 JPS6338637 B2 JP S6338637B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- adhesive
- adhesive sheet
- firing
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
本発明は、薄板状セラミツクを複数枚重ねて焼
成する時に用いられるセラミツク焼成用接着性シ
ートに関するものであり、特に反りが少なく、且
つ平滑な高密度薄板状セラミツクを量産性良く製
造するために用いられるセラミツク焼成用接着性
シートを提供することを目的とする。 最近、電子部品の分野において薄板状セラミツ
クを利用した応用製品の開発が盛んに行なわれて
いる。そこではセラミツクシートの精度に対する
要求が高く、一方価格低廉化の期待も大きいもの
がある。
成する時に用いられるセラミツク焼成用接着性シ
ートに関するものであり、特に反りが少なく、且
つ平滑な高密度薄板状セラミツクを量産性良く製
造するために用いられるセラミツク焼成用接着性
シートを提供することを目的とする。 最近、電子部品の分野において薄板状セラミツ
クを利用した応用製品の開発が盛んに行なわれて
いる。そこではセラミツクシートの精度に対する
要求が高く、一方価格低廉化の期待も大きいもの
がある。
従来、セラミツク素子の供給は焼結体若しくは
単結晶のインゴツトを所定形状に切断・研摩加工
することによりなされて来たが、加工歪による電
気的特性の劣化、更には加工費用が高価であると
いう問題があつた。このため、工程の簡略化や量
産性の向上を目的として焼成と同時に所定形状の
素子を安価に得る方法が望まれている。 薄板状焼結体の製造方法としては、一般にセラ
ミツク素材を結合物質と共に混練成形し、一定厚
みの生シートを作成し、用途に応じた所定形状に
打ち抜き、之を焼成するという方法が行われてお
り、その量産性を高めるために打ち抜かれた生シ
ートはそのセラミツク素材と高温焼成時に反応し
難い他の無機材料微粉体（以下、無機微粉と称
す）をセラミツク表面に付着させ複数枚重ねて焼
成する方法が用いられている。 この無機微粉の付着法には 打ち抜かれた生シートを並べて篩を用いて無
機微粉を均一に生シート上に付着させる方法 生シートに請電気を帯電させ、その表面に無
機微粉を付着させる方法 無機微粉を溶媒に配合した懸濁液をセラミツ
クシート上に塗布後、乾燥する方法 などがある。
単結晶のインゴツトを所定形状に切断・研摩加工
することによりなされて来たが、加工歪による電
気的特性の劣化、更には加工費用が高価であると
いう問題があつた。このため、工程の簡略化や量
産性の向上を目的として焼成と同時に所定形状の
素子を安価に得る方法が望まれている。 薄板状焼結体の製造方法としては、一般にセラ
ミツク素材を結合物質と共に混練成形し、一定厚
みの生シートを作成し、用途に応じた所定形状に
打ち抜き、之を焼成するという方法が行われてお
り、その量産性を高めるために打ち抜かれた生シ
ートはそのセラミツク素材と高温焼成時に反応し
難い他の無機材料微粉体（以下、無機微粉と称
す）をセラミツク表面に付着させ複数枚重ねて焼
成する方法が用いられている。 この無機微粉の付着法には 打ち抜かれた生シートを並べて篩を用いて無
機微粉を均一に生シート上に付着させる方法 生シートに請電気を帯電させ、その表面に無
機微粉を付着させる方法 無機微粉を溶媒に配合した懸濁液をセラミツ
クシート上に塗布後、乾燥する方法 などがある。
、の方法については、粉体の侭扱うため、
付着むらが生じ易く、焼結体の反りや、凹みが避
け難いものであつた。 の方法については、上記、の方法に較べ
均一付着が可能であるが、セラミツクシートへの
溶媒懸濁液の塗工乾燥工程・乾燥設備が必要であ
り、生産効率が低かつた。
付着むらが生じ易く、焼結体の反りや、凹みが避
け難いものであつた。 の方法については、上記、の方法に較べ
均一付着が可能であるが、セラミツクシートへの
溶媒懸濁液の塗工乾燥工程・乾燥設備が必要であ
り、生産効率が低かつた。
本発明はこの様な問題点を解決せんとして成さ
れたものであり、セラミツク生シートと高温焼成
時において反応しない平均粒径５乃至150μｍの
無機材料微粉末を内部に均一に含有するかまたは
少なくとも一方の表面に均一に有しており、且つ
少なくともその片面の表層が接着性付与剤で構成
された所定範囲内の厚さを有するセラミツク焼成
用接着性シートを複数枚のセラミツク生シートの
間に接着性付与剤により接着させて介在させ積層
後、焼結することにより、反りが少なく且つ平滑
な高密度薄板状セラミツクを量産性良く製造する
ことを可能としたものである。 本発明のシートは平均粒径が５〜150μｍの無
機材料微粉体を内部に均一に含有するかまたは少
なくとも一方の表面に均一に有している無機填料
を配合しない紙またはプラスチツクから成る基材
の少なくとも片面の表層が接着性付与剤で構成さ
れており、且つ0.02〜1.5mmの総厚みを有するこ
とを特徴とするセラミツク焼成用接着性シートで
あり、更には、平均粒径が５乃至150μｍの無機
微粉を紙またはプラスチツクフイルムの内部に抄
き込みやブレンドなどの手法により予め配合した
無機微粉配合紙または配合フイルムの表面に感圧
性接着剤を塗工・乾燥して得られる総厚みが0.02
乃至1.5mmのシートであつて、感圧性接着剤の付
着防止のために片面若しくは両面剥離紙が貼合さ
れた構成も可能である。 また、接着性付与剤として、再湿タイプの接着
剤を上記感圧性接着剤の代わりに用いることが出
来る。この場合、接着剤付着防止のための剥離紙
の使用を必要とせず、また生シート積層後の位置
移動を容易に行なえる利点がある。 上記した本発明シートの構成を拡大断面図によ
つて説明すると、第１図は接着性付与剤として再
湿タイプ接着剤を用いた場合、第２図は無機材料
微粉体を配合した感圧接着剤を基材の片面に塗布
した場合、第３図は無機材料微粉体を内部に含有
した基材の両面に感圧接着剤を塗布した場合を示
し、図面中、１は基材、２は無機材料微粉体、３
は接着性付与剤、４は剥離紙を示す。 特公昭60−8991号には敷粉を含有した紙または
プラスチツクシートの使用が開示されているが、
該基紙またはシートには接着性付与の手法が採ら
れていないため、セラミツク生シートの高温焼成
時の初期段階において基材である紙またはプラス
チツクが炭化→燃焼に至るまでの過程で該基材に
収縮が起つた際、セラミツク生シートと該基材と
が滑り易く、セラミツク生シートに比べ基材の寸
法が小さくなり、重ね合わせたセラミツク生シー
ト同士の部分的接触による熱融着、反りなどが問
題となる。 本発明は接着性付与剤を表面塗工した紙・プラ
スチツクフイルム・発泡プラスチツクシートを用
いることにより、高温焼成時の初期段階における
紙またはプラスチツクの熱収縮によるセラミツク
生シートと紙またはプラスチツクとの寸法変動を
最小限に抑えられ重ね合わせたセラミツク生シー
ト同士の直接接触が起こらないため、反りの無い
平滑な高密度薄板状セラミツク焼結体が得られる
ことを見い出したものである。 茲で無機微粉としては、平均粒径５乃至150μ
ｍを有するＢ、Mg、Al、Si、Ti、Zrの中から選
ばれる少なくとも１種の酸化物若しくはＢ、Si、
Ti、Ta、Ｗの中から選ばれる少なくとも１種以
上の炭化物を用いることが出来る。 また、無機微粉の平均粒径が5μｍ未満の場合
には微粉表面積が大きくなり、焼結時にセラミツ
ク生シートとの反応を起こす問題があり、一方
150μｍを越える場合には基材の表面若しくは内
部に無機微粉を均一に存在せしめることが難かし
く、この様な大きな粉体を含有したシートを用い
て焼成した薄板状セラミツクには反りや表面粗面
化が生じ易い。よつて反りの無い平滑な薄板状セ
ラミツクを得るためには、無機微粉の平均粒径は
５乃至150μｍが適当である。 基材を含む総厚みは0.02乃至1.50mmが好まし
く、総厚みが1.50mmを超える場合には高温焼成時
の初期段階における紙・プラスチツクの熱収縮に
よる寸法変動を抑えることが難かしく、また基材
内部での滑りも生じ易く重ね合わせた生シートが
ズレて了う問題が生ずる。 本発明の接着性付与剤としては、ポリアクリル
酸アルキルエステル、ポリメタクリル酸アルキル
エステル、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリ酢
酸ビニルスチレンブタジエンゴム、イソプレンゴ
ムなどの樹脂を主成分とし、粘着付与剤などの助
剤を配合した感圧接着剤または、でんぷん、デキ
ストリン、カルボキシメチルセルロース、ポリビ
ニルアルコール、ポリ酢酸ビニルを単独または混
合配合した再湿性接着剤が用いられる。 基材としては、炭酸カルシウム、クレー、カオ
リンなどの無機填料を配合しない紙または、ポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフ
タレート、エチレン酢酸ビニル共重合物などのプ
ラスチツクフイルム或いはポリスチレン、ポリウ
レタンなどの発泡プラスチツクシートが用いられ
る。 炭酸カルシウム、クレーやカオリンなどの無機
填料を配合した紙を用いると、前述した無機材料
微粉体として選ばれる炭化物、酸化物以外の無機
材料を配合することになり、本発明の如きフアイ
ンセラミツクの原料であるセラミツク焼成用接着
性シートとしては極めて高い純度を必要とするの
みならず、焼成時に反応を起こす虞れもあるた
め、無機填料の配合しない紙を用いるべきであ
る。 本発明によると、重ね合わせた複数枚のセラミ
ツク生シート同士の部分的な接触を生ぜしめる事
なく、反りの無い平滑な高密度薄板状セラミツク
を量産性良く得ることが出来るのである。
れたものであり、セラミツク生シートと高温焼成
時において反応しない平均粒径５乃至150μｍの
無機材料微粉末を内部に均一に含有するかまたは
少なくとも一方の表面に均一に有しており、且つ
少なくともその片面の表層が接着性付与剤で構成
された所定範囲内の厚さを有するセラミツク焼成
用接着性シートを複数枚のセラミツク生シートの
間に接着性付与剤により接着させて介在させ積層
後、焼結することにより、反りが少なく且つ平滑
な高密度薄板状セラミツクを量産性良く製造する
ことを可能としたものである。 本発明のシートは平均粒径が５〜150μｍの無
機材料微粉体を内部に均一に含有するかまたは少
なくとも一方の表面に均一に有している無機填料
を配合しない紙またはプラスチツクから成る基材
の少なくとも片面の表層が接着性付与剤で構成さ
れており、且つ0.02〜1.5mmの総厚みを有するこ
とを特徴とするセラミツク焼成用接着性シートで
あり、更には、平均粒径が５乃至150μｍの無機
微粉を紙またはプラスチツクフイルムの内部に抄
き込みやブレンドなどの手法により予め配合した
無機微粉配合紙または配合フイルムの表面に感圧
性接着剤を塗工・乾燥して得られる総厚みが0.02
乃至1.5mmのシートであつて、感圧性接着剤の付
着防止のために片面若しくは両面剥離紙が貼合さ
れた構成も可能である。 また、接着性付与剤として、再湿タイプの接着
剤を上記感圧性接着剤の代わりに用いることが出
来る。この場合、接着剤付着防止のための剥離紙
の使用を必要とせず、また生シート積層後の位置
移動を容易に行なえる利点がある。 上記した本発明シートの構成を拡大断面図によ
つて説明すると、第１図は接着性付与剤として再
湿タイプ接着剤を用いた場合、第２図は無機材料
微粉体を配合した感圧接着剤を基材の片面に塗布
した場合、第３図は無機材料微粉体を内部に含有
した基材の両面に感圧接着剤を塗布した場合を示
し、図面中、１は基材、２は無機材料微粉体、３
は接着性付与剤、４は剥離紙を示す。 特公昭60−8991号には敷粉を含有した紙または
プラスチツクシートの使用が開示されているが、
該基紙またはシートには接着性付与の手法が採ら
れていないため、セラミツク生シートの高温焼成
時の初期段階において基材である紙またはプラス
チツクが炭化→燃焼に至るまでの過程で該基材に
収縮が起つた際、セラミツク生シートと該基材と
が滑り易く、セラミツク生シートに比べ基材の寸
法が小さくなり、重ね合わせたセラミツク生シー
ト同士の部分的接触による熱融着、反りなどが問
題となる。 本発明は接着性付与剤を表面塗工した紙・プラ
スチツクフイルム・発泡プラスチツクシートを用
いることにより、高温焼成時の初期段階における
紙またはプラスチツクの熱収縮によるセラミツク
生シートと紙またはプラスチツクとの寸法変動を
最小限に抑えられ重ね合わせたセラミツク生シー
ト同士の直接接触が起こらないため、反りの無い
平滑な高密度薄板状セラミツク焼結体が得られる
ことを見い出したものである。 茲で無機微粉としては、平均粒径５乃至150μ
ｍを有するＢ、Mg、Al、Si、Ti、Zrの中から選
ばれる少なくとも１種の酸化物若しくはＢ、Si、
Ti、Ta、Ｗの中から選ばれる少なくとも１種以
上の炭化物を用いることが出来る。 また、無機微粉の平均粒径が5μｍ未満の場合
には微粉表面積が大きくなり、焼結時にセラミツ
ク生シートとの反応を起こす問題があり、一方
150μｍを越える場合には基材の表面若しくは内
部に無機微粉を均一に存在せしめることが難かし
く、この様な大きな粉体を含有したシートを用い
て焼成した薄板状セラミツクには反りや表面粗面
化が生じ易い。よつて反りの無い平滑な薄板状セ
ラミツクを得るためには、無機微粉の平均粒径は
５乃至150μｍが適当である。 基材を含む総厚みは0.02乃至1.50mmが好まし
く、総厚みが1.50mmを超える場合には高温焼成時
の初期段階における紙・プラスチツクの熱収縮に
よる寸法変動を抑えることが難かしく、また基材
内部での滑りも生じ易く重ね合わせた生シートが
ズレて了う問題が生ずる。 本発明の接着性付与剤としては、ポリアクリル
酸アルキルエステル、ポリメタクリル酸アルキル
エステル、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリ酢
酸ビニルスチレンブタジエンゴム、イソプレンゴ
ムなどの樹脂を主成分とし、粘着付与剤などの助
剤を配合した感圧接着剤または、でんぷん、デキ
ストリン、カルボキシメチルセルロース、ポリビ
ニルアルコール、ポリ酢酸ビニルを単独または混
合配合した再湿性接着剤が用いられる。 基材としては、炭酸カルシウム、クレー、カオ
リンなどの無機填料を配合しない紙または、ポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフ
タレート、エチレン酢酸ビニル共重合物などのプ
ラスチツクフイルム或いはポリスチレン、ポリウ
レタンなどの発泡プラスチツクシートが用いられ
る。 炭酸カルシウム、クレーやカオリンなどの無機
填料を配合した紙を用いると、前述した無機材料
微粉体として選ばれる炭化物、酸化物以外の無機
材料を配合することになり、本発明の如きフアイ
ンセラミツクの原料であるセラミツク焼成用接着
性シートとしては極めて高い純度を必要とするの
みならず、焼成時に反応を起こす虞れもあるた
め、無機填料の配合しない紙を用いるべきであ
る。 本発明によると、重ね合わせた複数枚のセラミ
ツク生シート同士の部分的な接触を生ぜしめる事
なく、反りの無い平滑な高密度薄板状セラミツク
を量産性良く得ることが出来るのである。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例 １
粒子サイズ20μｍに調整されたアルミナ
（Al2O3）をアクリル酸エチルエステルを主成分
としたエマルジヨン系感圧接着剤に10重量％加
え、よく撹拌して懸濁液を作成し、填料無配合の
上質紙（100ｇ／m2）の両面に塗工厚さ50μｍで
塗布し、乾燥してアルミナ微粉含有接着性シート
を作成した。次に0.4μｍに調整されたアルミナと
有機バインダーより形成された厚さ0.7mmの２枚
のセラミツク生シートの間に該接着性シートを介
在積層し、酸化雰囲気中で２時間1700℃の温度で
焼成した。得られた焼結体はセラミツクシート同
士の融着も無く、反り、亀裂の無い高平滑なセラ
ミツクシートであつた。 実施例 ２ 粒子サイズ25μｍ程度に調整されたマグネシア
（MgO）を、でんぷん／ポリビニルアルコールを
40／60部配合した再湿性接着剤に35重量％加え、
よく撹拌して懸濁液を作成し、填料無配合の上質
紙（100ｇ／m2）の両面に塗工厚さ70μｍで塗布
し、乾燥してマグネシア微粉含有接着性シートを
作成した。得られたシートを粒子サイズ0.6μｍに
調整されたマグネシア（MgO）と有機バインダ
ーから形成されたセラミツク生シートに重ね、霧
吹きにより微小水滴を吹き付けた。更にその接着
性シートの上に更に１枚マグネシアセラミツク生
シートを重ね、酸化雰囲気下で２時間2000℃の温
度で焼成した。得られた焼結体はセラミツクシー
ト同士の融着が無く、反り、亀裂の無い高平滑な
セラミツクシートであつた。 比較例 １ 粒子サイズ1μｍに調整されたアルミナ
（Al2O3）をアクリル酸エチルエステル系感圧接
着剤に10重量％加え、よく撹拌して懸濁液を作成
し、填料無配合の上質紙（100ｇ／m2）の両面に
塗工厚さ40μｍで塗布し、乾燥して、アルミナ微
粉体含有接着性シートを得た。 実施例１と同様に焼成を行なつた処、得られた
焼結体はアルミナ微粉体とアルミナシートとの融
着が起こり、表面平滑性が損なわれたセラミツク
シートであつた。 比較例 ２ 粒子サイズ25μｍに調整されたアルミナ微粉体
をアクリル酸エチルエステル系ラテツクスに10重
量％加え、よく撹拌して懸濁液を作成し、填料無
配合の上質紙（100ｇ／m2）の両面に塗工厚さ
50μｍで塗工し、乾燥してアルミナ表面塗被紙を
作成した。該塗被紙はアルミナ生シートとの接着
性を有していない。 以下、実施例１と同様に焼成を行なつた処、得
られた焼結体はアルミナ微粉塗被紙が収縮して了
いアルミナ微粉末が局部的に存在する状態とな
り、焼結体同士に部分融着が認められた。 実施例 ３ 粒子サイズ50μｍに調整されたマグネシア
（MgO）粉体をでんぷん／ポリビニルアルコール
を40／60部配合した再湿接着剤に15重量％加え、
よく撹拌して懸濁液を作成した。この懸濁液を発
泡ポリスチレンシート（発泡倍率10倍、厚さ
600μｍ）の両面に塗工厚さ90μｍで塗工し、乾燥
してマグネシア微粉含有再湿接着性発泡シートを
作成した。 以下、実施例２と同様に焼成した処、反りも無
く、高平滑なセラミツクシートが得られた。 実施例 ４ 粒子サイズ15μｍに調整された炭化珪素（SiC）
をアクリル酸エチルエステルを主成分としたエマ
ルジヨン系感圧接着剤に12重量％加え、よく撹拌
して懸濁液を作成し、実施例１と同様の方法にて
炭化珪素微粉含有接着性シートを作成した。 次に粒子サイズ0.5μｍに調整された炭化珪素と
有機バインダーにより形成された厚さ0.6mmの２
枚のセラミツク生シート間に該接着性シートを介
在積層し、還元雰囲気中で２時間2200℃の温度で
焼成した。得られた焼結体はセラミツクシート同
士の融着も無く、反り、亀裂の無い高平滑なセラ
ミツクシートであつた。 以上の結果より、本発明の無機微粉含有接着性
シートを用いてセラミツク生シートを焼成するこ
とにより、反りの無い高平滑なセラミツク焼結体
を容易に得られることが明らかである。
（Al2O3）をアクリル酸エチルエステルを主成分
としたエマルジヨン系感圧接着剤に10重量％加
え、よく撹拌して懸濁液を作成し、填料無配合の
上質紙（100ｇ／m2）の両面に塗工厚さ50μｍで
塗布し、乾燥してアルミナ微粉含有接着性シート
を作成した。次に0.4μｍに調整されたアルミナと
有機バインダーより形成された厚さ0.7mmの２枚
のセラミツク生シートの間に該接着性シートを介
在積層し、酸化雰囲気中で２時間1700℃の温度で
焼成した。得られた焼結体はセラミツクシート同
士の融着も無く、反り、亀裂の無い高平滑なセラ
ミツクシートであつた。 実施例 ２ 粒子サイズ25μｍ程度に調整されたマグネシア
（MgO）を、でんぷん／ポリビニルアルコールを
40／60部配合した再湿性接着剤に35重量％加え、
よく撹拌して懸濁液を作成し、填料無配合の上質
紙（100ｇ／m2）の両面に塗工厚さ70μｍで塗布
し、乾燥してマグネシア微粉含有接着性シートを
作成した。得られたシートを粒子サイズ0.6μｍに
調整されたマグネシア（MgO）と有機バインダ
ーから形成されたセラミツク生シートに重ね、霧
吹きにより微小水滴を吹き付けた。更にその接着
性シートの上に更に１枚マグネシアセラミツク生
シートを重ね、酸化雰囲気下で２時間2000℃の温
度で焼成した。得られた焼結体はセラミツクシー
ト同士の融着が無く、反り、亀裂の無い高平滑な
セラミツクシートであつた。 比較例 １ 粒子サイズ1μｍに調整されたアルミナ
（Al2O3）をアクリル酸エチルエステル系感圧接
着剤に10重量％加え、よく撹拌して懸濁液を作成
し、填料無配合の上質紙（100ｇ／m2）の両面に
塗工厚さ40μｍで塗布し、乾燥して、アルミナ微
粉体含有接着性シートを得た。 実施例１と同様に焼成を行なつた処、得られた
焼結体はアルミナ微粉体とアルミナシートとの融
着が起こり、表面平滑性が損なわれたセラミツク
シートであつた。 比較例 ２ 粒子サイズ25μｍに調整されたアルミナ微粉体
をアクリル酸エチルエステル系ラテツクスに10重
量％加え、よく撹拌して懸濁液を作成し、填料無
配合の上質紙（100ｇ／m2）の両面に塗工厚さ
50μｍで塗工し、乾燥してアルミナ表面塗被紙を
作成した。該塗被紙はアルミナ生シートとの接着
性を有していない。 以下、実施例１と同様に焼成を行なつた処、得
られた焼結体はアルミナ微粉塗被紙が収縮して了
いアルミナ微粉末が局部的に存在する状態とな
り、焼結体同士に部分融着が認められた。 実施例 ３ 粒子サイズ50μｍに調整されたマグネシア
（MgO）粉体をでんぷん／ポリビニルアルコール
を40／60部配合した再湿接着剤に15重量％加え、
よく撹拌して懸濁液を作成した。この懸濁液を発
泡ポリスチレンシート（発泡倍率10倍、厚さ
600μｍ）の両面に塗工厚さ90μｍで塗工し、乾燥
してマグネシア微粉含有再湿接着性発泡シートを
作成した。 以下、実施例２と同様に焼成した処、反りも無
く、高平滑なセラミツクシートが得られた。 実施例 ４ 粒子サイズ15μｍに調整された炭化珪素（SiC）
をアクリル酸エチルエステルを主成分としたエマ
ルジヨン系感圧接着剤に12重量％加え、よく撹拌
して懸濁液を作成し、実施例１と同様の方法にて
炭化珪素微粉含有接着性シートを作成した。 次に粒子サイズ0.5μｍに調整された炭化珪素と
有機バインダーにより形成された厚さ0.6mmの２
枚のセラミツク生シート間に該接着性シートを介
在積層し、還元雰囲気中で２時間2200℃の温度で
焼成した。得られた焼結体はセラミツクシート同
士の融着も無く、反り、亀裂の無い高平滑なセラ
ミツクシートであつた。 以上の結果より、本発明の無機微粉含有接着性
シートを用いてセラミツク生シートを焼成するこ
とにより、反りの無い高平滑なセラミツク焼結体
を容易に得られることが明らかである。
図面は本発明シートの構成を拡大断面図であ
り、第１図は接着性付与剤として再湿タイプ接着
剤を用いた場合、第２図は無機材料微粉体を配合
した感圧接着剤を基材の片面に塗布した場合、第
３図は無機材料微粉体を内部に含有した基材の両
面に感圧接着剤を塗布した場合をそれぞれ示すも
のである。 １……基材、２……無機材料微粉体、３……接
着性付与剤、４……剥離紙。
り、第１図は接着性付与剤として再湿タイプ接着
剤を用いた場合、第２図は無機材料微粉体を配合
した感圧接着剤を基材の片面に塗布した場合、第
３図は無機材料微粉体を内部に含有した基材の両
面に感圧接着剤を塗布した場合をそれぞれ示すも
のである。 １……基材、２……無機材料微粉体、３……接
着性付与剤、４……剥離紙。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ｂ、Si、Ti、Ta、Ｗの中から選ばれる１種
以上の炭化物またはＢ、Mg、Al、Si、Ti、Zrの
中から選ばれる１種以上の酸化物で、平均粒径が
５〜150μｍの無機材料微粉体を内部に均一に含
有した無機填料を配合しない紙またはプラスチツ
クから成る基材の少なくとも片面の表層が接着性
付与剤で構成されており、且つ0.02〜1.5mmの総
厚みを有することを特徴とするセラミツク焼成用
接着性シート。 ２ 基材のプラスチツクがプラスチツクフイルム
である特許請求の範囲第１項記載のセラミツク焼
成用接着性シート。 ３ 基材のプラスチツクが発泡プラスチツクシー
トである特許請求の範囲第１項記載のセラミツク
焼成用接着性シート。 ４ 接着性付与剤が感圧接着剤である特許請求の
範囲第１項乃至第３項の何れか１項に記載のセラ
ミツク焼成用接着性シート。 ５ 接着性付与剤が再湿タイプ接着剤である特許
請求の範囲第１項乃至第３項の何れか１項に記載
のセラミツク焼成用接着性シート。 ６ Ｂ、Si、Ti、Ta、Ｗの中から選ばれる１種
以上の炭化物またはＢ、Mg、Al、Si、Ti、Zrの
中から選ばれる１種以上の酸化物で、平均粒径が
５〜150μｍの無機材料微粉体を少なくとも一方
の表面に均一に有した無機填料を配合しない紙ま
たはプラスチツクから成る基材の少なくとも片面
の表層が接着性付与剤で構成されており、且つ
0.02〜1.5mmの総厚みを有することを特徴とする
セラミツク焼成用接着性シート。 ７ 基材のプラスチツクがプラスチツクフイルム
である特許請求の範囲第６項記載のセラミツク焼
成用接着性シート。 ８ 基材のプラスチツクが発泡プラスチツクシー
トである特許請求の範囲第６項記載のセラミツク
焼成用接着性シート。 ９ 接着性付与剤が感圧接着剤である特許請求の
範囲第６項乃至第８項の何れか１項に記載のセラ
ミツク焼成用接着性シート。 １０ 接着性付与剤が再湿タイプ接着剤である特
許請求の範囲第６項乃至第８項の何れか１項に記
載のセラミツク焼成用接着性シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17425985A JPS6237684A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | セラミツク焼成用接着性シ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17425985A JPS6237684A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | セラミツク焼成用接着性シ−ト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237684A JPS6237684A (ja) | 1987-02-18 |
| JPS6338637B2 true JPS6338637B2 (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=15975504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17425985A Granted JPS6237684A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | セラミツク焼成用接着性シ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237684A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5941945B2 (ja) * | 1980-12-19 | 1984-10-11 | 日鉄鉱業株式会社 | 窯業用離型シ−ト |
| JPS57122282A (en) * | 1981-01-20 | 1982-07-30 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Sheet with ground powder for ceramic baking |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP17425985A patent/JPS6237684A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6237684A (ja) | 1987-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |