JPS6342185A - 内部ミラ−形ガスレ−ザ管 - Google Patents
内部ミラ−形ガスレ−ザ管Info
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- JPS6342185A JPS6342185A JP18630686A JP18630686A JPS6342185A JP S6342185 A JPS6342185 A JP S6342185A JP 18630686 A JP18630686 A JP 18630686A JP 18630686 A JP18630686 A JP 18630686A JP S6342185 A JPS6342185 A JP S6342185A
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- Japan
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- exhaust pipe
- pipe
- gas laser
- cathode electrode
- stem
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 6
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ管外囲器の一端もしくは両端が貫通孔
と排気孔を有するステムに依シ密封閉鎖された内部ミラ
ー形ガスレーザ管に関するもので有る。
と排気孔を有するステムに依シ密封閉鎖された内部ミラ
ー形ガスレーザ管に関するもので有る。
従来、内部ミラー形ガスレーザ管は、第３図に示す様に
外囲器太管１の一端にミラー支持体封入皿２が接着され
、他の一端にはミラー支持体封入皿２′を接続するため
のステムフランジ３が接着され、夫々ミラー支持体封入
皿にミラー４及び４′を配量し、ミラー４及び４′の周
囲を接着剤５及び５′に依夛密閉封着されて真空外囲器
が構成され、外囲器太Ｗｌの内周壁面に沿って設けられ
た陰極６と陽極７との間に電圧を印加し、放電細管８の
管内に放電プラズマを形成して、放電細管８を中心建ミ
ラー４．４′からなる内部共振器の作用に依りレーザ発
振を起させる。
外囲器太管１の一端にミラー支持体封入皿２が接着され
、他の一端にはミラー支持体封入皿２′を接続するため
のステムフランジ３が接着され、夫々ミラー支持体封入
皿にミラー４及び４′を配量し、ミラー４及び４′の周
囲を接着剤５及び５′に依夛密閉封着されて真空外囲器
が構成され、外囲器太Ｗｌの内周壁面に沿って設けられ
た陰極６と陽極７との間に電圧を印加し、放電細管８の
管内に放電プラズマを形成して、放電細管８を中心建ミ
ラー４．４′からなる内部共振器の作用に依りレーザ発
振を起させる。
この様な内部ミラー形ガスレーザ管の真空外囲器は、従
来法の様な方法で製造されていた。先ず第４図に示す様
ｆステム構体は貫通孔を構成する外径１２ｍｍ１肉厚１
．２ ｍｍ 、長さ５Ｑｍｍの硼硅酸ガラス管９と７ラ
ンジを構成する粉末ガラスを素材とし、カーボン製下型
１０の中に硼硅酸ガラス管９と粉末ガラス、更には排気
管】１となる外径４ｍｍの硼硅酸ガラス管、電極を支持
するためのリード線１２を配置して、型の組合せを行っ
た後、炉に入れて焼成する。焼成後は型よシ抜き取り硼
硅酸ガラス管９の両端を所定の寸法に切断してステム構
体が出来上る。出来上ったステム構体は貫通孔の一端を
放電細管８と接着し、又他端もミラー支持体封入皿２′
と接着して、リード線１２には陰極６が接続される。
来法の様な方法で製造されていた。先ず第４図に示す様
ｆステム構体は貫通孔を構成する外径１２ｍｍ１肉厚１
．２ ｍｍ 、長さ５Ｑｍｍの硼硅酸ガラス管９と７ラ
ンジを構成する粉末ガラスを素材とし、カーボン製下型
１０の中に硼硅酸ガラス管９と粉末ガラス、更には排気
管】１となる外径４ｍｍの硼硅酸ガラス管、電極を支持
するためのリード線１２を配置して、型の組合せを行っ
た後、炉に入れて焼成する。焼成後は型よシ抜き取り硼
硅酸ガラス管９の両端を所定の寸法に切断してステム構
体が出来上る。出来上ったステム構体は貫通孔の一端を
放電細管８と接着し、又他端もミラー支持体封入皿２′
と接着して、リード線１２には陰極６が接続される。
この様にステム構体に接続された陰極６け、予め先端が
所定の寸法に絞り込まれミラー支持体封入皿２が接着さ
れている外囲器太管１の内部に挿入配置し、外囲器太管
１の一端とステムフランジ３と全加熱溶着する。その後
ミラー支持体封入皿２．２′にミラー４．４′を配置し
、その周囲に有機接着剤又は低融点ガラス５．５′で気
密に接着し、排気及びガスの導入を経てレーザ管が出来
上る。
所定の寸法に絞り込まれミラー支持体封入皿２が接着さ
れている外囲器太管１の内部に挿入配置し、外囲器太管
１の一端とステムフランジ３と全加熱溶着する。その後
ミラー支持体封入皿２．２′にミラー４．４′を配置し
、その周囲に有機接着剤又は低融点ガラス５．５′で気
密に接着し、排気及びガスの導入を経てレーザ管が出来
上る。
この様なレーザ管に於いては、ステムの外径が制約され
、所定のレイアウト中に貫通孔、４、排気管、リード線
を配置する事は極めて困難で、特に外径が３Ｑｍｍ以下
では貫通孔、排気管、及びリード線が接近しているため
、ステム焼成用のカーボン型の加工が困難で有ｐ１その
結果ステム焼成後の型抜取り時に型が破損したり、ステ
ムがクラックし７たりして歩留低下の原因となる欠点が
有る。
、所定のレイアウト中に貫通孔、４、排気管、リード線
を配置する事は極めて困難で、特に外径が３Ｑｍｍ以下
では貫通孔、排気管、及びリード線が接近しているため
、ステム焼成用のカーボン型の加工が困難で有ｐ１その
結果ステム焼成後の型抜取り時に型が破損したり、ステ
ムがクラックし７たりして歩留低下の原因となる欠点が
有る。
又排気管を絞る際にステムフランジ、貫通孔とも接近し
ているためバーナーの火焔が直火してクラックに至り、
時には多量の管球を廃棄（共連れクラック）せざるを得
なくなり、その防止策として特別の治具を作成しなくて
はならないと云う欠点が有る。
ているためバーナーの火焔が直火してクラックに至り、
時には多量の管球を廃棄（共連れクラック）せざるを得
なくなり、その防止策として特別の治具を作成しなくて
はならないと云う欠点が有る。
本発明の内部ミラー形ガスレーザ管は、以上述べた様な
ステムの排気管及び電極を支持するためのリード線に関
する技術上の問題点を解決すべく、排気管を金属製のパ
イプにし、従来の排気管位置に配置し、更にこの金属製
パイプを利用してカソード電極を支持する事を特徴とし
ている。このため作業が簡素化され作業難易度も軽減し
、強度的に優れ量産九適したガスレーザ管が得られる。
ステムの排気管及び電極を支持するためのリード線に関
する技術上の問題点を解決すべく、排気管を金属製のパ
イプにし、従来の排気管位置に配置し、更にこの金属製
パイプを利用してカソード電極を支持する事を特徴とし
ている。このため作業が簡素化され作業難易度も軽減し
、強度的に優れ量産九適したガスレーザ管が得られる。
次に本発明について図面を参照しながら詳細に説明する
。第１図は本発明の一実施例のガスレーザ管の断面図で
有る。第２図はステム構体の粉末ガラス成形法に依る製
造工程を説明するための断面図である。第１図と第２図
を参照して以下に説明する。先ず治具受台１３の上に黒
鉛製下型治具１０をのせる。端面を平行に切断した貫通
孔となる外径１２ｍｍ、肉厚１．２ｍｍ、長さ５Ｑｍｍ
の硼硅酸ガラス管９を設置した後、ガラス管９に黒鉛表
中芯を挿入配置する。次に外径が３ｍｍ、肉厚がＱ、
５ ｍｍ 、長さ３Ｑｍｍのコバールなどの金属製排気
管１４を黒鉛製下型治具１０の所定の孔に挿入配置する
。その後、硼硅酸粉末ガラスをステムフランジ３に必要
な適量を投入し、黒鉛製上型治具１５を被せ、その上に
中芯保持治具１６と８００ｇの重シ１７をのせて窒素ガ
ス雰囲気中】０００℃の温度で１５分間保持させ加熱焼
成を行い、冷却後黒鉛製下型治具１０から抜き取り金属
製排気管１４のついたステム構体を製造した。
。第１図は本発明の一実施例のガスレーザ管の断面図で
有る。第２図はステム構体の粉末ガラス成形法に依る製
造工程を説明するための断面図である。第１図と第２図
を参照して以下に説明する。先ず治具受台１３の上に黒
鉛製下型治具１０をのせる。端面を平行に切断した貫通
孔となる外径１２ｍｍ、肉厚１．２ｍｍ、長さ５Ｑｍｍ
の硼硅酸ガラス管９を設置した後、ガラス管９に黒鉛表
中芯を挿入配置する。次に外径が３ｍｍ、肉厚がＱ、
５ ｍｍ 、長さ３Ｑｍｍのコバールなどの金属製排気
管１４を黒鉛製下型治具１０の所定の孔に挿入配置する
。その後、硼硅酸粉末ガラスをステムフランジ３に必要
な適量を投入し、黒鉛製上型治具１５を被せ、その上に
中芯保持治具１６と８００ｇの重シ１７をのせて窒素ガ
ス雰囲気中】０００℃の温度で１５分間保持させ加熱焼
成を行い、冷却後黒鉛製下型治具１０から抜き取り金属
製排気管１４のついたステム構体を製造した。
この様に製造されたステム構体は、従来カソード電極を
接続するためのリード線が除去され、これに替って金属
製排気管１４の真空側先端にＮｉテープ１８を介してカ
ソード電極を取付は接続し、次にカン−ドロをミラー支
持体封入皿２が接着されている外囲器太管１の中に挿入
し、外囲器太管の一端とステムフランジ３とを加熱溶着
する。その後両端のミラー支持体封入皿２．２′のミラ
ー取付部に外径ＩＱｍｍ、厚５ｍｍのミラー４．４′を
Ｂ２０３−ＰＢＯ系低融点ガラス５．５′で気密〈封止
して、以後は通常の方法に従い、排気、ベーキング及び
ガス入れを行い、最稜に冷間圧切法に依り金属製排気管
１４を圧切切断してガスレーザ管が製造された。
接続するためのリード線が除去され、これに替って金属
製排気管１４の真空側先端にＮｉテープ１８を介してカ
ソード電極を取付は接続し、次にカン−ドロをミラー支
持体封入皿２が接着されている外囲器太管１の中に挿入
し、外囲器太管の一端とステムフランジ３とを加熱溶着
する。その後両端のミラー支持体封入皿２．２′のミラ
ー取付部に外径ＩＱｍｍ、厚５ｍｍのミラー４．４′を
Ｂ２０３−ＰＢＯ系低融点ガラス５．５′で気密〈封止
して、以後は通常の方法に従い、排気、ベーキング及び
ガス入れを行い、最稜に冷間圧切法に依り金属製排気管
１４を圧切切断してガスレーザ管が製造された。
以上の説明から本発明の内部ミラー形ガスし・−ザ管に
おいては、従来のガラス排気管に替えて、金属製排気管
を採用することにより、カソード電極を支持するための
支柱としての兼用が可能となう、従って従来配置してい
たリード線が不要となったばかりでなく、従来ステムフ
ランジの面積に対して大きく占有していた部材の比率が
減少し単純化された。それ故に加工性が著しく向上し、
更には排気工程の排気管封止に於いては機械的に切断封
止が出来るため、従来の様に著しく熟練度の高いガラス
加工技能を必要とせず、容易に作業することが可能とな
った。又ステム構体の単純化と金属製排気管の採用に伴
い、構造破壊が減少したばかりでなく大きな強度の得ら
れることが確認され、量産に適する信頼性の高い内部ミ
ラー形ガスレーザ管を得ることが出来た。
おいては、従来のガラス排気管に替えて、金属製排気管
を採用することにより、カソード電極を支持するための
支柱としての兼用が可能となう、従って従来配置してい
たリード線が不要となったばかりでなく、従来ステムフ
ランジの面積に対して大きく占有していた部材の比率が
減少し単純化された。それ故に加工性が著しく向上し、
更には排気工程の排気管封止に於いては機械的に切断封
止が出来るため、従来の様に著しく熟練度の高いガラス
加工技能を必要とせず、容易に作業することが可能とな
った。又ステム構体の単純化と金属製排気管の採用に伴
い、構造破壊が減少したばかりでなく大きな強度の得ら
れることが確認され、量産に適する信頼性の高い内部ミ
ラー形ガスレーザ管を得ることが出来た。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は本発明に
よるステム構体の粉末ガラス成形法による製造工程を説
明するための断面図、第３図は従来のガスレーザ管の断
面図、第４図は従来のステム構体の粉末ガラス成形法に
よる製造工程を説明するための断面図である。 １・・・・・・外囲器大管、２．２′・・・・・・ミラ
ー支持体封入皿、３・・・・・・ステム７ランジ、４．
４′・・・・・・ミラー、５．５′・・・・・・接着剤
又は低融点ガラス、６・・・・・・陰極、７・・・・・
・陽極、８・・・・・・放電細管、９・・・・・・硼硅
酸ガラス管、ｌＯ・・・・・・黒鉛製下型治具、１１・
・・・・・排気管、１２・・・・・・リード線、１３・
・・・・・治具受台、１４・・・・・・金属製排気管、
１５・・・・・・黒鉛上型治具、１６・・・・・・中芯
保持治具、１７・・・・・・重り、１８・・・・・・Ｎ
ｉテープ。 パ「−゛コー、 代理人 弁理士 内 原 晋、、′〉ゴｊ（′ 鰐１０ 第２図 半、３図 躬４図
よるステム構体の粉末ガラス成形法による製造工程を説
明するための断面図、第３図は従来のガスレーザ管の断
面図、第４図は従来のステム構体の粉末ガラス成形法に
よる製造工程を説明するための断面図である。 １・・・・・・外囲器大管、２．２′・・・・・・ミラ
ー支持体封入皿、３・・・・・・ステム７ランジ、４．
４′・・・・・・ミラー、５．５′・・・・・・接着剤
又は低融点ガラス、６・・・・・・陰極、７・・・・・
・陽極、８・・・・・・放電細管、９・・・・・・硼硅
酸ガラス管、ｌＯ・・・・・・黒鉛製下型治具、１１・
・・・・・排気管、１２・・・・・・リード線、１３・
・・・・・治具受台、１４・・・・・・金属製排気管、
１５・・・・・・黒鉛上型治具、１６・・・・・・中芯
保持治具、１７・・・・・・重り、１８・・・・・・Ｎ
ｉテープ。 パ「−゛コー、 代理人 弁理士 内 原 晋、、′〉ゴｊ（′ 鰐１０ 第２図 半、３図 躬４図
Claims (1)
- 陰極と陽極間に放電路を形成する放電細管を内蔵し、気
体を密閉した真空外囲器の一端もしくは両端が、先端に
ミラーを取付けたステムにより閉じられている内部ミラ
ー形ガスレーザ管において、ステムはガラス円板にミラ
ー取付け管と金属製排気管とを取り付けて形成され、金
属排気管は陰極を支持するための支柱の一部をなしてい
ることを特徴とする内部ミラー形ガスレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18630686A JPS6342185A (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18630686A JPS6342185A (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6342185A true JPS6342185A (ja) | 1988-02-23 |
Family
ID=16186018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18630686A Pending JPS6342185A (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6342185A (ja) |
-
1986
- 1986-08-08 JP JP18630686A patent/JPS6342185A/ja active Pending
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