JPS6344456A - 溶液供給用容器のキヤツプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は薬品等の溶液を供給する際に用いる溶液供給用
容器のキャップに関するものである。

（従来の技術） 半導体装置の製造工程においては、塵埃をコントロール
することが、製造歩留まりを高いレベルに維持するため
の必要条件であることは周知の事実である。従って、使
用する薬品等も電子工業用の極めて塵埃の少ないグレー
ドのものを用いる。

第２図は半導体等の製造において一般的に使用されてい
る薬品等の溶液の移送システム概略構成図である。

第２図において、１は溶液容器、２は溶液供給用パイプ
、３は溶液容器のキャップ、４はポンプ、５はフィル！
である。このように、溶液容器１内の溶液は溶液供給用
パイプ２を介してポンプ４によって供給され、更に、フ
ィルタ５によって塵埃（微粒子）を除去してからユース
ポイントに導かれ、使用するようにしている。

第３図は第２図に示される溶液容器１のキャップ部の断
面図である。この図において、１１は溶液容器の溶液の
注入口を形成する円筒部であり、その外側部には雄ネジ
が形成されている。１２は溶液容器のキャップ部材であ
り、その内周部には前記円筒部の雄ネジと螺合する雌ネ
ジが形成されている。１３はチューブ固定すると共に円
筒部を封止する封止部材である。

ここで、溶液容器１にキャップ部材１２を取り付ける際
には、キャップ部材１２に形成されている雌ネジを溶液
容器の円筒部１１の雄ネジに螺合させ締め込んでゆく、
その際、封止部材１３は円筒部１１とは独立しており、
回転はしない、これは、もし、溶液容器の円筒部１１と
封止部材１３が一体となっていると、ネジ締めにより、
溶液供給用パイプ２が捩れたり、溶液容器の円筒部１１
と封止部材１３のシール部分ａからネジ締め時のこすれ
により塵埃が発生するのを防止するためである。

このように、溶液容器の円筒部１１と封止部材１３を一
体化しないことにより、シール部ａからの発塵を低減さ
せるようにしている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記した従来装置では、キャップ１２の
雌ネジを締め込んでゆくと、最終的に封止部材１３と溶
液容器の円筒部１１がこすれ合い、シール部ａから発塵
が生じる。それによって、溶液内に塵埃が混入すること
を防止することができないという問題があった。

ところで、前記した第２図に示されるフィルタ５によっ
ては、０．１−０．２μｍ単位の塵埃しか除去すること
ができない、また、長期にわたり、塵埃が薬液の内部に
残在すると、薬液の種類によっては化学変化を起こして
しまうといった問題があった。

本発明は、以上述べた溶液容器のキャップ取り付は時に
シール部から発塵し、溶液に塵埃が混入するという問題
点を除去し、塵埃の溶液への混入を防止し得る信頼性の
高い溶液供給用容器のキャップを提供することを目的と
する。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上記問題点を解決するために、溶液容器の注
入口を形成する円筒部と、この容器内の溶液を導出する
パイプを固定すると共に円筒部を封止する封止部材と、
この封止部材と前記円筒部に係合し、この封止部材の下
端突部と前記円筒部の上端部とを当接せしめるキャップ
部材とを具備する溶液供給用容器のキャップにおいて、
前記封止部材の下端部の前記円筒部の上端部への当接箇
所が前記円筒部の上端面の外側に位置するようにしたも
のである。

（作用） 本発明によれば、溶液供給用容器を封止するにゝ　　　
　　　　際し、封止部材の下端部の前記円筒部の上端部
への当接箇所が前記円筒部の上端面の外側に位置するよ
うにしたので、封止部材と注入口を形成する円筒部の当
接箇所は円筒部の上端面の外側部分になり、たとえ、発
塵しても溶液中への混入を防止することができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の実施例を示す溶液容器のキャップ部の
断面図である。

この図において、２１は溶液容器の溶液の注入口を形成
する円筒部、２２は溶液容器のキャップ部材、２３はパ
イプ固定を行うと共に円筒部を封止する封止部材である
。

ここで、キャップ部材２２と独立した封止部材２３のシ
ール部すには溶液容器の円筒部の外側方向で、かつ、下
方向に向かって、約３０＠のテーパが形成されている。

そこで、キャップ部材２２を締め込んでゆくと、封止部
材２３は徐々に溶液容器の円筒部２１の上端に接触し押
しつけられる。この際、シール部すは、テーパが形成さ
れているため、従来のように溶液容器の上端の端面の中
央部、つまり、円筒部２１の中心径より外側において接
触するので、発塵しても溶液内に混入し難い、また、接
触面積も少なくできるため、発塵量も低減することがで
きる。

この点を従来のものと対比しながら、第４図乃至第７図
を用いて更に詳しく説明する。

第４図は従来の第１のキャップのシール部を示す図であ
り、溶液容器の円筒部１１の上端面（キャップのシール
部と当接する面）の断面が円形になっている。

この場合、接触部（シール部）の面積は小さいが、発塵
した場合は、その塵埃が溶液容器内に浸入し易い。

第５図はその際本発明のキャップを用いた場合であり、
当接部（シール部）は溶液容器の円筒部２１の上端面の
外側になっており、発塵した場合でも、その塵埃は溶液
容器内に混入し難い。

第６図は溶液容器の円筒部１１の上端面の断面がフラッ
トになっている場合であり、当接部の面積が太きので、
発塵量も多く、また、その塵埃が溶液容器内に混入し易
い。

第７図はその際本発明のキャップを使用した場合であり
、当接部（シール部）の面積も小さくなり、しかも、溶
液容器の円筒部２１の上端面の外側に当接部があるため
、発塵しても溶液容器内に混入し難い。更に、キャップ
部材のネジの締め込み時、溶液容器の上端面とキャップ
シール面の接触にはテーバが形成されており、溶液容器
の外側に向かって力が働くため、当接部の容器内側では
発塵し難い。

第８図は本発明の他の実施例を示す溶液容器のキャップ
部の断面図、第９図は第８図のシール部の拡大断面図で
ある。

この実施例においては、封止部材３１の下端部は溶液容
器の円筒部２１の外側部を覆うようにカップ状に形成す
る。つまり、キャップ部材がネジ込まれると、封止部材
３１は下方に略直角に延びる当接部Ｃが円筒部の外側面
に当接する。従って、ここで、発塵しても溶液容器内に
混入することは更に難しくなる。

更に、キャップ部材がネジ込まれ締め込まれた状態で、
封止部材３１のカップの底が溶液容器の円筒部の上端に
丁度届くようにすることにより、発塵した塵埃を溶液容
器内に混入するを完全に阻止することができる。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、薬品等
の溶液供給用のキャップにおいて、封止部材の下端部は
注入口を形成する円筒部の上端面の外側に当接して封止
されるようにしたので、（１）封止部材と注入口を形成
する円筒部の当接部円筒部の上端面の外側部分になり、
たとえ、発塵しても溶液中に混入し難い。

（２）当接面に働く外力は円筒部の上端面当接部では外
側方向となり、当接部の円筒部の内側では発塵し難い。

従って、薬品等の供給システムでの容器交換時の発塵に
よる薬品への塵埃の混入を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す溶液容器のキャップ部の
断面図、第２図は溶液の移送システム概略構成図、第３
図は従来の溶液容器のキャップ部の断面図、第４図は従
来の第１のキャップのシール部を示す図、第５図は本発
明の第１のキャップのシール部を示す図、第６図は従来
の第２のキャップのシール部を示す図、第７図は本発明
の第２のキャップのシール部を示す図、第８図は本発明
の他の実施例を示す溶液容器のキャップ部の断面図、第
９図は第８図のシール部の拡大断面図であ２１・・・円
筒部、２２・・・キャップ部材、２３．３１・・・封止
部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 溶液容器の注入口を形成する円筒部と、該容器内の溶液
   を導出するパイプを固定すると共に前記円筒部を封止す
   る封止部材と、該封止部材と前記円筒部に係合し該封止
   部材の下端突部と前記円筒部の上端部とを当接せしめる
   キャップ部材とを具備する溶液供給用容器のキャップに
   おいて、前記封止部材の下端部の前記円筒部の上端部へ
   の当接箇所が前記円筒部の上端面の外側に位置するよう
   に構成したことを特徴とする溶液供給用容器のキャップ
   。