JPS6346367B2 - - Google Patents
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- JPS6346367B2 JPS6346367B2 JP57215624A JP21562482A JPS6346367B2 JP S6346367 B2 JPS6346367 B2 JP S6346367B2 JP 57215624 A JP57215624 A JP 57215624A JP 21562482 A JP21562482 A JP 21562482A JP S6346367 B2 JPS6346367 B2 JP S6346367B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、波長λの平行光を発する光源Ｌと、
所定の格子間距離ｇを有する一種の回折格子によ
り形成された計測目盛M′と、前記格子間距離ｇ
の一乃至数個の互に位相ずれした回折格子A′，
A″を具備する走査プレートＡとを有し、該プレ
ートがある距離ａ＝ｋ・g2／λを置いて前記目盛 M′に沿つて摺動可能であるような光電式インク
リメンタル測長―及び角度測定装置に関するもの
である。
所定の格子間距離ｇを有する一種の回折格子によ
り形成された計測目盛M′と、前記格子間距離ｇ
の一乃至数個の互に位相ずれした回折格子A′，
A″を具備する走査プレートＡとを有し、該プレ
ートがある距離ａ＝ｋ・g2／λを置いて前記目盛 M′に沿つて摺動可能であるような光電式インク
リメンタル測長―及び角度測定装置に関するもの
である。
この種の距離測定システムは例えば計測機また
は加工機のベツドと走行台の如き２つの対象物の
相対距離を定めるのに役立つものである。これら
の測定装置は透過光方法でもまたは入反射光方法
でも作動しうるものである。透過光方法にあつて
は光源と光感応性の受信部材との間にインクリメ
ンタル・スケールがあり、これらが走査格子と一
緒になつて走査ユニツトを形成するものである。
入反射光方法にあつては光源の光流はインクリメ
ンタル・スケールによつて反射され、そして光源
の如くスケールと同じ側にある光感応性の部材に
よつて受信される。
は加工機のベツドと走行台の如き２つの対象物の
相対距離を定めるのに役立つものである。これら
の測定装置は透過光方法でもまたは入反射光方法
でも作動しうるものである。透過光方法にあつて
は光源と光感応性の受信部材との間にインクリメ
ンタル・スケールがあり、これらが走査格子と一
緒になつて走査ユニツトを形成するものである。
入反射光方法にあつては光源の光流はインクリメ
ンタル・スケールによつて反射され、そして光源
の如くスケールと同じ側にある光感応性の部材に
よつて受信される。
インクリメンタル・スケールはこれら両方の実
施形態において微細で均一に間隔を置いた範囲内
に多数のラインの助けをかりてスケールを分割し
た時に生ずるいわゆる格子目盛を具備するもので
ある。その際目盛ラインと２本の目盛ライン間の
ブランクとの出来るだけ一定の関係が生ずるもの
である。この一定な関係を格子間距離と称する。
普通のオーダーでは例えば格子間距離は25μｍで
あり、これは目盛ラインの中心から次の目盛ライ
ンの中心までの距離が25μｍであることを意味す
るものである。インクリメンタル・スケールと走
査ユニツトとの間が相対的に動く場合には光流の
変調が生ずることになる。この変調は、インクリ
メンタル・スケールからの走査格子の距離（これ
らは同じ格子間距離を有している）と、そして選
択された格子間距離の大きさとに極めて著しく関
連している。好ましい走査距離は非常に狭い公差
内にある、というのは光感応性の構成部材から送
り出された走査信号の大きさは前記構成部材が相
対的に動いた際生ずる光変調の強度に直接関連す
るものだからであり、その光変調は極めて著しく
走査距離に影響されるものである。
施形態において微細で均一に間隔を置いた範囲内
に多数のラインの助けをかりてスケールを分割し
た時に生ずるいわゆる格子目盛を具備するもので
ある。その際目盛ラインと２本の目盛ライン間の
ブランクとの出来るだけ一定の関係が生ずるもの
である。この一定な関係を格子間距離と称する。
普通のオーダーでは例えば格子間距離は25μｍで
あり、これは目盛ラインの中心から次の目盛ライ
ンの中心までの距離が25μｍであることを意味す
るものである。インクリメンタル・スケールと走
査ユニツトとの間が相対的に動く場合には光流の
変調が生ずることになる。この変調は、インクリ
メンタル・スケールからの走査格子の距離（これ
らは同じ格子間距離を有している）と、そして選
択された格子間距離の大きさとに極めて著しく関
連している。好ましい走査距離は非常に狭い公差
内にある、というのは光感応性の構成部材から送
り出された走査信号の大きさは前記構成部材が相
対的に動いた際生ずる光変調の強度に直接関連す
るものだからであり、その光変調は極めて著しく
走査距離に影響されるものである。
変調された走査信号の強度は、走査距離が値
“Ｏ”を有し、従つて走査格子及び尺度具現体の
格子目盛とが一平面内にある時に最大となること
は周知である。何故ならばその時にのみ格子の各
ラインとブランクとの正確な重なりが生ずるから
である。走査距離が増加すると共に変調された走
査信号の強度が低下する。
“Ｏ”を有し、従つて走査格子及び尺度具現体の
格子目盛とが一平面内にある時に最大となること
は周知である。何故ならばその時にのみ格子の各
ラインとブランクとの正確な重なりが生ずるから
である。走査距離が増加すると共に変調された走
査信号の強度が低下する。
走査プレートとスケールとの直接的な重なり滑
動は傷がつくという危険があるという理由から実
現不可能である。ある格子から他の格子への写像
のために好ましい部材を中間接続することは少く
とも小さく且つ平均的な格子間距離の場合にはよ
り高いコストがかかるということを要件とするも
のである。
動は傷がつくという危険があるという理由から実
現不可能である。ある格子から他の格子への写像
のために好ましい部材を中間接続することは少く
とも小さく且つ平均的な格子間距離の場合にはよ
り高いコストがかかるということを要件とするも
のである。
実際には従つて一定で且つ格子間距離に対して
与えられる好ましい走査間距離は非常に狭い公差
でもつて選択される。周知の理由からその際走査
距離が減少すると光感応性の部材にあつて光電流
が高まることになり、そして走査距離が高まると
逆に光流の減少ということになる。このことはこ
の距離が“Ｏ”からそれ程遠くに離れない限り当
てはまるものである。
与えられる好ましい走査間距離は非常に狭い公差
でもつて選択される。周知の理由からその際走査
距離が減少すると光感応性の部材にあつて光電流
が高まることになり、そして走査距離が高まると
逆に光流の減少ということになる。このことはこ
の距離が“Ｏ”からそれ程遠くに離れない限り当
てはまるものである。
距離変動に起因するこの様な光電流の高まり及
びまた減少はしかし必要な信号強度を顧慮して一
定の狭い範囲においてのみ行われることが許容さ
れる。これは従つて入力信号は一定の最小値に達
しないということはなく且つ一定の最大値を超え
ない時にのみ増巾器はこの特殊な利用において機
能確実に作動するという理由によるものである。
許容の制御領域を越えて出発する増巾器の制御に
あつては信号の歪みが起る結果となる。極めて小
さな信号にあつては妨害の起り易さが上昇する。
びまた減少はしかし必要な信号強度を顧慮して一
定の狭い範囲においてのみ行われることが許容さ
れる。これは従つて入力信号は一定の最小値に達
しないということはなく且つ一定の最大値を超え
ない時にのみ増巾器はこの特殊な利用において機
能確実に作動するという理由によるものである。
許容の制御領域を越えて出発する増巾器の制御に
あつては信号の歪みが起る結果となる。極めて小
さな信号にあつては妨害の起り易さが上昇する。
走査距離及び光流乃至変調された走査信号の強
度の前記関連を光電的測定装置に対して特に有利
な方法で変えるために種々の方法が知られてい
る。
度の前記関連を光電的測定装置に対して特に有利
な方法で変えるために種々の方法が知られてい
る。
米国特許明細書第3812352号からは例えばそこ
に記載された方程式Z1＝nS1S2／λにより走査距
離を探知するという教示があるのが分り、その際
Z1は走査距離、S1はある格子の格子間距離、S2は
第２の格子の格子間距離、λは光の波長、そして
ｎは正の整数である。ｎ＝１が選ばれると、そこ
の第５図及び第６図に示された光電流と走査距離
との間の関連がそこに記載された格子間距離に対
して達成されうるものである。種々の格子間距離
の格子を有するこの方法は、しかしながらそこに
存在する関係に対してのみ適用可能である、即ち
透過光方法で作動する測定装置に対し、且つ微細
な格子間距離（例えば25μｍ）に対してのみ適用
可能である。
に記載された方程式Z1＝nS1S2／λにより走査距
離を探知するという教示があるのが分り、その際
Z1は走査距離、S1はある格子の格子間距離、S2は
第２の格子の格子間距離、λは光の波長、そして
ｎは正の整数である。ｎ＝１が選ばれると、そこ
の第５図及び第６図に示された光電流と走査距離
との間の関連がそこに記載された格子間距離に対
して達成されうるものである。種々の格子間距離
の格子を有するこの方法は、しかしながらそこに
存在する関係に対してのみ適用可能である、即ち
透過光方法で作動する測定装置に対し、且つ微細
な格子間距離（例えば25μｍ）に対してのみ適用
可能である。
走査公差に対する好ましい条件を達するための
更に別の教示はドイツ国特許明細書第2510273号
に記載されている。そこに提案されている光感応
性の構成部材に周辺暗部を設けることによつて所
望の結果に導びくものである、しかしながらそれ
らは格子間距離においては100μｍ以上にあり、
そしてそこに記されているように入反射光方法で
作動する計測システムにおいてのみ所望の結果に
導びくものである。
更に別の教示はドイツ国特許明細書第2510273号
に記載されている。そこに提案されている光感応
性の構成部材に周辺暗部を設けることによつて所
望の結果に導びくものである、しかしながらそれ
らは格子間距離においては100μｍ以上にあり、
そしてそこに記されているように入反射光方法で
作動する計測システムにおいてのみ所望の結果に
導びくものである。
これらの教示はしかしながら実際上は25μｍと
100μｍとの間の平均的格子用に設けられ且つ入
反射光測定装置としてか、さもなくば透過光測定
装置として構成されている測定装置にあつては適
用しえないものである。
100μｍとの間の平均的格子用に設けられ且つ入
反射光測定装置としてか、さもなくば透過光測定
装置として構成されている測定装置にあつては適
用しえないものである。
本発明は、簡単な構造にも拘らず計測目盛と走
査プレートとの間の走査距離のより大きな変動が
許容される平均的格子間距離を有する入反射光タ
イプ又は透過光タイプの測定装置を作ることに課
題を置くものである。
査プレートとの間の走査距離のより大きな変動が
許容される平均的格子間距離を有する入反射光タ
イプ又は透過光タイプの測定装置を作ることに課
題を置くものである。
この課題はｋを０ないし0.3の間の数とし、光
不透過性の格子ラインGSの幅に対する光透過性
の格子ラインGLの幅の比が明らかに２：１より
大であるようにして解決されるものである。
不透過性の格子ラインGSの幅に対する光透過性
の格子ラインGLの幅の比が明らかに２：１より
大であるようにして解決されるものである。
本発明の特に有利な実施形状のものは特許請求
の範囲の従属項に示されている。
の範囲の従属項に示されている。
本発明の特別な長所は比較的大きな走査距離公
差が許されるということである、というのは上記
の手段によつてａ＝（0.05〜0.1）g2／λなる平均的 距離において変調された走査信号の強度の著しい
最大値が存在するからであり、この最大値は走査
距離を小さくしても走査距離を大きくしても減少
するものであり、これに反して関連のある従来技
術にあつては走査信号の強度の最大値は走査距離
“Ｏ”のところにあり、走査距離が増加すると共
にどんどん小さくなるものである。
差が許されるということである、というのは上記
の手段によつてａ＝（0.05〜0.1）g2／λなる平均的 距離において変調された走査信号の強度の著しい
最大値が存在するからであり、この最大値は走査
距離を小さくしても走査距離を大きくしても減少
するものであり、これに反して関連のある従来技
術にあつては走査信号の強度の最大値は走査距離
“Ｏ”のところにあり、走査距離が増加すると共
にどんどん小さくなるものである。
次に図面に基づいて本発明の実施例を説明する
ことにしよう。
ことにしよう。
第１図に略図的に示された部材、即ち光源Ｌ、
計測目盛M′を有する尺度具現体Ｍ、走査格子A′，
A″を有する走査プレートＡ、光感応性の部材Ｐ
は透過光原理により作動する一般的に周知で詳細
には図示していないインクリメンタル距離測定装
置の構成部分である。尺度具現体Ｍと走査プレー
トＡとの間の相対的変動にあつては格子M′，A′，
A″を通つて貫通する光流は周知の方法で変調さ
れる、このことは計測目盛M′と走査格子A′，
A″とが同じ格子間距離ｇをそして同じライン―
ブランク比を具備し且つ走査距離が“Ｏ”である
時に光電部材Ｐの出力に三角形状の電圧経過に導
びくものである。実際には一般的に“Ｏ”より大
きな走査距離において生ずるほぼ正弦状の電圧経
過が求められる。
計測目盛M′を有する尺度具現体Ｍ、走査格子A′，
A″を有する走査プレートＡ、光感応性の部材Ｐ
は透過光原理により作動する一般的に周知で詳細
には図示していないインクリメンタル距離測定装
置の構成部分である。尺度具現体Ｍと走査プレー
トＡとの間の相対的変動にあつては格子M′，A′，
A″を通つて貫通する光流は周知の方法で変調さ
れる、このことは計測目盛M′と走査格子A′，
A″とが同じ格子間距離ｇをそして同じライン―
ブランク比を具備し且つ走査距離が“Ｏ”である
時に光電部材Ｐの出力に三角形状の電圧経過に導
びくものである。実際には一般的に“Ｏ”より大
きな走査距離において生ずるほぼ正弦状の電圧経
過が求められる。
走査格子A′とA″との位相ずれによつて相対運
動の方向は決められる。この様な装置にあつては
普通の方法で光源Ｌに最も近い位置にある格子が
入力格子としてそして光電部材Ｐに最も近い位置
にある格子が出力格子と称される。
動の方向は決められる。この様な装置にあつては
普通の方法で光源Ｌに最も近い位置にある格子が
入力格子としてそして光電部材Ｐに最も近い位置
にある格子が出力格子と称される。
第２図においては入反射光方法に対する距離測
定装置が意に叶うように示されている。照明装置
Laから照明光線が走査プレートAaを通して反射
格子として形成された尺度具現体Maに当接す
る。反射するラインによつて光はそれ相当の角度
で走査プレートAaの格子内にある空隙を通して
はね返され、そして変調された光流に対応する出
力電圧を生ずる光電部材Paに当接する。本発明
に従つて変更された走査プレートAaにおけるラ
イン―ブランク比に基づいてより多くの光が光電
部材Paへとはね返されうることが認識しうるが、
それは尺度具現体Maに対して走査プレートAaを
調節する場合比較的大きな公差を許容するもので
ある。尺度具現体Maに対して走査プレートAaを
正確に調節する場合本発明に従う手段でもつて一
定の走査距離をおいて走査信号の信号振幅は高め
られうるものである。
定装置が意に叶うように示されている。照明装置
Laから照明光線が走査プレートAaを通して反射
格子として形成された尺度具現体Maに当接す
る。反射するラインによつて光はそれ相当の角度
で走査プレートAaの格子内にある空隙を通して
はね返され、そして変調された光流に対応する出
力電圧を生ずる光電部材Paに当接する。本発明
に従つて変更された走査プレートAaにおけるラ
イン―ブランク比に基づいてより多くの光が光電
部材Paへとはね返されうることが認識しうるが、
それは尺度具現体Maに対して走査プレートAaを
調節する場合比較的大きな公差を許容するもので
ある。尺度具現体Maに対して走査プレートAaを
正確に調節する場合本発明に従う手段でもつて一
定の走査距離をおいて走査信号の信号振幅は高め
られうるものである。
第３図は測定装置の普通の形態のものにあつて
走査距離に関連して光電部材の出力における信号
振幅の経過の対照を示し且つ本発明に従う測定
装置の種々の形状における信号振幅の２つの曲線
及びを示すものである。光電部材によつて生
じた電流は走査距離“Ｏ”の近くでその最大値を
有するものであること、そして光電部材によつて
生じた電流は走査距離が増すと共に次第に低くな
つてくることが曲線から明らかである。与えら
れた制御範囲（最高―20％）にあつては、光電部
材によつて発生した電流が制御限界以下に下るま
で走査距離ａは単に一定の尺度で増大されうるも
のである。距離を減少させることは前記の電流を
高めるという結果になるのだが、それは走査信号
のため過剰制御された増幅器によつて初めに述べ
た歪みへと導びかれることになるのである。
走査距離に関連して光電部材の出力における信号
振幅の経過の対照を示し且つ本発明に従う測定
装置の種々の形状における信号振幅の２つの曲線
及びを示すものである。光電部材によつて生
じた電流は走査距離“Ｏ”の近くでその最大値を
有するものであること、そして光電部材によつて
生じた電流は走査距離が増すと共に次第に低くな
つてくることが曲線から明らかである。与えら
れた制御範囲（最高―20％）にあつては、光電部
材によつて発生した電流が制御限界以下に下るま
で走査距離ａは単に一定の尺度で増大されうるも
のである。距離を減少させることは前記の電流を
高めるという結果になるのだが、それは走査信号
のため過剰制御された増幅器によつて初めに述べ
た歪みへと導びかれることになるのである。
第３図に示された曲線にあつては最小走査距離
ａは50μｍを下まわるべきでないということから
出発されているものである、というのはちりの小
片によつて傷がつく危険が増加するために更に減
少することは実際に叶つていないからである。
50μｍという走査距離は従つて走査距離に対する
下の公差限界anioを表わすものである。公差範囲
は今それぞれの曲線経過，又はから生ずる
が、それらにおいて制御領域Ｓ（それぞれ信号最
大値マイナス20％）が示されている。
ａは50μｍを下まわるべきでないということから
出発されているものである、というのはちりの小
片によつて傷がつく危険が増加するために更に減
少することは実際に叶つていないからである。
50μｍという走査距離は従つて走査距離に対する
下の公差限界anioを表わすものである。公差範囲
は今それぞれの曲線経過，又はから生ずる
が、それらにおいて制御領域Ｓ（それぞれ信号最
大値マイナス20％）が示されている。
本発明の適用によつて生ずる曲線及びがこ
のカテゴリーの光電的測定装置においてさもなく
ば可能であるのよりも実質的により高い走査距離
公差△azulを許容することが直ちに認識しうるも
のである。
のカテゴリーの光電的測定装置においてさもなく
ば可能であるのよりも実質的により高い走査距離
公差△azulを許容することが直ちに認識しうるも
のである。
曲線にあつては走査プレートＡの格子A′，
A″の場合格子間距離ｇに対する光不透過性のラ
インGS（暗い領域幅）の比が１：４を呈した、即
ち光透過性のラインGL（明るい領域幅）に対する
光不透過性のラインGSの比が１：３である。こ
れに対して計測目盛M′における明るい領域幅に
対する暗い領域幅の比は１：１である。
A″の場合格子間距離ｇに対する光不透過性のラ
インGS（暗い領域幅）の比が１：４を呈した、即
ち光透過性のラインGL（明るい領域幅）に対する
光不透過性のラインGSの比が１：３である。こ
れに対して計測目盛M′における明るい領域幅に
対する暗い領域幅の比は１：１である。
曲線に対して暗い領域幅／明るい領域幅は走
査格子A′，A″において１：７であり、計測目盛
M′において１：１である。
査格子A′，A″において１：７であり、計測目盛
M′において１：１である。
暗い領域幅／明るい領域幅比が増大すると共に
許容の走査距離公差Δazulが増大されうることが
明らかであるが、しかしながらこのことは絶対的
信号振幅に負の影響を有するものである。
許容の走査距離公差Δazulが増大されうることが
明らかであるが、しかしながらこのことは絶対的
信号振幅に負の影響を有するものである。
専門家は本発明によつてその人に与えられた教
示を必要事項に応じて適合するでありましよう。
示を必要事項に応じて適合するでありましよう。
第４図は一方では走査距離ａ＝０のところで、
そして次の行では距離ａ＝0.1g2／λのところで格子 間距離ｇを有する波長λの平行光で照明された格
子スケールの後の強度経過を示すものである。
格子平面において直接強度は格子に相応して矩形
に配合されており、一方約0.1g2／λの距離のと
ころにあつては狭い強度尖頭形が生ずるものであ
る。この格子がこの距離で同じ格子間距離を有す
る第２の格子でもつて強度尖頭の幅と同じ幅の光
不透過性のラインだけが走査されると、これらの
格子の相対運動において互いに明―暗―変調が生
じ、それらの振幅はこの距離において最大値を有
し、そして距離の減少においても増大においても
減少するものである。この振幅に同じ許容される
相対的変化が起ると普通の走査プレート実施形態
におけるよりも走査プレートとスケールとの間に
大きな距離変化が許容されうることになる、そこ
では走査プレートとスケールとの間の距離が０の
所に変調―振幅の最大値が位置することになる。
そして次の行では距離ａ＝0.1g2／λのところで格子 間距離ｇを有する波長λの平行光で照明された格
子スケールの後の強度経過を示すものである。
格子平面において直接強度は格子に相応して矩形
に配合されており、一方約0.1g2／λの距離のと
ころにあつては狭い強度尖頭形が生ずるものであ
る。この格子がこの距離で同じ格子間距離を有す
る第２の格子でもつて強度尖頭の幅と同じ幅の光
不透過性のラインだけが走査されると、これらの
格子の相対運動において互いに明―暗―変調が生
じ、それらの振幅はこの距離において最大値を有
し、そして距離の減少においても増大においても
減少するものである。この振幅に同じ許容される
相対的変化が起ると普通の走査プレート実施形態
におけるよりも走査プレートとスケールとの間に
大きな距離変化が許容されうることになる、そこ
では走査プレートとスケールとの間の距離が０の
所に変調―振幅の最大値が位置することになる。
同一格子によつてスケールが照射され且つ走査
されるような簡単な入反射光システムにあつては
更なる長所が付随する。狭いラインのために走査
格子上のブランクはそれ相応に大きいものとし、
そして多くの光をスケールに届くようにさせるも
のである。こうすることによつて評価された信号
の振幅が高められうることになる。
されるような簡単な入反射光システムにあつては
更なる長所が付随する。狭いラインのために走査
格子上のブランクはそれ相応に大きいものとし、
そして多くの光をスケールに届くようにさせるも
のである。こうすることによつて評価された信号
の振幅が高められうることになる。
第１図は透過光タイプの測定装置の略図的照
明、尺度具現体、走査プレート及び光感応性部材
を示すものであり、第２図は入反射光タイプの測
定装置の第１図と類似の装置を示すものであり、
第３図は種々の格子条件における走査距離と光流
の関係をグラフ状に対比させた図であり、第４図
は種々の距離における格子スケールの後の光強度
の典型的経過を示すものである。 図中の記号は次のものを現わす。Ｌ…光源、
M′…計測目盛、Ａ…走査プレート、A′，A″…回
折格子、GS…光不透過性格子ライン、GL…光透
過性格子ライン、Aa…走査プレート、Ma…計測
目盛、ｇ…格子間距離。
明、尺度具現体、走査プレート及び光感応性部材
を示すものであり、第２図は入反射光タイプの測
定装置の第１図と類似の装置を示すものであり、
第３図は種々の格子条件における走査距離と光流
の関係をグラフ状に対比させた図であり、第４図
は種々の距離における格子スケールの後の光強度
の典型的経過を示すものである。 図中の記号は次のものを現わす。Ｌ…光源、
M′…計測目盛、Ａ…走査プレート、A′，A″…回
折格子、GS…光不透過性格子ライン、GL…光透
過性格子ライン、Aa…走査プレート、Ma…計測
目盛、ｇ…格子間距離。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 波長λの平行光を発する光源Ｌと、所定の格
子間距離ｇを有する一種の回折格子により形成さ
れた計測目盛M′と、前記格子間距離ｇの一乃至
数個の互いに位相ずれした回折格子A′，A″を具
備する走査プレートＡとを有し、該プレートがあ
る距離ａ＝ｋ・g2／λを置いて前記計測目盛M′に沿 つて摺動可能であるような光電式インクリメンタ
ル測長―及び角度測定装置において、ｋが０ない
し0.3の間の数であり、そして走査プレートＡの
光不透過性の格子ラインGSの幅に対する光透過
性の格子ラインGLの幅の比が明らかに２：１よ
りも大であることを特徴とする測長―及び角度測
定装置。 ２ 光不透過性の格子ラインGSの幅に対する光
透過性の格子ラインGLの幅の比が３：１である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項による測
長―及び角度測定装置。 ３ 光源Ｌの方に向けられた入力格子M′が１：
１なる光不透過性の格子ラインに対する光透過性
の格子ラインの比を有し、入力格子M′の後に配
設された出力格子A′，A″が３：１なる光不透過
性の格子ラインに対する光透過性の格子ラインの
比を有することを特徴とする特許請求の範囲第１
項による透過光方法で作動するインクリメンタル
測長―及び角度測定装置。 ４ 走査プレートAaの格子A′，A″が３：１なる
光不透過性の格子ラインに対する光透過性の格子
ラインの比を有し、反射ラインと吸収ラインとに
あつて反射格子として形成された計測目盛Maが
１：１の比を有することを特徴とする特許請求の
範囲第１項による入反射光方法で作動するインク
リメンタル測長―及び角度測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3148910.9 | 1981-12-10 | ||
| DE3148910A DE3148910C1 (de) | 1981-12-10 | 1981-12-10 | Lichtelektrische inkrementale Laengen- oder Winkelmesseinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58105004A JPS58105004A (ja) | 1983-06-22 |
| JPS6346367B2 true JPS6346367B2 (ja) | 1988-09-14 |
Family
ID=6148370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57215624A Granted JPS58105004A (ja) | 1981-12-10 | 1982-12-10 | 光電式インクリメンタル測長−及び角度測定装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4519709A (ja) |
| EP (1) | EP0083689B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58105004A (ja) |
| AT (1) | ATE23638T1 (ja) |
| BR (1) | BR8207153A (ja) |
| DE (1) | DE3148910C1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0565171A (ja) * | 1991-09-10 | 1993-03-19 | Nec Toyama Ltd | チツプ型電子部品のキヤリアテーピング包装およびキヤリアテープ |
| JPH0796966A (ja) * | 1993-09-27 | 1995-04-11 | Nec Corp | 半導体装置用キャリアテープ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3412128C1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-05-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
| DE3541199C1 (de) * | 1985-11-21 | 1987-06-25 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung |
| GB2188805B (en) * | 1986-03-27 | 1991-01-09 | Duracell Int | Device |
| US4912322A (en) * | 1986-08-15 | 1990-03-27 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Optical type displacement detecting device |
| US4883955A (en) * | 1987-02-25 | 1989-11-28 | Asahi Kogaku Kogyo K.K. | Optical encoder with converging means |
| US4943716A (en) * | 1988-01-22 | 1990-07-24 | Mitutoyo Corporation | Diffraction-type optical encoder with improved detection signal insensitivity to optical grating gap variations |
| EP0579846B1 (de) * | 1992-07-18 | 1995-08-23 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Optische Vorrichtung |
| DE19507613C2 (de) * | 1995-03-04 | 1997-01-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| DE19511068A1 (de) * | 1995-03-25 | 1996-09-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
| DE19652562C2 (de) * | 1996-12-17 | 1999-07-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| EP1028309B1 (de) | 1999-02-04 | 2003-04-16 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Optische Positionsmesseinrichtung |
| US6492637B1 (en) * | 1999-05-10 | 2002-12-10 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dimension measuring device |
| DE10117193B4 (de) * | 2001-04-05 | 2013-04-04 | Anton Rodi | Messsystem zur Absolutwerterfassung von Winkeln oder Wegen |
| JP3987498B2 (ja) * | 2004-02-03 | 2007-10-10 | ファナック株式会社 | モニター装置 |
| DE102006024579B4 (de) * | 2006-05-18 | 2016-09-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung der Position eines entlang mindestens einer Verschieberichtung bewegbaren Objektes |
| DE102007061287A1 (de) * | 2007-12-19 | 2009-06-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zur absoluten Positionsbestimmung |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3166624A (en) * | 1961-05-05 | 1965-01-19 | Bausch & Lomb | Moire fringe device having line grids of gradually changing pitch |
| DE1448504A1 (de) * | 1963-08-05 | 1968-12-12 | Wenczler & Heidenhain | Fotoelektrische Einrichtung zur Messung von Laengen |
| US3812352A (en) * | 1972-08-28 | 1974-05-21 | Itek Corp | Encoder readout system |
| DE2510273B2 (de) * | 1975-03-08 | 1980-05-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Fotoelektrische Meßeinrichtung |
| DE2826213B2 (de) * | 1978-06-15 | 1980-06-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Photoelektrisches inkrementales Längen- und Winkelmeßsystem |
-
1981
- 1981-12-10 DE DE3148910A patent/DE3148910C1/de not_active Expired
-
1982
- 1982-09-24 AT AT82108827T patent/ATE23638T1/de not_active IP Right Cessation
- 1982-09-24 EP EP82108827A patent/EP0083689B1/de not_active Expired
- 1982-11-19 US US06/443,063 patent/US4519709A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-12-09 BR BR8207153A patent/BR8207153A/pt not_active IP Right Cessation
- 1982-12-10 JP JP57215624A patent/JPS58105004A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0565171A (ja) * | 1991-09-10 | 1993-03-19 | Nec Toyama Ltd | チツプ型電子部品のキヤリアテーピング包装およびキヤリアテープ |
| JPH0796966A (ja) * | 1993-09-27 | 1995-04-11 | Nec Corp | 半導体装置用キャリアテープ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0083689B1 (de) | 1986-11-12 |
| US4519709A (en) | 1985-05-28 |
| JPS58105004A (ja) | 1983-06-22 |
| EP0083689A1 (de) | 1983-07-20 |
| DE3148910C1 (de) | 1983-03-10 |
| ATE23638T1 (de) | 1986-11-15 |
| BR8207153A (pt) | 1983-10-11 |
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