JPS6347568A - 密封装置 - Google Patents

密封装置

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Publication number
JPS6347568A
JPS6347568A JP61188472A JP18847286A JPS6347568A JP S6347568 A JPS6347568 A JP S6347568A JP 61188472 A JP61188472 A JP 61188472A JP 18847286 A JP18847286 A JP 18847286A JP S6347568 A JPS6347568 A JP S6347568A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
sealing device
magnetic fluid
ring magnet
fixed member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61188472A
Other languages
English (en)
Inventor
Muneo Mizumoto
宗男 水本
Hiroyuki Kitsunai
浩之 橘内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS6347568A publication Critical patent/JPS6347568A/ja
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  • Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、主に超清浄塵を要求される半導体装置の密封
装置に係シ、特に駆動部からの塵埃を封止するのに好適
な密封装置だ関する。
〔従来の技術〕
従来の密封装置は、特開昭５９−９３８１７号公報に記
載のように、磁石力の働く円周溝部に磁性流体を注入し
、かつ、この円周溝に回転側部材からはり出した円筒を
挿入して密封機構を構成している。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術では１回転軸が高速になる高速回転域で磁
性流体に加わる遠心力が大きくなシ、この遠心力の作用
により磁性流体が流失し密封性能が悪化するという問題
があった。
本発明の目的は、高速回転域でも安定して封止すること
ができる密封装置ｆを提供することにある。
〔問題点を解決する丸めの手段〕
本発明の上記目的は、固定部材側の環状磁石の内周面に
周方向の溝を設け、その溝に回転軸よりはり出した円板
を非接触にはめ込み、前記溝に磁性流体を注入して密封
機構を構成することにょシ達成される。
〔作用〕
固定部材に固定された環状磁石は、その内側の溝部に磁
性流体を保持する機能を有するうこの磁性流体の留った
溝に回転軸よりはり出した円板をはめ込む。これにより
、高速回転時にも、磁性流体は遠心力により溝外部へ飛
散することなく、安定な密封性能が得られる。
〔実施例〕
・以下１本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１図は本発明の装置の一実施例を示すもので。
この図において、固定部材２には内周面にｔｇ４ａを有
する凹状１ｌｆｒ面の環状磁石４が固定されている。
この溝４ａＫは８項状磁石４によシ回転軸１の軸方向と
平行に磁束が通っており、磁性流体６を保持できる。こ
の溝４ａには回転軸ＩＫ取付けたプラスチックス又は金
属薄板等の弾性変形可能な円板５がはめ込まれている。
このように構成したことによシ１回転ｌ１４１１１が高
速に回転して大きな遠心力が磁性流体に加わっても、磁
性流体６はＪ１４ａよシ外部へ流出することがないので
、高速回転域まで安定して密封できる。
第２図は本発明の装置の他の実施例を示すもので、この
実施例は凹状断面をイする環状磁石を。
２個の環状磁石１０ａ、１０ｂに分割し、回転軸１に設
けた円板５を組み込み易くしたものである。
環状磁石１０ａ、１０ｂの合せ面は、磁束が通っている
ため、磁性流体６はこの合せ面よりもれ出すことはない
。この実施例によれば２組立易い密封装置を実現するこ
とができる。
第３図は本発明の装置のさらに他の実施例を示すもので
、この実施例は凹状断面を有する磁石材として、ゴム磁
石等の弾性変形する磁石を用いたものである。
このように構成したことにより１回転軸に取付けた円板
５が剛のものであっても組み込みが可能となシ１回転軸
１が高速に回転しても２円板５が大きな遠心力により破
損することなく安定した密封性能が得られる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、高速回転域でも安定して封止できる密
封装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図はそれぞれ本発明の密封装置の実施例を
示す縦断面図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、固定部材と回転部材との間の発塵源からの塵埃を封
    止する密封装置において、前記固定部材の内周部に円周
    方向の溝部を有する環状磁石を固定し、前記溝部に非接
    触にはまり込む円板を回転部材に固定し、前記溝部に磁
    性流体を注入したことを特徴とする密封装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の密封装置において、円
    周方向の溝を有する環状磁石が複数の磁石材から構成さ
    れていることを特徴とする密封装置。 ３、特許請求の範囲第１項記載の密封装置において、円
    周方向の溝を有する環状磁石が弾性変形可能な磁石より
    なることを特徴とする密封装置。
JP61188472A 1986-08-13 1986-08-13 密封装置 Pending JPS6347568A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006054181A (ja) * 2004-08-10 2006-02-23 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc 真空移行チャンバを備えたカンチレバー型およびストラドル型回転アノードｘ線管
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