JPS6347954A

JPS6347954A - セラミツク基板分割装置

Info

Publication number: JPS6347954A
Application number: JP61193661A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Takano; 八寿雄高野
Original assignee: Daido Steel Co Ltd
Current assignee: Daido Steel Co Ltd
Priority date: 1986-08-18
Filing date: 1986-08-18
Publication date: 1988-02-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明はセラミック製の薄板に集積回路をそなえたセ
ラミック基板の分割装置に関りる。

（従来の技術）セラミック製の薄板の上面あるいは内部に集積回路をそ
なえたセラミック基板は、一般に製品となる多数個の単
位片が平板状に連続した板状体に生産され、各単位片間
に刻設された分割溝（チョコレートブレーク）部分にお
いて折って分割する必要がある。従来のこのための分割
装置としては、たとえば特開昭６１−９９３０５号公報
に記載されたものがある。

（発明が解決しようとする問題点）ところが上記公報に記載のものは、基板を受は板と挾み
部材で挾み付けて折曲げる構成のため、ｉ膜束積回路の
みをそなえたセラミックＩＩでは大体支障なく折曲分割
ができるが、ｎ膜束積回路にトランジスタやダイオード
などの能動素子を組合せて一枚の基板上に取付けた混成
集積回路（ハイブリッドＩＣ）をそなえたセラミック基
板の分割をおこなおうとすると、挾み部材によりトラン
ジスタやダイオードなどが損傷を受けるので、分割はほ
とんど不可能であった。そこで止むを得ず手作業で折っ
て分割をおこなっていたが、煩雑で労力を要するうえ、
単位片が小形のものは指で把持できず分割が困難であっ
た。

この発明は上記従来の問題点を解決するもので、混成集
積回路をそなえたレラミツク基板を能率よく小形のもの
も確実に分割することができるセラミック基板分割装置
を提供しようとするものである。

（問題点を解決するための手段）しかしてこの発明の第１の分割装置は、上面に刻設した
分割溝を介して複数枚の単位片が連続して成るセラミッ
ク基板を支承する台と、上記セラミンク基板を駆動して
前記台の先端から先頭の単位片を突出さぜる押出機構と
、前記先頭の単位片に続く単位片の縁部に対向する端面
を有し昇降駆動される押付具と、前記先頭の単位片の先
端縁に対向する端面を有し昇降駆動される加圧具とを具
備して成るセラミック基板分割装置である。

またこの発明の第２の分割装置は上面に刻設した分割溝
を介して複数枚の単位片が連続して成るセラミック基板
を支承する台と、上記セラミック基板を駆動して航記台
の先端から先頭の単位片を突出させる押出機構と、前記
先頭の単位片に続く単位片の縁部に対向する端面を有し
昇降駆動される押付具と、前記先頭の単位片の先端縁に
対向する端面を右し昇降駆動される加圧具と、前記先頭
の単位片の直下部に配設された受取面を有する移送装置
とを具備して成るセラミック基板分割装置である。

（作用）この発明の第１の分割装置においては、セラミック基板
は台上において押出機構により駆動され、先頭の１枚の
単位片が台の先端から突出した状態となったのら、下降
駆動される押付具により先頭の単位片に続（単位片が台
上に押付けられ、先頭の単位片が下降駆動される加圧具
により下方へ加圧され、この先頭の単位片とこれに続く
単位片との間の分割溝部が割れ、先頭の単位片が下方へ
落下する。次にこれに続く単位片が新たな先頭の単位片
となり、以下上記と同様な工程で順次１枚ずつの単位片
の分割がおこなわれる。分割時の先頭の単位片の加圧は
、該単位片の先端縁を加圧具により加圧することにより
おこなうが、一般に単位片の縁部（たとえば巾１履程度
の範囲）には１−ランジスタやダイオード等の能動素子
は取付けられていないので、これら能動素子を損傷する
ことなく単位片の加圧をおこなうことができる。また先
頭の単位片に続く単位片の押付具による押付も、同様に
単位片の縁部を押付けることにより能動素子をｎ傷する
ことなく押付けをおこなうことができる。

この弁明の第２の分割装置においては、上記と同様な作
用により分割された単位片は、直下部にある受取面によ
り受取られ分割時の向きをＮ持したまま移送装置により
側方へ移送される。

（実施例）以下第１図および第２図によりこの発明の一実施例を説
明する。

図中、１は台で、その上面にはセラミック基板２を支承
する支承面３が形成され、４はこの台１の先端である。

セラミック基板２は、薄膜集積回路と、鎖線５で示す範
囲内の上面に設けたトランジスタやダイオードなどの能
動素子とから成る混成集積回路をそなえた単位片６８〜
６ｄを、複数枚連続して一体成形して成り、７は各単位
片間に刻設した分割溝である。８は台の支承面３上に囲
動自在に配設された押出板で、図示しないエアシリンダ
等の直動駆動機により矢印Ｘ方向に駆動される。８ａは
押出機８の端面下部に設けた凹部で、末尾の単位片６ｄ
の後縁部に係合するものである。

９は先頭の単位片６ａの端面に当接して、分割溝７を台
の先端４にほぼ一致させるためのストツバで、連結片１
０を介して台１に連結されており、このストッパと前記
押出板８とにより押出機構１１が構成されている。一方
１５は、ガイド１６により昇降自在に案内された板状の
加圧具で、図示しないエアシリンダに昇降駆動されるよ
うに連結されている。押圧具１５の端面１５ａは先頭の
単位片６ａの先端１ｉ１７に対向している。また２０は
ガイド２１により昇降自在に案′内された板状の押付具
で、図示しないエアシリンダに昇降駆動されるように連
結されている。押付具２０の端面２０ａは、先頭の単位
片６ａに続く単位片６ｂの前縁部２２に対向している。

また２５は分割された単位片を側方へ排出するための移
送装置であるベルトコンベアで、その受取面２６は先頭
の単位片６ａの直下部に来るように配設されている。

上記構成の分割装置２７においては、押出機構１１によ
り図示のように先頭の１枚の単位片６ａを台１の先端４
から突出させ、後続の単位片６ｂとの間の分割溝７を先
端４に一致させるかやや突出させる。続いて押付具２０
を下降駆動して単位片６ｂを台１に押付け、この状態で
加圧具１５を下降駆動して先頭の単位片６ａの先端縁１
７を下方へ押し、分割溝７部でセラミック基板２を割る
。

分割した単位片６ａはベルトコンベア２５の受取面２６
上に分割時のままの向きで落下し、このコンベアにより
側方へ排出され次工程装置に搬送される。加圧具１５お
よび押付具２０を上昇させ、押出機構１１により残った
セラミック基板２をストッパ９に当るまで押出し、以下
上記と同様な工程を繰返すことにより各単位片６ｂ、６
Ｃ・・・を順次１個ずつに分割する。分割する単位片が
末尾の単位片６ｄと６０の２枚になったとき、押出板８
の凹部８ａが単位片６ｄの後縁部に係合して、第１図に
鎖線３１で示すように押出完了時に単位片６ｄが跳上る
ように傾斜するのを防止するので、末尾の単位片まで確
実に分割できる。なおこのかわりに台１の先端４寄りの
位置に上向きに開口するエア吸着孔３２を設け、末尾の
単位片６ｄのみはエア吸着により傾斜を防止後、押付具
２０の押付けをおこなってもよい。上記の分割は押出機
構１１、押付具２０および加圧具１５をシーケンス制御
などにより連動させることにより、労力を要することな
く自動的に能率よくおこなうことができる。

上記実施例では、分割される先頭の単位片の直下部に受
取面２６を有するベルトコンベア２５を設けたので、分
割された単位片は分割時の向き（各辺の向きおよび表裏
の向き）を維持したまま次工程に搬送されるので、向き
を揃えるための装置が不要であり単位片のハンドリング
が容易であるという長所を有するものであるが、自重滑
走式のシュートあるいはシュートとブツシャ等、ベルト
コンベア以外の移送装置を用いることもできる。

また単位片の向きを揃える必要がない場合は、この移送
装置を省略し、分割後の単位片をホッパその他の装置内
に落下させるようにしてもよい。

また上記実施例では、先頭の単位片に続く単位片の台１
への押付は、押付具２０により単位片の前縁部２２を押
付けることによりおこなうようにしたが、この前縁部２
２のかわりにあるいは前縁部２２と共に、鎖線５の範囲
外の側縁部２８あるいは後縁部２９を押付具２０の端面
２０ａにより押付けるようにしてもよい。なおこのとき
はこの端面２０ａにより、第１図に鎖線３１で示す末尾
の単位片６ｄの過度の傾斜は防止されるので、押出板８
の凹部８ａの付設や、前述のエア吸着による単位片６ｄ
の固定は省略してもよい。

（発明の効果）以上説明したようにこの発明によれば、セラミック基板
の単位片の縁部を押付および加圧して分割をおこなうよ
うにしたので、上面にトランジスタやダイオードなどの
能動素子を有する註成集積回路をそなえたセラミック基
板を、これら能動素子を損傷することな（能率よく、小
型のものも確実に分割することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す分割装置の正面図、
第２図は同じく一部切断平面図である。１・・・台、２・・・セラミック基板、３・・・支承面
、４・・・先端、６ａ、６ｂ、６Ｃ１６ｄ・・・単位片
、７・・・分割溝、８・・・押出板、９・・・ストッパ
、１１・・・押出機構、１５・・・加圧具、１５ａ・・
・端面、１７・・・先端縁、２０・・・押付具、２０ａ
・・・端面、２２・・・前、縁部、２５・・・ベルトコ
ンベア（移送装置）、２６・・・受取面、２７・・・分
υ１装置、２８・・・側縁部、２９・・・後縁部。

Claims

【特許請求の範囲】１　上面に刻設した分割溝を介して複数枚の単位片が連
続して成るセラミック基板を支承する台と、上記セラミ
ック基板を駆動して前記台の先端から先頭の単位片を突
出させる押出機構と、前記先頭の単位片に続く単位片の
縁部に対向する端面を有し昇降駆動される押付具と、前
記先頭の単位片の先端縁に対向する端面を有し昇降駆動
される加圧具とを具備して成るセラミック基板分割装置
。２　上面に刻設した分別溝を介して複数枚の単位片が連
続して成るセラミック基板を支承する台と、上記セラミ
ック基板を駆動して前記台の先端から先頭の単位片を突
出させる押出機構と、前記先頭の単位片に続く単位片の
縁部に対向する端面を有し昇降駆動される押付具と、前
記先頭の単位片の先端縁に対向する端面を有し昇降駆動
される加圧具と、前記先頭の単位片の直下部に配設され
た受取面を有する移送装置とを具備して成るセラミック
基板分割装置。