JPS6348723U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6348723U JPS6348723U JP14051286U JP14051286U JPS6348723U JP S6348723 U JPS6348723 U JP S6348723U JP 14051286 U JP14051286 U JP 14051286U JP 14051286 U JP14051286 U JP 14051286U JP S6348723 U JPS6348723 U JP S6348723U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance
- conveyor
- drive mechanism
- chamber
- swing arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
第１図は本考案装置の一実施例を示す縦断面図
、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図である。 １……搬送室、２……コンベア、３……上下機
構、４……駆動機構、６……スイングアーム、７
……スイングアーム、８……ベルト、９……アイ
ドラプーリ、１０……ストツパ、１１……ウエハ
。
、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図である。 １……搬送室、２……コンベア、３……上下機
構、４……駆動機構、６……スイングアーム、７
……スイングアーム、８……ベルト、９……アイ
ドラプーリ、１０……ストツパ、１１……ウエハ
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 搬送レベルの相違する装置間に設けた搬送室
と、その内部に設けた搬送用のコンベア及びコン
ベアを駆動する駆動機構より成る搬送装置におい
て、コンベアの上下機構を設けたことを特徴とす
る搬送装置。 ２ 前記コンベアと前記駆動機構間にアイドラプ
ーリとスイングアームを設けた実用新案登録請求
の範囲第１項記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14051286U JPS6348723U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14051286U JPS6348723U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6348723U true JPS6348723U (ja) | 1988-04-02 |
Family
ID=31047427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14051286U Pending JPS6348723U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6348723U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03162316A (ja) * | 1989-11-20 | 1991-07-12 | Heiwa Corp | パチンコ機の検査工程に組込まれる昇降装置 |
| KR100479494B1 (ko) * | 2002-09-18 | 2005-03-30 | 삼성전자주식회사 | 기판 반송 로봇 |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP14051286U patent/JPS6348723U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03162316A (ja) * | 1989-11-20 | 1991-07-12 | Heiwa Corp | パチンコ機の検査工程に組込まれる昇降装置 |
| KR100479494B1 (ko) * | 2002-09-18 | 2005-03-30 | 삼성전자주식회사 | 기판 반송 로봇 |