JPS6348874A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6348874A JPS6348874A JP61192185A JP19218586A JPS6348874A JP S6348874 A JPS6348874 A JP S6348874A JP 61192185 A JP61192185 A JP 61192185A JP 19218586 A JP19218586 A JP 19218586A JP S6348874 A JPS6348874 A JP S6348874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- inert gas
- gas
- discharge
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ光を発生させるための放電を維持する
電極を設けたレーザ装置に関するものである。
電極を設けたレーザ装置に関するものである。
（従来の°技術）
以下、図面を参照しながら従来のレーザ装置の電極部分
の一例について説明を行なう。
の一例について説明を行なう。
第２図は従来のレーザ族はの電極部分の一例を示したも
のである。第２図に於いて、１は電気絶縁性セラミック
スであり、レーザガスの静圧部から放電が発生すること
を防止している。２は電極であり、この表面からレーザ
ガスを媒体としてレーザ光を発生させるために必要な放
電が起こる。
のである。第２図に於いて、１は電気絶縁性セラミック
スであり、レーザガスの静圧部から放電が発生すること
を防止している。２は電極であり、この表面からレーザ
ガスを媒体としてレーザ光を発生させるために必要な放
電が起こる。
３は電気絶縁性セラミックスであり、１と同様の働きを
する。
する。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、前記のような電極の構成では、放電に伴
って発生する熱によって電極表面が酸化し、その結果レ
ーザ出力が低下するという欠点を有していた。
って発生する熱によって電極表面が酸化し、その結果レ
ーザ出力が低下するという欠点を有していた。
また、放電電流が増加するにつれて、電極の表面近傍で
発生する熱量が増え、酸化の進化が早まり、電極の寿命
が著しく短くなるという欠点もあった・ （問題点を解決するための手段） 本発明は、前記の欠点である電極の酸化を抑制するため
に、レーザ光を発生させるための放電を維持する電極を
有し、その電極に多孔質焼結金属または多孔質電気伝導
性セラミックス製のものを用い、不活性ガスまたは不活
性ガスに富んだガスの導入口をも兼ねさせたものである
。
発生する熱量が増え、酸化の進化が早まり、電極の寿命
が著しく短くなるという欠点もあった・ （問題点を解決するための手段） 本発明は、前記の欠点である電極の酸化を抑制するため
に、レーザ光を発生させるための放電を維持する電極を
有し、その電極に多孔質焼結金属または多孔質電気伝導
性セラミックス製のものを用い、不活性ガスまたは不活
性ガスに富んだガスの導入口をも兼ねさせたものである
。
（作 用）
前記の構造を用いることにより、以下に述べる３つの効
果がある。
果がある。
１、電極の表面から不活性ガスまたは不活性ガスに富ん
だガスを導入することができるため、レーザガスに比較
して低温の不活性ガスが電極表面をおおい、熱除去効率
が向上し、電極の表面温度が低下する。
だガスを導入することができるため、レーザガスに比較
して低温の不活性ガスが電極表面をおおい、熱除去効率
が向上し、電極の表面温度が低下する。
２、電極の表面から不活性ガスまたは不活性ガスに富ん
だガスを導入するので、電極の表面には不活性ガスに富
んだ層が形成され、電極表面における酸素ポテンシャル
が低下し、電極表面の酸化の進行を抑制する。
だガスを導入するので、電極の表面には不活性ガスに富
んだ層が形成され、電極表面における酸素ポテンシャル
が低下し、電極表面の酸化の進行を抑制する。
３、前記構造を採用することにより、電極表面には不活
性ガスに富んだ層が形成され、放電開始電圧が低下する
とともに放電が安定する。
性ガスに富んだ層が形成され、放電開始電圧が低下する
とともに放電が安定する。
以上の３つの効果により、電極の寿命が著しく延びるだ
けでなく、長期的にレーザ出力を安定して確保すること
ができる。
けでなく、長期的にレーザ出力を安定して確保すること
ができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明を行なう。
明を行なう。
第１図は、本発明を実施したレーザ装置の電極部分の一
例を示している。第１図に於いて、２′は多孔質焼結金
属または多孔質電気伝導性セラミックス製の電極であり
、不活性ガスまたは不活性ガスに富んだガスの導入口も
兼用している。この電極２′にはボンベ４から不活性ガ
スがバルブ５を介して供給される。また、その他の構成
は第２図の従来例と同じである。
例を示している。第１図に於いて、２′は多孔質焼結金
属または多孔質電気伝導性セラミックス製の電極であり
、不活性ガスまたは不活性ガスに富んだガスの導入口も
兼用している。この電極２′にはボンベ４から不活性ガ
スがバルブ５を介して供給される。また、その他の構成
は第２図の従来例と同じである。
前記の構成に於いて、レーザ光を発生させるため、２つ
の電極は放電を維持している。この電極の表面が酸化し
ていない正常時には、放電が拡がり、高出力のレーザ光
を安定して得ることができる。ところが、電極表面の酸
化が進行すると、電極表面上の電子放出ポイントが局在
化し、結果的に電子放出能が低下する。また、電極表面
上の電子放出ポイントが局在化したことにより、放電中
の電子の空間密度が不均一になり、放電が拡がらず、レ
ーザ出力の低下をもたらす。
の電極は放電を維持している。この電極の表面が酸化し
ていない正常時には、放電が拡がり、高出力のレーザ光
を安定して得ることができる。ところが、電極表面の酸
化が進行すると、電極表面上の電子放出ポイントが局在
化し、結果的に電子放出能が低下する。また、電極表面
上の電子放出ポイントが局在化したことにより、放電中
の電子の空間密度が不均一になり、放電が拡がらず、レ
ーザ出力の低下をもたらす。
このような現象を防止するため、電子を放出するカソー
ド電極を多孔質焼結金属または多孔質電気伝導性セラミ
ックス製の不活性ガスまたは不活性ガスに富んだガスの
導入口を設け、不活性ガスまたは不活性ガスに富んだガ
スで酸素を含有するレーザガスからの電極表面をシール
ドし、レーザガスに比べて低温の不活性ガス温度を下げ
るだけでなく、不活性ガスに富んだ層を電極表面に形成
することで電極表面における酸素ポテンシャルを低下さ
せ、電極表面の酸化の進行を抑制している。
ド電極を多孔質焼結金属または多孔質電気伝導性セラミ
ックス製の不活性ガスまたは不活性ガスに富んだガスの
導入口を設け、不活性ガスまたは不活性ガスに富んだガ
スで酸素を含有するレーザガスからの電極表面をシール
ドし、レーザガスに比べて低温の不活性ガス温度を下げ
るだけでなく、不活性ガスに富んだ層を電極表面に形成
することで電極表面における酸素ポテンシャルを低下さ
せ、電極表面の酸化の進行を抑制している。
また、前述したように不活性ガスに富んだ層が電極表面
に形成されているため、放電が安定し、長期的にレーザ
出力を安定確保することができる。
に形成されているため、放電が安定し、長期的にレーザ
出力を安定確保することができる。
（発明の効果）
以上の説明からも明らかなように、本発明によれば電極
表面の酸化の進行を抑制するだけでなく、放電の安定に
よって、レーザ装置の寿命は飛Δ的に延び、その効果は
大である。
表面の酸化の進行を抑制するだけでなく、放電の安定に
よって、レーザ装置の寿命は飛Δ的に延び、その効果は
大である。
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は従来のレ
ーザ装置の電極部分の一例を示す図である。 １．３・・・電気絶縁性セラミックス、 ２・・・電
極、 ２′・・・多孔質焼結金属または多孔質電気伝導
性セラミックス製の電極、 ４・・・ボンベ、 ５・
・・バルブ。
ーザ装置の電極部分の一例を示す図である。 １．３・・・電気絶縁性セラミックス、 ２・・・電
極、 ２′・・・多孔質焼結金属または多孔質電気伝導
性セラミックス製の電極、 ４・・・ボンベ、 ５・
・・バルブ。
Claims (1)
- レーザ光を発生させるための放電を維持する電極を有し
、前記電極を多孔質焼結金属または多孔質電気伝導性セ
ラミックス製とし、不活性ガスまたは不活性ガスに富ん
だガスの導入口をも兼用させたことを特徴とするレーザ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192185A JPS6348874A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192185A JPS6348874A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6348874A true JPS6348874A (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=16287092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61192185A Pending JPS6348874A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6348874A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1436866A4 (en) * | 2001-09-13 | 2009-10-28 | Cymer Inc | LASER WITH HIGH REPLACEMENT RATE WITH IMPROVED ELECTRODES |
-
1986
- 1986-08-19 JP JP61192185A patent/JPS6348874A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1436866A4 (en) * | 2001-09-13 | 2009-10-28 | Cymer Inc | LASER WITH HIGH REPLACEMENT RATE WITH IMPROVED ELECTRODES |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0176831A3 (en) | Fast response, high rate, gas diffusion electrode and method of making same | |
| EP0464841A2 (en) | Excimer laser device | |
| GB1353683A (en) | Discharge lamp having cavity electrodes | |
| US3983423A (en) | Thermionic converter | |
| US4859905A (en) | Unsaturated vapor high pressure sodium lamp getter mounting | |
| JPS6293834A (ja) | イオン源 | |
| CA1222274A (en) | Unsaturated vapor high pressure sodium lamp getter mounting | |
| JPS6350084A (ja) | レ−ザ装置 | |
| RU993758C (ru) | Электродная система проточного газового лазера | |
| GB1283601A (en) | Improvements in or relating to gas discharge lasers | |
| JPS6114777A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| US4988318A (en) | Unsaturated vapor high pressure sodium lamp arc tube fabrication process | |
| JPS6054757B2 (ja) | 逆極性プラズマア−クの熱源特性の制御方法 | |
| JPS6340386A (ja) | レ−ザ−装置 | |
| JPH0318751B2 (ja) | ||
| JPH02170338A (ja) | 電極組立体 | |
| JP3049881B2 (ja) | プラズマ切断トーチ | |
| JPS61289686A (ja) | ガスレ−ザ発振器の放電電極 | |
| RU2014763C1 (ru) | Ускоритель плазмы | |
| JPS6364067B2 (ja) | ||
| SU984759A1 (ru) | Устройство дл сварки в вакууме | |
| SU1769630A2 (ru) | Источник ионов | |
| JPS61271883A (ja) | 炭酸ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS61147591A (ja) | 放電型気体レ−ザ装置 | |
| JPS6022621Y2 (ja) | ガスレ−ザ放電管 |