JPH0318751B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0318751B2 JPH0318751B2 JP60029638A JP2963885A JPH0318751B2 JP H0318751 B2 JPH0318751 B2 JP H0318751B2 JP 60029638 A JP60029638 A JP 60029638A JP 2963885 A JP2963885 A JP 2963885A JP H0318751 B2 JPH0318751 B2 JP H0318751B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- copper
- electrode
- tungsten
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は循環するレーザ媒質ガスを放電励起
し、レーザ発振を行なうガスレーザ発振装置に関
するものである。
し、レーザ発振を行なうガスレーザ発振装置に関
するものである。
従来の技術
第１図に従来のガスレーザ発振装置の放電用電
極の概略図を示す。１は銅電極、２は放電管であ
る。レーザ媒質ガスは放電管２の中で放電励起さ
れ、全反射鏡３と出力鏡４との間で増幅されレー
ザ光を発振する。この時、放電電流は電極表面全
体もしくは一部を流れる。
極の概略図を示す。１は銅電極、２は放電管であ
る。レーザ媒質ガスは放電管２の中で放電励起さ
れ、全反射鏡３と出力鏡４との間で増幅されレー
ザ光を発振する。この時、放電電流は電極表面全
体もしくは一部を流れる。
発明が解決しようとする問題点
ところがこの銅電極１では、放電電流を増大さ
せていくと銅電極表面の電流の局所的集中がおこ
り、放電の拡がりが悪くなる。したがつて効率よ
くレーザ媒質ガスを放電励起できず、出力が伸び
なやむ傾向がある。この様子を第２図に示す。第
２図ａに示すように、放電電流が小さい場合は銅
電極表面上に一様に分布していた電流密度が電流
の増大により、第２図ｂに示すように局所的集中
もひきおこしている。特に局所的集中をおこしや
すいのはレーザ媒質ガスの流れのないところに面
した電極表面部分である。
せていくと銅電極表面の電流の局所的集中がおこ
り、放電の拡がりが悪くなる。したがつて効率よ
くレーザ媒質ガスを放電励起できず、出力が伸び
なやむ傾向がある。この様子を第２図に示す。第
２図ａに示すように、放電電流が小さい場合は銅
電極表面上に一様に分布していた電流密度が電流
の増大により、第２図ｂに示すように局所的集中
もひきおこしている。特に局所的集中をおこしや
すいのはレーザ媒質ガスの流れのないところに面
した電極表面部分である。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、ガスレ
ーザ発振装置の放電用電極の材質を少なくともタ
ングステンと銅からなる焼結合金としたものであ
る。
ーザ発振装置の放電用電極の材質を少なくともタ
ングステンと銅からなる焼結合金としたものであ
る。
作 用
上記構成により、レーザ媒質ガスをより効率よ
く励起できる。
く励起できる。
実施例
以下、本発明の実施例について第３図乃至第５
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
第３図において、１１は放電用電極であり、タ
ングステンと銅の焼結合金よりなり、タングステ
ンと銅の質量比は70：30である。１２は放電管で
ある。
ングステンと銅の焼結合金よりなり、タングステ
ンと銅の質量比は70：30である。１２は放電管で
ある。
上記構成において、放電用電極１１は銅とタン
グステンの焼結合金よりなるが、銅とタングステ
ンの電気伝導度が異なるため、銅からの電流放出
が中心となる。このためタングステンのすき間の
銅の部分から電子が放出されることになる。この
様子を第３図に示す。このため銅粒子からの電子
放出による銅粒子の発熱をタングステン粒子が拡
散させ、電極表面上のプラズマを抑制するという
効果がある。このタングステン粒子による発熱の
拡散が最も効果的にあらわれるのは、銅粒子の表
面積とタングステン粒子の表面積が等しい時であ
る。このとき銅粒子とタングステン粒子の質量比
は30％：70％となる。なお銅とタングステンの質
量比と出力の関係を第４図に示す。
グステンの焼結合金よりなるが、銅とタングステ
ンの電気伝導度が異なるため、銅からの電流放出
が中心となる。このためタングステンのすき間の
銅の部分から電子が放出されることになる。この
様子を第３図に示す。このため銅粒子からの電子
放出による銅粒子の発熱をタングステン粒子が拡
散させ、電極表面上のプラズマを抑制するという
効果がある。このタングステン粒子による発熱の
拡散が最も効果的にあらわれるのは、銅粒子の表
面積とタングステン粒子の表面積が等しい時であ
る。このとき銅粒子とタングステン粒子の質量比
は30％：70％となる。なお銅とタングステンの質
量比と出力の関係を第４図に示す。
また、第５図に示すように、銅とタングステン
の焼結合金よりなる焼結合金電極１３の両側に絶
縁物１４を位置させることにより放電用電極を構
成すると、レーザ媒質ガス流れに面した焼結合金
電極１３の表面からのみ放電させることができ、
放電面上のガス圧、冷却等の条件が均一化され、
より放電電流の局所的集中を防ぐ効果が得られ
る。
の焼結合金よりなる焼結合金電極１３の両側に絶
縁物１４を位置させることにより放電用電極を構
成すると、レーザ媒質ガス流れに面した焼結合金
電極１３の表面からのみ放電させることができ、
放電面上のガス圧、冷却等の条件が均一化され、
より放電電流の局所的集中を防ぐ効果が得られ
る。
発明の効果
以上の説明から明らかなように本発明によれば
レーザ媒質ガスをより効率よく励起できることに
より、同出力でより小型の経済的なガスレーザ発
振装置を提供でき、その効果は大である。
レーザ媒質ガスをより効率よく励起できることに
より、同出力でより小型の経済的なガスレーザ発
振装置を提供でき、その効果は大である。
第１図は従来のガスレーザ発振装置の要部断面
図、第２図ａは同装置における放電電流が小さい
場合の要部断面図、第２図ｂは同装置における放
電電流が大きい場合の要部断面図、第３図は本発
明の一実施例を示すガスレーザ発振装置の要部断
面図、第４図は同装置の放電用電極の銅の質量比
と出力の関係を示す特性図、第５図は本発明の他
の実施例を示すガスレーザ発振装置の要部断面図
である。 １１……放電用電極、１２……放電管。
図、第２図ａは同装置における放電電流が小さい
場合の要部断面図、第２図ｂは同装置における放
電電流が大きい場合の要部断面図、第３図は本発
明の一実施例を示すガスレーザ発振装置の要部断
面図、第４図は同装置の放電用電極の銅の質量比
と出力の関係を示す特性図、第５図は本発明の他
の実施例を示すガスレーザ発振装置の要部断面図
である。 １１……放電用電極、１２……放電管。
Claims (1)
- １ 循環するレーザ媒質ガスを放電励起し、レー
ザ発振を行なうガスレーザ発振装置において、放
電用電極の材質を少なくともタングステンと銅か
らなる焼結合金とし、かつ前記放電用電極はレー
ザ媒質ガスの流れに接する面のみを電極面として
形成したことを特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029638A JPS61188980A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029638A JPS61188980A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61188980A JPS61188980A (ja) | 1986-08-22 |
| JPH0318751B2 true JPH0318751B2 (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=12281620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60029638A Granted JPS61188980A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61188980A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3817145C2 (de) * | 1987-06-03 | 1996-02-01 | Lambda Physik Forschung | Elektrode für gepulste Gas-Laser und ihre Verwendung |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6184883A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振装置 |
| JPS61147590A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
-
1985
- 1985-02-18 JP JP60029638A patent/JPS61188980A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61188980A (ja) | 1986-08-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |