JPS6350085A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6350085A JPS6350085A JP61192948A JP19294886A JPS6350085A JP S6350085 A JPS6350085 A JP S6350085A JP 61192948 A JP61192948 A JP 61192948A JP 19294886 A JP19294886 A JP 19294886A JP S6350085 A JPS6350085 A JP S6350085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- high voltage
- laser
- time
- gas pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はガスレーザ装置、特にレーザガスを高電圧放電
により励起する装置に関するものである。
により励起する装置に関するものである。
（従来の技術）
炭酸ガスレーザなどのガスレーザは高電圧を印加しレー
ザガスを放電して、レーザを発振させるものである。第
２図は一般的なレーザの構成を示す概略図である。、１
は高電圧電源であり、普通は直流電源である。２は高電
圧電源１へ供給される電力を開閉するスイッチであり、
３はレーザ放電管のアノードであり、高電圧電源１に接
続されている。レーザ放電管の他方にはカソード４が設
けられ、放電電流制御部５の一端に接続されている。
ザガスを放電して、レーザを発振させるものである。第
２図は一般的なレーザの構成を示す概略図である。、１
は高電圧電源であり、普通は直流電源である。２は高電
圧電源１へ供給される電力を開閉するスイッチであり、
３はレーザ放電管のアノードであり、高電圧電源１に接
続されている。レーザ放電管の他方にはカソード４が設
けられ、放電電流制御部５の一端に接続されている。
放電電流制御部５は真空管６や真空管のグリッド電位を
コントロールして、放電電流を制御するトランジスタ７
や電流を検出するための抵抗８等から構成されている。
コントロールして、放電電流を制御するトランジスタ７
や電流を検出するための抵抗８等から構成されている。
放電電流制御部５の他端はアースに接続されている。真
空管６のプレート電圧を規定するために分圧抵抗９，１
０がある。放電がオフの時には、プレート電圧はこの分
圧抵抗９゜１０によって決まる電圧に保持される。プレ
ートとアースの間には浮遊容量１１があるので、高電圧
電源に給電を開始する時、レーザ放電管のアノードの電
圧上昇とカソード４および真空管６のプレート電圧の上
昇の時定数が異なり第３図に示すようになる。この時の
アノード３．カソード４間に印加される電圧の変化の一
例を示すのが第４図である。図からも明らかなように、
カソード電圧上昇の遅れによりアノード３．カソード４
間に印加される電圧は高い値を示した後、分圧抵抗で決
まる電圧差に一定する。このため、高電圧電源投入時レ
ーザ放電管に異常な電圧が加わり、無制御状態で放電を
開始し、電気回路部品を破損することがある。
空管６のプレート電圧を規定するために分圧抵抗９，１
０がある。放電がオフの時には、プレート電圧はこの分
圧抵抗９゜１０によって決まる電圧に保持される。プレ
ートとアースの間には浮遊容量１１があるので、高電圧
電源に給電を開始する時、レーザ放電管のアノードの電
圧上昇とカソード４および真空管６のプレート電圧の上
昇の時定数が異なり第３図に示すようになる。この時の
アノード３．カソード４間に印加される電圧の変化の一
例を示すのが第４図である。図からも明らかなように、
カソード電圧上昇の遅れによりアノード３．カソード４
間に印加される電圧は高い値を示した後、分圧抵抗で決
まる電圧差に一定する。このため、高電圧電源投入時レ
ーザ放電管に異常な電圧が加わり、無制御状態で放電を
開始し、電気回路部品を破損することがある。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は、以上のような高電圧電源投入時における異常
放電による部品破損を防止したガスレーザを提供するも
のである。
放電による部品破損を防止したガスレーザを提供するも
のである。
（問題点を解決するための手段及び作用）本発明は、上
記従来技術の欠点を放電開始電圧のガス圧力依存性を利
用して解決するものである。
記従来技術の欠点を放電開始電圧のガス圧力依存性を利
用して解決するものである。
第５図は、レーザ放電管の放電開始電圧のレーザガス圧
力依存性の一例を示すものである。明らかにレーザガス
圧力が高くなるほど、放電開始電圧が高くなっている。
力依存性の一例を示すものである。明らかにレーザガス
圧力が高くなるほど、放電開始電圧が高くなっている。
本発明は、この特性を利用するものであり、高電圧印加
開始時レーザガス圧力を高く設定する圧力調整手段と、
高電圧印加後所定のガス圧力に変更する手段とを備えた
ことを特徴とするものである。
開始時レーザガス圧力を高く設定する圧力調整手段と、
高電圧印加後所定のガス圧力に変更する手段とを備えた
ことを特徴とするものである。
（実施例）
第１図は、本発明の一実施例の構成を示すものである。
２１はレーザ共振器、２２は真空ポンプ、２３はレーザ
ガスボンベ、２４はガスボンベからのガスをレーザ共振
器へ所定量送り込む□為の流量調整ニードルバルブ、２
５は真空ポンプへの排気路を開閉する開閉弁、２６は開
閉弁２５を閉にした時に到達する圧力を決めるための圧
力調整ニードルバルブである。高電圧電源に電力を供給
開始時は開閉弁２５を閉として、流量調整ニードルバル
ブ２４と圧力調整ニードルバルブ２６を通過するレーザ
ガス流量のバランスによって決まる圧力にレーザ共振器
がなっている。この圧力は通常動作時の圧力よりも高い
圧力に設定する。このことにより、高電圧印加時レーザ
放電管のアノード、カソード間に異常に高い電圧が発生
しても放電開始までには到らず、電気回路部品の破損を
起すことも防止できるものである。高電圧印加後、所定
の時間（即ち、カソード電圧が十分に上昇するまでの時
間）後に開閉＝３− 弁２５を開き、通常のガス圧力とする。 ゛（発明の
効果） 以上のように本発明を用いれば、大変簡単な構成により
従来発生していたレーザの高電圧電源投入時におけるレ
ーザ放電管に発生していた異常放電開始を防ぐことがで
き、信頼性の高いレーザを提供できるので、その工業上
の価値は大なるものである。
ガスボンベ、２４はガスボンベからのガスをレーザ共振
器へ所定量送り込む□為の流量調整ニードルバルブ、２
５は真空ポンプへの排気路を開閉する開閉弁、２６は開
閉弁２５を閉にした時に到達する圧力を決めるための圧
力調整ニードルバルブである。高電圧電源に電力を供給
開始時は開閉弁２５を閉として、流量調整ニードルバル
ブ２４と圧力調整ニードルバルブ２６を通過するレーザ
ガス流量のバランスによって決まる圧力にレーザ共振器
がなっている。この圧力は通常動作時の圧力よりも高い
圧力に設定する。このことにより、高電圧印加時レーザ
放電管のアノード、カソード間に異常に高い電圧が発生
しても放電開始までには到らず、電気回路部品の破損を
起すことも防止できるものである。高電圧印加後、所定
の時間（即ち、カソード電圧が十分に上昇するまでの時
間）後に開閉＝３− 弁２５を開き、通常のガス圧力とする。 ゛（発明の
効果） 以上のように本発明を用いれば、大変簡単な構成により
従来発生していたレーザの高電圧電源投入時におけるレ
ーザ放電管に発生していた異常放電開始を防ぐことがで
き、信頼性の高いレーザを提供できるので、その工業上
の価値は大なるものである。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図である。第２
図は一般的なレーザの構成の概略図である。第３図は高
電圧印加時のカソード、アノード間に印加される電圧の
時間変化の一例を示す図であり、第４図はレーザ放電管
のアノード、カソード間に印加される電圧の変化の一例
を示す図である。第５図はレーザ放電管の放電開始電圧
のレーザガス圧力依存性の例を示す図である。 ２１・・・レーザ共振器、 ２２・・・真空ポンプ、２
３・・レーザガスボンベ、 ２４・・・流量調整ニード
ルバルブ、 ２５・・・開閉弁、 ２６・・・圧力＝４
− 調整ニードルバルブ。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 ２３ ・レープバカ゛々ギ゛ンベ ２４− ５Ｕｌｄｔ ｚ −）”ｉｌ／＋＼゛＋Ｗ’２
５・・昭閘背 ２６ ・・ 斤−力↓ＩｎニーＹ゛ｌレノ＼゛）レフ゛
第２図 第３区 アノード電位 高 収− ≦
図は一般的なレーザの構成の概略図である。第３図は高
電圧印加時のカソード、アノード間に印加される電圧の
時間変化の一例を示す図であり、第４図はレーザ放電管
のアノード、カソード間に印加される電圧の変化の一例
を示す図である。第５図はレーザ放電管の放電開始電圧
のレーザガス圧力依存性の例を示す図である。 ２１・・・レーザ共振器、 ２２・・・真空ポンプ、２
３・・レーザガスボンベ、 ２４・・・流量調整ニード
ルバルブ、 ２５・・・開閉弁、 ２６・・・圧力＝４
− 調整ニードルバルブ。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 ２３ ・レープバカ゛々ギ゛ンベ ２４− ５Ｕｌｄｔ ｚ −）”ｉｌ／＋＼゛＋Ｗ’２
５・・昭閘背 ２６ ・・ 斤−力↓ＩｎニーＹ゛ｌレノ＼゛）レフ゛
第２図 第３区 アノード電位 高 収− ≦
Claims (1)
- アノード、カソードを持つレーザ放電管内のガス圧力を
、レーザ放電管に高電圧電源より高電圧を印加開始する
時には通常レーザ発振時よりも高いガス圧力とする圧力
調整手段と、高電圧を印加して所定時間後に前記高いガ
ス圧力を解除し通常のガス圧力とする手段とを設けたこ
とを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192948A JPS6350085A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192948A JPS6350085A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350085A true JPS6350085A (ja) | 1988-03-02 |
Family
ID=16299675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61192948A Pending JPS6350085A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350085A (ja) |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP61192948A patent/JPS6350085A/ja active Pending
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