JPS6350087A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6350087A JPS6350087A JP61192951A JP19295186A JPS6350087A JP S6350087 A JPS6350087 A JP S6350087A JP 61192951 A JP61192951 A JP 61192951A JP 19295186 A JP19295186 A JP 19295186A JP S6350087 A JPS6350087 A JP S6350087A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high voltage
- gas pressure
- laser
- gas
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ガスレーザ、特にレーザガスを高電圧放電に
より励起する装置に関するものである。
より励起する装置に関するものである。
（従来の技＃Ｉ）
炭酸ガスレーザなどのガスレーザは高電圧を印加しレー
ザガスを放電して、レーザを発振させるものである。
ザガスを放電して、レーザを発振させるものである。
第２図は一般的なレーザの構成を示ず概略図である。１
は高電圧電源であり、普通は直流電源である。２は高電
圧電源１へ供給される電力を開閉するスイッチであり、
３はレーザ放電管のアノードであり高電圧電源１に接続
されている。レーザ放電管の他方にはカソード４が設け
られ、放電電流制御部５に接続されている。放電電流制
御部Ｓは真空管６や真空管のグリッド電位をコントロー
ルして放電電流源を制御するトランジスタ７や電流源を
検出するための抵抗８等から構成されている。放電電流
制御部５はアースに接続されている。
は高電圧電源であり、普通は直流電源である。２は高電
圧電源１へ供給される電力を開閉するスイッチであり、
３はレーザ放電管のアノードであり高電圧電源１に接続
されている。レーザ放電管の他方にはカソード４が設け
られ、放電電流制御部５に接続されている。放電電流制
御部Ｓは真空管６や真空管のグリッド電位をコントロー
ルして放電電流源を制御するトランジスタ７や電流源を
検出するための抵抗８等から構成されている。放電電流
制御部５はアースに接続されている。
真空管６のプレート電圧を規定するために分圧堺抗９，
１０がある。放電がオフの時には、プレート電圧はこの
分圧抵抗９，１０によって決まる電圧に保持される。プ
レー１〜とアースの間には浮遊容量１１があるので、高
電圧電源に給電を開始する時、レーザ放電管のアノード
の電圧上昇とカソード４および真空管６のプレート電圧
の上昇の時定数が異なり第３図に示すようになる。この
時のアノード３・カソード４間に印加される電圧の変化
の一例を示すのが第４図である。図からも明らかなよう
にアノード３・カソード４間に印加される電圧は高い値
を呆した後分圧抵抗で決まる電圧差に一定する。このた
め高電圧電源投入時レーザ放電管に異常な電圧が加わり
無制御状態で放電を開始し電気回路部品を破損すること
がある。
１０がある。放電がオフの時には、プレート電圧はこの
分圧抵抗９，１０によって決まる電圧に保持される。プ
レー１〜とアースの間には浮遊容量１１があるので、高
電圧電源に給電を開始する時、レーザ放電管のアノード
の電圧上昇とカソード４および真空管６のプレート電圧
の上昇の時定数が異なり第３図に示すようになる。この
時のアノード３・カソード４間に印加される電圧の変化
の一例を示すのが第４図である。図からも明らかなよう
にアノード３・カソード４間に印加される電圧は高い値
を呆した後分圧抵抗で決まる電圧差に一定する。このた
め高電圧電源投入時レーザ放電管に異常な電圧が加わり
無制御状態で放電を開始し電気回路部品を破損すること
がある。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は、以上のような問題点を解決し、高電圧電源投
入時における異常放電による部品破損を防止したガスレ
ーザを提供することを目的とするものである。
入時における異常放電による部品破損を防止したガスレ
ーザを提供することを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は従来技術の問題点を解決するために、放電開始
電圧のガス圧力依存性を利用するもので、゛高電圧電源
を持つガスレーザにおいて、レーザ共振器よりレーザガ
スを排気する第１の手段と、前記第１の手段と前記レー
ザ共振器の間に在ってレーザガスの排気経路を開閉する
第２の手段と、前記レーザ共振器のガス圧力を検出する
第３の手段と、前記第３の手段から送出されるガス圧力
信号により前記第２の手段をコントロールする第４の手
段とを具備し、その第４の手段は、レーザ放電管内のガ
ス圧力を、レーザ放電管に高電圧電源より高電圧を印加
開始する時には、前記第２の手段をコントロールして通
常レーザ発振時よりも高い圧力とし、高電圧を印加後通
常圧力にし、通常レーザ発振時よりも高い圧力になって
いない場合に高電圧電源に電力を供給開始できないよう
にインターロックする手段を有することを特徴とするも
のである。
電圧のガス圧力依存性を利用するもので、゛高電圧電源
を持つガスレーザにおいて、レーザ共振器よりレーザガ
スを排気する第１の手段と、前記第１の手段と前記レー
ザ共振器の間に在ってレーザガスの排気経路を開閉する
第２の手段と、前記レーザ共振器のガス圧力を検出する
第３の手段と、前記第３の手段から送出されるガス圧力
信号により前記第２の手段をコントロールする第４の手
段とを具備し、その第４の手段は、レーザ放電管内のガ
ス圧力を、レーザ放電管に高電圧電源より高電圧を印加
開始する時には、前記第２の手段をコントロールして通
常レーザ発振時よりも高い圧力とし、高電圧を印加後通
常圧力にし、通常レーザ発振時よりも高い圧力になって
いない場合に高電圧電源に電力を供給開始できないよう
にインターロックする手段を有することを特徴とするも
のである。
（作 用）
第５図に一例を示すレーザ放電管の放電開始電圧のレー
ザガス圧力依存性から明らかなように、レーザガス圧力
が高くなるほど放電開始電圧が高くなっている。
ザガス圧力依存性から明らかなように、レーザガス圧力
が高くなるほど放電開始電圧が高くなっている。
本発明は、高電圧印加開始時レーザガス圧力を高く設定
し、高電圧印加開始時のガス圧力に変更するので、上記
レーザ放電管の放電開始電圧のレーザガス圧力依存性に
より、高電圧印加開始時における異常放電を防止するこ
とができる。即ち、第４の手段は、レーザ放電管内のガ
ス圧力を、レーザ放電管に高電圧電源より高電圧を印加
開始する時には、前記第２の手段をコントロールして通
常レーザ発振時よりも高い圧力とし、高電圧を印加後通
常電圧にする。
し、高電圧印加開始時のガス圧力に変更するので、上記
レーザ放電管の放電開始電圧のレーザガス圧力依存性に
より、高電圧印加開始時における異常放電を防止するこ
とができる。即ち、第４の手段は、レーザ放電管内のガ
ス圧力を、レーザ放電管に高電圧電源より高電圧を印加
開始する時には、前記第２の手段をコントロールして通
常レーザ発振時よりも高い圧力とし、高電圧を印加後通
常電圧にする。
、さらに、本発明は、通常レーザ発振時よりも高い圧力
になっていない場合には前記インターロックする手段に
より高電圧電源に電力を供給開始できないようにする。
になっていない場合には前記インターロックする手段に
より高電圧電源に電力を供給開始できないようにする。
これにより、より確実に異常放電を防止できることがで
きる。
きる。
（実施例）
第１図は、本発明の実施の一例を示すものである。２１
はレーザ共振器、２２は真空ポンプ、２３はレーザガス
ボンベ、２４はレーザガスボンベからのガスをレーザ共
振器２１へ所定量送りこむための流量調整ニードルパル
プ、２５は真空ポンプへの排気路を開閉する開閉弁、２
６はガス圧力を検出するガス圧力検出器である。２７は
ガス圧力検出器２６からのガス圧力信号により開閉弁２
５の開閉をコントロールするガス圧力制御部であり、ガ
ス圧力が高い場合には開閉弁２５を空けて真空ポンプの
排気量を増やしてガス圧力を下げ、ガス圧力が低い場合
には開閉弁を閉めて真空ポンプの排気流量をさげること
によりガス圧力を一定にする。２８はレーザガス圧力を
切り換えるスイッチ部であり、高い圧力状態と低い圧力
状態を切り換える機能を持っている。
はレーザ共振器、２２は真空ポンプ、２３はレーザガス
ボンベ、２４はレーザガスボンベからのガスをレーザ共
振器２１へ所定量送りこむための流量調整ニードルパル
プ、２５は真空ポンプへの排気路を開閉する開閉弁、２
６はガス圧力を検出するガス圧力検出器である。２７は
ガス圧力検出器２６からのガス圧力信号により開閉弁２
５の開閉をコントロールするガス圧力制御部であり、ガ
ス圧力が高い場合には開閉弁２５を空けて真空ポンプの
排気量を増やしてガス圧力を下げ、ガス圧力が低い場合
には開閉弁を閉めて真空ポンプの排気流量をさげること
によりガス圧力を一定にする。２８はレーザガス圧力を
切り換えるスイッチ部であり、高い圧力状態と低い圧力
状態を切り換える機能を持っている。
高電圧を投入する時には高い電圧状態に選択される。低
い圧力状態は通常動作時の圧力として設定されている。
い圧力状態は通常動作時の圧力として設定されている。
ガス圧力検出器２６からのガス圧力信号と高い圧力状態
を指令している信号とを比較して所定の範囲よりガス圧
力が低い場合には高電圧電源に電力が供給できないよう
にインタロックを動作させている。このことにより高電
圧印加時レーザ放電管のアノード・カソード間に異常に
高い高電圧が発生しても放電開始せず電気回路部品の破
損を起こすことも防止できるものである。
を指令している信号とを比較して所定の範囲よりガス圧
力が低い場合には高電圧電源に電力が供給できないよう
にインタロックを動作させている。このことにより高電
圧印加時レーザ放電管のアノード・カソード間に異常に
高い高電圧が発生しても放電開始せず電気回路部品の破
損を起こすことも防止できるものである。
（発明の効果）
以上のように本発明によれば、大変簡単な構成により従
来発生していたレーザの高電圧電源投入時におけるレー
ザ放電管に発生する異常放電開始を防ぐことができ、信
頼性の高いレーザを提供できるので、その工業上の価値
は大なるものがある。
来発生していたレーザの高電圧電源投入時におけるレー
ザ放電管に発生する異常放電開始を防ぐことができ、信
頼性の高いレーザを提供できるので、その工業上の価値
は大なるものがある。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図である。第２
図は一般的なレーザの構成の概略図である。第３図は高
電圧印加時の電圧の時間変化の一例を示す図である。第
４図はレーザ放電管のアノード・カソード管に印加され
る電圧の変化の一例を示す図である。第５図はレーザ放
電管の放電開始電圧のレーザガス圧力依存性の例を示す
図である。 ２１・・・ レーザ共振器、２２・・・真空ポンプ、２
３・・・レーザガスボンベ、２４・・・流量調整ニード
ルバルブ、２５・・・開閉弁、２６・・ガス圧力検出器
、２７・・・ガス圧力制御部、２８・・・スイッチ部。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 と８ ２２ ・・ 力、墾秀２・ラフ。 ２３ レーヂ力゛人＾ミ゛ンベ′ ２４ ・ シ截畳鄭ヤ唆ニーＦ′）レバルブ′２５・
Ｆ／］闇粁 ２６ ｇ”スた戸妹ム扁 第２図 第３区 アノ−Ｆ 電ｌｌ江
図は一般的なレーザの構成の概略図である。第３図は高
電圧印加時の電圧の時間変化の一例を示す図である。第
４図はレーザ放電管のアノード・カソード管に印加され
る電圧の変化の一例を示す図である。第５図はレーザ放
電管の放電開始電圧のレーザガス圧力依存性の例を示す
図である。 ２１・・・ レーザ共振器、２２・・・真空ポンプ、２
３・・・レーザガスボンベ、２４・・・流量調整ニード
ルバルブ、２５・・・開閉弁、２６・・ガス圧力検出器
、２７・・・ガス圧力制御部、２８・・・スイッチ部。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 と８ ２２ ・・ 力、墾秀２・ラフ。 ２３ レーヂ力゛人＾ミ゛ンベ′ ２４ ・ シ截畳鄭ヤ唆ニーＦ′）レバルブ′２５・
Ｆ／］闇粁 ２６ ｇ”スた戸妹ム扁 第２図 第３区 アノ−Ｆ 電ｌｌ江
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 高電圧電源を持つガスレーザにおいて、 レーザ共振器よりレーザガスを排気する第１の手段と、 前記第１の手段と前記レーザ共振器の間に在ってレーザ
ガスの排気経路を開閉する第２の手段と、前記レーザ共
振器のガス圧力を検出する第３の手段と、 前記第３の手段から送出されるガス圧力信号により前記
第２の手段をコントロールする第４の手段とを具備し、 前記第４の手段は、レーザ放電管内のガス圧力を、レー
ザ放電管に高電圧電源より高電圧を印加開始する時には
、前記第２の手段をコントロールして通常レーザ発振時
よりも高い圧力とし、高電圧を印加後通常圧力にし、ま
た、通常レーザ発振時よりも高い圧力になっていない場
合に高電圧電源に電力を供給開始できないようにインタ
ーロックする手段とを有することを特徴とするガスレー
ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192951A JPS6350087A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192951A JPS6350087A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350087A true JPS6350087A (ja) | 1988-03-02 |
Family
ID=16299730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61192951A Pending JPS6350087A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350087A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6442190A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | Komatsu Mfg Co Ltd | Gas laser apparatus |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP61192951A patent/JPS6350087A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6442190A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | Komatsu Mfg Co Ltd | Gas laser apparatus |
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