JPS635355U - - Google Patents
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- JPS635355U JPS635355U JP9771986U JP9771986U JPS635355U JP S635355 U JPS635355 U JP S635355U JP 9771986 U JP9771986 U JP 9771986U JP 9771986 U JP9771986 U JP 9771986U JP S635355 U JPS635355 U JP S635355U
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- JP
- Japan
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- low
- temperature
- cold
- purifiers
- compressors
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- Pending
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- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Description
第１図は本考案の極低温冷凍装置の構成を示す
系統図、第２図は２連として連続自動切換を可能
とした時の構成を示す要部系統図である。 １……ヘリウム圧縮機、２……精製器、３……
コールドボツクス、４……フイルター容器、５…
…差圧検出器、６……遮断弁、７……入口弁、８
……被冷却体、９……中圧タンク、２１，２２…
…フイルター容器、２３，２４……フイルターエ
レメント、２５，２６……ＬＮ２冷却熱交、２７
，２８……ＧＨｅ加温熱交、２９，３０……差圧
検出器、３１，３２……入口弁、３３，３４……
遮断弁、３９，４０……真空引弁。
系統図、第２図は２連として連続自動切換を可能
とした時の構成を示す要部系統図である。 １……ヘリウム圧縮機、２……精製器、３……
コールドボツクス、４……フイルター容器、５…
…差圧検出器、６……遮断弁、７……入口弁、８
……被冷却体、９……中圧タンク、２１，２２…
…フイルター容器、２３，２４……フイルターエ
レメント、２５，２６……ＬＮ２冷却熱交、２７
，２８……ＧＨｅ加温熱交、２９，３０……差圧
検出器、３１，３２……入口弁、３３，３４……
遮断弁、３９，４０……真空引弁。
Claims (1)
- 圧縮機、精製器、コールドボツクス、中圧タン
クおよび膨張タービンなどにより構成される低温
装置において、コールドボツクスへのガス供給ラ
インに低温状態に保つた微細な過性態を持つフ
イルターを設置したことを特徴とする極低温冷凍
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9771986U JPS635355U (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9771986U JPS635355U (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS635355U true JPS635355U (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=30964963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9771986U Pending JPS635355U (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS635355U (ja) |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP9771986U patent/JPS635355U/ja active Pending
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